JP2000149860A - 光電子増倍管 - Google Patents

光電子増倍管

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JP2000149860A JP10319174A JP31917498A JP2000149860A JP 2000149860 A JP2000149860 A JP 2000149860A JP 10319174 A JP10319174 A JP 10319174A JP 31917498 A JP31917498 A JP 31917498A JP 2000149860 A JP2000149860 A JP 2000149860A
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英樹 下井
Hiroyuki Kushima
浩之 久嶋
Akira Atsumi
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J43/00Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
    • H01J43/04Electron multipliers
    • H01J43/28Vessels, e.g. wall of the tube; Windows; Screens; Suppressing undesired discharges or currents
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01J43/00Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
    • H01J43/04Electron multipliers

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  • Measurement Of Radiation (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、受光面板の有効利用面積を大幅に
向上させ、しかも、側管と受光面板との一体化を向上さ
せて密封容器の気密性の向上を図るようにした光電子増
倍管を提供することを目的とする。 【解決手段】 本発明による光電子増倍管1において
は、側管2に突き刺し部20を設けて、この突き刺し部
20をガラス製の受光面板3に突き刺すように埋め込ん
でいる。従って、側管2と受光面板3との接合部分で極
めて高い気密性が確保されることになる。しかも、側管
2に設けられた突き刺し部20は、側管2から切り立つ
ようにして延びるものであるから、突き刺し部20を受
光面板3の側面3cに可能な限り近づけるようにして埋
設させた場合、受光面板3の有効利用面積を100%近
くまで高めることに成功し、受光面板3のデッドエリア
を可能な限りゼロに近づけることを可能にした。このよ
うに、本発明の光電子増倍管1は、従来の固定の仕方と
異なる着想に立ち、受光面板3の有効利用面積の限りな
い向上と受光面板3と側管2との気密性確保とを両立さ
せるものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、受光面板に入射し
た微弱な光を電子の増倍によって検出させる構成をもっ
た光電子増倍管に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、このような分野の技術として、特
開平5−290793号公報がある。この公報に記載さ
れた光電子増倍管は、密封容器内に電子増倍部を収容さ
せた構成を有し、この密封容器は、金属製の側管の上端
をフランジ状に形成し、このフランジ部を、受光面板の
上面に融着するように固定させており、フランジ部によ
る気密性確保の実効を図っている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た従来の光電子増倍管には、次のような課題が存在して
いた。すなわち、図10に示すように、側管100の上
端に全周に亙って設けられたフランジ部101によっ
て、受光面板102の有効利用面積が狭められることに
なる。例えば、50mm角の受光面板102において、
1.5mm程度の幅Wをもったフランジ部101を、受
光面板102の縁部分に固定すると、受光面板102の
有効利用面積が88パーセント程度になることが分かっ
ている。この光電子増倍管は、確かに、8割以上の有効
利用面積を確保することに成功しているが、近年におい
て、光電子増倍管を多数並設させて利用される機会が多
く、この場合に、受光面板102の有効利用面積を、1
00%近くにすることが求められており、受光面板10
2のデッドエリアを可能な限りゼロに近づけた光電子増
倍管を必要としている。しかしながら、フランジ部10
1を圧着させるようにして、側管100と受光面板10
2とを接合させる技術では、10%以上のデッドエリア
をもってしまうといった問題点がある。そして、従来の
光電子増倍管を密に多数並べた場合、かなりのデッドエ
リアを発生させてしまうことは想像に難くない。なお、
前述した特開平5−290793号公報には、フランジ
部を介在させることなく、側管100と受光面板102
とを接合させる技術が開示されているが、この場合、受
光面板102は、側管100の先端に当接させたに過ぎ
ず、側管100と受光面板102との接合の仕方を何ら
開示したものではないことは明らかである。このよう
に、側管100上に受光面板102を単に載せただけで
は、密封容器内での気密性確保に支障が生じる虞れがあ
る。
【0004】本発明は、上述の課題を解決するためにな
されたもので、特に、受光面板の有効利用面積を大幅に
向上させ、しかも、側管と受光面板との一体化を向上さ
せて密封容器の気密性の向上を図るようにした光電子増
倍管を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1に係る本発明の
光電子増倍管は、受光面板に入射した光によって電子を
放出する光電面を有し、光電面から放出した電子を増倍
させる電子増倍部を密封容器内に有し、電子増倍部で増
倍させた電子に基づいて出力信号を送出するアノードを
もった光電子増倍管において、密封容器は、電子増倍部
及びアノードをステムピンを介して固定させるステム板
と、電子増倍部及びアノードを包囲すると共に、一側の
開口端にステム板を固定する金属製の側管と、側管の他
側の開口端に固定するガラス製の受光面板と、により形
成され、側管の他側の開口端には、受光面板の光電面側
に埋設させた突き刺し部が設けられていることを特徴と
する。
【0006】この光電子増倍管においては、側管に突き
刺し部を設けて、この突き刺し部をガラス製の受光面板
に突き刺すように埋め込んでいる。従って、側管と受光
面板との接合部分で極めて高い気密性が確保されること
になる。しかも、側管に設けられた突き刺し部は、フラ
ンジ部のように側管から側方に向けて延び出るものでは
なく、側管から切り立つようにして延びるものであるか
ら、突き刺し部を受光面板の側面に可能な限り近づける
ようにして埋設させた場合に、受光面板の有効利用面積
を100%近くまで高めることに成功し、受光面板のデ
ッドエリアを可能な限りゼロに近づけることを可能にし
た。このように、本発明の光電子増倍管は、従来の固定
の仕方と異なる着想に立ち、受光面板の有効利用面積の
限りない向上と受光面板と側管との気密性確保とを両立
させるものであるといえる。
【0007】請求項2記載の光電子増倍管において、突
き刺し部の先端部分は、真っすぐに延びていると好まし
い。このような構成を採用した場合、側管の端部を受光
面板内に突き刺し易くなり、しかも、側管の延長上に突
き刺し部が設けられることになるから、受光面板の有効
利用面積の確保が促進される。
【0008】請求項3記載の光電子増倍管において、突
き刺し部の先端部分は、内側又は外側に曲げられている
と好ましい。このような構成を採用した場合、受光面板
内に埋設させる突き刺し部の表面積を拡大することがで
き、側管と受光面板との接合部分での気密性の向上に寄
与することになる。
【0009】請求項4記載の光電子増倍管において、突
き刺し部は、その先端をナイフエッジ状に尖らせている
と好ましい。このような構成を採用した場合、側管の端
部を受光面板に突き刺し易く、ガラス製の受光面板に側
管を融着固定させる際に、その組立て作業の向上及び確
実性が図られることになる。
【0010】請求項5記載の光電子増倍管において、側
管の下端の内壁面を金属製のステム板の縁面に当接させ
て、金属製の側管と金属製のステム板とを溶接すると好
ましい。このような構成を採用した場合、側管の下端の
内壁面をステム板の縁面に当接させた状態で、側管とス
テム板とを溶接固定させる結果、光電子増倍管の下端
で、フランジのような張り出しを無くしている。従っ
て、抵抗溶接は行い難いけれども、光電子増倍管の外形
寸法の縮小化を可能にし、光電子増倍管を並べて利用す
る場合でも、側管同士を密に並べることができる。よっ
て、金属製のステム板と金属製の側管とが溶接によって
組み付けられた光電子増倍管は、その高密度配列を可能
にするものである。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による光
電子増倍管の好適な実施形態について詳細に説明する。
【0012】図1は、本発明に係る光電子増倍管を示す
斜視図であり、図2は、図1の断面図である。これら図
面に示す光電子増倍管1は、略正四角筒形状の金属製
(例えば、コバール金属製やステンレス製)の側管2を
有し、この側管2の一側の開口端Aにはガラス製の受光
面板3が融着固定され、この受光面板3の内表面には、
光を電子に変換する光電面3aが形成され、この光電面
3aは、受光面板2に予め蒸着させておいたアンチモン
にアルカリ金属蒸気を反応させることで形成される。ま
た、側管2の開口端Bには、金属製(例えば、コバール
金属製やステンレス製)のステム板4が溶接固定されて
いる。このように、側管2と受光面板3とステム板4と
によって密封容器5が構成され、この密封容器5は、高
さが10mm程度の極薄タイプのものである。
【0013】また、ステム板4の中央には金属製の排気
管6が固定されている。この排気管6は、光電子増倍管
1の組立て作業終了後、密封容器5の内部を真空ポンプ
(図示せず)によって排気して真空状態にするのに利用
されると共に、光電面3aの形成時にアルカリ金属蒸気
を密封容器5内に導入させる管としても利用される。
【0014】そして、密封容器5内には、ブロック状で
積層タイプの電子増倍器7が設けられ、この電子増倍器
7は、10枚(10段)の板状のダイノード8を積層さ
せた電子増倍部9を有し、電子増倍器7は、ステム板4
を貫通するように設けられたコバール金属製のステムピ
ン10によって密封容器5内で支持され、各ステムピン
10の先端は各ダイノード8と電気的に接続されてい
る。また、ステム板4には、各ステムピン10を貫通さ
せるためのピン孔4aが設けられ、各ピン孔4aには、
コバールガラス製のハーメチックシールとして利用され
るタブレット11が充填され、各ステムピン10は、タ
ブレット11を介してステム板4に固定される。なお、
各ステムピン10には、ダイノード用のものとアノード
用のものとがある。
【0015】更に、電子増倍器7には、電子増倍部9の
下方に位置してステムピン10の上端に固定したアノー
ド12が並設させられている。また、電子増倍器7の最
上段において、光電面3aと電子増倍部9との間には平
板状の収束電極板13が配置され、この収束電極板13
には、スリット状の開口部13aが複数本形成され、各
開口部13aは一方向にリニアな配列をなす。同様に、
電子増倍部9の各ダイノード8には、開口部13aと同
数のスリット状電子増倍孔8aが複数本形成され、各電
子増倍孔8aを一方向にリニアで、紙面と垂直な方向に
複数配列させている。
【0016】そして、各ダイノード8の各電子増倍孔8
aを段方向にそれぞれ配列してなる各電子増倍経路L
と、収束電極板13の各開口部13aとを一対一で対応
させることによって、電子増倍器7には、複数のチャン
ネルが形成されることになる。また、電子増倍器7に設
けられた各アノード12は所定数のチャンネル毎に対応
するように8×8個設けられ、各アノード12を各ステ
ムピン10にそれぞれ接続させることで、各ステムピン
10を介して外部に個別的な出力を取り出している。
【0017】このように、電子増倍器7は、複数のリニ
ア型チャンネルを有している。そして、図示しないブリ
ーダ回路に接続した所定のステムピン10によって、電
子増倍部9及びアノード12には所定の電圧が供給さ
れ、光電面3aと収束電極板13とは、同じ電位に設定
され、各ダイノード8とアノード12は、上段から順に
高電位の設定がなされている。従って、受光面板2に入
射した光は、光電面3aで電子に変換され、その電子
が、収束電極板13と電子増倍機7の最上段に積層され
ている第1段のダイノード8とによって形成される電子
レンズ効果により、所定のチャンネル内に入射すること
になる。そして、電子の入射したチャンネルにおいて、
電子は、ダイノード8の電子増倍経路Lを通りながら、
各ダイノード8で多段増倍されて、アノード12に入射
し、所定のチャンネル毎に個別的な出力が各アノード1
2から送出されることになる。
【0018】また、図3に示すように、金属製のステム
板4と金属製の側管2とを気密溶接するにあたって、ス
テム板4を側管2の開口端Bから挿入し、側管2の下端
2aの内壁面2cをステム板4の縁面4bに当接させ、
ステム板4の下面4cと側管2の下端面2dとを概ね面
一にし、ステム板4から側管2の下端面2dが突き出な
いようにする。よって、側管2の下端2aの外壁面2b
を略管軸方向に延在させると同時に、電子増倍管1の下
端でフランジのような側方への張り出しを無くしてい
る。この状態で、接合部分Fに対し、外側の真下あるい
は接合部分を狙える方向からレーザビームを照射し、接
合部分Fをレーザ溶接する。
【0019】このように、光電子増倍管1の下端で、フ
ランジのような張り出しを無くす結果、抵抗溶接は行い
難いけれども、光電子増倍管1の外形寸法の縮小化を可
能にし、光電子増倍管1を並べて利用する場合でも、デ
ッドスペースを可能な限り排除することができ、側管2
同士を密に配列させることができる。よって、金属製の
ステム板4と金属製の側管2との接合にレーザ溶接を採
用することは、光電子増倍管1の薄型化及びその高密度
配列化を可能にする。
【0020】このようなレーザ溶接は融接法の一例であ
り、この融接法を利用し、側管2をステム板4に溶接固
定する場合、抵抗溶接と異なり、側管2とステム板4と
の接合部分Fに圧力を加える必要がないので、接合部分
Fに残留応力が発生することがなく、使用中においても
接合箇所に亀裂が発生し難く、耐久性及び気密シール性
の著しい向上が図られる。なお、融接法のうちでも、レ
ーザ溶接や電子ビーム溶接は、抵抗溶接に比して、接合
部分Fでの熱の発生を小さく抑えることができる。従っ
て、光電子増倍管1の組立てにあたって、密封容器5内
に配置させた各構成部品に対する熱への影響が極めて少
なくなる。
【0021】ここで、側管2は、コバール金属やステン
レス等からなる平板を、肉厚0.25mm、高さ7mm
程度の略正四角筒形状にプレス加工することで得られる
ものであり、この側管2の一側の開口端Aにガラス製の
受光面板3を融着固定させている。図4に示すように、
側管2の受光面板3側の先端部分(上端)には、高周波
加熱によって、受光面板3の光電面3a側に溶融埋設さ
せる突き刺し部20が設けられている。この突き刺し部
20は、側管2の上端の全周に亙って設けられると共
に、その外壁面2b側に位置するR形状部20aを介し
て、内側に押し曲げられるようにして形成されている。
そして、突き刺し部20の先端20bは、ナイフエッジ
状に尖らせてある。従って、側管2の上端を受光面板3
に突き刺し易く、ガラス製の受光面板3に側管2を融着
固定させる際に、その組立て作業の向上及び確実性が図
られることになる。
【0022】このような形状の突き刺し部20をもった
側管2を、受光面板3に固定するにあたって、先ず、側
管2の突き刺し部20の先端20bに受光面板3の裏面
を当接させた状態で、金属製の側管2を回転台の上に配
置させる。その後、高周波加熱装置によって金属製の側
管2を加熱させるが、このとき、受光面板3を、加圧治
具により上から押えつけた状態にしておく。すると、加
熱された側管2の突き刺し部20が、ガラス製の受光面
板3を徐々に溶かしながら突き進むことになる。その結
果、受光面板3の下端縁に膨出部3bを形成しながら、
側管2の突き刺し部20が受光面板3に埋設され、受光
面板3と側管2との接合部分で高気密性が確保される。
【0023】このような膨出部3bは、突き刺し部20
の近傍で受光面板3の側面3cの一部に発生するだけで
あり、受光面板3の側面3c全体に亙った面ダレを引き
起こすものではない。従って、受光面3dの縁形状に悪
影響を与えることがなく、平滑化が図られている受光面
板3の形状を確実に維持させることができる。
【0024】また、突き刺し部20は、フランジ部のよ
うに側管2から側方に向けて延び出るものではなく、側
管2から切り立つようにして延びるものであるから、突
き刺し部20を受光面板3の側面3cに可能な限り近づ
けるようにして埋設させると、受光面板3の有効利用面
積を100%近くまで高めることができ、受光面板3の
デッドエリアを可能な限りゼロに近づけることができ
る。更に、突き刺し部20は、内側に曲げられるように
形成する結果、受光面板3内に埋設させる突き刺し部2
0の表面積の拡大化が図られ、側管2と受光面板3との
接合面積を大きくすることができ、密封容器5の気密性
の向上に寄与することになる。なお、突き刺し部20
は、0.1mm程度の僅かな突出量Hをもって内側に張
り出しており、これはプレス加工によって作り出すと適
切である。
【0025】同様に、図5に示すように、側管2Aの受
光面板3側の先端部分(上端)には、高周波加熱によっ
て、受光面板3の光電面3a側に溶融埋設させる突き刺
し部30が設けられている。この突き刺し部30は、側
管2Aの上端の全周に亙って設けられると共に、その内
壁面2c側に位置するR形状部30aを介して、外側に
押し曲げられるようにして形成されている。そして、突
き刺し部30の先端30bは、ナイフエッジ状に尖らせ
てある。従って、側管2Aの上端を受光面板30に突き
刺し易く、ガラス製の受光面板3に金属製の側管2Aを
融着固定させる際に、その組立て作業の向上及び確実性
が図られることになる。この場合、受光面板3の下端縁
に膨出部3bを形成しながら、側管2Aの突き刺し部3
0が受光面板3に埋設され、受光面板3と側管2Aとの
接合部分での高気密性が確保される。
【0026】更に、突き刺し部30は、外側に曲げられ
るように形成する結果、受光面板3内に埋設させる突き
刺し部30の表面積の拡大化が図られ、側管2Aと受光
面板3との接合面積を大きくすることができ、密封容器
5の気密性の向上に寄与することになる。なお、突き刺
し部30は、0.1mm程度の僅かな突出量Hをもって
外側に張り出しており、これはプレス加工によって作り
出すと適切である。
【0027】本発明に係る光電子増倍管1に適用させる
側管は、前述した実施形態に限定されるものではない。
【0028】例えば、図6に示すように、突き刺し部4
0を側管2Bに沿って真っすぐに立ち上げてもよい。こ
の場合、突き刺し部40は、側管2Bの延長上に位置
し、側管2Bを端切り加工しただけの最もシンプルな形
状になっている。なお、突き刺し部40の表面積の拡大
及びガラスの馴染み性を向上させるために、突き刺し部
40の先端を丸めるようにしてもよい。
【0029】また、図7に示すように、突き刺し部50
は、側管2Cに沿って真っすぐに延在し、両刃のナイフ
エッジ状に尖らせている。従って、側管2Cを融着固定
させるに当たって、側管2Cを、受光面板3内に極めて
差し込み易くすることができる。
【0030】また、図8に示すように、突き刺し部60
は、側管2Dに沿って真っすぐに延在し、片刃のナイフ
エッジ状に尖らせている。更に、突き刺し部60の表面
積の拡大及びガラスの馴染み性の向上のために、突き刺
し部60には、側管2Dの内壁面2c側にR形状部60
aが設けられている。同様に、図9に示すように、突き
刺し部70は、側管2Eに沿って真っすぐに延在し、片
刃のナイフエッジ状に尖らせている。更に、突き刺し部
70には、側管2Eの外壁面2b側にR形状部70aが
設けられている。
【0031】本発明に係る光電子増倍管は、前述した実
施形態に限定されるものではない。例えば、突き刺し部
の形状としては、断面ボール状であっても断面矢じり状
であってもよい。
【0032】
【発明の効果】本発明による光電子増倍管は、以上のよ
うに構成されているため、次のような効果を得る。すな
わち、受光面板に入射した光によって電子を放出する光
電面を有し、光電面から放出した電子を増倍させる電子
増倍部を密封容器内に有し、電子増倍部で増倍させた電
子に基づいて出力信号を送出するアノードをもった光電
子増倍管において、密封容器は、電子増倍部及びアノー
ドをステムピンを介して固定させるステム板と、電子増
倍部及びアノードを包囲すると共に、一側の開口端にス
テム板を固定する金属製の側管と、側管の他側の開口端
に固定するガラス製の受光面板と、により形成され、側
管の他側の開口端には、受光面板の光電面側に埋設させ
た突き刺し部が設けられていることにより、受光面板の
有効利用面積を大幅に向上させ、しかも、側管と受光面
板との一体化を向上させて密封容器の気密性の向上を可
能にした。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光電子増倍管の一実施形態を示す
斜視図である。
【図2】図1のII−II線に沿う断面図である。
【図3】図2の要部拡大断面図である。
【図4】本発明に係る光電子増倍管に適用する側管の第
1の変形例を示す要部拡大断面図である。
【図5】本発明に係る光電子増倍管に適用する側管の第
2の変形例を示す要部拡大断面図である。
【図6】本発明に係る光電子増倍管に適用する側管の第
3の変形例を示す要部拡大断面図である。
【図7】本発明に係る光電子増倍管に適用する側管の第
4の変形例を示す要部拡大断面図である。
【図8】本発明に係る光電子増倍管に適用する側管の第
5の変形例を示す要部拡大断面図である。
【図9】本発明に係る光電子増倍管に適用する側管の第
6の変形例を示す要部拡大断面図である。
【図10】従来の光電子増倍管に適用する側管を示す断
面図である。
【符号の説明】
1…光電子増倍管、2,2A,2B,2C,2D,2E
…側管、2c…内壁面、3…受光面板、3a…光電面、
4…ステム板、4b…ステム板の縁面、5…密封容器、
9…電子増倍部、10…ステムピン、12…アノード、
20,30,40,50,60,70…突き刺し部、
A,B…側管の開口端。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 受光面板に入射した光によって電子を放
    出する光電面を有し、前記光電面から放出した電子を増
    倍させる電子増倍部を密封容器内に有し、前記電子増倍
    部で増倍させた電子に基づいて出力信号を送出するアノ
    ードをもった光電子増倍管において、 前記密封容器は、 前記電子増倍部及び前記アノードをステムピンを介して
    固定させるステム板と、 前記電子増倍部及び前記アノードを包囲すると共に、一
    側の開口端に前記ステム板を固定する金属製の側管と、 前記側管の他側の開口端に固定するガラス製の前記受光
    面板と、により形成され、 前記側管の前記他側の前記開口端には、前記受光面板の
    前記光電面側に埋設させた突き刺し部が設けられている
    ことを特徴とする光電子増倍管。
  2. 【請求項2】 前記突き刺し部の先端部分は、真っすぐ
    に延びていることを特徴とする請求項1記載の光電子増
    倍管。
  3. 【請求項3】 前記突き刺し部の先端部分は、内側又は
    外側に曲げられていることを特徴とする請求項1記載の
    光電子増倍管。
  4. 【請求項4】 前記突き刺し部は、その先端をナイフエ
    ッジ状に尖らせていることを特徴とする請求項1〜3の
    いずれか一項記載の光電子増倍管。
  5. 【請求項5】 前記側管の下端の内壁面を金属製の前記
    ステム板の縁面に当接させて、金属製の前記側管と金属
    製の前記ステム板とを溶接したことを特徴とする請求項
    1〜4のいずれか一項記載の光電子増倍管。
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