JP3854669B2 - 紫外線検出管 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、入射した紫外線を電気信号に変換することによって検知する紫外線検出管に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の紫外線検出管は、実公昭49−17184号に記載される。この公報には、ガラス製包囲体の底部にガラス底板を溶接してなる密閉容器内に、陽極電極及び陰極電極を配置した紫外線検出管が開示されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の紫外線検出管は、長寿命で安定した紫外線検出を行うことができる優れた検出管であるが、その特性は十分ではない。紫外線を透過する典型的なガラス材料はフッ素を含んでいる。このフッ素は、包囲体と底板との溶接の際に、陽極電極、陰極電極又は密閉容器の内表面等に付着する。このフッ素等の汚染物質は、紫外線検出管の動作時に発生する放電ガスのイオン、陽極電極への電子衝突又は温度上昇によって脱離して放電ガスの電離電圧を低下させるとともに、陽極電極又は陰極電極の表面と化合し、紫外線検出管の寿命及び安定性が劣化する。本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、従来に比して更に良好な特性を有する紫外線検出管を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
請求項1に係る紫外線検出管は、紫外線を遮蔽する金属材料からなり開口部を有する側管、及び、紫外線を透過するガラス材料からなり側管の開口部を塞ぐ窓部材を有する密閉容器と、密閉容器内の、窓部材に対向する位置に配置された陽極電極及び陰極電極と、密閉容器内に封入され放電が発生する気体と、陰極電極を固定するガラス材料を固定し、前記側管と溶接される金属部材とを備え、この金属部材は、側管の他方の開口部を塞ぐように側管に固定され、陽極電極は、金属部材に固定されていることを特徴とする。
請求項2に係る紫外線検出管は、紫外線を遮蔽する金属材料からなり開口部を有する側管、及び、紫外線を透過するガラス材料からなり側管の一方の開口部を塞ぐ窓部材を有する密閉容器と、密閉容器内の、窓部材に対向する位置に配置された陽極及び陰極電極と、密閉容器内に封入され放電が発生する気体と、陰極電極を固定するガラス材料を固定し、側管と溶接される金属部材とを備え、この金属部材は、側管の他方の開口部を塞ぐように側管に固定され、陽極電極は、側管の内面に固定されていることを特徴とする。
請求項3に係る紫外線検出管では、金属部材は、円形環状金属部材であり、側管及び円形環状部材の側壁下部はそれぞれ外側に向かって捲れるように湾曲し、これらの湾曲部が重なるように溶接されていることを特徴とする。
請求項4に係る紫外線検出管では、陽極電極は、金属部材の密閉容器の内側の面に固定されていることを特徴とする。
請求項5に係る紫外線検出管では、側管は、管軸方向に異なる直径を有し、これらの直径の境界において側管の内面に段差が形成されており、この段差の下面に陽極電極は溶接されていることを特徴とする。
側管は紫外線を遮蔽する金属材料からなるため、入射紫外線は紫外線透過性の材料からなる窓部材を介して検出管の陽極電極及び陰極電極方向に導入され、本検出管は高い指向性を有する。更に、側管は金属材料からなるので、この側管を密閉容器の底面側を構成する材料等に圧着又は溶接によって接続しても、フッ素等の不純物が、密閉容器及、陽極及び陰極電極に付着しない。したがって、本紫外線検出管においては、フッ素等の影響が除去され、密閉容器内に封入された気体の電離電圧及び陽極電極又は陰極電極の表面状態を安定に保持することができる。
なお、陽極電極及び陰極電極間の距離(放電隙間)の精度は、陽極電極及び金属部材の加工精度によって決定される。陰極電極が衝撃や加熱によって多少変形しても、陽極電極と陰極電極との間の間隔は高精度に保たれ、製造される紫外線検出管毎の特性誤差は低減される。
【0005】
【発明の実施の形態】
以下、実施の形態に係る紫外線検出管について説明する。同一要素には同一符号を用いるものとし、重複する説明は省略する。なお、以下の説明において、上及び下なる語は図面の上下に基づくものとする。
【0006】
図1は、実施の形態に係る紫外線検出管D1の平面図である。図2は、図1に示す紫外線検出管D1のA−A矢印断面図である。本検出管は、密閉容器V1及び密閉容器V1内に配置された陽極電極1及び陰極電極2を備える。
【0007】
密閉容器V1は、紫外線を遮蔽する金属材料からなり2つの開口部を有する側管3、紫外線を透過するガラス材料からなり側管3の一方の開口部を塞ぐ窓部材4、側管3の他方の開口部を塞ぐように側管3に固定された円環状金属部材5及び円環状金属部材5内の開口を埋めるように封止するガラス封止材料7を備える。側管3及び円環状金属部材5の側壁下部は、それぞれ外側に向かって捲れるように湾曲しており、これらの湾曲部が重なりあうように電気溶接されている。円環状金属部材5の側壁中央部は、側管3の側壁中央部に平行であり、円筒を構成している。円環状金属部材5の側壁上部は、内側に向かって湾曲しており、この上部湾曲部の外表面5aは陽極電極1の位置決めに用いられる。
【0008】
陽極電極1の窓部材4に対向する領域は、その周囲に対して陰極電極2側に凹んでおり、且つ、グリッド或いはメッシュ1mが形成されている。この陽極電極1は、その凹部の周囲から円環状金属部材5の位置決め用外表面5a方向に延びており、この延び方向の端部1aは円環状金属部材5の上端外表面5aに平行になるように、外側へ向かって湾曲している。陽極電極1は、その端部1aが外表面5aに対して固定されるのみで、円環状金属部材5に対して位置決めされる。
【0009】
陰極電極2は、陽極電極1の凹部に形成されたメッシュ領域1mに対向する位置に配置されており、陰極電極2の下面からは、円環状金属部材5の中央を貫くようにリードピン6が延びている。リードピン6は、円環状金属部材の開口内に充填されたガラス封止材料7内に埋設固定されており、したがって、陽極電極1は、その端部1aが円環状金属部材5の外表面5aに対して固定されるのみで、リードピン6に接続された陰極電極2に対して位置決めされる。ガラス封止材料7内には、密閉容器V1内部に通じた金属排気管8も埋設されている。金属排気管8は、密閉容器V1内にアルゴン等の希ガスを導入する際に用いられ、この気体の導入後、金属排気管8の外側の一端は封止される。なお、陰極電極2の材料は、仕事関数が4.1eV以上のものあればよいが、Ni(ニッケル)、Mo(モリブデン)又はW(タングステン)を用いることができる。本態様に係る陰極電極2の材料はNiであり、リードピン6及び側管3の材料はコバールである。また、窓部材4は、紫外線透過性のガラス(UVガラス)からなり、190nm程度までの紫外線を透過させる。さらに、このUVガラスが、紫外線透過性の硼硅酸ガラスからなる場合は、コバール金属との熱膨張係数を近くすることができるので、側管3に容易に取付けることができ、本紫外線検出管の製造を容易にすることができる。
【0010】
図3は、本紫外線検出管D1の駆動回路を示す回路図である。側管3とリードピン6との間に電源S1から抵抗R1及びR2を介して電圧を印加すると、陽極電極1と陰極電極2との間に電圧が印加され、電界が発生する。印加する電圧は、紫外線の入射によって陽極電極1と陰極電極2との間に放電が誘発する最低の電圧よりも高く、紫外線が入射しない場合において自発的に放電を誘発する最低の電圧よりも低い。本態様では、350V程度の電圧を印加する。側管3は紫外線を遮蔽する金属材料からなるため、入射紫外線は紫外線透過性の材料からなる窓部材4を介して検出管D1の陽極電極1及び陰極電極2方向に導入される。したがって、本検出管D1は高い指向性を有する。この状態で、窓部材4及び陽極電極1のメッシュ領域1mを通過して陰極電極2の表面に紫外線が照射されると、陰極電極2から光電子が放出される。発生した光電子は、陽極電極1と陰極電極2との間の電界によって、陽極電極1に向けて加速され、陽極電極1及び陰極電極2の間の気体分子に衝突して電子雪崩を引き起こす。電子雪崩によって、陽極電極1と陰極電極2との間に多数の陽イオンが発生し、この陽イオンは電界によって陰極電極2に向けて加速されて陰極電極2表面に衝突し、陰極電極2からは多くの2次電子が放出される。2次電子も光電子と同様に電子雪崩を発生するので、紫外線の入射によって陽極電極1と陰極電極2との間の放電電流が急激に増加する。放電電流の電荷はコンデンサC1によって供給されるが、放電電流の急激な増加に伴って陽極電極1と陰極電極2との間のバイアス電圧が低下するので、短い期間内に放電は終息し、結果として電流パルスとして紫外線が検知される。抵抗R2の両端には、放電電流パルスに相当する電圧パルスが発生し、これをモニタすることによって紫外線の検知がなされる。パルスの発生する頻度は、紫外線が弱い場合には、紫外線量に比例し、紫外線量が多くなると飽和する。
【0011】
次に、図1及び2に示した紫外線検出管D1の製造方法について説明する。まず、陰極電極2の下面にリードピン6を溶接する。溶接された陰極電極2及びリードピン6を円環状金属部材(金属シェル)5内にガラス封止材料7を用いて融着固定する。なお、この固定は、陰極電極2の上面が位置決め面5aから所定の高さになるように行い、金属排気管8もその上方の一端が位置決め面5aから上側に突出するようにガラス封止材料7を用いて円環状金属部材5内に固定する。次に、陽極電極1の下端部1aの下面を、位置決め面5a上に溶接する。したがって、陽極電極1のメッシュ領域1m及び陰極電極2の上面は、位置決め面5aを基準に位置決めされる。すなわち、陽極電極1及び陰極電極2間の距離(放電隙間)の精度は、陽極電極1及び円環状金属部材5の加工精度によって決定される。リードピン8に接続された陰極電極2が衝撃や加熱によって多少変形しても、陽極電極1と陰極電極2との間の間隔は高精度に保たれ、製造される紫外線検出管毎の特性誤差は低減される。
【0012】
次に、側管3の上部開口部を内側から塞ぐように、窓部材4を側管3の内側に融着する。しかる後、環状金属部材5の下端外側湾曲部(鍔部)の外面上に、側管(キャップ)3の下端外側湾曲部(鍔部)の内面が重なるように、側管3を円環状金属部材5上に被せ、これらの湾曲部を溶接する。側管3はガラスではなく、金属からできているので、紫外線透過性のガラス中に例えば1.9重量%含まれるフッ素は、この工程によっても密閉容器V1内に付着しない。また、側管3がガラスではないので、この溶接によって、ガラスの主成分であるシリカの蒸発が生じることもなく、このシリカ微粒子の密閉容器V1や電極1,2への付着による異常放電を防止することができる。次に、金属排気管8の下方の一端に真空排気装置を接続し、密閉容器V1内部の気体を排気するとともに、密閉容器V1を外側から加熱して、ベーキングを行う。密閉容器V1内の圧力が十分に低下し、略真空になった後、金属排気管8の下方の一端から還元性の混合気体を密閉容器V1内に導入する。気体の導入後、金属排気管8の下方の一端を挟んで圧着封止し、密閉容器V1内を気密状態にする。金属排気管8は、ガラスではないので、この一端の封止においても、フッ素やシリカが容器V1内に導入されることがない。なお、キャップ3を円環状金属部材5に溶接する前に、双方を真空チャンバ内に導入し、加熱した後、この真空チャンバ内に混合ガスを充満させ、これらを抵抗溶接法を用いて接続することとしても良い。この場合、排気管8は不用である。
【0013】
次に、別の実施の態様に係る紫外線検出管D2について説明する。図4は、本実施の形態に係る紫外線検出管D2の平面図である。図5は、図4に示す紫外線検出管D2のA−A矢印断面図である。本検出管は、側管3の上部及び陽極1の構造のみが図1及び図2に示したものと異なる。側管3は、その管軸方向の外壁上部と外壁下部の直径が異なり、外壁上部の直径は外壁下部の直径よりも小さく、外壁上部及び外壁下部の内面は、その境界で段差3sを形成する。側管3内面の段差3sは窓部材4に平行な下面3bを有する。段差3sの下面3bには、平板状の陽極電極1の外縁上面が溶接されている。環状金属部材5の下端鍔部の上面3cから段差3sの下面3bまでの距離は一定である。したがって、段差3sの下面3bに陽極電極1を溶接するのみで、陽極電極1は環状金属部材5の下端鍔部の上面3cに対して位置決めされる。陰極電極2の上面は、この鍔部上面3cからの距離が一定となるように、ガラス封止材料7で固定されている。したがって、陽極電極1中央部のメッシュ領域1mと陰極電極2の上面間の距離(放電隙間)は鍔部上面3cを基準とし、その精度は側管3の段差3s及び円環状金属部材5の加工精度によって決定される。本紫外線検出管D2においては、窓部材4で一方の開口が封止された側管3の段差3sに陽極電極1を固定した後、環状金属部材5の下端外側湾曲部(鍔部)の外面上に、側管3の下端外側湾曲部(鍔部)の内面が重なるように、側管3を円環状金属部材5上に被せ、これらの湾曲部を溶接して、密閉容器V1とする。
【0014】
【発明の効果】
本発明に係る紫外線検出管は、金属側管3を用いることにより、陽極電極1及び陰極電極2を側管3で包囲した後、ガラスの融着工程を経ることなく製造することができるので、密閉容器V1内へのフッ素及びシリカ粒子の混入を防ぐことができ、初期不良や特性劣化が減少し、信頼性の高い紫外線検出管を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】紫外線検出管の平面図。
【図2】紫外線検出管の断面図。
【図3】紫外線検出管の駆動回路の回路図。
【図4】紫外線検出管の平面図。
【図5】紫外線検出管の断面図。
【符号の説明】
3…側管、4…窓部材、V1…密閉容器、1…陽極電極、2…陰極電極。
Claims (5)
- 紫外線を遮蔽する金属材料からなり開口部を有する側管、及び、紫外線を透過するガラス材料からなり前記側管の一方の開口部を塞ぐ窓部材を有する密閉容器と、
前記密閉容器内の、前記窓部材に対向する位置に配置された陽極及び陰極電極と、
前記密閉容器内に封入され放電が発生する気体と、
前記陰極電極を固定するガラス材料を固定し、前記側管と溶接される金属部材と、
を備え、
この金属部材は、前記側管の他方の開口部を塞ぐように側管に固定され、
前記陽極電極は、前記金属部材に固定されていることを特徴とする紫外線検出管。 - 紫外線を遮蔽する金属材料からなり開口部を有する側管、及び、紫外線を透過するガラス材料からなり前記側管の一方の開口部を塞ぐ窓部材を有する密閉容器と、
前記密閉容器内の、前記窓部材に対向する位置に配置された陽極及び陰極電極と、
前記密閉容器内に封入され放電が発生する気体と、
前記陰極電極を固定するガラス材料を固定し、前記側管と溶接される金属部材と、
を備え、
この金属部材は、前記側管の他方の開口部を塞ぐように側管に固定され、
前記陽極電極は、前記側管の内面に固定されていることを特徴とする紫外線検出管。 - 前記金属部材は、円形環状金属部材であり、前記側管及び前記円形環状部材の側壁下部はそれぞれ外側に向かって捲れるように湾曲し、これらの湾曲部が重なるように溶接されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の紫外線検出管。
- 前記陽極電極は、前記金属部材の前記密閉容器の内側の面に固定されていることを特徴とする請求項1に記載の紫外線検出管。
- 前記側管は、管軸方向に異なる直径を有し、これらの直径の境界において前記側管の内面に段差が形成されており、この段差の下面に前記陽極電極は溶接されていることを特徴とする請求項2に記載の紫外線検出管。
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