JP2662346B2 - 光電子増倍管 - Google Patents
光電子増倍管Info
- Publication number
- JP2662346B2 JP2662346B2 JP4228649A JP22864992A JP2662346B2 JP 2662346 B2 JP2662346 B2 JP 2662346B2 JP 4228649 A JP4228649 A JP 4228649A JP 22864992 A JP22864992 A JP 22864992A JP 2662346 B2 JP2662346 B2 JP 2662346B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dynode
- electrons
- dynodes
- array
- row
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数の測定光を独立か
つ同時に検出し、電気信号として出力する光電子増倍管
に関するものである。
つ同時に検出し、電気信号として出力する光電子増倍管
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】マイクロタイタプレート（ＭＴＰ）を用
いる蛍光の測定や、複数のレーザー光の同時測定などに
おいては、独立して複数の測定光を同時に検出すること
が要望されている。この要望に対しては、マルチアノー
ド型と呼ばれる光電子増倍管が従来から用いられてい
る。
いる蛍光の測定や、複数のレーザー光の同時測定などに
おいては、独立して複数の測定光を同時に検出すること
が要望されている。この要望に対しては、マルチアノー
ド型と呼ばれる光電子増倍管が従来から用いられてい
る。
【０００３】図６〜図８は従来のマルチアノード型光電
子増倍管の一例を示している。この光電子増倍管のハウ
ジングであるガラスバルブ１は、その一端面に複数の入
射窓２が正方配列で形成されており、複数の測定光を受
光できるようになっている。各入射窓２の内側には、入
射測定光を光電子に変換するための光電面３が形成され
ている。ガラスバルブ１の内部には、複数の光電面３に
対向する位置に１枚の集束電極４が配置されており、そ
こに各光電面３に対応して開口５が設けられている。こ
の集束電極４の開口５はそれぞれ、光電面３からの光電
子を対応のダイノード列６に導くための入口となる。ダ
イノード列６において、光電子は各段のダイノード７の
二次電子放出効果により増倍され、その増倍された二次
電子は最終的に出力信号として陽極８で捕獲される。
子増倍管の一例を示している。この光電子増倍管のハウ
ジングであるガラスバルブ１は、その一端面に複数の入
射窓２が正方配列で形成されており、複数の測定光を受
光できるようになっている。各入射窓２の内側には、入
射測定光を光電子に変換するための光電面３が形成され
ている。ガラスバルブ１の内部には、複数の光電面３に
対向する位置に１枚の集束電極４が配置されており、そ
こに各光電面３に対応して開口５が設けられている。こ
の集束電極４の開口５はそれぞれ、光電面３からの光電
子を対応のダイノード列６に導くための入口となる。ダ
イノード列６において、光電子は各段のダイノード７の
二次電子放出効果により増倍され、その増倍された二次
電子は最終的に出力信号として陽極８で捕獲される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
光電子増倍管においては、各ダイノード列６のダイノー
ド７間に間隙が形成されているため、この間隙から二次
電子の一部が横方向に漏出する場合がある。図８には、
第１段のダイノード７′と第２段のダイノード７との間
から横方向に漏出した漏れ電子が点線の矢印で示されて
いる。この漏れ電子は、隣接のダイノード列６のダイノ
ード７間に混入し、いわゆるクロストーク（漏話）を生
じさせる。かかるクロストークは、各ダイノード列６の
独立性を損ね、測定光の検出精度を低下させるものであ
る。
光電子増倍管においては、各ダイノード列６のダイノー
ド７間に間隙が形成されているため、この間隙から二次
電子の一部が横方向に漏出する場合がある。図８には、
第１段のダイノード７′と第２段のダイノード７との間
から横方向に漏出した漏れ電子が点線の矢印で示されて
いる。この漏れ電子は、隣接のダイノード列６のダイノ
ード７間に混入し、いわゆるクロストーク（漏話）を生
じさせる。かかるクロストークは、各ダイノード列６の
独立性を損ね、測定光の検出精度を低下させるものであ
る。
【０００５】そこで、本発明の目的は、漏れ電子による
ダイノード列相互間のクロストークを防止することので
きるマルチアノード型光電子増倍管を提供することにあ
る。
ダイノード列相互間のクロストークを防止することので
きるマルチアノード型光電子増倍管を提供することにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、複数の測定光がそれぞれ入射される複数
の入射窓を一端面に有している透光性の密閉容器と、こ
れらの入射窓の内側にそれぞれ形成された複数の光電面
と、これらの光電面に対向する位置にそれぞれ配設され
た複数のダイノード列とを備える光電子増倍管におい
て、隣合うダイノード列間に、ダイノードからの漏れ電
子を遮断するシールド手段を設けたことを特徴としてい
る。
に、本発明は、複数の測定光がそれぞれ入射される複数
の入射窓を一端面に有している透光性の密閉容器と、こ
れらの入射窓の内側にそれぞれ形成された複数の光電面
と、これらの光電面に対向する位置にそれぞれ配設され
た複数のダイノード列とを備える光電子増倍管におい
て、隣合うダイノード列間に、ダイノードからの漏れ電
子を遮断するシールド手段を設けたことを特徴としてい
る。
【０００７】このシールド手段としては、隣合うダイノ
ード列の間であって、所定の段のダイノードの側部に配
置されたシールド板が好ましい。
ード列の間であって、所定の段のダイノードの側部に配
置されたシールド板が好ましい。
【０００８】また、一のダイノード列におけるダイノー
ドからの漏れ電子が隣接のダイノード列におけるダイノ
ードの二次電子放出面の背面により遮断されるように、
複数のダイノード列を配置しても良い。
ドからの漏れ電子が隣接のダイノード列におけるダイノ
ードの二次電子放出面の背面により遮断されるように、
複数のダイノード列を配置しても良い。
【０００９】
【作用】上記構成においては、ダイノード列間に設けら
れたシールド板等のシールド手段により、ダイノード列
から漏出した二次電子が遮断され、隣接のダイノード列
内への混入が防止される。これにより、漏れ電子による
ダイノード列相互間のクロストークが防止され、各ダイ
ノード列の独立性が向上する。
れたシールド板等のシールド手段により、ダイノード列
から漏出した二次電子が遮断され、隣接のダイノード列
内への混入が防止される。これにより、漏れ電子による
ダイノード列相互間のクロストークが防止され、各ダイ
ノード列の独立性が向上する。
【００１０】
【実施例】以下、図面と共に本発明の好適な実施例につ
いて詳細に説明する。なお、先に説明した従来構成と同
一又は相当部分には同一符号を付けることとする。
いて詳細に説明する。なお、先に説明した従来構成と同
一又は相当部分には同一符号を付けることとする。
【００１１】図１及び図２は本発明に従った第１の実施
例のマルチアノード型光電子増倍管を示している。図に
おいて、符号１は、透光性の密閉容器、具体的にはガラ
スバルブであり、その一端面には、図６に示したものと
同様に、複数の測定光がそれぞれ入射される複数の入射
窓２が４×４の正方配列で形成されている。各入射窓２
の内側には光電面３が形成され、また、各光電面３に対
向してダイノード列６が配置されている。光電面３とダ
イノード列６との間には１枚の集束電極４が配置され、
各ダイノード列６の入口部に相当する部分には開口５が
形成されている。
例のマルチアノード型光電子増倍管を示している。図に
おいて、符号１は、透光性の密閉容器、具体的にはガラ
スバルブであり、その一端面には、図６に示したものと
同様に、複数の測定光がそれぞれ入射される複数の入射
窓２が４×４の正方配列で形成されている。各入射窓２
の内側には光電面３が形成され、また、各光電面３に対
向してダイノード列６が配置されている。光電面３とダ
イノード列６との間には１枚の集束電極４が配置され、
各ダイノード列６の入口部に相当する部分には開口５が
形成されている。
【００１２】各ダイノード列６は同一構成であり、複数
のダイノード７を交互に段組みして構成されている。よ
り詳細には、各ダイノード７の湾曲壁部の凹面が二次電
子放出面となっているが、各ダイノード列６において、
隣合うダイノード７はその二次電子放出面が互いに対向
するように配置されている。同じ段に位置するダイノー
ド７は１枚の導電性の支持板９によって支持されてお
り、同一の正電圧が印加されるようになっている。最終
段のダイノード７″は板状であり、その前部には、そこ
から出射される二次電子を収集するための網状の陽極８
が配置されている。
のダイノード７を交互に段組みして構成されている。よ
り詳細には、各ダイノード７の湾曲壁部の凹面が二次電
子放出面となっているが、各ダイノード列６において、
隣合うダイノード７はその二次電子放出面が互いに対向
するように配置されている。同じ段に位置するダイノー
ド７は１枚の導電性の支持板９によって支持されてお
り、同一の正電圧が印加されるようになっている。最終
段のダイノード７″は板状であり、その前部には、そこ
から出射される二次電子を収集するための網状の陽極８
が配置されている。
【００１３】これらのダイノード列６は、同じ段に位置
するダイノード７の二次電子出射口が同方向に向くよう
に配列されている。例えば、第１段のダイノード７′に
ついては、その二次電子出射口が図２のＸ軸方向に向け
られている。ここで、Ｘ軸方向に一列に整列されたダイ
ノード列６を一グループとして、それぞれをグループ
Ａ、グループＢ、グループＣ、グループＤと称する。
するダイノード７の二次電子出射口が同方向に向くよう
に配列されている。例えば、第１段のダイノード７′に
ついては、その二次電子出射口が図２のＸ軸方向に向け
られている。ここで、Ｘ軸方向に一列に整列されたダイ
ノード列６を一グループとして、それぞれをグループ
Ａ、グループＢ、グループＣ、グループＤと称する。
【００１４】この第１の実施例では、隣合うグループ
Ａ，Ｂ間、グループＢ，Ｃ間及びグループＣ，Ｄ間のそ
れぞれに、導電性のシールド板１０がダイノード列６の
段毎に配置されている。シールド板１０は支持板９の下
面に垂直に溶接等によって取り付けられている。図３
は、シールド板１０の配置状態を詳細に示した部分斜視
図であり、明瞭化のために、支持板９を省略して示した
図である。
Ａ，Ｂ間、グループＢ，Ｃ間及びグループＣ，Ｄ間のそ
れぞれに、導電性のシールド板１０がダイノード列６の
段毎に配置されている。シールド板１０は支持板９の下
面に垂直に溶接等によって取り付けられている。図３
は、シールド板１０の配置状態を詳細に示した部分斜視
図であり、明瞭化のために、支持板９を省略して示した
図である。
【００１５】次に、このような構成において、本発明の
光電子増倍管の作用について説明する。複数の入射窓２
にそれぞれ測定光が入射すると、各測定光は光電面３に
より光電子に変換される。この光電子は集束電極４の開
口５を通って対応のダイノード列６の第１段のダイノー
ド７′に入射し、その二次電子放出面に衝突すること
で、二次電子が放出される。この二次電子は更に第２段
以降のダイノード７により順次増倍され、最終的に陽極
８で収集されて出力信号として光電子増倍管の外部に出
力される。
光電子増倍管の作用について説明する。複数の入射窓２
にそれぞれ測定光が入射すると、各測定光は光電面３に
より光電子に変換される。この光電子は集束電極４の開
口５を通って対応のダイノード列６の第１段のダイノー
ド７′に入射し、その二次電子放出面に衝突すること
で、二次電子が放出される。この二次電子は更に第２段
以降のダイノード７により順次増倍され、最終的に陽極
８で収集されて出力信号として光電子増倍管の外部に出
力される。
【００１６】ここで、グループＣの中のダイノード列
６′についてみると（図２参照）、二次電子がダイノー
ド列６′内を伝播中、その二次電子の一部がダイノード
７間の間隙から横方向（図２ではＹ軸方向）に漏出す
る。しかしながら、この漏れ電子の進行方向にはシール
ド板１０が設置されているため、この漏れ電子はシール
ド板１０により遮断される。従って、隣接のダイノード
列６におけるダイノード７間の間隙に漏れ電子が入り込
むことはなく、クロストークの発生が防止される。これ
は、ダイノード列６′の場合に限られず、他のダイノー
ド列６でも同様である。
６′についてみると（図２参照）、二次電子がダイノー
ド列６′内を伝播中、その二次電子の一部がダイノード
７間の間隙から横方向（図２ではＹ軸方向）に漏出す
る。しかしながら、この漏れ電子の進行方向にはシール
ド板１０が設置されているため、この漏れ電子はシール
ド板１０により遮断される。従って、隣接のダイノード
列６におけるダイノード７間の間隙に漏れ電子が入り込
むことはなく、クロストークの発生が防止される。これ
は、ダイノード列６′の場合に限られず、他のダイノー
ド列６でも同様である。
【００１７】また、ダイノード７の二次電子出射口から
Ｘ軸方向に発せられる二次電子は、その大部分が次段の
ダイノード７に入射する。しかし、図１で点線の矢印で
示すように、極めて僅かではあるが、二次電子の一部が
次段のダイノード７の上端を越えてＸ軸方向に漏洩す
る。このＸ軸方向の漏れ電子は同グループ内の隣接のダ
イノード列６に向かって進むが、隣接のダイノード列６
の同段に位置するダイノード７の二次電子放出面の背面
に衝突するため、漏れ電子が隣接のダイノード列６内に
混入することはない。よって、このＸ軸方向の漏れ電子
によってもクロストークは生じない。
Ｘ軸方向に発せられる二次電子は、その大部分が次段の
ダイノード７に入射する。しかし、図１で点線の矢印で
示すように、極めて僅かではあるが、二次電子の一部が
次段のダイノード７の上端を越えてＸ軸方向に漏洩す
る。このＸ軸方向の漏れ電子は同グループ内の隣接のダ
イノード列６に向かって進むが、隣接のダイノード列６
の同段に位置するダイノード７の二次電子放出面の背面
に衝突するため、漏れ電子が隣接のダイノード列６内に
混入することはない。よって、このＸ軸方向の漏れ電子
によってもクロストークは生じない。
【００１８】従って、各ダイノード列６の分離性、独立
性は極めて優れており、各入射窓２に入射した測定光の
検出結果は、他の測定光による影響による影響を受けて
いない精度の高いものとなる。
性は極めて優れており、各入射窓２に入射した測定光の
検出結果は、他の測定光による影響による影響を受けて
いない精度の高いものとなる。
【００１９】上記第１の実施例では、シールド板１０が
全段に設けられているが、漏れ電子の遮断はダイノード
列６の上段ほど効果があるので、上段部、例えば第１段
〜第３段のみにシールド板１０を設置するようにしても
良い。
全段に設けられているが、漏れ電子の遮断はダイノード
列６の上段ほど効果があるので、上段部、例えば第１段
〜第３段のみにシールド板１０を設置するようにしても
良い。
【００２０】上記実施例では、シールド板１０を設置す
ることで横漏れ電子の遮断を図っているが、ダイノード
列６を図４に示すような配列とすることによっても、横
漏れ電子の遮断を行うことができる。図４の配列は、各
ダイノード列６におけるダイノード７の二次電子放出面
を、Ｘ軸方向及びＹ軸方向において当該ダイノード列に
隣接するダイノード列におけるダイノードの二次電子放
出面の向きと９０度異なるように配置したものである。
即ち、図４の符号６ａで示すダイノード列における第１
段のダイノード７′はＸ軸方向に二次電子を出射し、符
号６ｂで示すダイノード列における第１段のダイノード
７′はＹ軸方向に二次電子を出射するように配列されて
いる。このような配列においては、ダイノード列６のダ
イノード７間から横方向に漏出した二次電子は、点線の
矢印で示すように、隣接するダイノード７の二次電子放
出面の背面に衝突し、そのダイノード７の属するダイノ
ード列６内に混入することはなく、従って、ダイノード
列相互間のクロストークが防止される。
ることで横漏れ電子の遮断を図っているが、ダイノード
列６を図４に示すような配列とすることによっても、横
漏れ電子の遮断を行うことができる。図４の配列は、各
ダイノード列６におけるダイノード７の二次電子放出面
を、Ｘ軸方向及びＹ軸方向において当該ダイノード列に
隣接するダイノード列におけるダイノードの二次電子放
出面の向きと９０度異なるように配置したものである。
即ち、図４の符号６ａで示すダイノード列における第１
段のダイノード７′はＸ軸方向に二次電子を出射し、符
号６ｂで示すダイノード列における第１段のダイノード
７′はＹ軸方向に二次電子を出射するように配列されて
いる。このような配列においては、ダイノード列６のダ
イノード７間から横方向に漏出した二次電子は、点線の
矢印で示すように、隣接するダイノード７の二次電子放
出面の背面に衝突し、そのダイノード７の属するダイノ
ード列６内に混入することはなく、従って、ダイノード
列相互間のクロストークが防止される。
【００２１】上記の２つの実施例における光電子増倍管
のダイノード列６は２次元配列となっているが、その中
のＸ軸方向又はＹ軸方向に沿う一グループのみを取り出
した形態、即ち、図５の（ａ）、（ｂ）又は（ｃ）に示
すような一次元配列のダイノード列であっても、クロス
トーク防止効果は二次元配列の場合と同様である。
のダイノード列６は２次元配列となっているが、その中
のＸ軸方向又はＹ軸方向に沿う一グループのみを取り出
した形態、即ち、図５の（ａ）、（ｂ）又は（ｃ）に示
すような一次元配列のダイノード列であっても、クロス
トーク防止効果は二次元配列の場合と同様である。
【００２２】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、複数の
ダイノード列相互間の漏れ電子によるクロストークが防
止され、ダイノード列の独立性は非常に高いものとな
る。従って、本発明による光電子増倍管を用いて複数の
測定光を同時に検出する場合、各測定光の検出結果は分
離性がよく、高精度のものとなる。
ダイノード列相互間の漏れ電子によるクロストークが防
止され、ダイノード列の独立性は非常に高いものとな
る。従って、本発明による光電子増倍管を用いて複数の
測定光を同時に検出する場合、各測定光の検出結果は分
離性がよく、高精度のものとなる。
【図１】本発明によるマルチアノード型光電子増倍管の
第１実施例を示す縦断面図である。
第１実施例を示す縦断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿っての横断面図である。
【図３】第１の実施例の光電子増倍管におけるシールド
板の配置を詳細に示す斜視図である。
板の配置を詳細に示す斜視図である。
【図４】本発明による光電子増倍管の第２の実施例を示
す、図２と同様な断面図である。
す、図２と同様な断面図である。
【図５】（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ、本発明が適用され
た一次元配列のダイノード列を示す概略説明図である。
た一次元配列のダイノード列を示す概略説明図である。
【図６】従来一般のマルチアノード型光電子増倍管の平
面図である。
面図である。
【図７】図６のＢ−Ｂ線に沿っての縦断面図である。
【図８】図７のＣ−Ｃ線に沿っての横断面図である。
１…ガラスバルブ（密閉容器）、２…入射窓、３…光電
面、４…集束電極、５…開口、６，６′，６ａ，６ｂ…
ダイノード列、７，７′，７″…ダイノード、８…陽
極、９…支持板、１０…シールド板。
面、４…集束電極、５…開口、６，６′，６ａ，６ｂ…
ダイノード列、７，７′，７″…ダイノード、８…陽
極、９…支持板、１０…シールド板。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 犬塚 雅之 静岡県浜松市市野町1126番地の１ 浜松 ホトニクス株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−261664（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】 複数の測定光がそれぞれ入射される複数
の入射窓を一端面に有している透光性の密閉容器と、前
記複数の入射窓の内側にそれぞれ形成された複数の光電
面と、前記複数の光電面に対向する位置にそれぞれ配設
された複数のダイノード列とを備える光電子増倍管にお
いて、 一の前記ダイノード列におけるダイノードからの漏れ電
子が隣接の前記ダイノード列におけるダイノードの二次
電子放出面の背面により遮断されるよう前記複数のダイ
ノード列を配置したことを特徴とする光電子増倍管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4228649A JP2662346B2 (ja) | 1992-08-27 | 1992-08-27 | 光電子増倍管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4228649A JP2662346B2 (ja) | 1992-08-27 | 1992-08-27 | 光電子増倍管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0676785A JPH0676785A (ja) | 1994-03-18 |
| JP2662346B2 true JP2662346B2 (ja) | 1997-10-08 |
Family
ID=16879648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4228649A Expired - Fee Related JP2662346B2 (ja) | 1992-08-27 | 1992-08-27 | 光電子増倍管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2662346B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4849521B2 (ja) * | 2006-02-28 | 2012-01-11 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電子増倍管および放射線検出装置 |
| JP5135114B2 (ja) * | 2008-08-06 | 2013-01-30 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電陰極およびその製造方法並びに光電子増倍管 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0795437B2 (ja) * | 1987-04-18 | 1995-10-11 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電子増倍管 |
-
1992
- 1992-08-27 JP JP4228649A patent/JP2662346B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0676785A (ja) | 1994-03-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5936348A (en) | Photomultiplier tube with focusing electrode plate | |
| US4881008A (en) | Photomultiplier with plural photocathodes | |
| EP0597667B1 (en) | Photomultiplier and electron multiplier | |
| JPH06103959A (ja) | 光電子増倍管の集合装置 | |
| US7102284B2 (en) | Photomultiplier | |
| US5616987A (en) | Electron multiplier | |
| US10186406B2 (en) | Multi-channel photomultiplier tube assembly | |
| US5180943A (en) | Photomultiplier tube with dynode array having venetian-blind structure | |
| JP3640464B2 (ja) | 電子増倍器及び光電子増倍管 | |
| JP2662346B2 (ja) | 光電子増倍管 | |
| JPH0864168A (ja) | 光電子増倍管 | |
| US5453609A (en) | Non cross talk multi-channel photomultiplier using guided electron multipliers | |
| JPH0572344A (ja) | 放射線検出装置 | |
| JP2803889B2 (ja) | 高い収集均一性を有する高速光電子増倍管 | |
| KR970077029A (ko) | 인덱스방식 칼라음극선관 | |
| US5210403A (en) | Radiation detecting device with a photocathode being inclined to a light incident surface | |
| JPH11329339A (ja) | 光電子増倍管及び分光測定装置 | |
| US5880458A (en) | Photomultiplier tube with focusing electrode plate having frame | |
| JPS593825B2 (ja) | 光電子増倍管 | |
| JP3620920B2 (ja) | 電子増倍器及び光電子増倍管 | |
| JPH07326315A (ja) | 正負イオン検出装置 | |
| USRE30249E (en) | Electron discharge device including an electron emissive electrode having an undulating cross-sectional contour | |
| JPH01211851A (ja) | 長尺光電子増倍管 | |
| JPH04345742A (ja) | 光電変換管 | |
| JPH11102657A (ja) | 光検出管 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |