JP3570771B2 - フラットネスミラー - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
この発明は、平面度を測定する際に用いられ、レーザ光を所要の角度方向に反射させるフラットネスミラーに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
工作機械のベッドや定盤などの平面度を測定する手段として、光の干渉を利用する平面度測定装置が知られており、この種の平面度測定装置の一種として、複数の軸上のピッチング角度を測定して、この測定値から平面度を演算する方法がある。このような方法で平面度を測定する際には、図4に示すように、同じ光軸上に配置されるレーザ光線発射装置aと、角度干渉計bと、角度ターゲットプリズムcとが用いられる。
【0003】
同図に示す角度干渉計bは、偏光ビームスプリッタb1 と反射ミラーb2 とを有している。角度ターゲットプリズムcは、入射した光を上方にシフトして反射出射させる一対のコーナープリズムc1 ,c2 とを有している。レーザ光線発射装置aの発光部から出射されたレーザ光Lは、角度干渉計bの偏光ビームスプリッタb1 で透過光L1 と反射光L2 に分けられ、反射光L2 は、反射ミラーb2 で反射して、透過光L1 と平行に出射される。
【0004】
角度干渉計bから出射した透過光L1 と反射光L2 とは、それぞれ角度ターゲットプリズムcのコーナープリズムc1 ,c2 で反射して、再び偏光ビームスプリッタb1 と反射ミラーb2 とに戻り、偏光ビームスプリッタb1 の部分で合成されて相互に干渉させられ、この合成された反射レーザ光L’がレーザ光線発射装置aの受光部で受光される。
【0005】
いまここで、角度ターゲットプリズムcを光軸に沿って前後に所定距離だけ移動させた際に、軸にピッチング変動があると、角度ターゲットプリズムcが傾斜し、透過光L1 と反射光L2 との間に光路差が発生する。このような光路差が発生すると、角度ターゲットプリズムcで反射した透過光L1 と反射光L2 の干渉縞が変化し、この干渉縞の変化を求めることにより、軸のピッチング角度が測定される。
【0006】
このようなピッチング角度を、例えば、図5に示すように、テーブルT上の複数の軸(X1 〜X3 ,Y1 〜Y2 ,Z1 〜Z2 )に沿って測定し、この測定によって得られたデータを演算処理することにより、テーブルTの平面度が求められる。
ところで、このようなピッチング角度の測定においては、レーザ光線発射装置aの光軸合わせが比較的面倒なので、通常、このレーザ光線発射装置aをある箇所に固定設置しておき、例えば、レーザ光Lの発射方向と直交する軸(Y1 〜Y2 )のピッチング角度を測定する際には、フラットネスミラーと呼ばれる反射鏡を、軸が交叉する角部に設置して、レーザ光Lと反射レーザ光L’の方向を変えて、測定しようする軸上に設置されている角度干渉計b側に反射させるとともに、反射レーザ光L’をレーザ光線発射装置a側に反射させて測定していた。
【0007】
このような用途に用いられるフラットネスミラーは、平面度を測定する面上に載置される基台と、この基台上で直立するように回転自在に支持された反射鏡とを有しており、このようなフラットネスミラーを使用する際には、レーザ光L,L’の光軸と、測定しようとする軸とを合わせるアライメント作業が必要になる。
【0008】
そこで、従来のこの種のフラットネスミラーでは、このようなアライメント作業を容易にするために、反射鏡の支持枠に中心を指す線を形成し、線の交点にレーザ光L,L’を照射する手段、あるいは、十字状のターゲットが表示された板をマグネットで反射鏡の表面に固定し、レーザ光L,L’の照射位置を確認した後板を反射鏡から取り除く手段、さらには、反射鏡が回転可能なので、その裏面側にターゲットを表示しておき、レーザ光L,L’の照射位置をこのターゲットで確認した後に、反射鏡を180°回転させる手段が採用されていた。
【0009】
しかしながら、このような従来のフラットネスミラーには、以下に説明する技術的な課題が指摘されていた。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
すなわち、まず、反射鏡の支持枠に線を形成する手段では、レーザ光L,L’の入射点が明確に判らないので、その照射点を中心軸上に合わせることが難しい。また、十字状のターゲットが表示された板をマグネットで反射鏡の表面に固定する手段や、反射鏡を180°回転させる手段では、板の着脱や反射鏡の回転といった余分な操作が必要になるとともに、これらの操作の際に、照射位置にズレが生じることもある。
【0011】
本発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、余分な操作を伴うことなく、照射点が正確に確認できるフラットネスミラーを提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明は、平面度を測定する面上に載置される平板状の基台と、この基台上で直立するように回転自在に支持された反射鏡部とを備え、レーザ光を角度干渉計側およびレーザ光線発射装置側に反射させるフラットネスミラーにおいて、前記反射鏡部は、前記レーザ光の入射側に形成され、このレーザ光に対応した波長の光のみを全反射させる反射膜と、この反射膜の背面側に設けられたターゲットマークとを有することを特徴とする。
前記反射鏡部は、一枚の透明板を有し、この透明板の前面側に前記反射膜を形成するとともに、前記透明板の裏面側に前記ターゲットマークを形成することができる。
前記反射膜は、誘電体多層膜から構成することができる。
【0013】
【作用】
上記構成のフラットネスミラーによれば、反射鏡部は、レーザ光の入射側に形成され、このレーザ光に対応した波長の光のみを全反射させる反射膜と、この反射膜の背面側に設けられたターゲットマークとを有しているので、レーザ光は、反射膜で全反射されるが、これ以外の波長の光が反射膜を透過して、反射膜の背面側のターゲットマークを視認することができる。
【0014】
【実施例】
以下本発明の好適な実施例について添附図面を参照して詳細に説明する。図1から図3は、本発明にかかるフラットネスミラーの一実施例を示している。同図に示すフラットネスミラーは、基台10と反射鏡部12とを有している。基台10は、平板状のものであって、平面度が測定される面、例えば、図5に示したテーブルT上に載置され、その長手方向の一端側には、幅方向の中心に円形状の凹部14が形成され、この凹部14の中心には、貫通孔16が設けられている。
【0015】
反射鏡部12は、角形状の支持枠18と、この支持枠18の下部に一体形成された円板部20とを有していて、円板部20の下面には、その中心から下方に突出する回転軸部22が設けられている。支持枠18は、円板部20の中心から偏心した位置にあって、円板部20上に直立するように設けられており、その中心に角形の窓孔24が貫通形成されている。
【0016】
円板部20は、基台10の凹部14に嵌合されるものであり、その外径が凹部14の内周径とほぼ同じ大きさに形成されている。回転軸部22は、基台10の貫通孔16内に嵌合挿入されるものであって、その軸心が反射鏡部12の回転中心になる。支持枠18に設けられた窓枠24には、透明ガラス板26と、裏蓋板28とが嵌着固定されている。
【0017】
透明ガラス板26の前面側、すなわち、レーザ光の入射する側には、透明ガラス板26の前面に渡って反射膜30が形成されるとともに、透明ガラス板26の背面側には、十字状のターゲットマーク32が上下方向に所定の間隔をおいて、同軸上に2個形成されている。
そして、反射膜30が形成された透明ガラス板26の面が、回転軸部22の軸心と一致するように設定されており、かつ、この反射膜30が形成された面が基台10に対して直立するようになっており、この反射膜30は、レーザ光に対応する波長の光、例えば、633 nmの波長の光のみを全反射し、これ以外の波長の光を透過するものであって、例えば、誘電体多層膜で形成される。
【0018】
さて、以上のように構成された本実施例のフラットネスミラーは、前述したテーブルTの平面度を測定する際に、実測されるピッチング角度の測定に使用されるものであって、例えば、図5に示したY1 軸のピッチング角度を測定する際には、Y1 軸上に角度干渉計bと角度ターゲットプリズムcが設置され、X1 軸とY1 軸との交点にフラットネスミラーが設置される。
【0019】
このとき、本実施例のフラットネスミラーでは、反射鏡部12は、レーザ光の入射側に形成され、このレーザ光に対応した波長の光のみを全反射させる反射膜30と、この反射膜30の背面側に設けられたターゲットマーク32とを有しているので、レーザ光は、反射膜30で全反射されるが、図3に示すように、これ以外の波長の光が反射膜30を透過して、反射膜30の背面側のターゲットマーク32を視認することができる。
【0020】
従って、レーザ光の光軸と、角度干渉計bや角度ターゲットプリズムcの測定系の光軸とを一致させるアライメント作業の際には、レーザ光線発射装置a側から発射されたレーザ光Lと、角度干渉計b側から出射された反射レーザ光L’とがそれぞれ上下方向に形成された2つのターゲットマーク32上を照射するようにセットするとアライメント作業が完了し、ターゲットが表示された板を着脱したり、あるいは、反射鏡を回転させるといった余分な作業を伴うことなく、確実に一致させることができ、測定の精度を確保しつつ、アライメント作業も迅速に行なえる。
【0021】
なお、上記実施例では、透明ガラス板26の前面側に反射膜30を形成し、その背面側にターゲットマーク32を形成した場合を例示したが、本発明の実施は、これに限定されることはなく、例えば、ガラス板26の前面にターゲツトマーク32を形成し、その上面側に反射膜30を形成してもよい。
【0022】
【発明の効果】
以上、実施例で詳細に説明したように、本発明にかかるフラットネスミラーによれば、余分な操作を伴うことなく、照射点が正確に確認できるので、測定の精度が向上するとともに、アライメント作業の迅速に行なえる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかるフラットネスミラーの一実施例を示す斜視図である。
【図2】図1のA−A線断面図である。
【図3】図1の反射鏡部の正面図である。
【図4】ピッチング角度の測定状態の説明図である。
【図5】テーブル上の複数の軸に対するピッチング角度を測定する際に説明図である。
【符号の説明】
10 基台
12 反射鏡部
14 凹部
16 貫通孔
18 支持枠
20 円板部
22 回転軸部
24 窓孔
26 透明ガラス板
28 裏蓋板
30 反射膜
32 ターゲットマーク
Claims (3)
- 平面度を測定する面上に載置される平板状の基台と、この基台上で直立するように回転自在に支持された反射鏡部とを備え、レーザ光を角度干渉計側およびレーザ光線発射装置側に反射させるフラットネスミラーにおいて、
前記反射鏡部は、前記レーザ光の入射側に形成され、このレーザ光に対応した波長の光のみを全反射させる反射膜と、
この反射膜の背面側に設けられたターゲットマークとを有することを特徴とするフラットネスミラー。 - 前記反射鏡部は、一枚の透明板を有し、この透明板の前面側に前記反射膜を形成するとともに、前記透明板の裏面側に前記ターゲットマークを形成したことを特徴とするフラットネスミラー。
- 前記反射膜は、誘電体多層膜からなることを特徴とする請求項1記載のフラットネスミラー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08718895A JP3570771B2 (ja) | 1995-04-12 | 1995-04-12 | フラットネスミラー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP08718895A JP3570771B2 (ja) | 1995-04-12 | 1995-04-12 | フラットネスミラー |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08286008A JPH08286008A (ja) | 1996-11-01 |
JP3570771B2 true JP3570771B2 (ja) | 2004-09-29 |
Family
ID=13908022
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP08718895A Expired - Lifetime JP3570771B2 (ja) | 1995-04-12 | 1995-04-12 | フラットネスミラー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3570771B2 (ja) |
-
1995
- 1995-04-12 JP JP08718895A patent/JP3570771B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08286008A (ja) | 1996-11-01 |
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