JP2006284303A - 傾斜測定干渉計装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源部21からの低可干渉性の光束を、被検体1に照射される第1の光束と基準光とされる第2の光束とに分岐するビームスプリッタ25と、被検体1の光学面11A〜11Dの各々を第1の光束の照射位置に順次移動させ得る回転支持手段3と、光学面11A〜11Dが移動される毎に、被検面の傾斜情報を担持した干渉縞が得られるように、第2の光束の光路長を調整する光路長調整手段60とを設ける。光学面11A〜11Dそれぞれに対応した干渉縞に基づき、解析部5において、光学面11A〜11Dの相対傾斜角度を求める。
【選択図】 図1
Description
低可干渉性の光束を出力する光源部と、
該光源部からの前記光束を、前記被検体に照射される第1の光束と、基準光とされる第2の光束とに分岐する分岐手段と、
前記被検体を所定の軸線周りに回転可能に支持し、該回転により前記複数の光学面の各々を前記第1の光束の照射位置に順次移動させ得る回転支持手段と、
該回転支持手段による回転角度を検出する回転角度検出手段と、
前記被検体から反射された前記第1の光束を、前記基準光とされた前記第2の光束と合波する合波手段と、
前記照射位置に対して前記複数の光学面の各々が移動される毎に、該照射位置に位置した被検面から反射された被検光束と前記基準光とされた前記第2の光束との干渉により前記被検面の傾斜情報を担持した干渉縞が得られるように、前記第1および第2の光束の少なくとも一方の光路長を調整する光路長調整手段と、
前記複数の光学面それぞれに対応した前記干渉縞に基づき、前記照射位置における前記複数の光学面それぞれの傾きを求め、求められた該傾きと検出された前記回転角度とに基づき、前記相対傾斜角度を求める解析手段と、を備えていることを特徴とする。
図1に示す傾斜測定干渉計装置は、被検体1に関する干渉縞画像を得るためのマイケルソン型の干渉計2と、被検体1を回転可能に支持する回転支持手段3と、ミラー傾斜検出手段としてのフィゾー型の干渉計4と、得られた縞画像の解析等を行なう解析部5とを備えてなる。なお、本実施形態において被検体1は、図2に示すように、三角柱状の2つのプリズムが互いに接合されてなる立方体状のビームスプリッタであり、4つの光学面11A〜11Dと、光束分岐面12とを有してなる。
以下、上述した傾斜測定干渉計装置による上記被検体1の測定手順について説明する。なお、図2に示した3次元の直角座標系は、上記第1の光束の軸線L1に対して設定されたものであり、3つの座標軸のうちのX軸が上記軸線L1と平行となっている。また、以下の説明では、上記回転テーブル31の回転の軸線Rと、上記第1の光束の軸線L1とは、互いに直交するように調整されているものとする。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限られるものではなく、種々に態様を変更することが可能である。
2 干渉計
3 回転支持手段
4 干渉計(ミラー傾斜検出手段)
5 解析部
11A〜D 光学面
12,25a,43a 光束分岐面
21 (低可干渉性の光束を出力する)光源部
22 収束レンズ
23 ピンホール板
23a ピンホール
24,42 コリメータレンズ
25,43 ビームスプリッタ
26,45 結像レンズ
27,46 撮像カメラ
31 回転テーブル
41 (高可干渉性の光束を出力する)光源部
44 基準板
44a 基準面
51 コンピュータ(解析手段)
52 入力装置
53 表示装置
60 光路長調整手段
61 両面反射ミラー
61a 第1反射面
61b 第2反射面
62 移動支持手段
63 ホルダ
64 圧電素子
65 ブラケット
66 移動ステージ
L1,L2,L3 (光束の)軸線
R (回転テーブルの)軸線
X,Y,Z 座標軸
αY,αZ 傾斜角度
Claims (4)
- 被検体が有する複数の光学面の相対傾斜角度を測定する傾斜測定干渉計装置であって、
低可干渉性の光束を出力する光源部と、
該光源部からの前記光束を、前記被検体に照射される第1の光束と、基準光とされる第2の光束とに分岐する分岐手段と、
前記被検体を所定の軸線周りに回転可能に支持し、該回転により前記複数の光学面の各々を前記第1の光束の照射位置に順次移動させ得る回転支持手段と、
該回転支持手段による回転角度を検出する回転角度検出手段と、
前記被検体から反射された前記第1の光束を、前記基準光とされた前記第2の光束と合波する合波手段と、
前記照射位置に対して前記複数の光学面の各々が移動される毎に、該照射位置に位置した被検面から反射された被検光束と前記基準光とされた前記第2の光束との干渉により前記被検面の傾斜情報を担持した干渉縞が得られるように、前記第1および第2の光束の少なくとも一方の光路長を調整する光路長調整手段と、
前記複数の光学面それぞれに対応した前記干渉縞に基づき、前記照射位置における前記複数の光学面それぞれの傾きを求め、求められた該傾きと検出された前記回転角度とに基づき、前記相対傾斜角度を求める解析手段と、
を備えていることを特徴とする傾斜測定干渉計装置。 - 前記光路長調整手段は、前記第2の光束の光路上において該第2の光束の軸線と略直交するように配置された反射ミラーと、該反射ミラーを前記第2の光束の前記軸線の方向に移動可能に支持する移動ステージとを備えてなることを特徴とする請求項1記載の傾斜測定干渉計装置。
- 前記反射ミラーが移動した際の該反射ミラーの傾きを検出するミラー傾斜検出手段を備えていることを特徴とする請求項2記載の傾斜測定干渉計装置。
- 前記被検体は、前記第1の光束が照射された際、前記照射位置に位置する前記被検面からの前記被検光束に重畳される、該被検面以外の面からの反射光を発生させる多層反射物体であることを特徴とする請求項1〜3のうちいずれか1項記載の傾斜測定干渉計装置。
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JP2011514969A (ja) * | 2008-03-10 | 2011-05-12 | ハイデルベルク・インストルメンツ・ミクロテヒニツク・ゲー・エム・ベー・ハー | 変位のための方法および装置 |
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2005
- 2005-03-31 JP JP2005102933A patent/JP4781702B2/ja not_active Expired - Fee Related
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