JPH06102030A - 平面度測定装置 - Google Patents
平面度測定装置Info
- Publication number
- JPH06102030A JPH06102030A JP34870291A JP34870291A JPH06102030A JP H06102030 A JPH06102030 A JP H06102030A JP 34870291 A JP34870291 A JP 34870291A JP 34870291 A JP34870291 A JP 34870291A JP H06102030 A JPH06102030 A JP H06102030A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pentaprism
- measured
- light
- plane
- laser light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被測定面上にレーザ光による正確な基準平面
を形成し、被測定面の平面度を精度よく測定する。 【構成】 レーザ管１１からのレーザ光Ｒを直角に偏向
させて回転するペンタプリズム１４によって被測定面１
Ａ上にレーザ光Ｒによる基準平面を形成する。そして、
レーザ光Ｒを被測定面１Ａ上に載置されたコーナーキュ
ーブ１６に入射させ、該コーナーキューブ１６は基準平
面と被測定面１Ａとの間の寸法に応じて平行に変位させ
た反射光を反射する。受光位置検出器１８はコーナーキ
ューブ１６からの反射光を検出し、この受光位置の変化
から被測定面１Ａの平面度を測定する。
を形成し、被測定面の平面度を精度よく測定する。 【構成】 レーザ管１１からのレーザ光Ｒを直角に偏向
させて回転するペンタプリズム１４によって被測定面１
Ａ上にレーザ光Ｒによる基準平面を形成する。そして、
レーザ光Ｒを被測定面１Ａ上に載置されたコーナーキュ
ーブ１６に入射させ、該コーナーキューブ１６は基準平
面と被測定面１Ａとの間の寸法に応じて平行に変位させ
た反射光を反射する。受光位置検出器１８はコーナーキ
ューブ１６からの反射光を検出し、この受光位置の変化
から被測定面１Ａの平面度を測定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば工作物の芯出
し、罫書き等の作業に用いられる定盤のような比較的
中，大規模なものの平面度を測定するのに用いて好適な
平面度測定装置に関し、特に測定精度および測定の操作
性の向上を図ることができる平面度測定装置に関する。
し、罫書き等の作業に用いられる定盤のような比較的
中，大規模なものの平面度を測定するのに用いて好適な
平面度測定装置に関し、特に測定精度および測定の操作
性の向上を図ることができる平面度測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術による平面度測定方法としては
ＪＩＳＢ７５１３等が知られており、それに準じた平面
度測定装置として図５ないし図７にオートコリメータを
用いたものを例に挙げて説明する。
ＪＩＳＢ７５１３等が知られており、それに準じた平面
度測定装置として図５ないし図７にオートコリメータを
用いたものを例に挙げて説明する。
【０００３】図中、１は平面度の測定対象となる定盤、
２は移動台２Ａ上に垂直に取付けられた反射鏡を示し、
該反射鏡２は図６に示す如く、定盤１の被測定面１Ａ上
の４隅の基準点Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄを結ぶ例えば４本の測定
線１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅに沿って、後述のオートコリ
メータ３に対向させながら移動されるようになってい
る。
２は移動台２Ａ上に垂直に取付けられた反射鏡を示し、
該反射鏡２は図６に示す如く、定盤１の被測定面１Ａ上
の４隅の基準点Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄを結ぶ例えば４本の測定
線１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅに沿って、後述のオートコリ
メータ３に対向させながら移動されるようになってい
る。
【０００４】３はオートコリメータを示し、該オートコ
リメータ３は鏡筒３Ａの先端部３Ｂから反射鏡２に向け
て図示しない十字形の標線を投影し、測定者は該反射鏡
２に写った標線の像を鏡筒３Ａの基端部３Ｃ側から観察
することにより、標線とこの像とのずれから反射鏡２の
傾きθｉを計測するようになっている。
リメータ３は鏡筒３Ａの先端部３Ｂから反射鏡２に向け
て図示しない十字形の標線を投影し、測定者は該反射鏡
２に写った標線の像を鏡筒３Ａの基端部３Ｃ側から観察
することにより、標線とこの像とのずれから反射鏡２の
傾きθｉを計測するようになっている。
【０００５】そして、被測定面１Ａの平面度を測定する
には、まず、オートコリメータ３を基準点Ａから基準点
Ｂを臨むようにして、該オートコリメータ３の光軸と測
定線１Ｂとが平行となるように、定盤１の角隅外側に設
置した後、反射鏡２を移動台２Ａの支点間隔Ｌに等しい
距離ずつ測定線１Ｂに沿わせて順次移動させつつ、反射
鏡２の傾きθｉをプロットし、これにより、図７に示す
如く距離Ｌ毎の高さｈi の累積値△ｈを求め、測定線１
Ｂの真直度を得る。
には、まず、オートコリメータ３を基準点Ａから基準点
Ｂを臨むようにして、該オートコリメータ３の光軸と測
定線１Ｂとが平行となるように、定盤１の角隅外側に設
置した後、反射鏡２を移動台２Ａの支点間隔Ｌに等しい
距離ずつ測定線１Ｂに沿わせて順次移動させつつ、反射
鏡２の傾きθｉをプロットし、これにより、図７に示す
如く距離Ｌ毎の高さｈi の累積値△ｈを求め、測定線１
Ｂの真直度を得る。
【０００６】続いて、オートコリメータ３を基準点Ａか
ら基準点Ｄを臨む位置に移動させ、再度オートコリメー
タ３の光軸と測定線１Ｃとが平行となるように設置した
後、反射鏡２を距離Ｌずつ測定線１Ｃに沿わせて順次移
動させ、反射鏡２の傾きθｉをプロットし、前述したの
と同様の方法で測定線１Ｃの真直度を求める。以下、同
様にオートコリメータ３を移動させ、測定線１Ｄ，１Ｅ
および各測定線１Ｂ，１Ｅ、１Ｃ，１Ｄ上の中点を結ぶ
測定線についても真直度の測定を行い、複数の測定点の
最高値と最低値の差より被測定面１Ａの平面度を求める
ようになっている。
ら基準点Ｄを臨む位置に移動させ、再度オートコリメー
タ３の光軸と測定線１Ｃとが平行となるように設置した
後、反射鏡２を距離Ｌずつ測定線１Ｃに沿わせて順次移
動させ、反射鏡２の傾きθｉをプロットし、前述したの
と同様の方法で測定線１Ｃの真直度を求める。以下、同
様にオートコリメータ３を移動させ、測定線１Ｄ，１Ｅ
および各測定線１Ｂ，１Ｅ、１Ｃ，１Ｄ上の中点を結ぶ
測定線についても真直度の測定を行い、複数の測定点の
最高値と最低値の差より被測定面１Ａの平面度を求める
ようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来技術によるものでは、光学系の主要部であるオートコ
リメータ３を各測定線１Ｂ〜１Ｅに沿うように何回も移
動してはその光軸を被測定面１Ａ上の各測定線１Ｂ〜１
Ｅと平行に調整する必要があり、このときオートコリメ
ータ３の光軸と測定線とがずれ易いため、例えば基準点
Ａから測定線１Ｂ，１Ｄとを経て求めた基準点Ｃの値と
基準点Ａから測定線１Ｃ，１Ｅを経て求めた基準点Ｃの
値とが一致しないことがあり、精度の高い計測を行うこ
とが難しいという問題がある。
来技術によるものでは、光学系の主要部であるオートコ
リメータ３を各測定線１Ｂ〜１Ｅに沿うように何回も移
動してはその光軸を被測定面１Ａ上の各測定線１Ｂ〜１
Ｅと平行に調整する必要があり、このときオートコリメ
ータ３の光軸と測定線とがずれ易いため、例えば基準点
Ａから測定線１Ｂ，１Ｄとを経て求めた基準点Ｃの値と
基準点Ａから測定線１Ｃ，１Ｅを経て求めた基準点Ｃの
値とが一致しないことがあり、精度の高い計測を行うこ
とが難しいという問題がある。
【０００８】また、オートコリメータ３の移動と設置を
繰り返すため、該オートコリメータ３を正確に設置する
ことが難しく、設置の際の調整作業に非常に手間がかか
るという問題がある。
繰り返すため、該オートコリメータ３を正確に設置する
ことが難しく、設置の際の調整作業に非常に手間がかか
るという問題がある。
【０００９】本発明は上述した従来技術の問題に鑑みな
されたもので、測定の基準となる基準平面を高精度に形
成でき、精度良く平面度の計測を行うことができる平面
度測定装置を提供することを目的としている。
されたもので、測定の基準となる基準平面を高精度に形
成でき、精度良く平面度の計測を行うことができる平面
度測定装置を提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明が採用する構成は、レーザ光源と、回転軸が該
レーザ光源から出射されるレーザ光の光路上に位置して
被測定面上に回転可能に設けられ、前記レーザ光源から
のレーザ光を直角に偏向させて該回転軸に垂直な基準平
面を形成するペンタプリズムと、前記被測定面上に移動
可能に設けられ、該ペンタプリズムからのレーザ光を前
記基準平面と被測定面との間の高さ寸法に応じて平行に
変位させて該ペンタプリズムに向けて反射する反射体
と、該反射体からペンタプリズムを介して入射したレー
ザ光を受光し、受光位置の変位から前記被測定面の平面
度を検出する受光部とからなる。
に本発明が採用する構成は、レーザ光源と、回転軸が該
レーザ光源から出射されるレーザ光の光路上に位置して
被測定面上に回転可能に設けられ、前記レーザ光源から
のレーザ光を直角に偏向させて該回転軸に垂直な基準平
面を形成するペンタプリズムと、前記被測定面上に移動
可能に設けられ、該ペンタプリズムからのレーザ光を前
記基準平面と被測定面との間の高さ寸法に応じて平行に
変位させて該ペンタプリズムに向けて反射する反射体
と、該反射体からペンタプリズムを介して入射したレー
ザ光を受光し、受光位置の変位から前記被測定面の平面
度を検出する受光部とからなる。
【００１１】
【作用】上記構成により、反射体にレーザ光源からペン
タプリズムを介してレーザ光が入射すると、該反射体は
このレーザ光をペンタプリズムの回転により形成される
基準平面と被測定面との間の高さ寸法に応じて平行に変
位させ、ペンタプリズムに向けて反射する。そして、受
光部は該反射体から戻ったレーザ光を受光して受光位置
の変位を検出し、被測定面の平面度を検出する。
タプリズムを介してレーザ光が入射すると、該反射体は
このレーザ光をペンタプリズムの回転により形成される
基準平面と被測定面との間の高さ寸法に応じて平行に変
位させ、ペンタプリズムに向けて反射する。そして、受
光部は該反射体から戻ったレーザ光を受光して受光位置
の変位を検出し、被測定面の平面度を検出する。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１ないし図４に基
づき詳述する。なお、前述の従来技術と同一の構成要素
に同一の符号を付し、その説明を省略するものとする。
づき詳述する。なお、前述の従来技術と同一の構成要素
に同一の符号を付し、その説明を省略するものとする。
【００１３】図中、１１はレーザ光源としてのレーザ管
を示し、該レーザ管１１はレーザ光Ｒを一側から他側に
向けて出射する。１２はハーフミラーを示し、該ハーフ
ミラー１２は一側から他側に進行する光線のみを透過さ
せ、逆方向の光線は反射するようになっている。
を示し、該レーザ管１１はレーザ光Ｒを一側から他側に
向けて出射する。１２はハーフミラーを示し、該ハーフ
ミラー１２は一側から他側に進行する光線のみを透過さ
せ、逆方向の光線は反射するようになっている。
【００１４】１３は平面鏡を示し、該平面鏡１３は前記
レーザ管１１からのレーザ光Ｒを下向きに反射して、後
述するペンタプリズム１４の一の入出射面１４Ａに垂直
に入射させるものである。
レーザ管１１からのレーザ光Ｒを下向きに反射して、後
述するペンタプリズム１４の一の入出射面１４Ａに垂直
に入射させるものである。
【００１５】１４は定盤１上に載置されたペンタプリズ
ムを示し、該ペンタプリズム１４には、互いに直交する
一の入出射面１４Ａ，他の入出射面１４Ｂと、４５°の
頂角θをもって交叉する２個の反射面１４Ｃ，１４Ｄと
によって形成されている。そして、該ペンタプリズム１
４は、一の入出射面１４Ａから入射したレーザ光Ｒを各
反射面１４Ｃ，１４Ｄで反射して直角に偏向させ、他の
入出射面１４Ｂから後述のコーナーキューブ１６に向け
て出射させるようになっている。また、該ペンタプリズ
ム１４は回転軸Ｚ（図３参照）を中心として回転可能な
ように、後述の回転台１５に搭載されている。ここで、
ペンタプリズム１４の回転軸Ｚをレーザ光Ｒと一致させ
ることにより、ペンタプリズム１４はレーザ光Ｒを直角
に偏向させつつ回転軸Ｚを中心として回転し、被測定面
１Ａ上にレーザ光Ｒからなる水平な基準平面を形成する
ようになっている。そして、被測定面１Ａ上の各測定点
上で各測定点と基準平面との間隔を計測することによ
り、被測定面１Ａの平面度を測定することができる。
ムを示し、該ペンタプリズム１４には、互いに直交する
一の入出射面１４Ａ，他の入出射面１４Ｂと、４５°の
頂角θをもって交叉する２個の反射面１４Ｃ，１４Ｄと
によって形成されている。そして、該ペンタプリズム１
４は、一の入出射面１４Ａから入射したレーザ光Ｒを各
反射面１４Ｃ，１４Ｄで反射して直角に偏向させ、他の
入出射面１４Ｂから後述のコーナーキューブ１６に向け
て出射させるようになっている。また、該ペンタプリズ
ム１４は回転軸Ｚ（図３参照）を中心として回転可能な
ように、後述の回転台１５に搭載されている。ここで、
ペンタプリズム１４の回転軸Ｚをレーザ光Ｒと一致させ
ることにより、ペンタプリズム１４はレーザ光Ｒを直角
に偏向させつつ回転軸Ｚを中心として回転し、被測定面
１Ａ上にレーザ光Ｒからなる水平な基準平面を形成する
ようになっている。そして、被測定面１Ａ上の各測定点
上で各測定点と基準平面との間隔を計測することによ
り、被測定面１Ａの平面度を測定することができる。
【００１６】１５は回転台を示し、該回転台１５はＸＹ
テーブル１５Ａと、該ＸＹテーブル上に設けられた回転
テーブル１５Ｂと、ＸＹテーブル１５Ａの下側に設けら
れた調整ねじ１５Ｃ，１５Ｃ，…とから構成されてい
る。そして、前記ペンタプリズム１４は該回転台１５の
回転テ−ブル１５Ｂ上に載置され、該ペンタプリズム１
４を回転軸Ｚを中心として回転させるものである。
テーブル１５Ａと、該ＸＹテーブル上に設けられた回転
テーブル１５Ｂと、ＸＹテーブル１５Ａの下側に設けら
れた調整ねじ１５Ｃ，１５Ｃ，…とから構成されてい
る。そして、前記ペンタプリズム１４は該回転台１５の
回転テ−ブル１５Ｂ上に載置され、該ペンタプリズム１
４を回転軸Ｚを中心として回転させるものである。
【００１７】１６は被測定面１Ａ上に載置された反射体
としてのコーナーキューブを示し、該コーナーキューブ
１６はペンタプリズム１４からのレーザ光Ｒが入射する
と、このレーザ光Ｒを入射光と平行に反射してペンタプ
リズム１４に戻すものである。また、該コーナーキュー
ブ１６は回転台１７Ａを有する移動台１７上に搭載され
ている。
としてのコーナーキューブを示し、該コーナーキューブ
１６はペンタプリズム１４からのレーザ光Ｒが入射する
と、このレーザ光Ｒを入射光と平行に反射してペンタプ
リズム１４に戻すものである。また、該コーナーキュー
ブ１６は回転台１７Ａを有する移動台１７上に搭載され
ている。
【００１８】１８は受光部としての受光位置検出器を示
し、該受光位置検出器１８は例えばポジションセンシン
グデバイス（以下、「ＰＳＤ」という）とＣＰＵ（いず
れも図示せず）等から構成され、該ＰＳＤは前記コーナ
ーキューブ１６からペンタプリズム１４，平面鏡１３等
を介して戻されたレーザ光Ｒを受光して受光位置に相当
する電気信号に変換し、ＣＰＵはこの電気信号から戻さ
れたレーザ光Ｒの変位を検出するようになっている。
し、該受光位置検出器１８は例えばポジションセンシン
グデバイス（以下、「ＰＳＤ」という）とＣＰＵ（いず
れも図示せず）等から構成され、該ＰＳＤは前記コーナ
ーキューブ１６からペンタプリズム１４，平面鏡１３等
を介して戻されたレーザ光Ｒを受光して受光位置に相当
する電気信号に変換し、ＣＰＵはこの電気信号から戻さ
れたレーザ光Ｒの変位を検出するようになっている。
【００１９】本実施例による平面度測定装置は上述の如
き構成を有するもので、次にその作動について説明す
る。
き構成を有するもので、次にその作動について説明す
る。
【００２０】まず、レーザ管１１から発せられたレーザ
光Ｒはハーフミラー１２を透過して平面鏡１３に入射
し、該平面鏡１３により垂直方向下向きに反射されて、
ペンタプリズム１４の一の入出射面１４Ａに入射する。
このレーザ光Ｒは、該ペンタプリズム１４の各反射面１
４Ｃ，１４Ｄで内面反射されることにより、他の入出射
面１４Ｂから入射光と直交する方向に偏向されてコーナ
ーキューブ１６に入射し、該コーナーキューブ１６はこ
の入射光を入射光と平行にペンタプリズム１４に向けて
反射する。
光Ｒはハーフミラー１２を透過して平面鏡１３に入射
し、該平面鏡１３により垂直方向下向きに反射されて、
ペンタプリズム１４の一の入出射面１４Ａに入射する。
このレーザ光Ｒは、該ペンタプリズム１４の各反射面１
４Ｃ，１４Ｄで内面反射されることにより、他の入出射
面１４Ｂから入射光と直交する方向に偏向されてコーナ
ーキューブ１６に入射し、該コーナーキューブ１６はこ
の入射光を入射光と平行にペンタプリズム１４に向けて
反射する。
【００２１】ここで、図２に示す如く、コーナーキュー
ブ１６が位置する被測定面１Ａ上の箇所により、コーナ
ーキューブ１６の高さが△Ｈだけ変化すると、基準平面
をなすレーザ光Ｒがペンタプリズム１４からコーナーキ
ューブ１６へ入射する位置が上下方向に△Ｈだけ変化す
るから、コーナーキューブ１６からペンタプリズム１４
へ反射する光の位置が元の反射光の位置よりも２△Ｈだ
け平行に変位する。
ブ１６が位置する被測定面１Ａ上の箇所により、コーナ
ーキューブ１６の高さが△Ｈだけ変化すると、基準平面
をなすレーザ光Ｒがペンタプリズム１４からコーナーキ
ューブ１６へ入射する位置が上下方向に△Ｈだけ変化す
るから、コーナーキューブ１６からペンタプリズム１４
へ反射する光の位置が元の反射光の位置よりも２△Ｈだ
け平行に変位する。
【００２２】そして、前記コーナーキューブ１６により
高低差△Ｈに応じて反射されたレーザ光Ｒは、ペンタプ
リズム１４に入射して垂直方向上向きに偏向され、平面
鏡１３を介してハーフミラー１２に入射し、該ハーフミ
ラー１２を透過して受光位置検出器１８に入射すると、
該受光位置検出器１８は、前記ＰＳＤ上の受光位置を被
測定面１Ａ上の各測定点における計測値の信号として検
出し、この電気信号をＣＰＵへと出力する。
高低差△Ｈに応じて反射されたレーザ光Ｒは、ペンタプ
リズム１４に入射して垂直方向上向きに偏向され、平面
鏡１３を介してハーフミラー１２に入射し、該ハーフミ
ラー１２を透過して受光位置検出器１８に入射すると、
該受光位置検出器１８は、前記ＰＳＤ上の受光位置を被
測定面１Ａ上の各測定点における計測値の信号として検
出し、この電気信号をＣＰＵへと出力する。
【００２３】一方、測定者はコーナーキューブ１６の載
置箇所（測定点）を順次移動させることにより、受光位
置検出器１８内のＣＰＵが各測定点におけるコーナーキ
ューブ１６からの反射光の受光位置の信号から最高値お
よび最低値を算出し、この二値の差から被測定面１Ａの
平面度が得られる。
置箇所（測定点）を順次移動させることにより、受光位
置検出器１８内のＣＰＵが各測定点におけるコーナーキ
ューブ１６からの反射光の受光位置の信号から最高値お
よび最低値を算出し、この二値の差から被測定面１Ａの
平面度が得られる。
【００２４】ところで、本実施例の平面度測定装置で
は、ペンタプリズム１４の頂角θに誤差が含まれていた
り、ペンタプリズム１４の回転軸Ｚと、該ペンタプリズ
ム１４へ入射するレーザ光Ｒとの間に傾き（傾倒角）が
存在すると、これらの誤差が存在しない条件下でペンタ
プリズム１４を回転して形成される理想の基準平面と実
際の基準平面との間に傾斜角（ずれ）が発生する。ま
た、コーナーキューブ１６への入射光と該コーナーキュ
ーブ１６からの反射光との間に平行からのずれ（以下、
「コーナーキューブの振れ角」という）が存在すると、
理想の反射光の光路と実際の反射光の光路との間にずれ
が生じる。
は、ペンタプリズム１４の頂角θに誤差が含まれていた
り、ペンタプリズム１４の回転軸Ｚと、該ペンタプリズ
ム１４へ入射するレーザ光Ｒとの間に傾き（傾倒角）が
存在すると、これらの誤差が存在しない条件下でペンタ
プリズム１４を回転して形成される理想の基準平面と実
際の基準平面との間に傾斜角（ずれ）が発生する。ま
た、コーナーキューブ１６への入射光と該コーナーキュ
ーブ１６からの反射光との間に平行からのずれ（以下、
「コーナーキューブの振れ角」という）が存在すると、
理想の反射光の光路と実際の反射光の光路との間にずれ
が生じる。
【００２５】いま、図３において、ペンタプリズム１４
の頂角θに含まれる頂角誤差を△θ、回転軸Ｚがレーザ
光Ｒに対して角度εz だけ傾倒した状態を回転軸Ｚ′、
基準平面の傾斜角を△φ、コーナーキューブ１６の振れ
角を△χ、回転軸Ｚ上の出射光の始点をＥとする。
の頂角θに含まれる頂角誤差を△θ、回転軸Ｚがレーザ
光Ｒに対して角度εz だけ傾倒した状態を回転軸Ｚ′、
基準平面の傾斜角を△φ、コーナーキューブ１６の振れ
角を△χ、回転軸Ｚ上の出射光の始点をＥとする。
【００２６】ここで、ペンタプリズム１４の頂角誤差△
θ、回転軸Ｚの傾倒角εz が共に零だと仮定すると、こ
の場合の出射光Ｒ1 が形成する基準平面の傾斜角△φは
零となり、出射光Ｒ1 は理想の基準平面と一致し、コー
ナーキューブ１６の反射点Ｆ，Ｇで反射される。さら
に、コーナーキューブ１６の振れ角△χも零であれば、
コーナーキューブ１６による反射光Ｒ2 は理想の反射光
の光路をたどって回転軸Ｚ上の点Ｈに到達する筈であ
る。
θ、回転軸Ｚの傾倒角εz が共に零だと仮定すると、こ
の場合の出射光Ｒ1 が形成する基準平面の傾斜角△φは
零となり、出射光Ｒ1 は理想の基準平面と一致し、コー
ナーキューブ１６の反射点Ｆ，Ｇで反射される。さら
に、コーナーキューブ１６の振れ角△χも零であれば、
コーナーキューブ１６による反射光Ｒ2 は理想の反射光
の光路をたどって回転軸Ｚ上の点Ｈに到達する筈であ
る。
【００２７】しかし、実際にはペンタプリズム１４の頂
角誤差△θおよび回転軸Ｚの傾倒角εz を共に零とする
ことは困難で、各々がある程度の大きさを有するため、
ペンタプリズム１４から実際に出射する出射光Ｒ3 が形
成する基準平面は理想の基準平面から傾斜角△φだけ傾
斜し、該出射光Ｒ3 はコーナーキューブ１６上の点Ｉに
入射し、該コーナーキューブ１６上の点Ｊで反射され
る。そして、もし、コーナーキューブ１６の振れ角△χ
が零であれば、この場合の反射光Ｒ4 は出射光Ｒ3 と平
行に反射されて回転軸Ｚ上の点Ｋに到達する筈である
が、実際にはコーナーキューブ１６の振れ角△χもある
程度の大きさを有するため、実際の反射光Ｒ5 は回転軸
Ｚ上の点Ｋとは別の点Ｌに到達することになる。
角誤差△θおよび回転軸Ｚの傾倒角εz を共に零とする
ことは困難で、各々がある程度の大きさを有するため、
ペンタプリズム１４から実際に出射する出射光Ｒ3 が形
成する基準平面は理想の基準平面から傾斜角△φだけ傾
斜し、該出射光Ｒ3 はコーナーキューブ１６上の点Ｉに
入射し、該コーナーキューブ１６上の点Ｊで反射され
る。そして、もし、コーナーキューブ１６の振れ角△χ
が零であれば、この場合の反射光Ｒ4 は出射光Ｒ3 と平
行に反射されて回転軸Ｚ上の点Ｋに到達する筈である
が、実際にはコーナーキューブ１６の振れ角△χもある
程度の大きさを有するため、実際の反射光Ｒ5 は回転軸
Ｚ上の点Ｋとは別の点Ｌに到達することになる。
【００２８】このため、レーザ光Ｒが理想の基準平面Ｒ
1 , 理想の反射光Ｒ2 の光路をたどって回転軸Ｚ上に到
達する点Ｈと、実際に平面度測定装置を使用するときに
反射光Ｒ5 が回転軸Ｚ上に到達する点Ｌとでは、△Ｚだ
けの位置ずれが発生し、該位置ずれ△Ｚは測定精度に影
響する。
1 , 理想の反射光Ｒ2 の光路をたどって回転軸Ｚ上に到
達する点Ｈと、実際に平面度測定装置を使用するときに
反射光Ｒ5 が回転軸Ｚ上に到達する点Ｌとでは、△Ｚだ
けの位置ずれが発生し、該位置ずれ△Ｚは測定精度に影
響する。
【００２９】そこで、本実施例ではいかにしてペンタプ
リズム１４の頂角誤差△θおよび回転軸Ｚの傾倒角εz
に起因する基準平面の傾斜角△φを小さく抑え、基準平
面の傾斜角△φとコーナーキューブ１６の振れ角△χに
起因する反射光の位置ずれ△Ｚをいかに補正するかにつ
いて図４を用いて説明する。
リズム１４の頂角誤差△θおよび回転軸Ｚの傾倒角εz
に起因する基準平面の傾斜角△φを小さく抑え、基準平
面の傾斜角△φとコーナーキューブ１６の振れ角△χに
起因する反射光の位置ずれ△Ｚをいかに補正するかにつ
いて図４を用いて説明する。
【００３０】まず、ペンタプリズム１４の反射面１４
Ｃ，１４Ｄの交線に垂直な平面を主平面といい、この主
平面内にＸ軸およびＺ軸が含まれ、Ｙ軸が紙面に垂直と
なるようなＸ軸，Ｙ軸，Ｚ軸からなる３次元の座標空間
を考える。そして、頂角θの２等分線が座標の原点Ｏを
通ると共にＺ軸と４５°の角度で交叉し、レーザ光Ｒが
ペンタプリズム１４の主平面に対して傾倒角εz だけ傾
いて入射する場合を考える。
Ｃ，１４Ｄの交線に垂直な平面を主平面といい、この主
平面内にＸ軸およびＺ軸が含まれ、Ｙ軸が紙面に垂直と
なるようなＸ軸，Ｙ軸，Ｚ軸からなる３次元の座標空間
を考える。そして、頂角θの２等分線が座標の原点Ｏを
通ると共にＺ軸と４５°の角度で交叉し、レーザ光Ｒが
ペンタプリズム１４の主平面に対して傾倒角εz だけ傾
いて入射する場合を考える。
【００３１】ここで、ペンタプリズム１４の反射面１４
Ｃ，１４Ｄの方向余弦をそれぞれ、( λ1 , μ1 , ν
1), ( λ2 , μ2 ，ν2)とすると、下記数１，数２とな
る。
Ｃ，１４Ｄの方向余弦をそれぞれ、( λ1 , μ1 , ν
1), ( λ2 , μ2 ，ν2)とすると、下記数１，数２とな
る。
【００３２】
【数１】 ( λ1 , μ1 , ν1)=( cos( π/4+ θ/2),0,cos(π/4 -θ/2))
【００３３】
【数２】 ( λ2 , μ2 ，ν2)=(-cos( π/4- θ/2),0,-cos( π/4+ θ/2)) = (-ν1,0 ,-λ1 )
【００３４】そして、ペンタプリズム１４への入射光を
Ｒ6 , 反射面１４Ｃからの反射光をＲ7 ，反射面１４Ｄ
からの反射光をＲ8 とし、入射光Ｒ6 ，反射光Ｒ7 ，Ｒ
8 の方向余弦をそれぞれ、（α，β，γ），（α1 ，β
1 ，γ1 ），（α2 ，β2 ，γ2 ）とすると、下記数３
の関係が導かれる。
Ｒ6 , 反射面１４Ｃからの反射光をＲ7 ，反射面１４Ｄ
からの反射光をＲ8 とし、入射光Ｒ6 ，反射光Ｒ7 ，Ｒ
8 の方向余弦をそれぞれ、（α，β，γ），（α1 ，β
1 ，γ1 ），（α2 ，β2 ，γ2 ）とすると、下記数３
の関係が導かれる。
【００３５】
【数３】 α2+β2+γ2 =１ α1=α-2λ1(αλ1+γν1) β1=β γ1=γ-2ν1(αλ1+γν1) α2=αcos2θ+ γsin2θ β2=β γ2=γcos2θ- αsin2θ
【００３６】このとき、入射光Ｒ6 と反射光Ｒ8 は同一
平面上にあるとは限らないが、両者の距離が微小な場合
には、φとθの関係を求めると、下記の数４が成り立つ
ものと考えられる。
平面上にあるとは限らないが、両者の距離が微小な場合
には、φとθの関係を求めると、下記の数４が成り立つ
ものと考えられる。
【００３７】
【数４】 cos(π- φ) ＝α・ α2+β・ β2+γ・ γ2 ＝α( αcos2θ+ γsin2θ)+β2＋γ( γcos2θ- αsin2θ) ＝( α2+ γ2 ) cos2θ+ β2 ＝β2(１− cos 2θ) ＋ cos 2θ
【００３８】そして、ペンタプリズム１４の頂角誤差を
△θ，この頂角誤差△θに起因する基準平面の傾斜角を
△φとすれば、下記数５〜数７が成り立つ。
△θ，この頂角誤差△θに起因する基準平面の傾斜角を
△φとすれば、下記数５〜数７が成り立つ。
【００３９】
【数５】 cos２θ＝ cos（π／２＋２△θ） ≒−２△θ
【００４０】
【数６】 cos（π−φ）＝ cos（π／２−△φ） ≒△φ
【００４１】
【数７】 β＝ cosθY ＝ cos（π／２＋εz ） ≒−εz
【００４２】ここで、数４に数５〜数７を代入すると、
【００４３】
【数８】 △φ＝εz2（１＋２△θ）−２△θ ≒εz2−２△θ なる関係が成り立つ。
【００４４】即ち、数８において、
【００４５】
【数９】εz2＝２△θ となるときには、傾斜角△φがほとんど零となるから、
回転装置１５の各調整ねじ１５Ｃを調整して傾倒角εz
と頂角誤差△θが数９の関係を満たすようにすれば、基
準平面の傾斜角△φを無視できる程に小さく抑えること
ができる。
回転装置１５の各調整ねじ１５Ｃを調整して傾倒角εz
と頂角誤差△θが数９の関係を満たすようにすれば、基
準平面の傾斜角△φを無視できる程に小さく抑えること
ができる。
【００４６】特に、ペンタプリズム１４の頂角誤差△θ
が極めて小さいとき数８は、
が極めて小さいとき数８は、
【００４７】
【数１０】△φ≒εz2 となるから、回転軸Ｚの傾倒角εz をある程度まで調整
によって小さく抑えれば、ペンタプリズム１４から出射
されるレーザ光Ｒによる基準平面の傾斜角△φを指数関
数的に小さくさせることができる。
によって小さく抑えれば、ペンタプリズム１４から出射
されるレーザ光Ｒによる基準平面の傾斜角△φを指数関
数的に小さくさせることができる。
【００４８】次に、基準平面の傾斜角△φおよびコーナ
ーキューブ１６の振れ角△χに起因する反射光Ｒ5 の位
置ずれ△Ｚを補正する方法について説明する。
ーキューブ１６の振れ角△χに起因する反射光Ｒ5 の位
置ずれ△Ｚを補正する方法について説明する。
【００４９】図３中、ペンタプリズム１４とコーナーキ
ューブ１６の距離をＰ、ＩＪとＥＦの交点をＭ、ＩＪと
ＧＨの交点をＮとすると、回転軸Ｚ上の反射光の位置ず
れ△Ｚは、下記数１１となる。
ューブ１６の距離をＰ、ＩＪとＥＦの交点をＭ、ＩＪと
ＧＨの交点をＮとすると、回転軸Ｚ上の反射光の位置ず
れ△Ｚは、下記数１１となる。
【００５０】
【数１１】 △Ｚ＝ＨＬ ＝ＨＫ＋ＫＬ ＝（ＥＫ−ＥＨ）＋ＫＬ ＝（ＩＪ−ＦＧ）＋ＫＬ ＝（ＩＭ＋ＮＪ）＋ＫＬ ＝２・ＩＭ＋ＫＬ
【００５１】ここで、ＩＭ，ＫＬは、
【００５２】
【数１２】 ＩＭ≒Ｐ・ｔａｎ△φ ≒Ｐ・△φ ＫＬ≒Ｐ・ｔａｎ△χ ≒Ｐ・△χ と表わすことができるから、数１１は近似的に下記数１
３となる。
３となる。
【００５３】
【数１３】△Ｚ≒Ｐ（２△φ＋△χ）
【００５４】従って、上記数１３において、
【００５５】
【数１４】２△φ＝−△χ となるように、ペンタプリズム１４とコーナーキューブ
１６を組合わせれば、互いの誤差が相殺されるから、反
射光Ｒ5 の位置ずれ△Ｚを可及的に零に近づけることが
できる。
１６を組合わせれば、互いの誤差が相殺されるから、反
射光Ｒ5 の位置ずれ△Ｚを可及的に零に近づけることが
できる。
【００５６】以上説明した通り、本実施例による平面度
測定装置は、レーザ管１１から出射されるレーザ光Ｒを
ペンタプリズム１４によって直角に偏向させることによ
り被測定面１Ａ上に基準平面を形成し、この基準平面を
構成するレーザ光Ｒをコーナーキューブ１６に入射させ
ることにより、該コーナーキューブ１６からの反射光の
位置をペンタプリズム１４との高低差△Ｈの２倍に変位
させ、この反射光の変位２△Ｈを受光位置検出器１８で
検出するように構成したから、以下の効果を奏する。
測定装置は、レーザ管１１から出射されるレーザ光Ｒを
ペンタプリズム１４によって直角に偏向させることによ
り被測定面１Ａ上に基準平面を形成し、この基準平面を
構成するレーザ光Ｒをコーナーキューブ１６に入射させ
ることにより、該コーナーキューブ１６からの反射光の
位置をペンタプリズム１４との高低差△Ｈの２倍に変位
させ、この反射光の変位２△Ｈを受光位置検出器１８で
検出するように構成したから、以下の効果を奏する。
【００５７】即ち、本実施例によれば、ペンタプリズム
１４の頂角θに頂角誤差△θが含まれていたり、ペンタ
プリズム１４の回転軸Ｚが入射光Ｒ6 に対して傾倒角ε
z だけ傾いていても、これらの頂角誤差△θおよび傾倒
角εz が前記数９の関係を満たすように傾倒角εz を調
整することにより、基準平面の傾斜角△φを無視できる
程に小さく抑えることができる。ここで、ペンタプリズ
ム１４の頂角誤差△θがほとんど零である場合には、数
１０の関係を満たすように調整ねじ１５Ｃで傾倒角εz
をある程度まで小さくなるように調整することにより、
測定誤差の原因となる基準平面の傾斜角△φを指数関数
的に小さくすることができ、測定精度の向上を図ること
ができる。
１４の頂角θに頂角誤差△θが含まれていたり、ペンタ
プリズム１４の回転軸Ｚが入射光Ｒ6 に対して傾倒角ε
z だけ傾いていても、これらの頂角誤差△θおよび傾倒
角εz が前記数９の関係を満たすように傾倒角εz を調
整することにより、基準平面の傾斜角△φを無視できる
程に小さく抑えることができる。ここで、ペンタプリズ
ム１４の頂角誤差△θがほとんど零である場合には、数
１０の関係を満たすように調整ねじ１５Ｃで傾倒角εz
をある程度まで小さくなるように調整することにより、
測定誤差の原因となる基準平面の傾斜角△φを指数関数
的に小さくすることができ、測定精度の向上を図ること
ができる。
【００５８】また、本実施例ではペンタプリズム１４に
よってレーザ光Ｒを偏向させ、該ペンタプリズム１４を
回転させることによって形成される出射光Ｒ3 による基
準平面をコーナーキューブ１６により反射させるように
構成したから、コーナーキューブ１６による反射光Ｒ5
の振れ角△χと、ペンタプリズム１４の頂角誤差△θ等
に起因する基準平面の傾斜角△φとが数１４の関係を満
たすように組合わせることにより、ペンタプリズム１
４，コーナーキューブ１６の双方の誤差が相殺され、例
えばレーザ光Ｒを直角に偏向させるのに平面鏡や直角プ
リズムを用いた場合に比べて極めて精度の高い測定を行
うことができる。
よってレーザ光Ｒを偏向させ、該ペンタプリズム１４を
回転させることによって形成される出射光Ｒ3 による基
準平面をコーナーキューブ１６により反射させるように
構成したから、コーナーキューブ１６による反射光Ｒ5
の振れ角△χと、ペンタプリズム１４の頂角誤差△θ等
に起因する基準平面の傾斜角△φとが数１４の関係を満
たすように組合わせることにより、ペンタプリズム１
４，コーナーキューブ１６の双方の誤差が相殺され、例
えばレーザ光Ｒを直角に偏向させるのに平面鏡や直角プ
リズムを用いた場合に比べて極めて精度の高い測定を行
うことができる。
【００５９】また、本実施例では、レーザ管１１，ハー
フミラー１２，平面鏡１３等の光学系の主要部を固定さ
せた状態でペンタプリズム１４の回転操作と被測定面１
Ａ上でコーナーキューブ１６を移動させる操作とによっ
て測定を行うように構成したから、光学系の移動に伴う
光軸のずれ等がなく、測定誤差の原因を除くことができ
ると共に、定盤１のような比較的大きな被測定物も簡単
に精度良く測定することができる。
フミラー１２，平面鏡１３等の光学系の主要部を固定さ
せた状態でペンタプリズム１４の回転操作と被測定面１
Ａ上でコーナーキューブ１６を移動させる操作とによっ
て測定を行うように構成したから、光学系の移動に伴う
光軸のずれ等がなく、測定誤差の原因を除くことができ
ると共に、定盤１のような比較的大きな被測定物も簡単
に精度良く測定することができる。
【００６０】そして、本実施例では、受光部としてＣＰ
Ｕを内蔵する受光位置検出器１８を用いたから、測定デ
ータを記録，処理することが容易にでき、高速かつ高精
度な平面度測定を行うことができる。
Ｕを内蔵する受光位置検出器１８を用いたから、測定デ
ータを記録，処理することが容易にでき、高速かつ高精
度な平面度測定を行うことができる。
【００６１】なお、前記実施例では、反射体としてコー
ナーキューブ１６を用いる場合を例に挙げて説明した
が、これに替え、例えば凸レンズの焦点位置に平面鏡を
配設して入射光に対して平行な戻り光を反射させるよう
に構成したキャッツアイを用いてもよく、この場合でも
前記実施例とほぼ同様の作用効果が得られる。
ナーキューブ１６を用いる場合を例に挙げて説明した
が、これに替え、例えば凸レンズの焦点位置に平面鏡を
配設して入射光に対して平行な戻り光を反射させるよう
に構成したキャッツアイを用いてもよく、この場合でも
前記実施例とほぼ同様の作用効果が得られる。
【００６２】また、前記実施例では、受光部としてＰＳ
ＤとＣＰＵ等からなる受光位置検出器１８を用いる場合
を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限らず、例え
ばＰＳＤとは別体の外部装置からなるＣＰＵを設け、該
ＣＰＵに演算処理をさせてもよく、さらに、受光部とし
てはＣＣＤカメラ等の撮像装置を用いてもよい。
ＤとＣＰＵ等からなる受光位置検出器１８を用いる場合
を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限らず、例え
ばＰＳＤとは別体の外部装置からなるＣＰＵを設け、該
ＣＰＵに演算処理をさせてもよく、さらに、受光部とし
てはＣＣＤカメラ等の撮像装置を用いてもよい。
【００６３】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明では平面度測
定装置をレーザ光源と、回転軸が該レーザ光源から出射
されるレーザ光の光路上に位置して被測定面上に回転可
能に設けられ、前記レーザ光源からのレーザ光を直角に
偏向させて回転軸に垂直な基準平面を形成するペンタプ
リズムと、前記被測定面上に移動可能に設けられ、該ペ
ンタプリズムからのレーザ光を前記基準平面と被測定面
との間の高さ寸法に応じて平行に変位させて該ペンタプ
リズムに向けて反射する反射体と、該反射体からペンタ
プリズムを介して入射したレーザ光を受光し、受光位置
の変位から前記被測定面の平面度を検出する受光部とか
ら構成したから、例えばペンタプリズムの２つの反射面
がなす頂角に頂角誤差が含まれていても、該ペンタプリ
ズムの回転軸を入射光に対して一定の関係をなすように
角度調整することにより、基準平面の傾斜を無視できる
程に小さく抑えることができ、特に、ペンタプリズムの
頂角誤差がある程度小さければ、測定誤差の原因となる
基準平面の傾斜角を指数関数的に小さく抑えることがで
きる。
定装置をレーザ光源と、回転軸が該レーザ光源から出射
されるレーザ光の光路上に位置して被測定面上に回転可
能に設けられ、前記レーザ光源からのレーザ光を直角に
偏向させて回転軸に垂直な基準平面を形成するペンタプ
リズムと、前記被測定面上に移動可能に設けられ、該ペ
ンタプリズムからのレーザ光を前記基準平面と被測定面
との間の高さ寸法に応じて平行に変位させて該ペンタプ
リズムに向けて反射する反射体と、該反射体からペンタ
プリズムを介して入射したレーザ光を受光し、受光位置
の変位から前記被測定面の平面度を検出する受光部とか
ら構成したから、例えばペンタプリズムの２つの反射面
がなす頂角に頂角誤差が含まれていても、該ペンタプリ
ズムの回転軸を入射光に対して一定の関係をなすように
角度調整することにより、基準平面の傾斜を無視できる
程に小さく抑えることができ、特に、ペンタプリズムの
頂角誤差がある程度小さければ、測定誤差の原因となる
基準平面の傾斜角を指数関数的に小さく抑えることがで
きる。
【００６４】また、本発明では、反射体による反射光の
振れ角とペンタプリズムの頂角誤差等に起因する基準平
面の誤差が互いに相殺するようにペンタプリズムと反射
体を組合わせることにより、これら双方の部品の誤差に
起因する反射光の位置ずれをほとんどなくすことがで
き、これにより精度の高い測定をすることができる。
振れ角とペンタプリズムの頂角誤差等に起因する基準平
面の誤差が互いに相殺するようにペンタプリズムと反射
体を組合わせることにより、これら双方の部品の誤差に
起因する反射光の位置ずれをほとんどなくすことがで
き、これにより精度の高い測定をすることができる。
【００６５】さらに、本発明では、レーザ光源や受光部
等の光学系の主要部を移動させることなく、ペンタプリ
ズムの回転操作と被測定面上で反射体を移動させるとい
う簡単な操作によって測定できるように構成したから、
光学系の移動に伴う光軸のずれ等がなく、測定誤差の原
因を除くことができると共に、例えば定盤のように比較
的大きな被測定物の測定も簡単に行うことができる。
等の光学系の主要部を移動させることなく、ペンタプリ
ズムの回転操作と被測定面上で反射体を移動させるとい
う簡単な操作によって測定できるように構成したから、
光学系の移動に伴う光軸のずれ等がなく、測定誤差の原
因を除くことができると共に、例えば定盤のように比較
的大きな被測定物の測定も簡単に行うことができる。
【図１】本発明の実施例による平面度測定装置の構成を
示す全体構成図である。
示す全体構成図である。
【図２】コーナーキューブへの入射光と反射光との関係
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図３】ペンタプリズムと基準平面の傾斜角、コーナー
キューブの振れ角の関係を示す説明図である。
キューブの振れ角の関係を示す説明図である。
【図４】ペンタプリズムへの入射光、ペンタプリズムの
反射面における反射光等の関係を示す説明図である。
反射面における反射光等の関係を示す説明図である。
【図５】従来技術によるオートコリメータを用いた平面
度測定装置の構成図である。
度測定装置の構成図である。
【図６】オートコリメータによる測定手順を示す説明図
である。
である。
【図７】測定値の処理方法を示す説明図である。
１１ レーザ管（レーザ光源） １４ ペンタプリズム １６ コーナーキューブ（反射体） １８ 受光位置検出器（受光部） Ｒ レーザ光
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザ光源と、回転軸が該レーザ光源か
ら出射されるレーザ光の光路上に位置して被測定面上に
回転可能に設けられ、前記レーザ光源からのレーザ光を
直角に偏向させて該回転軸に垂直な基準平面を形成する
ペンタプリズムと、前記被測定面上に移動可能に設けら
れ、該ペンタプリズムからのレーザ光を前記基準平面と
被測定面との間の高さ寸法に応じて平行に変位させて該
ペンタプリズムに向けて反射する反射体と、該反射体か
らペンタプリズムを介して入射したレーザ光を受光し、
受光位置の変位から前記被測定面の平面度を検出する受
光部とから構成してなる平面度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3348702A JPH0731055B2 (ja) | 1991-12-05 | 1991-12-05 | 平面度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3348702A JPH0731055B2 (ja) | 1991-12-05 | 1991-12-05 | 平面度測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06102030A true JPH06102030A (ja) | 1994-04-12 |
| JPH0731055B2 JPH0731055B2 (ja) | 1995-04-10 |
Family
ID=18398788
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3348702A Expired - Fee Related JPH0731055B2 (ja) | 1991-12-05 | 1991-12-05 | 平面度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0731055B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008224322A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 平面度測定装置 |
| CN113091653A (zh) * | 2021-04-19 | 2021-07-09 | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 | 基于五棱镜测量直线导轨角自由度误差的装置及方法 |
| CN114858096A (zh) * | 2022-05-19 | 2022-08-05 | 长春工业大学 | 一种水平光路传递测角仪及测量方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6457111A (en) * | 1987-08-27 | 1989-03-03 | Central Motor Wheel Co Ltd | Measuring apparatus of linear motion |
-
1991
- 1991-12-05 JP JP3348702A patent/JPH0731055B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6457111A (en) * | 1987-08-27 | 1989-03-03 | Central Motor Wheel Co Ltd | Measuring apparatus of linear motion |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008224322A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 平面度測定装置 |
| CN113091653A (zh) * | 2021-04-19 | 2021-07-09 | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 | 基于五棱镜测量直线导轨角自由度误差的装置及方法 |
| CN113091653B (zh) * | 2021-04-19 | 2022-10-04 | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 | 基于五棱镜测量直线导轨角自由度误差的装置及方法 |
| CN114858096A (zh) * | 2022-05-19 | 2022-08-05 | 长春工业大学 | 一种水平光路传递测角仪及测量方法 |
| CN114858096B (zh) * | 2022-05-19 | 2023-05-23 | 长春工业大学 | 一种水平光路传递测角仪及测量方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0731055B2 (ja) | 1995-04-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6504615B1 (en) | Optical instrument for measuring shape of wafer | |
| KR20000070669A (ko) | 간섭계 시스템 및 이를 포함하는 전사장치 | |
| JPS5849802B2 (ja) | ザヒヨウケイソクテイソウチ | |
| JPH0455243B2 (ja) | ||
| US7764387B2 (en) | Apparatus and method for measuring suspension and head assemblies in a stack | |
| JPH0426042B2 (ja) | ||
| JP2003065739A (ja) | ポリゴンミラー角度計測装置 | |
| JPH06102030A (ja) | 平面度測定装置 | |
| JP3120885B2 (ja) | 鏡面の測定装置 | |
| JPH095059A (ja) | 平面度測定装置 | |
| JPS581120A (ja) | テレセントリツク光線を発生する装置および物体の寸法または位置を測定する方法 | |
| JP2000258144A (ja) | ウェーハの平坦度および厚み測定装置 | |
| JP3045567B2 (ja) | 移動体位置測定装置 | |
| JP3372324B2 (ja) | レンズ系の偏心測定装置および偏心測定方法 | |
| JP3570771B2 (ja) | フラットネスミラー | |
| JP2577281Y2 (ja) | 光学検査具 | |
| JP2783252B2 (ja) | ２面間の角度差測定装置 | |
| JP3393910B2 (ja) | 表面形状測定方法 | |
| JPH07120217A (ja) | 距離測定方法および装置 | |
| JP3218570B2 (ja) | 干渉計 | |
| JP3053135B2 (ja) | 高精度座標測定器 | |
| JPS59197809A (ja) | 干渉測定装置 | |
| JPH10206121A (ja) | Ｘｙステージの回動検出装置 | |
| JPS61173877A (ja) | 三次元位置設定補助装置 | |
| JPH053537B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19951017 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110410 Year of fee payment: 16 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |