JP3557584B2 - リニヤスケールにおける計測信号生成回路 - Google Patents
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 23
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 title claims description 13
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 20
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、二物体間の相対移動量を測定するリニヤスケールにおける計測信号生成回路に関わり、特に光電変換手段から出力されるリサージュ信号のS/N比を向上させる際に有用な信号処理回路に関する。
【0002】
【従来の技術】
工作機械等において、被加工物に対する工具の相対移動量を正確に測定することは、精密加工を行う上で極めて重要であり、このための測定装置が種々製品化されている。
そのひとつとして、光学格子を2枚重ね合わせることにより得られるモアレ縞を利用した光学式スケールが従来から知られている。この光学式スケールは、図5に示すように透明のガラススケール100の一面に透光部と非透光部が所定のピッチで配列するよう格子(刻線)を設けたメインスケール101と、透明のガラススケール102の一面に透光部と非透光部が所定のピッチで配列するよう格子(刻線)を設けたインデックススケール103とを有し、同図(a)に示すように、このメインスケール101にインデックススケール103を微小間隔を持って対向させるとともに、同図(b)に示すように、メインスケール101の格子に対し微小角度傾けられるようにインデックススケール103の格子を配置している。
【0003】
なお、メインスケール101及びインデックススケール103に設けた格子は、ガラススケール100、102にクロムを真空蒸着し、エッチングすることにより形成された同一ピッチの格子により形成されている。
このように配置すると、図6に示すモアレ縞が発生する。このモアレ縞の間隔はWとなり、間隔W毎に暗い部分あるいは明るい部分が発生する。この暗い部分あるいは明るい部分は、メインスケール101に対し、インデックススケール103が相対的に左右に移動する方向に応じて上から下、あるいは下から上に移動していく。この場合、メインスケール101及びインデックススケール103の格子のピッチをP、相互の傾斜角度をθ[rad]とすると、モアレ縞の間隔Wは、
W=P/θ
と示され、モアレ縞の間隔Wは、光学的に格子間隔Pを1/θ倍に拡大した間隔とされていることになる。このため、格子が1ピッチP移動すると、モアレ縞はWだけ変位することになり、Wの上下方向の変化を読み取ることにより、ピッチP内の移動量を精密に測定することができるようになる。
【0004】
例えば、図7に示すようにモアレ縞の変化を光学的に検出する光電変換素子110をインデックススケールに設け、メインスケールの反対側に光源を設けるようにして、メインスケール101に対しインデックススケール103を相対的に移動させながら、この光電変換素子110に流れる電流の変化を読み取る。
すなわち、モアレ縞のパターンがAの状態となっていると、光電変換素子110に照射される光量は最も多くなり、光電変換素子110に流れる電流は最大値I1 となる。次に、相対的に移動してBの状態になると光電変換素子110に照射される光量はやや減少し、その電流はI2 となり、更に、移動してCの状態になると光電変化素子110には最も少ない光量が照射され、その電流も最も小さいI3 となる。そして、更に移動してDの状態になると光電変換素子110に照射される光量はやや増加し、その電流はI2 となり、Eの状態になるまで移動すると、再び最も光量の多い位置となり、その電流は最大値I1 となる。
このように、光電変換素子110に流れる電流は正弦波状に変化するとともに、その変化が1周期経過した時に、格子間隔Pだけメインスケール101とインデックススケール103とが相対的に移動したことになる。
【0005】
図7においては、光電変換素子110を一つだけ設けるようにしたが、図8に示すように、一周期(間隔W)と90゜ずらせて2つの光電変換素子111、112を設けるようにすると、A相の光電変換素子111に流れる電流に対してB相の光電変換素子112に流れる電流は、図9に示すように90゜偏移した電流となる。すなわち、A相の光電変換素子111に流れる電流をサイン波とすると、B相の光電変換素子112に流れる電流はコサイン波となる。
この場合、メインスケール101とインデックススケール103との相対的な移動方向により、A相の光電変換素子111に流れる電流に対するB相の光電変換素子112に流れる電流の位相は90゜進相あるいは90゜遅相となるため、90゜ずらせて配置した2つの光電変換素子を設けると、両者の間の位相を検出することにより相対的な移動方向を検出することができる。
なお、実際は光電変換素子を所定の位置に追加配置して、A相信号及びB相信号を180°反転した−A相信号及び−B相信号も同時に出力するように構成し、検出信号に含まれる直流成分を除去すると共に、信号の信頼性及び高速追従性の確保のためである。
【0006】
図4(a)はA相信号、B相信号を形成する装置において、インデックススケールの所定の位置に4個のフォトディテクタを設けることによって得られた上記A相信号と反転された−A相信号、およびB相信号と反転したB相信号を示している。
また、図4(b)は、上記2つのA相信号波形から、合成されたA相信号を形成する回路を示したもので、AP、−APはスケールの刻線間を透過した光によって形成されたモアレ縞を検出して電気信号に変換するフォトディテクタである。
各フォトディテクタから出力された逆位相の正弦波状の電流は一方の信号が反転増幅器A1を介して位相が反転され、演算増幅器OPを使用した加算回路ADDで合成される。
B相信号を合成する場合も同様な回路で構成される。
この回路構成は1つの演算増幅器OPで直流信号を除去した計測信号が合成できるため、コストダウンを図ることができるが、合成前のオフセットを調整が困難であり、A相(B相)信号と、−A相(−B相)信号のバランスが悪いという問題が生じる
【0007】
そこで、同図(c)に示されているようにフォトディテクタAP、およびフォトディテクタ−APから出力された信号をそれぞれ単独に所定の電圧レベルとなるように電流電圧変換器A1.A2を介して増幅し、その出力同志を差動増幅器OP1によって数値的に加算しA相信号を得るようにする。
この場合は、A相信号と−A相信号のバランスがとれているのでスケールが高速で移動したときでも合成された計測用のA相信号の信号波形に歪みが発生しないという特徴が生じる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このように構成された光学式スケールは、NC工作機械に取りつけられて被加工物と工具との相対的移動量を測定しているが、一般にスケールを取り付け、信号を検出するフォトディテクタは工作機械側にあるのに対して、検出された正弦波状のリサージュ信号の信号処理を行い、実際の計測信号を表示するような信号処理部は信号伝送ケーブルに接続されて異なる位置に配置される。
【0009】
また、リニヤスケールは一般に工作機械等が配置されているところで使用されるため、工場内のノイズを拾いやすく、検出された信号波形にノイズ成分が混入すると言う問題が生じる。
スケールの移動に対してこのようなノイズ成分が混入している信号を処理して、高精度の位相分割された測定値を演算すると、表示部分の数値が間違った数値を示し、スケールが相対的な測長値を出力する場合は、その誤差値が容易に修復されないという問題があった。
【0010】
特に4組のA相信号、−A相信号、B相信号、−B相信号を検出するフォトディテクタは、所定の間隔を置いて支持部材に取り付けられているが、スケールが高速で移動するときや、工作機械に負荷がかかったときなどは、この支持部材が固有振動周波数に共振し、高い振動周波数が各相の信号位相に関係なく生じこれがノイズとして信号処理回路に混入すると異相のノイズになり、同相ノイズに対して効果のある差動増幅型の信号生成回路でも取りきれないという問題があった。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明のリニヤスケールの計測信号生成回路はかかる問題点を解消することを目的としてなされたもので、 移動方向に対して等間隔な目盛を設けたスケールと、前記スケールの相対的な移動量を正弦波状のA相信号、該A相信号を反転した−A相信号、前記A相信号に対して90度移相されているB相信号、該B相信号を反転した−B相信号からなる4組の計測信号として検出する検出手段と、
前記4組の計測信号をそれぞれ所定のレベルに増幅する増幅回路と、前記各増幅回路から出力された逆相成分同志を加算して出力する差動増幅器を備え、
前記差動増幅器の後段に高周波ノイズ成分を除去する低域通過フイルタ回路を設けるようにしたものである。
【0012】
上記低域通過フイルタ回路は通常の受動型のフイルタ、またはアクティブフイルタによって構成され、その遮断周波数はスケールの移動速度によって変化するように構成することが好ましい。
遮断周波数を変化させるための低域通過フイルタ回路は、時定数回路にスイッチドキャパシタを使用し、該スイッチドキャパシタがスケールの移動速度に対応したクロック信号によって駆動されるように構成するようにすることもできる。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明のリニヤスケールにおける計測信号生成回路の実施の態様を以下の図面に従い説明する。
【0014】
図1は、本発明の測定用信号生成装置の主要部を示したもので、フォトディテクタPd1〜Pd4から出力されたA相信号、−A相信号、B相信号、−B相信号を合成して計測用のA相信号、及びB相信号を形成する回路構成を示している。 この図において、Ga1はA相信号の増幅器、同じくGa2は−A相信号の増幅器、Gb1はB相信号の増幅器、Gb2は−B相信号の増幅器である。
これらの増幅器は抵抗R1、コンデンサC1を帰還回路として付けており、良く知られているように、高利得の増幅器を構成する際に安定化を図っている。
なお、逆相信号で出力される−A相信号、及び−B相信号の増幅器に対しては抵抗Rの1部を可変抵抗ΔRとして、後段の加算回路Ga3またはGb3で合成される際の信号の振幅がほぼ一致するように調整される。
【0015】
また、これらの増幅器にはそれぞれオフセット電圧が正相入力端子から供給され直流成分が同一のレベルとなるようにしている。
このようにして各増幅器の逆相成分同志が抵抗R2を介して加算器Ga3,およびGb3に供給され、その出力に直流成分が除去された正弦波状の測定用A相信号、およびB相信号が形成される。
各加算器Ga3、Gb3にも位相状態を安定化するためにインピーダンスZ1とされた帰還回路が設けられており、高域周波数の位相廻りに基づく不安定要素を低減するようにしている。
【0016】
本発明の検出回路にはこの加算器の後段にさらに低域周波数を通過させるフイルタ(以下、ローパスフイルタLPFともいう)Ga4、およびGb4が追加される。
このローパスフイルタGa4,Gb4はリニヤスケールの最高速度で出力される正弦波状の信号の周波数に基づいてその遮断周波数が設定され、その周波数以上の信号が混入されたときはノイズ信号として除去するように構成している。
【0017】
検出された信号の最高周波数はスケールに刻設されている刻線のピッチPと、スケールの最高の動き速度によって決定され、例えば、刻線ピッチが20μmスケールが動きが毎秒1mの場合はほぼ50KHzに達する。
【0018】
したがって、上記ローパスフイルタGa4、Gb4の遮断周波数は、この周波数以上の信号を減衰する特性を有する回路によって構成されることになる。
ローパスフイルタの回路構成として図2の(a)に示すように電圧ホロワァ回路とされているOPアンプOPの入力端子に抵抗R、及びコンデンサCからなる積分回路を設ける1次ローパスフイルタが最も簡明である。
【0019】
この場合の減衰特性は6dB/octの特性となり、−3dB減衰する遮断周波数は1/2πCRに設定される。
したがって、増幅器Ga1、加算器Ga3の高域減衰特性と合わせると3次のLPF特性となる。
【0020】
図2(b)に示すように差動アンプOPの出力をコンデンサを介して入力側に帰還させるアクティブフイルタは2次のパターワース型のローパスフイルタとして知られており、その減衰特性は12dB/octとなる。
遮断周波数は1/2×(2πRC)1/2 で設定される。このタイプのフィルタは振幅特性が平坦であり通過帯域内でリップルが生じないが、位相廻りが比較的大きいという欠点がある。
【0021】
なお、信号の位相遅れが比較的一定で波形の再現性がよいタイプのフイルタとしてはベッセルタイプのローパスフイルタがあり、このベッセルタイプのローパスフイルタを使用することができる。
【0022】
図3(a)は3個のオペアンプA1、A2,A3を使用したステートバリアブル型のフイルタである。
このフイルタは各オペアンプの出力から種種の特性信号が出力されるがOPアンプA3の出力Y(LPF)を使用すると低域通過型のフイルタ特性となる。
すなわち、遮断周波数ωcは ωc=(R2/R3R6Rr7C1C2)1/2
総合利得Gは G=R3/R1となる。
このように遮断周波数は各インピーダンス素子の値によって設定されるが、抵抗R6,及びR7を同一の割合で可変すると、遮断周波数のみ独立して可変することができるという利点がある。
【0023】
そこで、上記抵抗R6.およびR7としてスイッチドキャパシタを使用し、このスイッチドキャパシタが呈する抵抗をクロック周波数によって制御すると、リニヤスケールの動き速度に応じて遮断周波数が変化し、効率的にノイズ成分を除去することができるようになる。
【0024】
スイッチドキャパシタは図3(b)に示すようにコンデンサCとスイッチSにより形成され、スイッチSの接点x1,x2間をクロック周波数fによって交互に切り換えると。等価抵抗となる抵抗値RsはRs=f・1/Cになる。
したがって、スケールの移動時の速度、または、測長される正弦波状の信号の周期に対応して、上記スイッチを駆動するクロック信号を形成し、上記スイッチドキャパシタを駆動するようにすると、スケールの高速移動時には遮断周波数が高くなり、低速移動時には遮断周波数が低くなるようなLPF特性を作ることができ、低速の移動時にも有効なノイズ除去効果が得られる。
【0025】
【発明の効果】
本発明は、以上に説明したように、フォトディテクタ、または計測信号生成回路に混入したノイズを除去するために、スケールの最高速度に基づいて遮断周波数が設定されたアクティブローパスフイルタが、高域で減衰特性を有する差動型の増幅器で合成されたA相信号生成回路の後段、及びB相信号生成回路の後段に付加されているので、スケールの移動時における同相のノイズは元より、特に異相のノイズ成分も効果的に除去することができ、リニヤスケールの測長誤差を低減することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の計測信号生成回路のブロック図を示す。
【図2】各種のローパスフイルタの回路図である。
【図3】ステートバリアブルタイプにLPFの回路図を示す。
【図4】測定用信号生成回路の原理図である。
【図5】光学式スケールの原理図である。
【図6】モアレ縞を示す図である。
【図7】モアレ縞の移動を示す図である。
【図8】光電変換素子を設置する位置を示す図である。
【図9】A相信号とB相信号の波形図である。
【符号の説明】
Pd(1〜4) フォトディテクタ
Ga1、Ga2 A相信号の増幅器
Gb1、Gb2 B相信号の増幅器
Ga3,Gb3 加算器
Ga4、Gb4 ローパスフイルタ
Claims (3)
- 移動方向に対して等間隔な目盛を設けたスケールと、
前記スケールの相対的な移動量を正弦波状のA相信号、該A相信号を反転した−A相信号、前記A相信号に対して90度移相されているB相信号、該B相信号を反転した−B相信号からなる4組の計測信号として検出する検出手段と、
前記4組の計測信号をそれぞれ所定のレベルに増幅する増幅回路とを備え、
前記各増幅回路から出力された逆相成分同志を加算して出力する高域減衰特性を有するA相、及びB相の差動増幅器と、
前記A相、及びB相の差動増幅器の後段に前記スケールの最高速度で出力される正弦波状の信号の周波数に基づいて遮断周波数が設定された低域通過型のアクティブフイルタ回路を設けることによって、前記スケール移動時の固有振動周波数を含む高周波信号成分を低減することを特徴とするリニヤスケールにおける計測信号生成回路。 - 上記低域通過型のアクティブフイルタ回路はその遮断周波数がスケールの移動速度によって変化するように構成したことを特徴とする請求項1に記載のリニヤスケールにおける計測信号生成回路。
- 上記低域通過型のアクティブフイルタ回路は時定数回路にスイッチドキャパシタを使用し、該スイッチドキャパシタがスケールの移動速度に対応したクロック信号によって駆動されるように構成したことを特徴とする請求項2に記載のリニヤスケールにおける計測信号生成回路。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000273154A JP3557584B2 (ja) | 2000-09-08 | 2000-09-08 | リニヤスケールにおける計測信号生成回路 |
US09/938,581 US6580066B2 (en) | 2000-09-08 | 2001-08-27 | Measurement signal generating circuit for linear scale |
DE10143732A DE10143732B4 (de) | 2000-09-08 | 2001-09-06 | Messsignal-Generatorschaltung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000273154A JP3557584B2 (ja) | 2000-09-08 | 2000-09-08 | リニヤスケールにおける計測信号生成回路 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002081963A JP2002081963A (ja) | 2002-03-22 |
JP3557584B2 true JP3557584B2 (ja) | 2004-08-25 |
Family
ID=18759153
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000273154A Expired - Fee Related JP3557584B2 (ja) | 2000-09-08 | 2000-09-08 | リニヤスケールにおける計測信号生成回路 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6580066B2 (ja) |
JP (1) | JP3557584B2 (ja) |
DE (1) | DE10143732B4 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999062399A1 (en) * | 1998-06-03 | 1999-12-09 | Masimo Corporation | Stereo pulse oximeter |
DE10351560A1 (de) * | 2003-11-03 | 2005-06-02 | Metronic Ag | Impulsgeber |
US7027897B2 (en) * | 2004-01-27 | 2006-04-11 | Bombardier Transportation Gmbh | Apparatus and method for suppressing mechanical resonance in a mass transit vehicle |
JP2006229336A (ja) * | 2005-02-15 | 2006-08-31 | Act Lsi:Kk | 静電容量型マイクロホン |
JP5516145B2 (ja) * | 2010-06-30 | 2014-06-11 | セイコーエプソン株式会社 | 光学式検出装置、表示装置及び電子機器 |
JP6191600B2 (ja) | 2012-05-30 | 2017-09-06 | 株式会社ニコン | エンコーダ、駆動装置、及びロボット装置 |
DE102018204971B3 (de) | 2018-04-03 | 2019-10-02 | Volkswagen Aktiengesellschaft | Batteriesystem für ein Kraftfahrzeug und Kraftfahrzeug |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4049965A (en) * | 1975-03-06 | 1977-09-20 | National Research Development Corporation | Measurement apparatus |
DE3039483C2 (de) * | 1980-10-18 | 1986-09-11 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
DE3229846C2 (de) * | 1982-08-11 | 1984-05-24 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
DE3325803C2 (de) * | 1983-07-16 | 1986-11-20 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Inkrementale, lichtelektrische Meßeinrichtung |
DE3473924D1 (en) * | 1983-10-03 | 1988-10-13 | Rsf Elektronik Gmbh | Optoelectronic length and angle metering method and measuring device to realize this method |
JPH0623931Y2 (ja) * | 1984-08-30 | 1994-06-22 | 株式会社ソキア | 磁気スケール用検出器 |
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IN168444B (ja) * | 1986-08-15 | 1991-04-06 | Mitutoyo Mfg Co Ltd | |
JPH0342517A (ja) * | 1989-07-10 | 1991-02-22 | Canon Inc | 移動状態検出装置 |
JP2746178B2 (ja) * | 1995-02-15 | 1998-04-28 | 双葉電子工業株式会社 | 測定装置の内挿回路 |
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JPH11281403A (ja) | 1998-03-27 | 1999-10-15 | Futaba Corp | 光学式リニヤスケール原点信号発生装置 |
-
2000
- 2000-09-08 JP JP2000273154A patent/JP3557584B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-08-27 US US09/938,581 patent/US6580066B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-09-06 DE DE10143732A patent/DE10143732B4/de not_active Revoked
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE10143732A1 (de) | 2002-03-21 |
JP2002081963A (ja) | 2002-03-22 |
US6580066B2 (en) | 2003-06-17 |
US20020030497A1 (en) | 2002-03-14 |
DE10143732B4 (de) | 2010-09-30 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040123 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040203 |
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A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040506 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080528 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090528 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090528 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100528 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100528 Year of fee payment: 6 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100528 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110528 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110528 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120528 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130528 Year of fee payment: 9 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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