JPH0623931Y2 - 磁気スケール用検出器 - Google Patents
磁気スケール用検出器Info
- Publication number
- JPH0623931Y2 JPH0623931Y2 JP1984131558U JP13155884U JPH0623931Y2 JP H0623931 Y2 JPH0623931 Y2 JP H0623931Y2 JP 1984131558 U JP1984131558 U JP 1984131558U JP 13155884 U JP13155884 U JP 13155884U JP H0623931 Y2 JPH0623931 Y2 JP H0623931Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetoresistive effect
- effect elements
- detector
- scale
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
- G01D5/145—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 ［考案の技術的範囲］ この考案は磁気式ロータリスケールまたはリニアスケー
ルの検出器における磁気抵抗効果素子の配置構造に関す
るものである。
ルの検出器における磁気抵抗効果素子の配置構造に関す
るものである。
［考案の技術的背景］ 磁気式ロータリスケールのデイスク盤やリニアスケール
の磁気媒体には所望の分解能に応じた分割数、すなわち
パターンに従って着磁が施されている。一方、検出器に
はこの磁気パターンをよみとって位相の異なる２つの信
号を出力するように磁気パターンに対向して１対の磁気
抵抗効果素子が配置されている。
の磁気媒体には所望の分解能に応じた分割数、すなわち
パターンに従って着磁が施されている。一方、検出器に
はこの磁気パターンをよみとって位相の異なる２つの信
号を出力するように磁気パターンに対向して１対の磁気
抵抗効果素子が配置されている。
従って、分解能を異にする数種の磁気式ロータリスケー
ルやリニアスケールに対しては、それぞれのパターンに
応じた数種の磁気抵抗効果素子を持った数種の検出器を
用意しておく必要がある。そのため、多くの検出器を製
作しなければならず製作費は高くなり、必要な部品点数
は多くなってこれらを保管管理する手数も増加するなど
の欠点があった。
ルやリニアスケールに対しては、それぞれのパターンに
応じた数種の磁気抵抗効果素子を持った数種の検出器を
用意しておく必要がある。そのため、多くの検出器を製
作しなければならず製作費は高くなり、必要な部品点数
は多くなってこれらを保管管理する手数も増加するなど
の欠点があった。
［考案の目的］ この目的は上記のような実情からなされたものでその目
的とするところは、１個の検出器を用いて２種以上の分
解能を持った磁気式ロータリスケールやリニアスケール
の磁気パターンを検出することができる磁気抵抗効果素
子を有する検出器を提供することにある。
的とするところは、１個の検出器を用いて２種以上の分
解能を持った磁気式ロータリスケールやリニアスケール
の磁気パターンを検出することができる磁気抵抗効果素
子を有する検出器を提供することにある。
［考案の概要］ この考案は、１個の検出器に数種の分解能に応ずるよう
に数対の磁気抵抗効果素子を配設することによって上記
目的を達成するようにしたものである。
に数対の磁気抵抗効果素子を配設することによって上記
目的を達成するようにしたものである。
すなわち、磁気媒体に着磁された磁気パターンに対向配
置され、かつ、この磁気パターンを読取って位相の異な
った２つの信号を出力するように形成された対をなす磁
気抵抗効果素子からなる磁気式ロータリスケール又はリ
ニアスケールの検出器において、この対をなす磁気抵抗
効果素子の配置ピッチが整数倍となるようにして、さら
に互いに電気的に独立させた少なくとも２組の磁気抵抗
効果素子を設けた構造の磁気スケール用検出器である。
置され、かつ、この磁気パターンを読取って位相の異な
った２つの信号を出力するように形成された対をなす磁
気抵抗効果素子からなる磁気式ロータリスケール又はリ
ニアスケールの検出器において、この対をなす磁気抵抗
効果素子の配置ピッチが整数倍となるようにして、さら
に互いに電気的に独立させた少なくとも２組の磁気抵抗
効果素子を設けた構造の磁気スケール用検出器である。
［考案の実施例］ 以下、この考案を図面に示す実施例にもとづいて説明す
る。
る。
第１図において２対の磁気抵抗効果素子を配設した検出
器２は、図に示されたようにパターンの交互にＮ。Ｓ極
を２λのピッチで着磁された磁気媒体１に並設されてい
る。そして、３，３′は１対の磁気抵抗効果素子であ
り、ガラス等の基板上にＮｉ，Ｎｉ−ＦｅやＣｏ等の強
磁性体薄膜をスパッタリングまたは蒸着により形成しエ
ッチングにより図に示すような配置ピッチλのパターン
にして、着磁ピッチを２λに着磁された磁気媒体１に対
向配置させ、それぞれ位相の異なる信号を出力するよう
構成している。
器２は、図に示されたようにパターンの交互にＮ。Ｓ極
を２λのピッチで着磁された磁気媒体１に並設されてい
る。そして、３，３′は１対の磁気抵抗効果素子であ
り、ガラス等の基板上にＮｉ，Ｎｉ−ＦｅやＣｏ等の強
磁性体薄膜をスパッタリングまたは蒸着により形成しエ
ッチングにより図に示すような配置ピッチλのパターン
にして、着磁ピッチを２λに着磁された磁気媒体１に対
向配置させ、それぞれ位相の異なる信号を出力するよう
構成している。
次に、同じ検出器２に他の１対の磁気抵抗効果素子４，
４′を同様にして形成し、その配置ピッチをλ／２にす
る。従って、磁気抵抗効果素子３，３′の配置ピッチ
は、磁気抵抗効果素子４，４′の配置ピッチの整数倍
（図の場合は２倍）となり、後者の分解能は前者の分解
能２倍となる。
４′を同様にして形成し、その配置ピッチをλ／２にす
る。従って、磁気抵抗効果素子３，３′の配置ピッチ
は、磁気抵抗効果素子４，４′の配置ピッチの整数倍
（図の場合は２倍）となり、後者の分解能は前者の分解
能２倍となる。
第１図のように着磁パターンの磁気媒体１に対向配置さ
れた磁気抵抗効果素子３，３′には、磁気媒体１の変位
に従って第２図に示すような抵抗値の変化するそれぞれ
位相の異なった信号を出力する。例えば磁気抵抗効果素
子３からの信号をＡ相とし、磁気抵抗効果素子３′から
の信号をＢ相とする。すなわち、Ａ相として端子Ｔ１−
Ｔ２間には第２図の(a)、Ｔ３−Ｔ４間には(b)のような
抵抗が現れ、Ｂ相としてＴ５−Ｔ６には(c)、Ｔ７−Ｔ
８には(d)のような抵抗が現れ、Ｔ１−Ｔ４間およびＴ
５−Ｔ８間に電圧を印加すると、Ｔ３−Ｔ４お呼びＴ７
−Ｔ８間には第３図の(a)および(b)のように変化する電
圧としてのＡ相出力およびＢ相出力を得ることができ
る。
れた磁気抵抗効果素子３，３′には、磁気媒体１の変位
に従って第２図に示すような抵抗値の変化するそれぞれ
位相の異なった信号を出力する。例えば磁気抵抗効果素
子３からの信号をＡ相とし、磁気抵抗効果素子３′から
の信号をＢ相とする。すなわち、Ａ相として端子Ｔ１−
Ｔ２間には第２図の(a)、Ｔ３−Ｔ４間には(b)のような
抵抗が現れ、Ｂ相としてＴ５−Ｔ６には(c)、Ｔ７−Ｔ
８には(d)のような抵抗が現れ、Ｔ１−Ｔ４間およびＴ
５−Ｔ８間に電圧を印加すると、Ｔ３−Ｔ４お呼びＴ７
−Ｔ８間には第３図の(a)および(b)のように変化する電
圧としてのＡ相出力およびＢ相出力を得ることができ
る。
同様に、磁気抵抗効果素子４，４′には着磁ピッチλの
磁気媒体（図示してない）に対向して、ｔ１−ｔ４間お
よびｔ５−ｔ８間に電圧を印加するとｔ３−ｔ４および
ｔ７−ｔ８間にはＡ相およびＢ相出力を得る。
磁気媒体（図示してない）に対向して、ｔ１−ｔ４間お
よびｔ５−ｔ８間に電圧を印加するとｔ３−ｔ４および
ｔ７−ｔ８間にはＡ相およびＢ相出力を得る。
そこで、この検出器２は着磁ピッチλおよび２λの種の
磁気式ロータリスケールに適用できる。一般に、磁気式
ロータリスケールの磁気媒体の着磁ピッチは２λ，λ，
λ／２，λ／４…のような整数倍の関係にあるので、各
対の配置ピッチを整数倍とした２組以上の磁気抵抗効果
素子を有する１つの検出器を用いて分解能の異なる２種
以上の磁気式ロータリスケールに適用可能である。
磁気式ロータリスケールに適用できる。一般に、磁気式
ロータリスケールの磁気媒体の着磁ピッチは２λ，λ，
λ／２，λ／４…のような整数倍の関係にあるので、各
対の配置ピッチを整数倍とした２組以上の磁気抵抗効果
素子を有する１つの検出器を用いて分解能の異なる２種
以上の磁気式ロータリスケールに適用可能である。
［考案の効果］ 以上の説明から明らかなように、この考案を利用すれば
従来とことなり分解能を異にする数種類の磁気式ロータ
リスケールに対しても検出器は１つで賄うことができる
ので、ロータリスケールの製作費は低減し部品管理の面
で極めて有利となる。
従来とことなり分解能を異にする数種類の磁気式ロータ
リスケールに対しても検出器は１つで賄うことができる
ので、ロータリスケールの製作費は低減し部品管理の面
で極めて有利となる。
第１図はこの考案の構造説明図、第２図は各磁気抵抗効
果素子端子に現れる抵抗値変化を示す波形図、第３図は
同じくＡ相およびＢ相出力の電圧波形図である。 １……磁気媒体、２……検出器、３，３′，４，４′…
…磁気抵抗効果素子。
果素子端子に現れる抵抗値変化を示す波形図、第３図は
同じくＡ相およびＢ相出力の電圧波形図である。 １……磁気媒体、２……検出器、３，３′，４，４′…
…磁気抵抗効果素子。
Claims (1)
- 【請求項１】磁気媒体に着磁された磁気パターンに対向
配置され、かつ該磁気パターンを読取り位相の異なる２
つの信号を出力するように形成された対をなす磁気抵抗
効果素子からなる磁気式ロータリスケール又はリニアス
ケールの検出器において、対をなす磁気抵抗効果素子の
配置ピッチが整数倍となるようにし互いに電気的に独立
させ少なくとも２組の磁気抵抗効果素子を設けたことを
特徴とする磁気スケール用検出器。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984131558U JPH0623931Y2 (ja) | 1984-08-30 | 1984-08-30 | 磁気スケール用検出器 |
| US06/755,273 US4731580A (en) | 1984-08-30 | 1985-07-15 | Displacement sensing device with two magnetoresistance element sections used independently |
| GB08518038A GB2163852B (en) | 1984-08-30 | 1985-07-17 | Measuring apparatus using magnetoresistance elements |
| DE19853526338 DE3526338A1 (de) | 1984-08-30 | 1985-07-23 | Messeinrichtung mit magnetoresistiven elementen |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984131558U JPH0623931Y2 (ja) | 1984-08-30 | 1984-08-30 | 磁気スケール用検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6146413U JPS6146413U (ja) | 1986-03-28 |
| JPH0623931Y2 true JPH0623931Y2 (ja) | 1994-06-22 |
Family
ID=15060873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984131558U Expired - Lifetime JPH0623931Y2 (ja) | 1984-08-30 | 1984-08-30 | 磁気スケール用検出器 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4731580A (ja) |
| JP (1) | JPH0623931Y2 (ja) |
| DE (1) | DE3526338A1 (ja) |
| GB (1) | GB2163852B (ja) |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3611469A1 (de) * | 1986-04-05 | 1987-10-08 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung und verfahren zur beruehrungslosen positionsmessung |
| JP2556851B2 (ja) * | 1987-03-02 | 1996-11-27 | 三菱化学株式会社 | 磁気抵抗素子 |
| GB2205406A (en) * | 1987-06-04 | 1988-12-07 | Spectrol Reliance Ltd | Encoder apparatus |
| KR890000890A (ko) * | 1987-06-22 | 1989-03-17 | 미타 가츠시게 | 토크검출장치 |
| US4853631A (en) * | 1987-11-04 | 1989-08-01 | The Superior Electric Company | Magnetoresistive sensor having inter-leaved magnetoresistive elements for detecting encoded magnetic information |
| US4866382A (en) * | 1987-11-04 | 1989-09-12 | Superior Electric Company | Magnetic rotary encoder system having a multi-element magnetoresistive sensor |
| US5047716A (en) * | 1988-02-19 | 1991-09-10 | K.K. Sankyo Seiki Seisakusho | Movement detector employing constant current drive |
| JPH01299415A (ja) * | 1988-05-28 | 1989-12-04 | Alps Electric Co Ltd | 磁気式エンコーダ |
| EP0372136B1 (en) * | 1988-12-07 | 1992-09-16 | Dana Corporation | Magnetic rotary encoder system |
| JPH07104180B2 (ja) * | 1988-12-28 | 1995-11-13 | ザ スペリア エレクトリック カンパニー | 磁気回転エンコーダ系 |
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| DE4141000B4 (de) * | 1990-12-13 | 2010-11-25 | Papst Licensing Gmbh & Co. Kg | Anordnungen und Verfahren zur Messung von Drehwinkeln |
| JPH04282417A (ja) * | 1991-03-08 | 1992-10-07 | Hitachi Metals Ltd | 磁気センサ |
| DE4316221C2 (de) * | 1993-05-14 | 1995-11-23 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| US5545985A (en) * | 1994-03-16 | 1996-08-13 | Campbell; Peter | Magnetoresistive position sensor including an encoder wherein the magnetization extends greater than 0.5 times the pole pitch below the surface |
| DE19536433C2 (de) * | 1995-09-29 | 1999-04-08 | Siemens Ag | Vorrichtung zur berührungslosen Positionserfassung eines Objektes und Verwendung der Vorrichtung |
| DE19732713A1 (de) * | 1997-07-30 | 1999-02-04 | Elgo Electric Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Positionsbestimmung |
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| DE102005019095A1 (de) * | 2005-04-25 | 2006-10-26 | Ott Messtechnik Gmbh & Co. Kg | Längenmessgerät |
| EP4031889A4 (en) * | 2019-09-20 | 2023-10-18 | Kaman Aerospace Corporation, Memory and Measuring Systems | HIGH PRESSURE MAGNETO-RESISTIVE NON-CONTACT DISPLACEMENT SENSOR |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS53120547A (en) * | 1977-03-30 | 1978-10-21 | Denki Onkyo Co Ltd | Mechanicallelectrical transducer applying magnetic resistance element |
| US4224628A (en) * | 1978-08-31 | 1980-09-23 | The Valeron Corporation | General purpose combined alphanumeric/graphics printer |
| JPS5559314A (en) * | 1978-10-27 | 1980-05-02 | Sony Corp | Magnetic scale signal detector |
| DE3126806A1 (de) * | 1981-07-07 | 1983-01-27 | Siemens Ag | Digitaler messsensor, seine verwendung und verfahren zu seiner herstellung |
| JPS58154615A (ja) * | 1982-03-10 | 1983-09-14 | Copal Co Ltd | 磁気検出装置 |
| JPS595914A (ja) * | 1982-07-02 | 1984-01-12 | Hitachi Ltd | 磁気的に位置を検出する装置 |
| JPS5979806A (ja) * | 1982-10-29 | 1984-05-09 | Hitachi Ltd | 多相磁気回転センサおよび多相−２相出力変換方法 |
-
1984
- 1984-08-30 JP JP1984131558U patent/JPH0623931Y2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1985
- 1985-07-15 US US06/755,273 patent/US4731580A/en not_active Expired - Lifetime
- 1985-07-17 GB GB08518038A patent/GB2163852B/en not_active Expired
- 1985-07-23 DE DE19853526338 patent/DE3526338A1/de active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB8518038D0 (en) | 1985-08-21 |
| GB2163852B (en) | 1988-03-16 |
| GB2163852A (en) | 1986-03-05 |
| DE3526338A1 (de) | 1986-03-06 |
| DE3526338C2 (ja) | 1988-03-17 |
| US4731580A (en) | 1988-03-15 |
| JPS6146413U (ja) | 1986-03-28 |
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