JP2961462B2 - アブソリュートエンコーダ - Google Patents
アブソリュートエンコーダInfo
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- JP2961462B2 JP2961462B2 JP4058817A JP5881792A JP2961462B2 JP 2961462 B2 JP2961462 B2 JP 2961462B2 JP 4058817 A JP4058817 A JP 4058817A JP 5881792 A JP5881792 A JP 5881792A JP 2961462 B2 JP2961462 B2 JP 2961462B2
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- Japan
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- terminals
- track
- terminal
- absolute
- magnetic
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はエンコーダ、特にエン
コーダ出力がコード化されており、直接回転体の絶対位
置を検出できる、いわゆるアブソリュートエンコーダに
関するものである。
コーダ出力がコード化されており、直接回転体の絶対位
置を検出できる、いわゆるアブソリュートエンコーダに
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】特開昭５４−１１８２５９号公報や、特
開昭６２−８３６１９号公報には２列以上の磁化パター
ンが着磁された磁気ドラムと磁気抵抗効果素子（以下Ｍ
Ｒ素子という）を利用した検出器とを組み合わせた磁気
式のアブソリュートエンコーダが示されている。一般に
この種のアブソリュートエンコーダにおいて２のｎ乗の
分解能を得るのにはｎ本のトラックが必要であり、この
ようなものでは図３に示すように１ビットのアブソリュ
ート情報を記録した各トラック３０を磁気ドラムの外周
に軸方向に複数個（図示の例では６個）配列し、この磁
気ドラムに前記トラックの数に対応するビット数のＭＲ
素子（Ｒ01，Ｒ02, ・・・）を配列した磁気センサ２０
を対向配置し、該複数のＭＲ素子から得られた信号を組
み合わせてアブソリュート値を出力する構成としてい
る。
開昭６２−８３６１９号公報には２列以上の磁化パター
ンが着磁された磁気ドラムと磁気抵抗効果素子（以下Ｍ
Ｒ素子という）を利用した検出器とを組み合わせた磁気
式のアブソリュートエンコーダが示されている。一般に
この種のアブソリュートエンコーダにおいて２のｎ乗の
分解能を得るのにはｎ本のトラックが必要であり、この
ようなものでは図３に示すように１ビットのアブソリュ
ート情報を記録した各トラック３０を磁気ドラムの外周
に軸方向に複数個（図示の例では６個）配列し、この磁
気ドラムに前記トラックの数に対応するビット数のＭＲ
素子（Ｒ01，Ｒ02, ・・・）を配列した磁気センサ２０
を対向配置し、該複数のＭＲ素子から得られた信号を組
み合わせてアブソリュート値を出力する構成としてい
る。
【０００３】また、特開平２−２４５１３号公報にはア
ブソリュートパターンを有するトラックを設けた符号板
からアブソリュート信号を得ることが示されている。こ
の例では２のｎ乗の分解能を得るためには２のｎ乗個の
情報を１トラックに書き込む必要がある。
ブソリュートパターンを有するトラックを設けた符号板
からアブソリュート信号を得ることが示されている。こ
の例では２のｎ乗の分解能を得るためには２のｎ乗個の
情報を１トラックに書き込む必要がある。
【０００４】図４はこのようなアブソリュートエンコー
ダを示す斜視図であり、１は磁気ドラム、２はＭＲ素子
を備えた磁気センサ、３は磁気ドラム１の外周に形成し
た磁気トラックである。
ダを示す斜視図であり、１は磁気ドラム、２はＭＲ素子
を備えた磁気センサ、３は磁気ドラム１の外周に形成し
た磁気トラックである。
【０００５】上記磁気トラック３は互に磁気ドラム１の
軸方向にづれた３個の磁気トラック３−１，３−２，３
−３により形成され、上側の２個のトラック３−１と３
−２は絶対位置の出力用トラックとしてこれに循環乱数
系列によるアブソリュートパターンが記録され、下側の
トラック３−３にはこれから正弦波信号を得るように磁
極Ｎ，Ｓが規則正しく交互に記録されている。
軸方向にづれた３個の磁気トラック３−１，３−２，３
−３により形成され、上側の２個のトラック３−１と３
−２は絶対位置の出力用トラックとしてこれに循環乱数
系列によるアブソリュートパターンが記録され、下側の
トラック３−３にはこれから正弦波信号を得るように磁
極Ｎ，Ｓが規則正しく交互に記録されている。
【０００６】図５は磁気ドラム１の外周面の展開図で、
絶対位置の出力用トラック３−１には記録信号のない部
分があり、この部分に対応する絶対位置の出力用トラッ
ク３−２の部分には信号が記録されている。また、反対
にトラック３−１の記録信号の記録された部分に対応す
る出力用トラック３−２の部分には信号は記録されてい
ない。
絶対位置の出力用トラック３−１には記録信号のない部
分があり、この部分に対応する絶対位置の出力用トラッ
ク３−２の部分には信号が記録されている。また、反対
にトラック３−１の記録信号の記録された部分に対応す
る出力用トラック３−２の部分には信号は記録されてい
ない。
【０００７】図６は磁気ドラム１の磁気トラックと磁気
センサ２の中のＭＲ素子との関係を示す展開図である。
図６から明らかなように絶対位置の出力用トラック３−
１，３−２にそれぞれ対向するように配置した出力用の
ＭＲ素子Ｒ11，Ｒ12，Ｒ21，Ｒ22が３端子結合され、３
端子結合されたＭＲ素子Ｒ11，Ｒ12及びＲ21，Ｒ22の夫
々の組は磁気トラックの最小記録ピッチをλとしたとき
半分のピッチであるλ／２だけ互に離して配置されてい
る。
センサ２の中のＭＲ素子との関係を示す展開図である。
図６から明らかなように絶対位置の出力用トラック３−
１，３−２にそれぞれ対向するように配置した出力用の
ＭＲ素子Ｒ11，Ｒ12，Ｒ21，Ｒ22が３端子結合され、３
端子結合されたＭＲ素子Ｒ11，Ｒ12及びＲ21，Ｒ22の夫
々の組は磁気トラックの最小記録ピッチをλとしたとき
半分のピッチであるλ／２だけ互に離して配置されてい
る。
【０００８】図６に示す配置で磁気ドラム１を磁気記録
の配列方向に移動させると各３端子結合されたＭＲ素子
の出力は図７のｅ１，ｅ２のように変化する。この出力
ｅ１，ｅ２は図８に示す第１の処理回路に入力され図７
のｅ０１出力が得られる。なお、図８においてＲｉ，Ｒ
ｆは固定抵抗、４ａはオペアンプである。図６の展開図
ではＲ１１，Ｒ１２，Ｒ２１及びＲ２２の４個のＭＲ素
子で形成した１組の“Ｈブリッジ”で１ビットの検出器
を構成しているがこのような“Ｈブリッジ”を磁気トラ
ックの最小記録ピッチλの間隔で移動方向にｎ個配列す
ればｎビットの絶対位置の出力が得られる。
の配列方向に移動させると各３端子結合されたＭＲ素子
の出力は図７のｅ１，ｅ２のように変化する。この出力
ｅ１，ｅ２は図８に示す第１の処理回路に入力され図７
のｅ０１出力が得られる。なお、図８においてＲｉ，Ｒ
ｆは固定抵抗、４ａはオペアンプである。図６の展開図
ではＲ１１，Ｒ１２，Ｒ２１及びＲ２２の４個のＭＲ素
子で形成した１組の“Ｈブリッジ”で１ビットの検出器
を構成しているがこのような“Ｈブリッジ”を磁気トラ
ックの最小記録ピッチλの間隔で移動方向にｎ個配列す
ればｎビットの絶対位置の出力が得られる。
【０００９】また２個の絶対位置の出力用トラック３−
１，３−２に隣接する２相の正弦波出力用トラック３−
３の最小記録ピッチは絶対位置の出力用トラック３−
１，３−２と同じλで、同一ピッチで一周に旦り記録さ
れ、正弦波出力用トラック３−３に対向して設けられた
ＭＲ素子Ｒ31，Ｒ32は（ｎ＋１／２）λ（但しｎ＝０，
１，２，・・・）（図６ではｎ＝１）のピッチで配置さ
れ３端子結合され、ＭＲ素子Ｒ31，Ｒ41はｎλ／３（ｎ
＝１，２，・・・）（図６ではｎ＝２）の間隔で配置さ
れ、ＭＲ素子Ｒ41，Ｒ42はλ／２の間隔で配置し３端子
結合せしめる。この夫々の３端子結合から得られた出力
ｅ3 ，ｅ4 は、図９の第２の処理回路に入力され図７の
ｅ０２のようにπ／４位相のずれた２相の正弦波即ちｓ
ｉｎθ，ｃｏｓθが得られる。なお、図９において４ｂ
はオペアンプである。
１，３−２に隣接する２相の正弦波出力用トラック３−
３の最小記録ピッチは絶対位置の出力用トラック３−
１，３−２と同じλで、同一ピッチで一周に旦り記録さ
れ、正弦波出力用トラック３−３に対向して設けられた
ＭＲ素子Ｒ31，Ｒ32は（ｎ＋１／２）λ（但しｎ＝０，
１，２，・・・）（図６ではｎ＝１）のピッチで配置さ
れ３端子結合され、ＭＲ素子Ｒ31，Ｒ41はｎλ／３（ｎ
＝１，２，・・・）（図６ではｎ＝２）の間隔で配置さ
れ、ＭＲ素子Ｒ41，Ｒ42はλ／２の間隔で配置し３端子
結合せしめる。この夫々の３端子結合から得られた出力
ｅ3 ，ｅ4 は、図９の第２の処理回路に入力され図７の
ｅ０２のようにπ／４位相のずれた２相の正弦波即ちｓ
ｉｎθ，ｃｏｓθが得られる。なお、図９において４ｂ
はオペアンプである。
【００１０】図１０は回転体の８個所の絶対位置を検出
するようにしたアブソリュートエンコーダを示し、この
例では磁気トラック３−１と３−２の磁気記録を検出す
るＭＲ素子Ｒ１１，Ｒ１２の３端子構成とＲ２１，Ｒ
２２の３端子構成とＲ２１，Ｒ２２の３端子構成とＲ
３１，Ｒ３２の３端子構成及びＲ４１，Ｒ４２の３端子
構成の４組の３端子構成を、夫々λ／２のピッチで配設
ている。なお、図２Ａは被検出パターン５と検出部６と
の関係を示す原理図であり、被検出パターン５は、図４
に示す出力トラック３−１，３−２を意味し、検出部６
は図４の磁気センサ２を意味している。図２Ａでは回転
体の８個所の絶対位置を検出する場合について述べる。
被検出パターン５から検出部６で３ビットの信号を検出
すれば８個所の位置がコード０〜７として検出できる。
即ち、図２Ａに於いて、検出部６を右に１ビットずつず
らしながら３ビットを読み取って行くと、図２Ｂに示す
ように７，６，４，０，１，２，５，３，とコード化す
ることができる。回転体の位置が０〜７のコードで読み
取れるので８個所の絶対値が読み取れることになる。上
記７，６，４，０，１，２，５，３の絶対値については
予め記憶素子に前記コード値に対応する数値を記憶させ
ておけば順番に０〜７まで読むことができる。即ち、図
２Ａの位置関係が図２Ｃと図２Ｄの位置にある時、処理
回路からの出力ｅ０１，ｅ０２，ｅ０３は、それぞれ出
力が“１”で図２Ｂの“７（１１１）”の状態を示して
いる。次に、図２Ｄの検出部６が図２Ｃに対してλ（２
π）右に移動した場合を考えると検出部６の出力ｅ０
１，ｅ０２，ｅ０３は、それぞれ“１”，“１”，
“０”となり、図２Ｂの“６（１１０）”の状態を示
す。更に、λ（２π）右に移動した場合を考えると、検
出部６の出力ｅ０１，ｅ０２，ｅ０３は、それぞれ
“１”，“０”，“０”となり、図２Ｂの“４（１０
０）”の状態となる。以下、λ（２π）ずつ右に移動さ
せて行くと、図２Ｂの“０（０００）”，“１（００
１）”，“２（０１０）”，“５（１０１）”，“３
（０１１）”の状態になる。上記の説明では１回転中の
８個所を３ビットの検出器で読み取る場合について述べ
たが、同様に検出部をｎビットで構成すれば１回転中の
２のｎ乗個所の絶対値を読み取ることができる。
するようにしたアブソリュートエンコーダを示し、この
例では磁気トラック３−１と３−２の磁気記録を検出す
るＭＲ素子Ｒ１１，Ｒ１２の３端子構成とＲ２１，Ｒ
２２の３端子構成とＲ２１，Ｒ２２の３端子構成とＲ
３１，Ｒ３２の３端子構成及びＲ４１，Ｒ４２の３端子
構成の４組の３端子構成を、夫々λ／２のピッチで配設
ている。なお、図２Ａは被検出パターン５と検出部６と
の関係を示す原理図であり、被検出パターン５は、図４
に示す出力トラック３−１，３−２を意味し、検出部６
は図４の磁気センサ２を意味している。図２Ａでは回転
体の８個所の絶対位置を検出する場合について述べる。
被検出パターン５から検出部６で３ビットの信号を検出
すれば８個所の位置がコード０〜７として検出できる。
即ち、図２Ａに於いて、検出部６を右に１ビットずつず
らしながら３ビットを読み取って行くと、図２Ｂに示す
ように７，６，４，０，１，２，５，３，とコード化す
ることができる。回転体の位置が０〜７のコードで読み
取れるので８個所の絶対値が読み取れることになる。上
記７，６，４，０，１，２，５，３の絶対値については
予め記憶素子に前記コード値に対応する数値を記憶させ
ておけば順番に０〜７まで読むことができる。即ち、図
２Ａの位置関係が図２Ｃと図２Ｄの位置にある時、処理
回路からの出力ｅ０１，ｅ０２，ｅ０３は、それぞれ出
力が“１”で図２Ｂの“７（１１１）”の状態を示して
いる。次に、図２Ｄの検出部６が図２Ｃに対してλ（２
π）右に移動した場合を考えると検出部６の出力ｅ０
１，ｅ０２，ｅ０３は、それぞれ“１”，“１”，
“０”となり、図２Ｂの“６（１１０）”の状態を示
す。更に、λ（２π）右に移動した場合を考えると、検
出部６の出力ｅ０１，ｅ０２，ｅ０３は、それぞれ
“１”，“０”，“０”となり、図２Ｂの“４（１０
０）”の状態となる。以下、λ（２π）ずつ右に移動さ
せて行くと、図２Ｂの“０（０００）”，“１（００
１）”，“２（０１０）”，“５（１０１）”，“３
（０１１）”の状態になる。上記の説明では１回転中の
８個所を３ビットの検出器で読み取る場合について述べ
たが、同様に検出部をｎビットで構成すれば１回転中の
２のｎ乗個所の絶対値を読み取ることができる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のアブソ
リュートエンコーダでは図１０に示すようにアブソリュ
ートトラックに対向するＭＲ素子のパターン配置で１番
目の３端子結合された素子と２番目の３端子結合された
素子は電源の上下が反対で、これが交互に繰り返されて
いる千鳥配線のパターンになっている。この為、ＭＲ素
子のパターン制作に於いて１層配線はできず２層配線に
なり、センサ部と電源部との導通スルーホール部が多く
なり信頼性が低下するという欠点があった。
リュートエンコーダでは図１０に示すようにアブソリュ
ートトラックに対向するＭＲ素子のパターン配置で１番
目の３端子結合された素子と２番目の３端子結合された
素子は電源の上下が反対で、これが交互に繰り返されて
いる千鳥配線のパターンになっている。この為、ＭＲ素
子のパターン制作に於いて１層配線はできず２層配線に
なり、センサ部と電源部との導通スルーホール部が多く
なり信頼性が低下するという欠点があった。
【００１２】本発明は上述した欠点を除くようにしたも
のである。
のである。
【００１３】
【００１４】本発明のアブソリュートエンコーダは、循
環乱数系列符号によるアブソリュートパターンを有する
第１，第２のトラックを設けた磁気ドラムと、この磁気
ドラムに対向して設けた前記トラックの長手方向のパタ
ーンの読み取り用検出器とより成り、上記第１，第２の
トラックに対向する検出器の夫々の磁気抵抗効果素子が
３端子結合され、この３端子結合が互に隣接して第１〜
（ｎ＋１）セット配置され、この３端子結合の上記第１
トラック側の端子が電源の一方の極側ラインに共通に接
続されており、上記第１及び（ｎ＋１）の３端子結合の
上記第２トラック側の端子が電源の他方の極側ラインに
接続され、第２〜ｎセットの３端子結合の上記第２トラ
ック側の端子が互に隣接するもの毎に接続した後電源の
他方の極側ラインに共通ラインを介して接続され、互に
隣接する３端子結合の出力端子をこの互に隣接する３端
子結合の上記他方の極側ラインに接続された端子間で取
り出されることを特徴とする。
環乱数系列符号によるアブソリュートパターンを有する
第１，第２のトラックを設けた磁気ドラムと、この磁気
ドラムに対向して設けた前記トラックの長手方向のパタ
ーンの読み取り用検出器とより成り、上記第１，第２の
トラックに対向する検出器の夫々の磁気抵抗効果素子が
３端子結合され、この３端子結合が互に隣接して第１〜
（ｎ＋１）セット配置され、この３端子結合の上記第１
トラック側の端子が電源の一方の極側ラインに共通に接
続されており、上記第１及び（ｎ＋１）の３端子結合の
上記第２トラック側の端子が電源の他方の極側ラインに
接続され、第２〜ｎセットの３端子結合の上記第２トラ
ック側の端子が互に隣接するもの毎に接続した後電源の
他方の極側ラインに共通ラインを介して接続され、互に
隣接する３端子結合の出力端子をこの互に隣接する３端
子結合の上記他方の極側ラインに接続された端子間で取
り出されることを特徴とする。
【００１５】
【実施例】以下図面によって本発明の実施例を説明す
る。
る。
【００１６】
【００１７】
【００１８】図１は本発明の実施例における磁気ドラム
１と磁気センサ２のＭＲ素子との関係を示す展開図であ
る。図１から明らかなようにこの実施例ではＭＲ素子は
３端子結合され、出力トラック３−１，３−２に夫々対
向し、出力用トラック３−１側は＋（Ｖ）ラインに接続
されている。又、出力用トラック３−２側を−（Ｇ）ラ
インに全て接続すると、３端子結合の出力端子がＧ側ラ
インと交差するので“Ｈブリッジ”の片側を切り離し、
各ビット間を接続し、そこからＧ側端子を単独に各々出
すようにする。このようにする事により、端子数は増す
が１層パターンのみでＭＲ素子を製作出来るので信頼性
が向上する。
１と磁気センサ２のＭＲ素子との関係を示す展開図であ
る。図１から明らかなようにこの実施例ではＭＲ素子は
３端子結合され、出力トラック３−１，３−２に夫々対
向し、出力用トラック３−１側は＋（Ｖ）ラインに接続
されている。又、出力用トラック３−２側を−（Ｇ）ラ
インに全て接続すると、３端子結合の出力端子がＧ側ラ
インと交差するので“Ｈブリッジ”の片側を切り離し、
各ビット間を接続し、そこからＧ側端子を単独に各々出
すようにする。このようにする事により、端子数は増す
が１層パターンのみでＭＲ素子を製作出来るので信頼性
が向上する。
【００１９】上記の本発明の説明は回転形の磁気エンコ
ーダについて為されているが本発明の要旨はリニアエン
コーダにも適用することができる。
ーダについて為されているが本発明の要旨はリニアエン
コーダにも適用することができる。
【００２０】
【発明の効果】本発明に成るアブソリュートエンコーダ
は上記のような構成であるから１層配線でＭＲ素子を製
作出来るため、高信頼性のアブソリュートエンコーダの
製作が可能となる大きな利益がある。
は上記のような構成であるから１層配線でＭＲ素子を製
作出来るため、高信頼性のアブソリュートエンコーダの
製作が可能となる大きな利益がある。
【図１】本発明のアブソリュートエンコーダの一実施例
における磁気トラックとＭＲ素子との関係を示す展開図
である。
における磁気トラックとＭＲ素子との関係を示す展開図
である。
【図２Ａ】
本発明のアブソリュートエンコーダにおける
被検出パターンと検出部との関係を示す原理図である。
被検出パターンと検出部との関係を示す原理図である。
【図２Ｂ】
本発明のアブソリュートエンコーダにおける
検出パターンを示す説明図である。
検出パターンを示す説明図である。
【図２Ｃ】
図２Ａにおける被検出パターンの位置説明図
である。
である。
【図２Ｄ】
図２Ａにおける検出部の位置説明図である。
【図３】従来のアブソリュートエンコーダにおける磁気
トラックと磁気センサの展開図である。
トラックと磁気センサの展開図である。
【図４】従来のアブソリュートエンコーダにおける磁気
トラックと磁気センサの斜視図である。
トラックと磁気センサの斜視図である。
【図５】従来のアブソリュートエンコーダにおける磁気
ドラムの外周面の展開図である。
ドラムの外周面の展開図である。
【図６】従来のアブソリュートエンコーダにおける磁気
トラックとＭＲ素子との関係を示す展開図である。
トラックとＭＲ素子との関係を示す展開図である。
【図７】本発明のアブソリュートエンコーダにおける磁
気センサ及び処理回路からの信号波形である。
気センサ及び処理回路からの信号波形である。
【図８】従来のアブソリュートエンコーダにおける第１
の処理回路である。
の処理回路である。
【図９】従来のアブソリュートエンコーダにおける第２
の処理回路である。
の処理回路である。
【図１０】従来のアブソリュートエンコーダにおける磁
気トラックとＭＲ素子との関係を示す展開図である。
気トラックとＭＲ素子との関係を示す展開図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−168115（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−95315（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−22205（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−38316（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−105503（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−247214（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01D 5/249
Claims (1)
- 【請求項１】 循環乱数系列符号によるアブソリュート
パターンを有する第１，第２のトラックを設けた磁気ド
ラムと、この磁気ドラムに対向して設けた前記トラック
の長手方向のパターンの読み取り用検出器とより成り、
上記第１，第２のトラックに対向する検出器の夫々の磁
気抵抗効果素子が３端子結合され、この３端子結合が互
に隣接して第１〜（ｎ＋１）セット配置され、この３端
子結合の上記第１トラック側の端子が電源の一方の極側
ラインに共通に接続されており、上記第１及び（ｎ＋
１）の３端子結合の上記第２トラック側の端子が電源の
他方の極側ラインに接続され、第２〜ｎセットの３端子
結合の上記第２トラック側の端子が互に隣接するもの毎
に接続した後電源の他方の極側ラインに共通ラインを介
して接続され、互に隣接する３端子結合の出力端子をこ
の互に隣接する３端子結合の上記他方の極側ラインに接
続された端子間で取り出されることを特徴とするアブソ
リュートエンコーダ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4058817A JP2961462B2 (ja) | 1992-02-13 | 1992-02-13 | アブソリュートエンコーダ |
| DE69312109T DE69312109T2 (de) | 1992-02-13 | 1993-01-19 | Absolutkodierer |
| EP93300334A EP0555961B1 (en) | 1992-02-13 | 1993-01-19 | Absolute encoder |
| US08/009,267 US5430373A (en) | 1992-02-13 | 1993-01-22 | Absolute encoder |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4058817A JP2961462B2 (ja) | 1992-02-13 | 1992-02-13 | アブソリュートエンコーダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05223596A JPH05223596A (ja) | 1993-08-31 |
| JP2961462B2 true JP2961462B2 (ja) | 1999-10-12 |
Family
ID=13095173
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4058817A Expired - Fee Related JP2961462B2 (ja) | 1992-02-13 | 1992-02-13 | アブソリュートエンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2961462B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6395315A (ja) * | 1986-10-13 | 1988-04-26 | Hitachi Ltd | 磁気的な位置検出装置 |
| JP2754635B2 (ja) * | 1988-12-22 | 1998-05-20 | 株式会社ニコン | アブソリュートエンコーダ |
| JPH02231586A (ja) * | 1989-03-06 | 1990-09-13 | Japan Servo Co Ltd | 磁気センサ |
-
1992
- 1992-02-13 JP JP4058817A patent/JP2961462B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05223596A (ja) | 1993-08-31 |
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