JP3913026B2 - リニアスケールの信号処理装置及び方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、相対的に移動している二物体間の移動量を測定するリニヤスケールに関するものであり、特に光学式のリニヤスケールにおいて、スケールの検出位置に対応して変化しているアナログ信号を、デジタル的な信号演算によって処理し、リアルタイムで移動情報を示す出力信号を発生する際に好適なリニヤスケールの信号処理装置及び方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
工作機械等において、被加工物に対する工具の相対的な移動量を高い精度で正確に測定することは、精密加工を行う上で極めて重要であり、また、この測定値を迅速にシリアルデータとして出力することが要請されている。
そのひとつの例として、光学格子を2枚重ね合わせることにより得られるモアレ縞を利用した光学式スケールの概要を以下に述べる。
この光学式スケールは、図6に示すように透明のガラススケール100の一面に透光部と非透光部が所定のピッチで配列するよう格子(刻線)を設けたメインスケール101と、透明のガラススケール102の一面に透光部と非透光部が所定のピッチで配列するよう格子(刻線)を設けたインデックススケール103とを有し、同図(a)に示すように、このメインスケール101にインデックススケール103を微小間隔を持って対向させると共に、同図(b)に示すように、メインスケール101の格子に対し微小角度傾けられるようにインデックススケール103の格子を配置している。
【0003】
このように配置すると、スケールの移動に応じて図7に示すモアレ縞が発生する。このモアレ縞の間隔はWとなり、間隔W/2毎に暗い部分あるいは明るい部分が発生する。この暗い部分あるいは明るい部分は、メインスケール101に対し、インデックススケール103が相対的に左右に移動すると上から下、あるいは下から上に移動していく。この場合、メインスケール101及びインデックススケール103の格子のピッチをP、相互の傾斜角度をθ[rad]とすると、モアレ縞の間隔Wは、
W=P/θ
と示され、ピッチPは光学的にモアレ縞の間隔Wをθ倍に拡大して検出することができる。すなわち、格子が1ピッチ移動すると、モアレ縞はWだけ変位するが、ピッチPはWのθ倍となるので、モアレ縞の位相変化を検出することによってピッチP内の移動量を高い精度で測定することができるようになる。
【0004】
そこで、図8に示すように光電変換素子110によってモアレ縞を検出すると、モアレ縞の位置がAの状態となっていると、光電変換素子110に照射される光量は最も多くなり、光電変換素子110に流れる電流は最大値I1 となる。次に、相対的に移動してBの状態になると光電変換素子110に照射される光量はやや減少し、その電流はI2 となり、更に、移動してCの状態になると光電変化素子110には最も少ない光量が照射され、その電流も最も小さいI3 となる。そして、更に移動してDの状態になると光電変換素子110に照射される光量はやや増加し、その電流はI2 となり、Eの状態になるまで移動すると、再び最も光量の多い位置となり、元の電流値I1 に戻る。
このように、光電変換素子110に流れる電流は正弦波状に変化すると共に、その変化が1周期経過した時に、格子のピッチPだけメインスケール101とインデックススケール103とが相対的に移動したことになる。
【0005】
また、図9に示すように、90度、または一周期(間隔W)と90゜ずらせて2つの光電変換素子111,112を設けると、A相の光電変換素子111に流れる電流に対してB相の光電変換素子112に流れる電流は、図10に示すように90゜変位した電流となる。すなわち、A相の光電変換素子111に流れる電流をSin波とすると、B相の光電変換素子112に流れる電流はCos波となる。
この場合、メインスケール101とインデックススケール103との相対的な移動方向により、A相の光電変換素子111に流れる電流に対するB相の光電変換素子112に流れる電流の位相は90゜進相あるいは90゜遅相となるため、90゜ずらせて配置した2つの光電変換素子を設けることで相対的な移動方向を検出することができる。
【0006】
ところで、このように構成された光学式スケールは、光電変換素子によってモアレ縞を透過している光を検出し、モアレ縞の変化をアナログの電流値と検出しているため、この検出電流からスケールの1ピッチを内挿するためパルス信号を得るために、図11に示すような信号処理を行っている。
【0007】
この図11において、231は搬送信号CK(a,b,c)が入力されている平衡変調器(以下、単に変調器ともいう)、232はローパスフイルタ、233は波形整形回路、234は波形整形された2値信号から後で述べるように1ピッチ間を内挿するA相パルス信号、及びB相パルス信号を形成するデジタル信号処理部である。
前記変調器231は、本出願人が先に特開昭63−133104号公報として公開しているように、正弦波状の信号レベルを変調信号として搬送波周波数を平衡変調するものであって、正弦波状のレベルが搬送波の位相情報として出力されるようにしており、例えば図12に示すように、入力されたA相信号はバッファとして動作するオペアンプOP1を介して抵抗ネットワークRTに供給されると共に、オペアンプOP2により反転されて抵抗ネットワークRTに供給される。
また、B相信号はバッファとして動作するオペアンプOP3を介して抵抗ネットワークRTに供給されると共に、オペアンプOP4により反転されて抵抗ネットワークRTに供給される。
【0008】
すなわち、A相信号,反転A相信号,B相信号,反転B相信号を抵抗ネットワークRTにより混合加算し、位相が反対で同電圧の8分割された混合信号を作成し、マルチプレクサAMの8つの入力端子(0)〜(7)にそれぞれ供給している。このマルチプレクサAMの入力端子C1,C2,C3には図13(c)に示す選択信号A,B,Cが入力され、この選択信号A,B,CによりマルチプレクサAMの入力端子(0)〜(7)が順次選択されて、出力端子toから図13(a)に示す階段状の出力信号Sが出力される。
このマルチプレクサAMから出力される信号Sの周波数は、図13に図示するように選択信号Cの周期と同一であり、結局のところ、選択信号Cを搬送波としてその位相をA相信号(B相信号)のレベルにより平衡変調した出力信号SがマルチプレクサAMから出力されるようになる。すなわち、A相信号(B相信号)のレベルに応じて位相偏移された搬送波が出力されるのである。
【0009】
このように平衡変調された変調波は次にローパスフイルタ232に印加されて、図13(b)に示すように滑らかな正弦波状とされる。
【0010】
この正弦波状に変換された信号は搬送波の周波数の角速度をω、スケールの格子(刻線)間隔をp、スケールの移動量をxとしたときに
Vs=K・Cos(ωt−2π・x/p)
によって示される信号となり、スケールの移動量xとピッチpの比x/pで位相が変調された交流信号となる。
【0011】
そして、この位相変調された交流信号が次の波形整形回路233によって零レベルの点がエッジとされる2値信号に変換される。
この波形整形回路233より出力される2値信号の位相と、光学手段から出力されたA相信号及びB相信号のレベルとの関係を図14に示す。
この図の左側に示す正弦波状に変化している信号がスケールから出力されたA相信号及びB相信号であり、右側に示すパルス波形は位相偏移を受けた波形整形回路233よりの搬送波の2値信号であり、その破線位置が変調回路231に供給される搬送波CK(a,b,c)の零位相である。
【0012】
そして、この図のイに示すように、スケールの停止状態で、例えば、A相信号が正の最大レベルでB相信号が零レベルの場合は零位相から90゜位相偏移された2値信号とされ、A相信号が零レベルでB相信号が正の最大レベルの同図ロの場合は180゜位相偏移された2値信号とされ、以下、A相信号が負の最大レベルでB相信号が零レベルの同図ハの場合は270゜、A相信号が零レベルでB相信号が負の最大レベルの同図ニの場合は360゜位相偏移されて、位相偏移され、搬送波の零位相と同じになる。
【0013】
デジタル信号処理部234はそのキャプチャ機能を利用して、波形整形回路233から出力されているこの2値信号の立ち上がり点と、点線で示す基準位相の間隔Tを検出する。
この間隔Tは、格子ピッチP内を分割した位置の情報を示しているので、この期間Tを所定のクロックによって計数することにより、スケールの1ピッチを内挿する内挿パルス信号を形成すると共に、この内挿パルス信号を計数して1ピッチ内を分割したスケールの絶対位置のデータを得ることができる。
例えば、デジタル信号処理部234から出力されている搬送波のエッジによりカウンタの計数をスタートさせ、波形整形回路233の2値出力の立ち上がりエッジによりカウンタの計数をストップさせると、デジタル信号処理部234のカウンタより格子ピッチP内を分割した内挿アブソリュート値を検出できるようになる。
この実施例の場合は、光学的なモアレ縞からスケールの位置を検出するようにしているが、磁気目盛を読みとって直線的な移動量を検出する磁気式又は静電容量式のスケールでも、正弦波状の検出信号を位相変調してスケールの1ピッチ内を内挿する場合に、同様な信号処理を行うことができる。
【0014】
ところで、上記したように従来の光学式リニヤスケールは、光電変換素子を使用してスケールの移動量を検出し、検出された正弦波状のアナログ信号を位相変調して位相変位量を計数する位相分割法によってピッチ内を内挿する信号処理を行っているので、回路が複雑になると共に、アナログ回路とデジタル回路が混合することによって集積化することが困難になっていた。
また、位相変位量はスケールの1ピッチの推移毎にクロックをカウントすると共に、この計数動作をサンプリング周期としてA/B相信号が出力されるので、スケールの移動に伴う測定値がリアルタイムで出力されないという問題があった。
【0015】
そこで、スケールの検出素子から出力された正弦波状のリサージュ波形を直接サンプリングし、サンプリングしたリサージュ波形のレベルデータからリサージュ波形の位相分割データを取得し、A/B相信号をデジタル的に形成することも考えられるが、光電変換素子から出力される電気信号のレベルは、例えばスケールの移動速度が速くなると一般的に出力レベルが低下し、移動速度が遅い場合や、停止しているときは出力レベルが高くなり、単純にレベル検出から1ピッチ内を内挿するデータを形成すると、スケールの移動速度に起因する誤差を無くすることができない。
【0016】
出願人は、スケールの移動速度に起因する誤差をなくするため、少なくとも長さ方向に等間隔で目盛られている刻線を有するメインスケールと前記メインスケールに対して移動可能に配置され、前記刻線の1ピッチに対して正弦波状のA相信号、及びB相信号を発生する検出手段と、前記検出手段から出力されたA相信号、及びB相信号をスケールの分解能に対応する周期でサンプリングして、デジタル信号に変換するA/D変換手段と、前記A/D変換手段で変換された上記A相信号、及びB相信号の比率をサンプリングデータ毎に求める比率演算手段とを備えるリニアスケール(特開2000−161993号公報)によりこの問題点を解決した。
【0017】
この先の出願の発明によれば、スケールの1ピッチの移動量を示している正弦波状のリサージュ波形のレベルを分割数に応じて標本化し、標本化したデジタル信号からリサージュ波形の位相を検出する際に、A相信号とB相信号の比率演算からスケールの1ピッチを内挿値とするデータを読み出すようにしているので、スケールの1ピッチを検出する検出手段の移動速度や、その検出感度の影響を受けることなく1ピッチ内を内挿するA/B相信号をほぼリアルタイムで出力することができる。
【0018】
【発明が解決しようとする課題】
上記のA/D分割方式は、スケールの移動によって生成される信号を1MHz位の同期でサンプリングを行い、サンプリング周期ごとの移動量をパルス列で出力している。したがって、スケールを一定速度で動作させると、一定のサンプリング値となるはずであり、サンプリング周期S1、S2、…でサンプリングされたカウント値は、次のタイミングの分配周期D1、D2、…で分配される。
しかしながら、一定の速度でスケールを移動させると、サンプリング値は常に一定のレベル差となるはずであるが、工作機械に取付けられているスケールを最高速(通常は秒速1m)で移動させるような場合、予め決められた上限のサンプリング値を越えるカウントをしてしまう場合があり、設定通りにいかない等の問題が発生していた。
【0019】
例えば、スケールを最高速近くの一定速度で移動させた場合、サンプリング周期における変位、つまりサンプリングされたときの値がパルス数で10となるように上限値を設定していても、10以上のカウントをしてしまうことや、低速度ではサンプリング毎に一定でなければならないサンプリング値レベル差が、A/D変換時のサンプリングのタイミングや、波形の質、ノイズ等によると考えられるバラツキによって、図15のようにまちまちになってしまうことがある。
すなわち、図15の例では、サンプリング周期S4において、サンプリング値があらかじめ設定されている上限値10を越えており、分配周期D4にパルス数12が分配される。
【0020】
このバラツキのあるサンプリング値(分配周期D4の場合12)をそのまま工作機械等に供給すると、パルス列に脈ができ、制御性が悪化する場合もあり、また、バラツキが多いと、スケール自体も速度エラーになりやすい状態になるため、速度エラーの監視制御にひっかかり、装置が止まってしまう場合も生じる。
【0021】
【課題を解決するための手段】
本発明は、特にA/D変換器を使用した分割方式による反射スケールにおいて、一定でスケールを動作させても、A/D変換時のサンプリングにより単位時間の移動量にバラツキが生ずことによる不具合を解決するために、このバラツキを最大パルス分配時において平均化するための平均化処理回路を設けた。
【0022】
請求項1に係る発明は、少なくとも長さ方向に等間隔で目盛られている刻線を有するメインスケールと、前記メインスケールに対して移動可能に配置され、前記刻線の1ピッチに対して正弦波状のA相信号、及びB相信号を発生する検出手段と、前記検出手段から出力されたA相信号、及びB相信号をスケールの分解能に対応する周期でサンプリングして、デジタル信号に変換するA/D変換手段と、前記A/D変換手段で変換された検出レべルに基づいて前記リニヤスケールの移動量に対応したサンプリング値としてのA相パルス信号、及びB相パルス信号を形成する信号処理手段を備えたリニアスケールにおいて、前記信号処理手段により形成された上記A相パルス信号、及びB相パルス信号のパルス数を、設定された上限値と比較して上記サンプリング値を上限値を越えない値となるように平均化処理する平均化処理回路を備え、さらに上記サンプリング値の設定された上限値を越えたパルス値を一時的にスタックするスタック手段を備え、上記スタック手段にスタックされたパルス値を上限を超えない分配値の分配タイミングに振り分ける加算手段を備えているリニヤスケールの信号処理装置である。
【0023】
請求項2に係る発明は、リニアスケールの移動に伴って、刻線の1ピッチに対して正弦波状のA相信号、及びB相信号を発生する検出ステップと、前記検出ステップから出力されたA相信号、及びB相信号をスケールの分解能に対応する周期でサンプリングして、デジタル信号に変換するA/D変換ステップと、前記A/D変換ステップで変換された上記A相信号、及びB相信号の検出レべルに基づいて前記リニヤスケールの移動量に対応したサンプリング値としてのA相パルス信号、及びB相パルス信号を形成する信号処理ステップと、前記信号処理ステップにより形成された上記A相パルス信号、及びB相パルス信号のパルス数を、設定された上限値と比較して上記サンプリング値を上限値を越えない値となるように平均化処理する平均化処理ステップとを備え、さらに上記サンプリング値の設定された上限値を越えたパルス値を一時的にスタックするスタックステップを備え、上記スタックステップにおいてスタックされたパルス値を上限を超えない分配値の分配タイミングに振り分ける加算ステップを備えているリニヤスケールの信号処理方法である。
【0024】
【発明の実施の形態】
図1は本発明を光学式リニヤスケールに適応したときの実施の形態を示すブロック図である。
この図において、1はガラス製のメインスケール2に対して光を照射する光源、3はスリットを介して対峙しているインデックススケール、4はメインスケール2及びインデックススケール3を透過した光のモアレ縞を受光して電気信号に変換する光電変換素子を示す。
この光電変換素子4からは前記した図10に示すように90度の位相差を有する正弦波状のA相信号及びB相信号がリサージュ波形として出力され、それぞれ所定のレベルに増幅するアンプ5a、5bに供給されている。
【0025】
アンプ5(a,b)の出力はサンプリングホールド回路11(a,b)及びA/D変換器12(a,b)からなるデジタル前処理回路10に供給され、スケールの移動情報を発生するA/B相信号発生回路20に供給される。
A/B相信号発生回路20は図示されているようにデジタルフイルタ21,B/A比率演算部22、象限確認部23,A/B相パターンテーブル24,出力バッファ25,及びタイミングクロック発生部26によって構成されている。
【0026】
平均化処理回路30は、A/B相信号発生回路20から出力されたA相、B相信号のパルス数を上限値を越えないように平均化処理を行うもので、出力バッファ26から出力されるパルス列のパルス数が周期内で上限値を越えると、上限値を越えたサンプリング値に基づくパルス数をスタックし、平均化して出力するもので、詳細は後述する。
【0027】
以下、図2を参照して本発明のリニヤスケールがメインスケールの1ピッチ、例えば40μmを20分割して2μmの単位で検出する場合について述べる。
上記したようにメインスケール2に対してインデックススケール3が1ピッチ移動すると、図10に示すように1ピッチの移動量を1サイクルとするA相信号のリサージュ波形と、B相信号のリサージュ波形が出力され、図2に示すようにこの1サイクル分の動きに対して、例えば20分割可能な周期のサンプリングパルスCLKがデジタル前処理回路10に供給される。
サンプリング周期はスケールの最高移動速度と分解能によって決めることができ、例えばスケールが毎分120mで移動をするときに1μm毎の内挿パルスを得るために、ほぼ、2MHのクロック周期であればよく、毎分60mの移動で1μmの内挿パルスを出力するときは、1MHzのクロック周期であればよい。
入力されたA相及びB相のリサージュ波形が、クロックの立ち上がり点でサンプルされ、クロックの立ち下がり点でA/D変換されて、例えば8ビットのデジタル信号に変換される。
【0028】
デジタル信号に変換されたA相信号のサンプリングデータDAと、B相信号のサンプリングデータDBは、それぞれ2系統のデジタルフイルタ21によって量子化ノイズや、外来ノイズが抑圧され、図2に示すように階段状に上下するA相の8ビットのPAM信号APとB相のPAM信号BPがそれぞれB/A比率計算部22に供給される。
なお、デジタルフイルタ21が直流カット特性を有しているときは前記したアンプ5(a、b)は、例えば2vp−pのゲインを有する通常の直流増幅器とすることもできる。
【0029】
B/A比率計算部22はこのようにデジタル信号に変換されたPAM信号APと、BPの比率を算出する割算回路によって構成されており、その商B/Aを算出する。 そして、この商B/Aの演算値D2を次のA/B相パターンテーブル部24に供給するが、PAM信号APがゼロとなる割り算では特別な信号div0を出力するようにしている。
【0030】
B/A比率計算部の演算値D2は、A相信号のレベルとB相信号のレベルが同一か、一定の比率となっている限り、リサージュ波形の位相にのみ関係した値として検出できるので、スケールの移動速度が変化して光電変換素子の出力が変動したときでも、その変動値が相殺され、演算値に誤差が含まれないようにすることができる。
【0031】
また、デジタルフイルタ21に入力されているデジタル信号の極性を判断してリサージュ波形の象限を決定する象限信号識別データD0,D1を象限確認部23より出力するようにしている。そしてこの象限識別データD0,D1と前記した演算値D2、及びdiv0データに基づいて、A/B相パターンテーブル部24から出力パターンデータD3,D4が読み出され、この出力パターンデータD3,D4を出力バッファ部25に供給して図3に図示されているA/B相パルス信号列A(D3)、B(D3)を形成するようにしている。
【0032】
図3は前記出力パターンデータD3,D4からスケールの動きを示すA相パルス信号及びB相パルス信号が形成されることを示しており、リサージュ波形の20分割された各位相で相互に90度の位相差を有するA相パルス信号とB相パルス信号が形成されることを示している。
【0033】
図3のA相パルス信号A(D3)とB相パルス信号B(D3)は、図3の出力パターンデータD3,D4がそのまま連続したパルス列信号として出力したもので、相互に90度位相差を持った信号とされる。
そして、スケールが正方向に移動しているときはA相信号に対してB相信号が90度遅れ、スケールが逆方向に移動しているときはA相信号に対してB相信号が90度進むように構成される。
【0034】
したがって、図3に示すように、A/B相信号発生部20からスケールが移動をしているときに、スケールの移動方向と移動量を示すA相パルス列信号とB相パルス列信号がリアルタイムで出力され、スケールが停止するとパルス信号が一定のレべルに保持される。そしてスケールが再び順方向に移動するとその移動速度に対応した周期でA相パルス信号及びB相パルス信号が出力される。
この場合、スケールが停止後に逆送すると、A相パルス信号がB相パルス信号より遅れた状態になり、スケールの移動方向を検知することができる。
そして、この各A/B相パルス信号がスケールの分解能を示す信号としてNC工作機械等にサーボ信号としてフィードバックされることになる。
【0035】
本発明においては、上記のA/B相信号発生部からのA相パルス信号及びB相パルス信号を平均化処理回路30に入力して、A相又はB相のパルス信号の数を平均化処理してから、スケールの分解能を示す信号としてNC工作機械等にサーボ信号として出力する。したがって、特にスケールの移動速度が最高速近くの場合に発生するA/D変換時のサンプリングにより単位時間の移動量にバラツキがあっても、このバラツキを最大パルス分配時において平均化するように処理をすることができる。
【0036】
図4は、サンプリング周期S1、S2、S3…S7毎に出力されるパルス数を示しており、変位の行はスケールの移動が最高速の時に出力バッファから出力されるパルス数をサンプル同期で示している。
また、スタックの行は、最大パルス出力を10としたときスタックされるパルス数を示しており、分配周期の行は1つ前のサンプリング同期で出力されたパルス数が出力されるタイミングを示している。
【0037】
この図から、サンプリング周期S4では最大パルス10に対してパルスが12個出力されているので、12−10=2がスタックされて、D4のタイミングで10個のパルスが分配出力される。
また、サンプリング周期S5、S7ではパルス数は9であり1不足しているので、先にスタックした2個のパルスがそれぞれ分配周期D5、D7で加算されて出力される。
このように、本発明では、ある値を上限として、分配出力されるパルス数がそれ以下となるように信号処理が行われるものである。
【0038】
図5は、本発明の平均化処理回路の1実施の態様を示すブロック図である。
光電変換素子4、デジタル前処理回路10、A/B相信号発生回路20において、サンプリングしたスケールの移動量を表すA相、B相のパルス信号を移動量データとしてのパルス信号を平均化処理回路30に入力して、移動量データを監視し、平均化してパルスを分配するように処理を行う。
【0039】
平均化処理回路30は、変位パルス比較器31、第1のプリセット値ラッチ部32、上限データ設定部33、上限データラッチ部34、スタック値平均化演算部35、第2のプリセット値ラッチ部36、変位プリセット値ラッチ部37、パルス分配器38、スタック部39、スタック量監視部40により構成されている。
【0040】
A/B相信号発生回路20において演算されたスケールの移動量を示す移動量データAは、サンプリングタイミング毎に変位パルス比較器31、第1のプリセット値ラッチ部32、スタック値演算部35に入力される。上限データ設定部33は、サンプリング周期毎のサンプリング値の上限値Bを設定するもので、本実施の態様の場合10と設定されている。設定されたサンプリング値の上限値は、上限データラッチ部34にラッチされる。
【0041】
サンプリング周期S毎の移動量の上限値Bは、サンプリング周波数を1MHzとし、分配周波数を10MHzとした場合、10となり、この実施の態様の場合、上限値B=10として説明する。
また、平均化処理を行う移動量データAは、A/B相信号発生回路20から出力されるA相信号又はB相信号は、互いに位相が90度ずれた信号であるので、A相信号又はB相信号のいずれかの信号にのみに平均化処理を施し、他方の信号に平均化処理を反映させればよいので、以下の説明では、A相信号又はB相信号のいずれかを単に移動量データとして表現し、以下に説明する。
【0042】
変位パルス比較器31は、移動量データA及び上限値データBが入力され、AとBの比較を行い、A=B、A<B、及びA>Bの場合毎に異なる処理を行う。
つまり、スケールの最高速近くでの一定速の移動に基づく変位は、10なので常に10以下となるように出力するように処理する。具体的にはB=10を越えた変位のパルスをスタック部にスタック値としてスタックしておき、そのスタック値から10に満たない変位の分配パルスを補い、分配値を上限値の10に合わせる。このようにすれば、見かけ上、サンプリング毎のバラツキを平均化しながら出力することが可能になる。
【0043】
A/B相信号発生回路20から出力された移動量データAのパルス数が上限データBのパルス数と等しい場合(A=B、図4のサンプリング周期S2、S6)、第1のプリセット値ラッチ部32にラッチされた移動量データAは、変位プリセット値ラッチ部37に値Aを送り、分配クロックのタイミングに合わせて、そのままの値つまり上限値10(=A=B)の移動量データがパルス分配器38からA相パルス信号(又はB相パルス信号)として出力される(分配周期D2、D6)。
【0044】
移動量データAが上限データBを越えていた場合(A>B、図4のサンプリング周期S4)、変位パルスデータ比較器31の比較結果の基づき、第2のプリセット値ラッチ部36は、A−Bの演算を行い、その差2をスタック部39にスタックし、変位プリセット値ラッチ部37は上限値B(=10)を保持し、パルス分配器38から上限値10(=A=B)の移動量データがA相パルス信号(又はB相パルス信号)として出力される(分配周期D4)。この時、スタック部39には、パルス値2がスタックされることになる。
【0045】
移動量データAが上限データBより小さい場合であって、かつスタック部39にスタック値がスタックされていない場合(A<B、スタック値=0、図4のサンプリング周期S1、S3)、第1のプリセット値ラッチ部32にラッチされた移動量データAは、変位プリセット値ラッチ部37に値Aを送り、分配クロックのタイミングに合わせて、そのままの値つまりA(<B)の移動量データがパルス分配器38からA相パルス信号(又はB相パルス信号)として出力される(分配周期D1、D3)。
【0046】
移動量データAが上限データBより小さい場合であって、かつスタック部39にスタック値がスタックされている場合(A<B、スタック値>0、図4のサンプリング周期S5、S7)、スタック値平均化演算部35にてB−Aの差STACKを取り、その差分のパルス値をスタック部39のスタック値から取得し、プリセット値をA+STACK(最大値=10)として、変位プリセット値ラッチ部37に値Aを送り、分配クロックのタイミングに合わせて、移動量データがパルス分配器38からA相パルス信号(又はB相パルス信号)として出力される(分配周期D5、D9)。
【0047】
図4に示すサンプリング周期S5の場合、サンプリング値は9であるので、スタック値2の内の1を加算して分配値D5を10として、パルス分配器38から移動量データを出力する。この場合スタック部39のスタック値は1に減る。
次いで、サンプリング周期S6の場合は、サンプリング値が10であるため、分配値も10のまま、分配周期D6に出力される。
サンプリング周期S7の場合、サンプリング値は9であるので、スタック値1の内1を加算して分配値を10として、分配周期D7のタイミングでパルス分配器38から移動量データを出力する。この場合スタック部39のスタック値は0となる。
【0048】
スタック量監視部40は、スタック部39にスタックされるスタック値を監視をするもので、たまりすぎたときは、規定速度をオーバーしていると判断して速度エラー信号を出力する。
【0049】
【発明の効果】
本発明は、上記のような構成を有しているため、スケールを最高速近傍の一定速度の状態において移動させた場合に発生するサンプリング値のバラツキをある値以下に平均化することで、パルス分配と安定化させる変位量を表すパルス出力のバラツキを平均化できるので制御性が安定するとともに、スケールも速度エラーになりにくくなり、動作が安定するという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のリニヤスケールの1実施例を示すブロック図である。
【図2】A/B相信号をデジタル化するときの一例を示す波形図である。
【図3】パターンデータから形成されたA,B相パルス信号の波形図である。
【図4】本発明のサンプリング周期毎のサンプリング値と分配値及びサンプリング値のスタック量の関係を示す図である。
【図5】本発明の平均化処理回路のブロック図である。
【図6】光学式スケールの説明図である。
【図7】光学的なモアレ縞の説明図である。
【図8】モアレ縞の移動を示す図である。
【図9】モアレ縞の変化と出力信号の波形図である。
【図10】A/B相信号の波形図である。
【図11】リニヤスケール測長装置の概要を示すブロック図である。
【図12】平衡変調器の一例を示す回路図である。
【図13】変調信号の説明波形図である。
【図14】位相変位を計数するタイミングを示す説明図である。
【図15】従来例のサンプリング周期毎のサンプリング値と分配値の関係を示す図である。
【符号の説明】
1 LED、2 ガラススケール、3 インデックススケールのスリット、
4 光電変換素子、10 デジタル前処理回路、20A/B相信号処理部
30 平均化処理回路
Claims (2)
- 少なくとも長さ方向に等間隔で目盛られている刻線を有するメインスケールと、前記メインスケールに対して移動可能に配置され、前記刻線の1ピッチに対して正弦波状のA相信号、及びB相信号を発生する検出手段と、前記検出手段から出力されたA相信号、及びB相信号をスケールの分解能に対応する周期でサンプリングして、デジタル信号に変換するA/D変換手段と、前記A/D変換手段で変換された検出レべルに基づいて前記リニヤスケールの移動量に対応したサンプリング値としてのA相パルス信号、及びB相パルス信号を形成する信号処理手段を備え、
前記信号処理手段により形成された上記A相パルス信号、及びB相パルス信号のパルス数を、設定された上限値と比較して上記サンプリング値を上限値を越えない値となるように平均化処理する平均化処理回路と、
上記平均化処理回路には、上記サンプリング値の設定された上限値を越えたパルス値を一時的にスタックするスタック手段と、上記スタック手段にスタックされたパルス値を上限を超えない分配値の分配タイミングに振り分ける加算手段とを備えているリニヤスケールの信号処理装置。 - リニアスケールの移動に伴って、刻線の1ピッチに対して正弦波状のA相信号、及びB相信号を発生する検出ステップと、前記検出ステップから出力されたA相信号、及びB相信号をスケールの分解能に対応する周期でサンプリングして、デジタル信号に変換するA/D変換ステップと、前記A/D変換ステップで変換された上記A相信号、及びB相信号の検出レべルに基づいて前記リニヤスケールの移動量に対応したサンプリング値としてのA相パルス信号、及びB相パルス信号を形成する信号処理ステップと、前記信号処理ステップにより形成された上記A相パルス信号、及びB相パルス信号のパルス数を、設定された上限値と比較して上記サンプリング値を上限値を越えない値となるように平均化処理する平均化処理ステップとを備え、
上記平均化処理ステップは、上記サンプリング値の設定された上限値を越えたパルス値を一時的にスタックするスタックステップと、上記スタックステップにおいてスタックされたパルス値を上限を超えない分配値の分配タイミングに振り分ける加算ステップを備えているリニヤスケールの信号処理方法。
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