JP2004309366A - 位置検出装置 - Google Patents
位置検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004309366A JP2004309366A JP2003104780A JP2003104780A JP2004309366A JP 2004309366 A JP2004309366 A JP 2004309366A JP 2003104780 A JP2003104780 A JP 2003104780A JP 2003104780 A JP2003104780 A JP 2003104780A JP 2004309366 A JP2004309366 A JP 2004309366A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phase
- signal
- scale
- detecting device
- degrees
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
【課題】簡便な手段によって高調波歪みを除去すると共に、オフセット変動による誤差を小さくして、高精度かつ高分解能な位置情報を得る。
【解決手段】センサから得られる各々120度の位相差を有するa相、b相、c相の少なくとも第3次高調波を含む略正弦波状の各出力信号を演算回路11に各々入力して、[R相−S相]、[S相−T相]、[T相−R相]を計算することにより、演算回路11からU相、V相、W相からなる第3次高調波が除去された正弦波状の3相信号を得る。
【選択図】 図1
【解決手段】センサから得られる各々120度の位相差を有するa相、b相、c相の少なくとも第3次高調波を含む略正弦波状の各出力信号を演算回路11に各々入力して、[R相−S相]、[S相−T相]、[T相−R相]を計算することにより、演算回路11からU相、V相、W相からなる第3次高調波が除去された正弦波状の3相信号を得る。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、位置検出装置に関し、特に、センサの出力信号に基づいて内挿処理して高分解能の位置信号を得る装置に関する
【0002】
【従来の技術】
位置検出装置としては、光学式、或いは、磁気式の装置が知られている。光学式の位置検出装置の一例としては、図16に示すように、相対移動する第1の回折格子(以下、第1格子という)1と第2の回折格子(以下、第2格子という)2の後方に光電変換素子3が配置され、第1回折格子1の前方には、平行光束Lを照射させるように構成されている。第1格子1及び第2格子2には、光を透過させる部分及び透過させない部分が所定のピッチで繰返されている格子部が設けられている。このような構成において、平行光束Lを第1格子に照射すると、第1格子1及び第2格子2を透過した光が光電変換素子3に入射することにより、光電変換素子3からは、入射光をその光強度に応じた電気信号に変換した出力信号が得られる。この出力信号は、実際には疑似正弦波となっていて、この疑似正弦波状の出力信号を利用して位置検出が行われる。
【0003】
ところが、上述した従来の位置検出装置から得られる疑似正弦波状の出力信号には、主として3次高調波成分、5次高調波成分が含まれている。従って、このような高調波成分を有する出力信号を利用して求めた位置検出値は大きな誤差を伴うことになる。
【0004】
このような問題を解決する手段として、例えば、特許第2539269号(特許文献1)に開示されている光学式エンコーダが提案されている。この光学式エンコーダは、図17に示すように、第2格子2に設けられている格子部が数μm〜数百μmのピッチPで繰返す透過部(図示斜線部)と非透過部とからなる格子部2E、2F、2G、2Hが田の字状に配設されている。そして、格子部2F、2G、2Hは格子部2Eを基準とすると、各々の位相がP/6、P/10、4P/15ずれている。このような構成において、例えば格子部2Eを透過した光量の変化に基づく変位信号には、その主成分である基本波成分と3次高調波成分と5次高調波成分が含まれている。そこで、各格子部2E、2F、2G、2Hを同面積にして同光量が透過するようにして、各格子部2E、2F、2G、2Hを透過した光を光電変換素子3によって光電変換して、各々の光を加算することにより、3次高調波及び5次高調波を相殺するようにしている。
【0005】
【特許文献1】
特許第号2539269公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上述した光学式エンコーダでは、各格子部を透過した光を光学的に加算することによって3次高調波及び5次高調波を相殺するようにしている。このような光学的エンコーダは、各格子部の配列が不等間隔で複雑となり、しかも、各格子部等の面積が大型化することから、必然的に製造コストが高くなる問題がある。また、各格子部の配列によって高調波を相殺する方法は、理論的には相殺可能であるが、各格子部の間隔が正確な場合において高調波が相殺されるものであり、各格子部にバラツキが生じた場合には、相殺が不完全となって依然として高調波が残ることから、位置検出誤差が除去できない問題がある。更に、上記光学式エンコーダからは、オフセットを補正するための信号が得られないので、これによっても位置検出誤差が生ずる問題がある。仮にオフセット補正用の信号を得るためには、専用の格子と受光素子が必要となり、装置が大型になると共に、コストが高くなることが必至となる。
【0007】
そこで本発明は、簡便な手段によって高調波歪みを除去すると共に、オフセット変動による誤差を小さくして、高精度かつ高分解能な位置情報が得られる位置検出装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために請求項1記載の位置検出装置では、センサの出力信号から各々120度の位相差を有する少なくとも第3次高調波を含む略正弦波状のR相、S相、T相からなる3相の信号を演算回路に各々入力して、R相−S相、S相−T相、T相−R相を計算することにより、演算回路からU相、V相、W相からなる第3次高調波が除去された正弦波状の3相信号を得ることができるようになっている。
【0009】
また、請求項2記載の位置検出装置では、上記請求項1記載のスケールは、等間隔ピッチに記録したスケール目盛を有し、このスケール目盛と相対的に移動したときに読みとる120度の位相差を有する3個の変換素子は、各々180度の位相差を有する正の変換部と負の変換部を移動方向に配列したことにより、各々120度の位相差を有する+a相、+b相、+c相と−a相、−b相および−c相の各出力信号が得られるようにしている。これら3相信号から、R相=(+a)−(−a)、S相=(+b)−(−b)、T相=(+c)−(−c)により求められるR相、S相およびT相の3相の信号を前記演算回路に入力して演算処理を行い、U相、V相、W相からなる第3次高調波が除去された正弦波状の3相信号を得ることができるようになっている。
【0010】
さらに、請求項3記載の位置検出装置では、上記請求項1記載のスケールは、等間隔ピッチに記録したスケール目盛を有し、このスケール目盛と相対的に移動したときに読みとる120度の位相差を有する3個の変換素子から得られた+a相、+b相、+c相の正の3相出力信号を前記演算回路に入力して演算処理を行い、U相、V相、W相からなる第3次高調波が除去された正弦波状の3相信号を得ることができるようになっている。
【0011】
更にまた、請求項4記載の位置検出装置では、上記請求項1記載のスケールは、光を透過または反射する等間隔ピッチに記録した光学スケール目盛を有し、この光学スケール目盛との間で相対的に移動したときに上記光を読みとる各々120度の位相差を有した3組の変換素子として3組の光電変換素子を備え、これら3組の光電変換素子から少なくともa相、b相、c相の正の3相出力信号を得るようにして、光学式の位置検出装置を構成している。
【0012】
また、請求項5記載の位置検出装置では、上記請求項1記載のスケールは、等間隔ピッチに磁気記録した磁気スケール目盛を有し、この磁気スケール目盛を読みとる各々120度の位相差を有した3組の変換素子として3組の磁電変換素子から少なくともa相、b相、c相の正の3相出力信号を得るようにして、磁気式の位置検出装置を構成している。
【0013】
更に、請求項6記載の位置検出装置では、前記演算回路によって計算された120度の位相差を有する上記第3次高調波を除去したV相、W相の信号を、演算器によってD=(V−W)/√3を計算することによって、前記R相信号と90度の位相差を有する上記D相信号を出力し、これら両信号を内挿回路に入力して計算することによって位置情報を得るようにしている。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図1乃至図4は、本発明の第1の実施形態として、光学式位置検出装置の実施形態を示している。
【0015】
光学式位置検出装置1は、図2に示すような構成を有し、その概要は、光が透過するスリットを形成した光学スケール目盛3を等間隔ピッチに記録形成したスケール板2と、このスケール板2の一方側から平行光4を光学スケール目盛3に向けて照射する光源5と、光学スケール目盛3の他方面側に対向して配設した固定格子6と、上記光学スケール目盛3および固定格子6を透過した光を電気信号に変換するための光電変換素子7とを備えている。
【0016】
より具体的には、スケール板2に記録形成した光学スケール目盛3は、透明なガラスまたは合成樹脂の板をベースとして、図4の二点鎖線で示すような光を透過するスリット3aをピッチPによって等間隔に開口させて配列すると共に、他の部分は光を透過しないようにマスキングしている。また、上記スリット3aの幅は、ピッチPの1/2に設定されている。
【0017】
固定格子6は、図4に示すように、光学スケール目盛3に対向して配設され、+a相用、+b相用、および+c相用からなるスリットと、−a相用、−b相用および−c相用からなるスリットが配列されている。これらスリットは、透明なガラスまたは合成樹脂の板をベースとして、ハッチングで示す部分が光を透過するように開口し、他の部分をマスキングしている。各相毎のスリット群は、スリットを例えば3個づつ配列し、このスリットは上記光学スケール目盛3と同じピッチPの間隔に設定され、幅をピッチPの1/2に設定している。このように構成されたa相用のスリット群に対して、b相用のスリット群は、P/3のピッチずれている。更に、c相用のスリット群は、+b相用のスリット群に対してP/3のピッチずれている。また、−a相用、−b相用および−c相用の各スリット群は、上述した+a相用、+b相用、および+c相用のスリットに対して、nP+P/2(但し、nは正の整数)の間隔をあけて配列されている。
【0018】
上述した固定格子6には、光電変換素子7を対向させている。この光電変換素子7は、図3および図4に示すように、固定格子6に形成した+a相用、+b相用、および+c相用からなるスリット群と、−a相用、−b相用および−c相用からなる各スリット群に各々対向させた6個の受光素子アレイにより構成されている。そして、光電変換素子7の各受光素子アレイからは、固定格子6を透過した光を電気信号に変換する各々120度の位相差を有する+a相、+b相、および+c相の正の3相信号を出力する正の変換部と、これら正の3相信号に対して各々180度の位相差を有する−a相、−b相、および−c相の負の3相信号を出力する負の変換部が移動方向に配列されている。尚、図2に示した実施形態では、固定格子6に別体の光電変換素子7を僅かに離間させて対向配置しているが、固定格子6のハッチングで示す開口に各々光電変換素子7の受光素子アレイを設けて一体に構成しても良い。
【0019】
一方、上記スケール板2の一方側から光学スケール目盛3に向けて照射する光源5は、発光ダイオード、または半導体レーザー等の各種光源を使用することができる。この光源5から発光した光は、コリメートレンズ(図示しない)等によって平行光に変換されて光学スケール目盛3に照射される。
【0020】
前述したスケール板2は、工作機械やロボット、或いは計測機器等の可動部に設置され、この可動部と共に移動する。このとき、光学スケール目盛3のスリットと固定格子6のスリット群が平行光4に対して一列に並んだときに、光源5からの光が透過して光電変換素子7に受光されて電気信号に変換される。そして、光電変換素子7の正の変換部からは、各々120度の位相差を有する略正弦波状のa相、b相およびc相の正の3相信号が出力され、光電変換素子7の負の変換部からは、正の3相信号に対して各々180度の位相差を有すると共に、各々120度の位相差を有する−a相、−b相、および−c相の負の3相信号が出力される。これらの出力信号には、第3次高調波等の高調波が含まれるため、やや三角波状になっている。特に、光電変換素子7から出力される信号のS/N比を良くする手段として、光量を大きくするために、光学スケール目盛3のスリットと固定格子6、および、光電変換素子7を近接させた場合には、光電変換素子7からの出力信号が三角波状になって第3次高調波が現れる。
【0021】
光電変換素子7から出力された3相信号は、図1に示す位置検出回路によって処理される。位置検出回路は、光電変換素子7から出力される+a相、−a相と+b相、−b相および+c相、−c相の正負の3相信号を各々電圧に変換する電流電圧変換回路10と、この電流電圧変換回路10からの出力信号を差動増幅してR相、S相およびT相の信号を出力する差動増幅回路11と、この差動増幅回路30から出力されたR相、S相およびT相の3相信号を演算することにより第3次高調波を除去したU相、V相、W相からなる正弦波状の3相信号を出力する演算回路12と、正弦波状のアナログ3相信号をデジタル3相信号に変換するA/D変換回路13と、このデジタル化された信号に基づいて計算し、90度の位相差を有する正弦波信号と余弦波信号からなるD相信号と上記U相信号から位置情報を計算する内挿回路14を少なくとも備えている。尚、図1に示す光電変換素子7は、便宜上+a相、−a相からなるa相群7a、+b相、−b相からなるb相群7b、および+c相、−c相からなるc相群7cに区分している。
【0022】
前述したように、光電変換素子7の受光素子アレイから、出力された+a相、−a相と+b相、−b相および+c相、−c相の正負の3相信号は、少なくとも第3次高調波を含む略正弦波状となっている。この正負の3相信号は電流信号であり、電流電圧変換回路10によって電圧信号に変換する。即ち、電流電圧変換回路10からは、各々120度の位相差を有する略正弦波状の+a相、+b相および+c相の正の3相信号、および、−a相、−b相、および−c相の負の3相信号が電圧信号として出力される。
【0023】
上述した電流電圧変換回路10から出力される正負の3相信号は、差動増幅回路11によって、R相=(+a)−(−a)、S相=(+b)−(−b)、T相=(+c)−(−c)を求めることにより、これらR相、S相およびT相の3相の信号を出力する。これらの出力信号は、図5に示すように第3次高調波等の高調波が含まれるため、やや三角波状になっている。また、R相、S相およびT相からなる3相信号には、ドリフト電圧vdが含まれている。
【0024】
差動増幅回路11から出力されるR相、S相およびT相からなる3相信号は、次の演算回路11に各々入力される。この演算回路12においては、3組の演算回路12a、12bおよび12cによって演算が行われる。即ち、演算回路12aには、差動増幅回路11からR相とS相の電圧信号が入力され、演算回路12bにはS相とT相の電圧信号が入力され、更に演算回路12cには、T相とR相の電圧信号が入力される。そして、演算回路12aによって[R相信号−S相信号]の演算を行い、演算回路12bによって[S相信号−T相信号]の演算を行い、更に、演算回路12cによって[T相信号−R相信号]の演算が行われる。このような演算を行うことによって、主として第3次高調波等の高調波を除去することができ、この結果、演算回路12aからは、図6に示すように、高調波が除去された正弦波状のU相信号が出力される。また、演算回路12bからは、高調波が除去された正弦波状のV相信号が出力される。更に、演算回路12cからは、高調波が除去された正弦波状のW相信号が出力される。
【0025】
演算回路12によって上述した演算を行うことにより、高調波が除去されたU相、V相、およびW相の正弦波状の信号が得られることを、具体的に説明する。
【0026】
差動増幅回路11から出力されるR相、S相およびT相の出力信号は、次の式によって表される。
R=sinθ+R3sin(3θ)+R0
S=sin(θ+2π/3)+S3sin{3×(θ+2π/3)}+S0
T=sin(θ+4π/3)+T3sin{3×(θ+4π/3)}+T0
ここで、R0、S0、T0は、直流オフセット成分(図5に示したドリフト電圧vd)、R3、S3、T3は、第3次高調波の第1次成分に対する振幅比である。
【0027】
次に、上記差動増幅回路11から出力されたR相、S相およびT相の信号は、各演算回路12a、12b、12cによって[R相信号−S相信号]、 [S相信号−T相信号]、および[T相信号−R相信号]の演算が行われる。即ち、
U=R−S=−√3(cosθ+π/3)+(R3−S3) sin(3θ)+(R0−T0)
V=S−T=√3cosθ+(S3−T3) sin(3θ)+(S0−T0)
W=T−R=−3sinθ/2−√3cosθ+(T3−R3) sin(3θ)+(T0−R0)
ここで、R3≒S3≒T3、更に、R0≒S0≒T0の条件のときには、上記式から明らかなように、各演算回路12a、12b、12cから出力されるU相、V相、およびW相の出力信号には、第3次高調波、および、直流オフセット成分が除去され、図6に示すような正弦波状の信号が出力される。
【0028】
上述した直流オフセット成分R0、S0、T0、および、第3次高調波の第1次成分に対する振幅比R3、S3、T3をほぼ等しくすることは、容易に達成することが可能である。つまり、R3≒S3≒T3の条件を満たすためには、前述した光電変換素子7の受光素子アレイにおける+a相、−a相と+b相、−b相および+c相、−c相を受光する受光素子を1チップ上で近接して配置することにより実現できる。また、R0≒S0≒T0の条件を満たすためには、光電変換素子7や電流電圧変換回路10等に使用する回路素子として適切なものを選択して使用することによって実現することができる。
【0029】
上述したように、演算回路12によって、高調波を除去した正弦波状のU相、V相およびW相の信号は、次に、内挿位置信号を得るために、A/D変換器13によってデジタル変換される。即ち、上記U相、V相およびW相の信号は、図6に示すアナログ信号であり、これらの信号からCPU等によって内挿処理を行うために、デジタル信号に変換している。
【0030】
デジタル変換されたU相、V相およびW相の信号は、次の内挿回路14に入力される。内挿回路14は例えばCPU、或いは、DSPによって構成され、この内挿回路13によって、まず、V相およびW相の信号から上記U相信号と90度の位相差を有するD相信号を演算によって求める。即ち、内挿回路14に入力されたV相およびW相に基づき、内挿回路14に備えられた演算器(図示しない)によって、(V−W)/√3を計算することにより、図7に示すようなD相信号が得られる。つまり、
V−W=3sin(θ+π/3)
となる。従って、上記U相信号とV−Wとは、90度の位相差を有し、振幅比が√3倍の正弦波と余弦波の信号となる。これから、D=(V−W)/√3を計算することにより、振幅をほぼ等しくしたU相信号とD相信号が得られる。
【0031】
このD相信号は、上記U相信号を正弦波信号とした場合、90度の位相差を有する余弦波信号となる。これら正弦波信号のU相信号と余弦波信号の上記D相信号とを、θ=tan−1(U/D)によって演算することにより、位置情報としての角度θが求められる。この結果、図8に示すリサージュ波形図のようにして位置情報が得られる。この位置情報は、工作機械やロボット、或いは計測機器等の可動部の位置を表し、制御等のために使用される。
【0032】
上述した第1の実施形態によれば、演算回路12によって[R相信号−S相信号]、[S相信号−T相信号]および[T相信号−R相信号]の演算を行うことによって、主として第3次高調波等の高調波が除去された、U相、V相、およびW相の正弦波状の信号を得ることができる。また、光電変換素子7の温度特性によって出力されるa相信号、b相信号およびc相信号に同程度の直流ドリフトvd(図5を参照)がある場合でも、演算回路12によって上述した演算を行うことにより、この直流ドリフトvdを除去することができる。従って、演算回路12から高調波およびドリフトが除去された正弦波状のA相、B相およびC相の各信号を用いて内挿処理を行うことにより、高精度かつ高分解能な位置情報を得ることができる。特に、光電変換素子7の出力信号として、S/N比を向上するために、通常行う手段として、光源5の発光輝度を大きくする等の対策を講じるが、この場合には、逆に第3次高調波等の高調波成分が大きくなる問題が生ずる。ところが、本発明によれば、演算回路12によって高調波成分を除去できるので、良好なS/N比を有する出力信号が得られる。
【0033】
第1の実施形態において、光学式位置検出装置を光透過式の構成としたが、図9に示す光反射式の構成であっても良い。即ち、光反射式の光学式位置検出装置20は、光反射式の光を反射するように形成された光学スケール目盛22を等間隔ピッチに記録形成したスケール板21と、スケール板21に対して所定角度傾斜した上方から光23を光学スケール目盛22に向けて照射する光源24と、光学スケール目盛24の上方に対向して配設した固定格子25と、この固定格子25を透過した光を電気信号に変換するための光電変換素子26とを備えている。
【0034】
固定格子25は、前述した固定格子6と同様に構成され、+a相用、+b相用、および+c相用からなるスリットと、−a相用、−b相用および−c相用からなる複数スリット群が配列されている。この各相毎のスリット群の構成についても、図4に示す前述したスリット群と同様に構成されている。このような固定格子25に対向させる光電変換素子26は、図3および図4に示した光電変換素子7と同様に構成されている。そして、光電変換素子26の各受光素子アレイからは、固定格子25を透過した光を電気信号に変換して、+a相、+b相、および+c相と、−a相、−b相、および−c相の各3相の出力信号を得るようにしている。上記光学スケール目盛22に照射する光源24は、発光ダイオード、または半導体レーザー等のコリメート光を使用することができる。
【0035】
前述したスケール板21は、工作機械やロボット、或いは計測機器等の可動部に設置され、この可動部と共に移動する。このとき、光学スケール目盛22に反射した光源5からの光が固定格子25のスリット群を透過して光電変換素子26に受光されて電気信号に変換される。そして、光電変換素子26からは、前述した光電変換素子7と同様に、各々120度の位相差を有する略正弦波状の+a相、+b相および+c相の正の3相信号が出力される。これらの出力信号は、第3次高調波等の高調波が含まれている。
【0036】
光電変換素子26から出力された3相信号は、前述した実施形態と同様に、図1に示す位置検出回路によって処理され、内挿処理を行うことにより、高精度かつ高分解能な位置情報を得るようにしている。
【0037】
図10は、本発明における第2の実施形態として、位置検出回路の他の形態を示している。前述した第1の実施形態と同様に、光電変換素子7からは、各々120度の位相差を有する略正弦波状の正負の3相信号が各々出力されるようにしている。光電変換素子7から出力された+a相、+b相、+c相の正の3相信号、および、−a相、−b相、および−c相の負の3相信号は、電流電圧変換回路10によって各々電圧に変換される。電流電圧変換回路10からの出力信号は、次の差動増幅回路11に入力して、R相=(+a)−(−a)、S相=(+b)−(−b)、T相=(+c)−(−c)により求められるR相、S相およびT相の3相の信号を得る。更に、差動増幅回路11から出力されたR相、S相およびT相の3相信号は、次の演算回路30に入力されて演算が行われる。
【0038】
演算回路30は、減算器30a、加算器30b、および、減算器30cによって構成され、減算器30aは、[R相−S相]の演算を行い、加算器30bは、[R相+S相]の演算を行い、更に、減算器30cは、[R相+S相−2T相]の演算を行う。
【0039】
そして、演算回路30によって上述した計算を行うことによって、高調波成分が除去された正弦波状のU相およびD相の出力信号を得ている。この信号は、前述した第1の実施形態と同様に、次のA/D変換器13によってデジタル変換された後に、次の内挿回路14に入力される。この内挿回路14についても、CPUやDSPによって構成される等、第1の実施形態と同様である。
【0040】
演算回路30から得られた90度の位相差を有する正弦波状のU相およびD相の出力信号は、内挿回路14によって、θ=tan−1(U/D)が演算され、位置情報としての角度θが求められる。この結果、前述した図8に示すリサージュ波形図のように、内挿位置情報を得るようにしている。
【0041】
図11は、本発明の第3の実施形態として磁気式位置検出装置を示している。磁気式位置検出装置40は、図11に示すような構成を有し、その概要は、外周面に磁気スケール目盛42を等間隔ピッチに着磁記録した回転体41と、この磁気スケール目盛42に近接して対向させた磁電変換素子43とを備えている。
【0042】
磁電変換素子43の好適な例としては、図12に示すMR素子44(磁気抵抗素子)がある。このMR素子44は、6本の磁気抵抗ストライプR1乃至R6が設けられ、各磁気抵抗ストライプの間隔は、NSからなる磁極をλとしたとき、各々λ/6のピッチで配列されている。そして、1つおきの磁気抵抗ストライプR2、R4およびR6の一端を接地GNDすると共に、磁気抵抗ストライプR1、R3およびR5の一端を電源VCCに接続されている。また、磁気抵抗ストライプR1、R2の他端、磁気抵抗ストライプR3、R4の他端、および、磁気抵抗ストライプR5、R6の他端は各々直列接続されている。この接続回路は図13に示され、直列接続された磁気抵抗ストライプの接続点から各々a相、b相、c相の信号出力を得るようにしている。
【0043】
これらa相、b相、c相の信号出力は、図14に示すように、第3次高調波等の高調波成分が含まれているために、略々台形波状になっている。即ち、MR素子44によって正弦波状の信号出力を得るためには、MR素子の感度特性から直線性の良い範囲を使用すれば良い。しかし、この範囲は狭いために、磁気スケール目盛42の磁界を弱くする等の手段を採る必要がある。ところが、このような手段を採った場合には、逆にS/N比を悪化させてしまう。このS/N比を向上させるためには、磁気スケール目盛42の磁界を強くする等の手段を採る必要があり、この場合にはMR素子の感度特性における非直線性の範囲まで広く使用することになり、この結果、上記a相、b相、c相の信号出力は、略々台形波状になってしまう。位置検出装置においては、高精度な位置信号を得るためにS/N比を高くする必要があることから、信号出力が略々台形波状になることは否めない。
【0044】
MR素子44から出力されたa相、b相、c相の3相信号は、各々120度の位相差を有している。そして、これら信号は、基本的に正の3相信号であり、図15に第4の実施形態として示した位置検出回路によって内挿処理を行うことにより、高精度かつ高分解能な位置情報を得るようにしている。即ち、MR素子44から出力されたa相、b相、c相の3相信号は、3組の増幅回路50によって各々増幅される。この増幅回路50の出力信号は、A/D変換回路51によってデジタル変換した後に、内挿回路52によって内挿位置情報としての角度θが求められる。
【0045】
内挿回路52内には、図10において示した演算回路30と同様に、デジタル式の減算器および加算器が備えられ、一方の減算器において[a相−b相]の演算を行い、加算器において[a相+b相]の演算を行い、更に、他方の減算器において[a相+b相−2c相]の演算を行うことにより、90度の位相差を有する正弦波状のU相およびD相の出力信号を得る。このU相およびD相の出力信号は、内挿回路14によって、θ=tan−1(U/D)が演算され、位置情報としての角度θが求められる。この結果、前述した図8に示すリサージュ波形図のように、内挿位置情報を得るようにしている。尚、3組の増幅回路50から出力されるa相、b相、c相の3相信号は、前述したR相、S相およびT相の3相信号と等価であり、置換可能である。
【0046】
上述した磁電変換素子43としては、MR素子の他に、多チャンネルの磁気ヘッドを使用しても良い。
【0047】
尚、上述の実施形態は本発明の好適な実施の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形可能である。例えば、第1の実施形態において、光学スケール目盛を設けたスケール板を工作機械やロボット、或いは計測機器等の可動部に設置し、この可動部と共に移動させるようにしたが、逆に、スケール板を固定し、前述した固定格子および光電変換素子を上記可動部に設置して移動させる等、両者は相対的な移動によって3相信号が得られるように構成しても良い。また、前述した磁気式位置検出装置においても、磁気スケール目盛を着磁記録した回転体を平面に形成して固定し、磁電変換素子を移動させる直線変移検出装置としても良い。
【0048】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の請求項1にかかる位置検出装置は、センサの出力信号から各々120度の位相差を有する少なくとも第3次高調波を含む略正弦波状のR相、S相、T相からなる3相の信号を演算回路に各々入力して、R相−S相、S相−T相、T相−R相を計算することにより、上記演算回路からU相、V相、W相からなる第3次高調波が除去された正弦波状の3相信号を得ることができる。また、センサの出力信号やR相、S相、T相からなる3相の信号に同程度の直流ドリフトがあっても、演算回路により演算処理することによって、U相、V相、W相の直流ドリフトも同時に大幅に減少させることが可能となる。更に、S/N比を向上するために高調波成分が大きくなっても、演算回路により除去されるので、S/N比の高い位置検出装置を提供することができる。
【0049】
また、本発明の請求項2にかかる位置検出装置は、3個の変換素子から各々120度の位相差を有する正の3相信号と、各々180度の位相差を有する負の3相信号が得られるように変換部を配列したことにより、これらの正負の3相信号を演算回路に入力することによって第3次高調波が除去された正弦波状の3相信号を得ることが可能になる。
【0050】
さらに、本発明の請求項3にかかる位置検出装置は、3個の変換素子から得られた出力信号に基づいて120度の位相差を有するR相、S相、T相の3相出力信号を求めて演算回路に入力することにより演算処理を行うので、センサとして正の3相出力信号が得られれば良いので、センサの構成を簡略化できると共に小型化できる。
【0051】
一方、本発明の請求項4にかかる位置検出装置は、光学式の位置検出装置として、光を透過または反射する光学スケール目盛と、各々120度の位相差を有する3組の光電変換素子を備えることによって、少なくともa相、b相、c相の3相出力信号を容易に得ることができる。
【0052】
また、本発明の請求項5にかかる位置検出装置は、スケールに磁気記録した等間隔ピッチの磁気スケール目盛を読みとる3組の磁電変換素子を備えた磁気式の位置検出装置を構成することによって、少なくともa相、b相、c相の正の3相出力信号を容易に得ることができる。
【0053】
さらに、本発明の請求項6にかかる位置検出装置は、演算回路によって計算された第3次高調波を除去したV相、W相の信号からU相信号と90度の位相差を有するD相信号を得ることにより、内挿回路において計算することができるので容易に位置情報を得ることができることから、高精度かつ高分解能な位置検出装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の位置検出装置における第1の実施形態を示すブロック図である。
【図2】本発明の位置検出装置における光透過式の位置検出装置の構成を示す説明図である。
【図3】本発明の位置検出装置における光電変換素子の受光素子アレイを示すレイアウト図である。
【図4】本発明の位置検出装置における固定格子の構成を示す平面図である。
【図5】本発明の第1の実施形態における電流電圧変換回路の出力波形を示す波形図である。
【図6】本発明の第1の実施形態における演算回路の出力波形を示す波形図である。
【図7】本発明の第1の実施形態における内挿回路に入力する信号波形を示す波形図である。
【図8】本発明の第1の実施形態における位置情報を計算するためのリサージュを示す波形図である。
【図9】本発明の位置検出装置における光反射式の位置検出装置の構成を示す説明図である。
【図10】本発明の位置検出装置における第2の実施形態を示すブロック図である。
【図11】本発明の位置検出装置における磁気式の位置検出装置の構成を示す説明図である。
【図12】本発明の位置検出装置における第3の実施形態として磁気式位置検出装置の磁電変換素子の構成を示すレイアウト図である。
【図13】図12に示す磁電変換素子における磁気抵抗ストライプの接続を示す回路図である。
【図14】図12に示す磁電変換素子から出力される出力波形を示す波形図である。
【図15】本発明の位置検出装置における第4の実施形態を示すブロック図である。
【図16】従来の光学式光透過式の位置検出装置の構成を示す説明図である。
【図17】図16に示す位置検出装置における回折格子を示す平面図である。
【符号の説明】
1 光学式位置検出装置
2 スケール板
3 光学スケール目盛
6 固定格子
7 光電変換素子
10 電流電圧変換回路
11 演算回路
12 A/D変換回路
13 内挿回路
40 磁気式位置検出装置
42 磁気スケール目盛
43 磁電変換素子
【発明の属する技術分野】
本発明は、位置検出装置に関し、特に、センサの出力信号に基づいて内挿処理して高分解能の位置信号を得る装置に関する
【0002】
【従来の技術】
位置検出装置としては、光学式、或いは、磁気式の装置が知られている。光学式の位置検出装置の一例としては、図16に示すように、相対移動する第1の回折格子(以下、第1格子という)1と第2の回折格子(以下、第2格子という)2の後方に光電変換素子3が配置され、第1回折格子1の前方には、平行光束Lを照射させるように構成されている。第1格子1及び第2格子2には、光を透過させる部分及び透過させない部分が所定のピッチで繰返されている格子部が設けられている。このような構成において、平行光束Lを第1格子に照射すると、第1格子1及び第2格子2を透過した光が光電変換素子3に入射することにより、光電変換素子3からは、入射光をその光強度に応じた電気信号に変換した出力信号が得られる。この出力信号は、実際には疑似正弦波となっていて、この疑似正弦波状の出力信号を利用して位置検出が行われる。
【0003】
ところが、上述した従来の位置検出装置から得られる疑似正弦波状の出力信号には、主として3次高調波成分、5次高調波成分が含まれている。従って、このような高調波成分を有する出力信号を利用して求めた位置検出値は大きな誤差を伴うことになる。
【0004】
このような問題を解決する手段として、例えば、特許第2539269号(特許文献1)に開示されている光学式エンコーダが提案されている。この光学式エンコーダは、図17に示すように、第2格子2に設けられている格子部が数μm〜数百μmのピッチPで繰返す透過部(図示斜線部)と非透過部とからなる格子部2E、2F、2G、2Hが田の字状に配設されている。そして、格子部2F、2G、2Hは格子部2Eを基準とすると、各々の位相がP/6、P/10、4P/15ずれている。このような構成において、例えば格子部2Eを透過した光量の変化に基づく変位信号には、その主成分である基本波成分と3次高調波成分と5次高調波成分が含まれている。そこで、各格子部2E、2F、2G、2Hを同面積にして同光量が透過するようにして、各格子部2E、2F、2G、2Hを透過した光を光電変換素子3によって光電変換して、各々の光を加算することにより、3次高調波及び5次高調波を相殺するようにしている。
【0005】
【特許文献1】
特許第号2539269公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上述した光学式エンコーダでは、各格子部を透過した光を光学的に加算することによって3次高調波及び5次高調波を相殺するようにしている。このような光学的エンコーダは、各格子部の配列が不等間隔で複雑となり、しかも、各格子部等の面積が大型化することから、必然的に製造コストが高くなる問題がある。また、各格子部の配列によって高調波を相殺する方法は、理論的には相殺可能であるが、各格子部の間隔が正確な場合において高調波が相殺されるものであり、各格子部にバラツキが生じた場合には、相殺が不完全となって依然として高調波が残ることから、位置検出誤差が除去できない問題がある。更に、上記光学式エンコーダからは、オフセットを補正するための信号が得られないので、これによっても位置検出誤差が生ずる問題がある。仮にオフセット補正用の信号を得るためには、専用の格子と受光素子が必要となり、装置が大型になると共に、コストが高くなることが必至となる。
【0007】
そこで本発明は、簡便な手段によって高調波歪みを除去すると共に、オフセット変動による誤差を小さくして、高精度かつ高分解能な位置情報が得られる位置検出装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために請求項1記載の位置検出装置では、センサの出力信号から各々120度の位相差を有する少なくとも第3次高調波を含む略正弦波状のR相、S相、T相からなる3相の信号を演算回路に各々入力して、R相−S相、S相−T相、T相−R相を計算することにより、演算回路からU相、V相、W相からなる第3次高調波が除去された正弦波状の3相信号を得ることができるようになっている。
【0009】
また、請求項2記載の位置検出装置では、上記請求項1記載のスケールは、等間隔ピッチに記録したスケール目盛を有し、このスケール目盛と相対的に移動したときに読みとる120度の位相差を有する3個の変換素子は、各々180度の位相差を有する正の変換部と負の変換部を移動方向に配列したことにより、各々120度の位相差を有する+a相、+b相、+c相と−a相、−b相および−c相の各出力信号が得られるようにしている。これら3相信号から、R相=(+a)−(−a)、S相=(+b)−(−b)、T相=(+c)−(−c)により求められるR相、S相およびT相の3相の信号を前記演算回路に入力して演算処理を行い、U相、V相、W相からなる第3次高調波が除去された正弦波状の3相信号を得ることができるようになっている。
【0010】
さらに、請求項3記載の位置検出装置では、上記請求項1記載のスケールは、等間隔ピッチに記録したスケール目盛を有し、このスケール目盛と相対的に移動したときに読みとる120度の位相差を有する3個の変換素子から得られた+a相、+b相、+c相の正の3相出力信号を前記演算回路に入力して演算処理を行い、U相、V相、W相からなる第3次高調波が除去された正弦波状の3相信号を得ることができるようになっている。
【0011】
更にまた、請求項4記載の位置検出装置では、上記請求項1記載のスケールは、光を透過または反射する等間隔ピッチに記録した光学スケール目盛を有し、この光学スケール目盛との間で相対的に移動したときに上記光を読みとる各々120度の位相差を有した3組の変換素子として3組の光電変換素子を備え、これら3組の光電変換素子から少なくともa相、b相、c相の正の3相出力信号を得るようにして、光学式の位置検出装置を構成している。
【0012】
また、請求項5記載の位置検出装置では、上記請求項1記載のスケールは、等間隔ピッチに磁気記録した磁気スケール目盛を有し、この磁気スケール目盛を読みとる各々120度の位相差を有した3組の変換素子として3組の磁電変換素子から少なくともa相、b相、c相の正の3相出力信号を得るようにして、磁気式の位置検出装置を構成している。
【0013】
更に、請求項6記載の位置検出装置では、前記演算回路によって計算された120度の位相差を有する上記第3次高調波を除去したV相、W相の信号を、演算器によってD=(V−W)/√3を計算することによって、前記R相信号と90度の位相差を有する上記D相信号を出力し、これら両信号を内挿回路に入力して計算することによって位置情報を得るようにしている。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図1乃至図4は、本発明の第1の実施形態として、光学式位置検出装置の実施形態を示している。
【0015】
光学式位置検出装置1は、図2に示すような構成を有し、その概要は、光が透過するスリットを形成した光学スケール目盛3を等間隔ピッチに記録形成したスケール板2と、このスケール板2の一方側から平行光4を光学スケール目盛3に向けて照射する光源5と、光学スケール目盛3の他方面側に対向して配設した固定格子6と、上記光学スケール目盛3および固定格子6を透過した光を電気信号に変換するための光電変換素子7とを備えている。
【0016】
より具体的には、スケール板2に記録形成した光学スケール目盛3は、透明なガラスまたは合成樹脂の板をベースとして、図4の二点鎖線で示すような光を透過するスリット3aをピッチPによって等間隔に開口させて配列すると共に、他の部分は光を透過しないようにマスキングしている。また、上記スリット3aの幅は、ピッチPの1/2に設定されている。
【0017】
固定格子6は、図4に示すように、光学スケール目盛3に対向して配設され、+a相用、+b相用、および+c相用からなるスリットと、−a相用、−b相用および−c相用からなるスリットが配列されている。これらスリットは、透明なガラスまたは合成樹脂の板をベースとして、ハッチングで示す部分が光を透過するように開口し、他の部分をマスキングしている。各相毎のスリット群は、スリットを例えば3個づつ配列し、このスリットは上記光学スケール目盛3と同じピッチPの間隔に設定され、幅をピッチPの1/2に設定している。このように構成されたa相用のスリット群に対して、b相用のスリット群は、P/3のピッチずれている。更に、c相用のスリット群は、+b相用のスリット群に対してP/3のピッチずれている。また、−a相用、−b相用および−c相用の各スリット群は、上述した+a相用、+b相用、および+c相用のスリットに対して、nP+P/2(但し、nは正の整数)の間隔をあけて配列されている。
【0018】
上述した固定格子6には、光電変換素子7を対向させている。この光電変換素子7は、図3および図4に示すように、固定格子6に形成した+a相用、+b相用、および+c相用からなるスリット群と、−a相用、−b相用および−c相用からなる各スリット群に各々対向させた6個の受光素子アレイにより構成されている。そして、光電変換素子7の各受光素子アレイからは、固定格子6を透過した光を電気信号に変換する各々120度の位相差を有する+a相、+b相、および+c相の正の3相信号を出力する正の変換部と、これら正の3相信号に対して各々180度の位相差を有する−a相、−b相、および−c相の負の3相信号を出力する負の変換部が移動方向に配列されている。尚、図2に示した実施形態では、固定格子6に別体の光電変換素子7を僅かに離間させて対向配置しているが、固定格子6のハッチングで示す開口に各々光電変換素子7の受光素子アレイを設けて一体に構成しても良い。
【0019】
一方、上記スケール板2の一方側から光学スケール目盛3に向けて照射する光源5は、発光ダイオード、または半導体レーザー等の各種光源を使用することができる。この光源5から発光した光は、コリメートレンズ(図示しない)等によって平行光に変換されて光学スケール目盛3に照射される。
【0020】
前述したスケール板2は、工作機械やロボット、或いは計測機器等の可動部に設置され、この可動部と共に移動する。このとき、光学スケール目盛3のスリットと固定格子6のスリット群が平行光4に対して一列に並んだときに、光源5からの光が透過して光電変換素子7に受光されて電気信号に変換される。そして、光電変換素子7の正の変換部からは、各々120度の位相差を有する略正弦波状のa相、b相およびc相の正の3相信号が出力され、光電変換素子7の負の変換部からは、正の3相信号に対して各々180度の位相差を有すると共に、各々120度の位相差を有する−a相、−b相、および−c相の負の3相信号が出力される。これらの出力信号には、第3次高調波等の高調波が含まれるため、やや三角波状になっている。特に、光電変換素子7から出力される信号のS/N比を良くする手段として、光量を大きくするために、光学スケール目盛3のスリットと固定格子6、および、光電変換素子7を近接させた場合には、光電変換素子7からの出力信号が三角波状になって第3次高調波が現れる。
【0021】
光電変換素子7から出力された3相信号は、図1に示す位置検出回路によって処理される。位置検出回路は、光電変換素子7から出力される+a相、−a相と+b相、−b相および+c相、−c相の正負の3相信号を各々電圧に変換する電流電圧変換回路10と、この電流電圧変換回路10からの出力信号を差動増幅してR相、S相およびT相の信号を出力する差動増幅回路11と、この差動増幅回路30から出力されたR相、S相およびT相の3相信号を演算することにより第3次高調波を除去したU相、V相、W相からなる正弦波状の3相信号を出力する演算回路12と、正弦波状のアナログ3相信号をデジタル3相信号に変換するA/D変換回路13と、このデジタル化された信号に基づいて計算し、90度の位相差を有する正弦波信号と余弦波信号からなるD相信号と上記U相信号から位置情報を計算する内挿回路14を少なくとも備えている。尚、図1に示す光電変換素子7は、便宜上+a相、−a相からなるa相群7a、+b相、−b相からなるb相群7b、および+c相、−c相からなるc相群7cに区分している。
【0022】
前述したように、光電変換素子7の受光素子アレイから、出力された+a相、−a相と+b相、−b相および+c相、−c相の正負の3相信号は、少なくとも第3次高調波を含む略正弦波状となっている。この正負の3相信号は電流信号であり、電流電圧変換回路10によって電圧信号に変換する。即ち、電流電圧変換回路10からは、各々120度の位相差を有する略正弦波状の+a相、+b相および+c相の正の3相信号、および、−a相、−b相、および−c相の負の3相信号が電圧信号として出力される。
【0023】
上述した電流電圧変換回路10から出力される正負の3相信号は、差動増幅回路11によって、R相=(+a)−(−a)、S相=(+b)−(−b)、T相=(+c)−(−c)を求めることにより、これらR相、S相およびT相の3相の信号を出力する。これらの出力信号は、図5に示すように第3次高調波等の高調波が含まれるため、やや三角波状になっている。また、R相、S相およびT相からなる3相信号には、ドリフト電圧vdが含まれている。
【0024】
差動増幅回路11から出力されるR相、S相およびT相からなる3相信号は、次の演算回路11に各々入力される。この演算回路12においては、3組の演算回路12a、12bおよび12cによって演算が行われる。即ち、演算回路12aには、差動増幅回路11からR相とS相の電圧信号が入力され、演算回路12bにはS相とT相の電圧信号が入力され、更に演算回路12cには、T相とR相の電圧信号が入力される。そして、演算回路12aによって[R相信号−S相信号]の演算を行い、演算回路12bによって[S相信号−T相信号]の演算を行い、更に、演算回路12cによって[T相信号−R相信号]の演算が行われる。このような演算を行うことによって、主として第3次高調波等の高調波を除去することができ、この結果、演算回路12aからは、図6に示すように、高調波が除去された正弦波状のU相信号が出力される。また、演算回路12bからは、高調波が除去された正弦波状のV相信号が出力される。更に、演算回路12cからは、高調波が除去された正弦波状のW相信号が出力される。
【0025】
演算回路12によって上述した演算を行うことにより、高調波が除去されたU相、V相、およびW相の正弦波状の信号が得られることを、具体的に説明する。
【0026】
差動増幅回路11から出力されるR相、S相およびT相の出力信号は、次の式によって表される。
R=sinθ+R3sin(3θ)+R0
S=sin(θ+2π/3)+S3sin{3×(θ+2π/3)}+S0
T=sin(θ+4π/3)+T3sin{3×(θ+4π/3)}+T0
ここで、R0、S0、T0は、直流オフセット成分(図5に示したドリフト電圧vd)、R3、S3、T3は、第3次高調波の第1次成分に対する振幅比である。
【0027】
次に、上記差動増幅回路11から出力されたR相、S相およびT相の信号は、各演算回路12a、12b、12cによって[R相信号−S相信号]、 [S相信号−T相信号]、および[T相信号−R相信号]の演算が行われる。即ち、
U=R−S=−√3(cosθ+π/3)+(R3−S3) sin(3θ)+(R0−T0)
V=S−T=√3cosθ+(S3−T3) sin(3θ)+(S0−T0)
W=T−R=−3sinθ/2−√3cosθ+(T3−R3) sin(3θ)+(T0−R0)
ここで、R3≒S3≒T3、更に、R0≒S0≒T0の条件のときには、上記式から明らかなように、各演算回路12a、12b、12cから出力されるU相、V相、およびW相の出力信号には、第3次高調波、および、直流オフセット成分が除去され、図6に示すような正弦波状の信号が出力される。
【0028】
上述した直流オフセット成分R0、S0、T0、および、第3次高調波の第1次成分に対する振幅比R3、S3、T3をほぼ等しくすることは、容易に達成することが可能である。つまり、R3≒S3≒T3の条件を満たすためには、前述した光電変換素子7の受光素子アレイにおける+a相、−a相と+b相、−b相および+c相、−c相を受光する受光素子を1チップ上で近接して配置することにより実現できる。また、R0≒S0≒T0の条件を満たすためには、光電変換素子7や電流電圧変換回路10等に使用する回路素子として適切なものを選択して使用することによって実現することができる。
【0029】
上述したように、演算回路12によって、高調波を除去した正弦波状のU相、V相およびW相の信号は、次に、内挿位置信号を得るために、A/D変換器13によってデジタル変換される。即ち、上記U相、V相およびW相の信号は、図6に示すアナログ信号であり、これらの信号からCPU等によって内挿処理を行うために、デジタル信号に変換している。
【0030】
デジタル変換されたU相、V相およびW相の信号は、次の内挿回路14に入力される。内挿回路14は例えばCPU、或いは、DSPによって構成され、この内挿回路13によって、まず、V相およびW相の信号から上記U相信号と90度の位相差を有するD相信号を演算によって求める。即ち、内挿回路14に入力されたV相およびW相に基づき、内挿回路14に備えられた演算器(図示しない)によって、(V−W)/√3を計算することにより、図7に示すようなD相信号が得られる。つまり、
V−W=3sin(θ+π/3)
となる。従って、上記U相信号とV−Wとは、90度の位相差を有し、振幅比が√3倍の正弦波と余弦波の信号となる。これから、D=(V−W)/√3を計算することにより、振幅をほぼ等しくしたU相信号とD相信号が得られる。
【0031】
このD相信号は、上記U相信号を正弦波信号とした場合、90度の位相差を有する余弦波信号となる。これら正弦波信号のU相信号と余弦波信号の上記D相信号とを、θ=tan−1(U/D)によって演算することにより、位置情報としての角度θが求められる。この結果、図8に示すリサージュ波形図のようにして位置情報が得られる。この位置情報は、工作機械やロボット、或いは計測機器等の可動部の位置を表し、制御等のために使用される。
【0032】
上述した第1の実施形態によれば、演算回路12によって[R相信号−S相信号]、[S相信号−T相信号]および[T相信号−R相信号]の演算を行うことによって、主として第3次高調波等の高調波が除去された、U相、V相、およびW相の正弦波状の信号を得ることができる。また、光電変換素子7の温度特性によって出力されるa相信号、b相信号およびc相信号に同程度の直流ドリフトvd(図5を参照)がある場合でも、演算回路12によって上述した演算を行うことにより、この直流ドリフトvdを除去することができる。従って、演算回路12から高調波およびドリフトが除去された正弦波状のA相、B相およびC相の各信号を用いて内挿処理を行うことにより、高精度かつ高分解能な位置情報を得ることができる。特に、光電変換素子7の出力信号として、S/N比を向上するために、通常行う手段として、光源5の発光輝度を大きくする等の対策を講じるが、この場合には、逆に第3次高調波等の高調波成分が大きくなる問題が生ずる。ところが、本発明によれば、演算回路12によって高調波成分を除去できるので、良好なS/N比を有する出力信号が得られる。
【0033】
第1の実施形態において、光学式位置検出装置を光透過式の構成としたが、図9に示す光反射式の構成であっても良い。即ち、光反射式の光学式位置検出装置20は、光反射式の光を反射するように形成された光学スケール目盛22を等間隔ピッチに記録形成したスケール板21と、スケール板21に対して所定角度傾斜した上方から光23を光学スケール目盛22に向けて照射する光源24と、光学スケール目盛24の上方に対向して配設した固定格子25と、この固定格子25を透過した光を電気信号に変換するための光電変換素子26とを備えている。
【0034】
固定格子25は、前述した固定格子6と同様に構成され、+a相用、+b相用、および+c相用からなるスリットと、−a相用、−b相用および−c相用からなる複数スリット群が配列されている。この各相毎のスリット群の構成についても、図4に示す前述したスリット群と同様に構成されている。このような固定格子25に対向させる光電変換素子26は、図3および図4に示した光電変換素子7と同様に構成されている。そして、光電変換素子26の各受光素子アレイからは、固定格子25を透過した光を電気信号に変換して、+a相、+b相、および+c相と、−a相、−b相、および−c相の各3相の出力信号を得るようにしている。上記光学スケール目盛22に照射する光源24は、発光ダイオード、または半導体レーザー等のコリメート光を使用することができる。
【0035】
前述したスケール板21は、工作機械やロボット、或いは計測機器等の可動部に設置され、この可動部と共に移動する。このとき、光学スケール目盛22に反射した光源5からの光が固定格子25のスリット群を透過して光電変換素子26に受光されて電気信号に変換される。そして、光電変換素子26からは、前述した光電変換素子7と同様に、各々120度の位相差を有する略正弦波状の+a相、+b相および+c相の正の3相信号が出力される。これらの出力信号は、第3次高調波等の高調波が含まれている。
【0036】
光電変換素子26から出力された3相信号は、前述した実施形態と同様に、図1に示す位置検出回路によって処理され、内挿処理を行うことにより、高精度かつ高分解能な位置情報を得るようにしている。
【0037】
図10は、本発明における第2の実施形態として、位置検出回路の他の形態を示している。前述した第1の実施形態と同様に、光電変換素子7からは、各々120度の位相差を有する略正弦波状の正負の3相信号が各々出力されるようにしている。光電変換素子7から出力された+a相、+b相、+c相の正の3相信号、および、−a相、−b相、および−c相の負の3相信号は、電流電圧変換回路10によって各々電圧に変換される。電流電圧変換回路10からの出力信号は、次の差動増幅回路11に入力して、R相=(+a)−(−a)、S相=(+b)−(−b)、T相=(+c)−(−c)により求められるR相、S相およびT相の3相の信号を得る。更に、差動増幅回路11から出力されたR相、S相およびT相の3相信号は、次の演算回路30に入力されて演算が行われる。
【0038】
演算回路30は、減算器30a、加算器30b、および、減算器30cによって構成され、減算器30aは、[R相−S相]の演算を行い、加算器30bは、[R相+S相]の演算を行い、更に、減算器30cは、[R相+S相−2T相]の演算を行う。
【0039】
そして、演算回路30によって上述した計算を行うことによって、高調波成分が除去された正弦波状のU相およびD相の出力信号を得ている。この信号は、前述した第1の実施形態と同様に、次のA/D変換器13によってデジタル変換された後に、次の内挿回路14に入力される。この内挿回路14についても、CPUやDSPによって構成される等、第1の実施形態と同様である。
【0040】
演算回路30から得られた90度の位相差を有する正弦波状のU相およびD相の出力信号は、内挿回路14によって、θ=tan−1(U/D)が演算され、位置情報としての角度θが求められる。この結果、前述した図8に示すリサージュ波形図のように、内挿位置情報を得るようにしている。
【0041】
図11は、本発明の第3の実施形態として磁気式位置検出装置を示している。磁気式位置検出装置40は、図11に示すような構成を有し、その概要は、外周面に磁気スケール目盛42を等間隔ピッチに着磁記録した回転体41と、この磁気スケール目盛42に近接して対向させた磁電変換素子43とを備えている。
【0042】
磁電変換素子43の好適な例としては、図12に示すMR素子44(磁気抵抗素子)がある。このMR素子44は、6本の磁気抵抗ストライプR1乃至R6が設けられ、各磁気抵抗ストライプの間隔は、NSからなる磁極をλとしたとき、各々λ/6のピッチで配列されている。そして、1つおきの磁気抵抗ストライプR2、R4およびR6の一端を接地GNDすると共に、磁気抵抗ストライプR1、R3およびR5の一端を電源VCCに接続されている。また、磁気抵抗ストライプR1、R2の他端、磁気抵抗ストライプR3、R4の他端、および、磁気抵抗ストライプR5、R6の他端は各々直列接続されている。この接続回路は図13に示され、直列接続された磁気抵抗ストライプの接続点から各々a相、b相、c相の信号出力を得るようにしている。
【0043】
これらa相、b相、c相の信号出力は、図14に示すように、第3次高調波等の高調波成分が含まれているために、略々台形波状になっている。即ち、MR素子44によって正弦波状の信号出力を得るためには、MR素子の感度特性から直線性の良い範囲を使用すれば良い。しかし、この範囲は狭いために、磁気スケール目盛42の磁界を弱くする等の手段を採る必要がある。ところが、このような手段を採った場合には、逆にS/N比を悪化させてしまう。このS/N比を向上させるためには、磁気スケール目盛42の磁界を強くする等の手段を採る必要があり、この場合にはMR素子の感度特性における非直線性の範囲まで広く使用することになり、この結果、上記a相、b相、c相の信号出力は、略々台形波状になってしまう。位置検出装置においては、高精度な位置信号を得るためにS/N比を高くする必要があることから、信号出力が略々台形波状になることは否めない。
【0044】
MR素子44から出力されたa相、b相、c相の3相信号は、各々120度の位相差を有している。そして、これら信号は、基本的に正の3相信号であり、図15に第4の実施形態として示した位置検出回路によって内挿処理を行うことにより、高精度かつ高分解能な位置情報を得るようにしている。即ち、MR素子44から出力されたa相、b相、c相の3相信号は、3組の増幅回路50によって各々増幅される。この増幅回路50の出力信号は、A/D変換回路51によってデジタル変換した後に、内挿回路52によって内挿位置情報としての角度θが求められる。
【0045】
内挿回路52内には、図10において示した演算回路30と同様に、デジタル式の減算器および加算器が備えられ、一方の減算器において[a相−b相]の演算を行い、加算器において[a相+b相]の演算を行い、更に、他方の減算器において[a相+b相−2c相]の演算を行うことにより、90度の位相差を有する正弦波状のU相およびD相の出力信号を得る。このU相およびD相の出力信号は、内挿回路14によって、θ=tan−1(U/D)が演算され、位置情報としての角度θが求められる。この結果、前述した図8に示すリサージュ波形図のように、内挿位置情報を得るようにしている。尚、3組の増幅回路50から出力されるa相、b相、c相の3相信号は、前述したR相、S相およびT相の3相信号と等価であり、置換可能である。
【0046】
上述した磁電変換素子43としては、MR素子の他に、多チャンネルの磁気ヘッドを使用しても良い。
【0047】
尚、上述の実施形態は本発明の好適な実施の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形可能である。例えば、第1の実施形態において、光学スケール目盛を設けたスケール板を工作機械やロボット、或いは計測機器等の可動部に設置し、この可動部と共に移動させるようにしたが、逆に、スケール板を固定し、前述した固定格子および光電変換素子を上記可動部に設置して移動させる等、両者は相対的な移動によって3相信号が得られるように構成しても良い。また、前述した磁気式位置検出装置においても、磁気スケール目盛を着磁記録した回転体を平面に形成して固定し、磁電変換素子を移動させる直線変移検出装置としても良い。
【0048】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の請求項1にかかる位置検出装置は、センサの出力信号から各々120度の位相差を有する少なくとも第3次高調波を含む略正弦波状のR相、S相、T相からなる3相の信号を演算回路に各々入力して、R相−S相、S相−T相、T相−R相を計算することにより、上記演算回路からU相、V相、W相からなる第3次高調波が除去された正弦波状の3相信号を得ることができる。また、センサの出力信号やR相、S相、T相からなる3相の信号に同程度の直流ドリフトがあっても、演算回路により演算処理することによって、U相、V相、W相の直流ドリフトも同時に大幅に減少させることが可能となる。更に、S/N比を向上するために高調波成分が大きくなっても、演算回路により除去されるので、S/N比の高い位置検出装置を提供することができる。
【0049】
また、本発明の請求項2にかかる位置検出装置は、3個の変換素子から各々120度の位相差を有する正の3相信号と、各々180度の位相差を有する負の3相信号が得られるように変換部を配列したことにより、これらの正負の3相信号を演算回路に入力することによって第3次高調波が除去された正弦波状の3相信号を得ることが可能になる。
【0050】
さらに、本発明の請求項3にかかる位置検出装置は、3個の変換素子から得られた出力信号に基づいて120度の位相差を有するR相、S相、T相の3相出力信号を求めて演算回路に入力することにより演算処理を行うので、センサとして正の3相出力信号が得られれば良いので、センサの構成を簡略化できると共に小型化できる。
【0051】
一方、本発明の請求項4にかかる位置検出装置は、光学式の位置検出装置として、光を透過または反射する光学スケール目盛と、各々120度の位相差を有する3組の光電変換素子を備えることによって、少なくともa相、b相、c相の3相出力信号を容易に得ることができる。
【0052】
また、本発明の請求項5にかかる位置検出装置は、スケールに磁気記録した等間隔ピッチの磁気スケール目盛を読みとる3組の磁電変換素子を備えた磁気式の位置検出装置を構成することによって、少なくともa相、b相、c相の正の3相出力信号を容易に得ることができる。
【0053】
さらに、本発明の請求項6にかかる位置検出装置は、演算回路によって計算された第3次高調波を除去したV相、W相の信号からU相信号と90度の位相差を有するD相信号を得ることにより、内挿回路において計算することができるので容易に位置情報を得ることができることから、高精度かつ高分解能な位置検出装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の位置検出装置における第1の実施形態を示すブロック図である。
【図2】本発明の位置検出装置における光透過式の位置検出装置の構成を示す説明図である。
【図3】本発明の位置検出装置における光電変換素子の受光素子アレイを示すレイアウト図である。
【図4】本発明の位置検出装置における固定格子の構成を示す平面図である。
【図5】本発明の第1の実施形態における電流電圧変換回路の出力波形を示す波形図である。
【図6】本発明の第1の実施形態における演算回路の出力波形を示す波形図である。
【図7】本発明の第1の実施形態における内挿回路に入力する信号波形を示す波形図である。
【図8】本発明の第1の実施形態における位置情報を計算するためのリサージュを示す波形図である。
【図9】本発明の位置検出装置における光反射式の位置検出装置の構成を示す説明図である。
【図10】本発明の位置検出装置における第2の実施形態を示すブロック図である。
【図11】本発明の位置検出装置における磁気式の位置検出装置の構成を示す説明図である。
【図12】本発明の位置検出装置における第3の実施形態として磁気式位置検出装置の磁電変換素子の構成を示すレイアウト図である。
【図13】図12に示す磁電変換素子における磁気抵抗ストライプの接続を示す回路図である。
【図14】図12に示す磁電変換素子から出力される出力波形を示す波形図である。
【図15】本発明の位置検出装置における第4の実施形態を示すブロック図である。
【図16】従来の光学式光透過式の位置検出装置の構成を示す説明図である。
【図17】図16に示す位置検出装置における回折格子を示す平面図である。
【符号の説明】
1 光学式位置検出装置
2 スケール板
3 光学スケール目盛
6 固定格子
7 光電変換素子
10 電流電圧変換回路
11 演算回路
12 A/D変換回路
13 内挿回路
40 磁気式位置検出装置
42 磁気スケール目盛
43 磁電変換素子
Claims (6)
- スケール上に記録された信号を読みとって3相信号として出力するセンサと、このセンサに基づいて位置検出信号を得る位置検出装置であって、
上記位置検出装置は、上記センサの出力信号から各々120度の位相差を有する少なくとも第3次高調波を含む略正弦波状のR相、S相、T相からなる3相の信号を各々入力してR相−S相、S相−T相、T相−R相を計算することにより、上記第3次高調波を除去したU相、V相、W相からなる正弦波状の3相信号を出力する演算回路を備えたことを特徴とする位置検出装置。 - 上記スケールは、等間隔ピッチに記録したスケール目盛を有し、上記スケール目盛には上記スケール目盛との間で相対的に移動したときに読みとる各々120度の位相差を有した3組の変換素子を対向配置させ、この3組の変換素子は、各々180度の位相差を有する正の変換部と負の変換部を移動方向に配列し、上記正の変換部と負の変換部から出力される+a相、+b相、+c相からなる正の3相信号と−a相、−b相、−c相からなる負の3相信号から、R相=(+a)−(−a)、S相=(+b)−(−b)、T相=(+c)−(−c)により求められるR相、S相およびT相の3相の信号を前記演算回路に加えた請求項1記載の位置検出装置。
- 上記スケールは、等間隔ピッチに記録したスケール目盛を有し、上記スケール目盛との間で相対的に移動したときに読みとる各々120度の位相差を有した3組の変換素子を対向配置させ、前記演算回路には上記3組の変換素子から出力する+a相、+b相、+c相からなる3相信号を加えた請求項1記載の位置検出装置。
- 上記スケールは、光を透過または反射する等間隔ピッチに記録した光学スケール目盛を有し、この光学スケール目盛との間で相対的に移動したときに上記光を読みとる3組の光電変換素子を備えた請求項1乃至3記載の位置検出装置。
- 上記スケールは、等間隔ピッチに磁気記録した磁気スケール目盛を有し、この磁気スケール目盛を読みとる3組の磁電変換素子とを備えた請求項1乃至3記載の位置検出装置。
- 前記演算回路によって計算された各々120度の位相差を有するV相、W相の信号から、D=(V−W)/√3を計算してD相の出力信号を出力する演算器と、90度の位相差を有する正弦波信号と余弦波信号からなる上記D相信号と上記R相信号から位置情報を計算する内挿回路とを備えた請求項1記載の位置検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003104780A JP2004309366A (ja) | 2003-04-09 | 2003-04-09 | 位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003104780A JP2004309366A (ja) | 2003-04-09 | 2003-04-09 | 位置検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004309366A true JP2004309366A (ja) | 2004-11-04 |
Family
ID=33467471
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003104780A Pending JP2004309366A (ja) | 2003-04-09 | 2003-04-09 | 位置検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004309366A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007322167A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Nsk Ltd | レゾルバデジタルコンバータ、回転角度位置検出装置および回転機械制御装置 |
JP2009063332A (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-26 | Delta Electronics Inc | 三相の光学エンコーダのための角度計算装置および角度計算方法 |
JP2011141268A (ja) * | 2009-11-14 | 2011-07-21 | Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte Ltd | 高解像度の光学エンコーダ・システム、装置及び方法 |
EP2722649A2 (en) | 2012-10-17 | 2014-04-23 | Alps Electric Co., Ltd. | Magnetic encoder |
JP2015045529A (ja) * | 2013-08-27 | 2015-03-12 | Tdk株式会社 | 回転磁界センサ |
DE102014109745B3 (de) * | 2014-07-11 | 2015-11-05 | Helmholtz-Zentrum Berlin Für Materialien Und Energie Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer Motorposition |
JP2016161530A (ja) * | 2015-03-05 | 2016-09-05 | 日本航空電子工業株式会社 | レゾルバ装置 |
JP2018105845A (ja) * | 2016-12-27 | 2018-07-05 | 株式会社ミツトヨ | エンコーダ |
DE102007042073B4 (de) | 2007-09-05 | 2018-07-12 | Delta Electronics, Inc. | Vorrichtung und Verfahren zur Winkelberechnung für einen dreiphasigen optischen Codierer |
JP2019219347A (ja) * | 2018-06-19 | 2019-12-26 | 株式会社ミツトヨ | エンコーダ |
-
2003
- 2003-04-09 JP JP2003104780A patent/JP2004309366A/ja active Pending
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007322167A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Nsk Ltd | レゾルバデジタルコンバータ、回転角度位置検出装置および回転機械制御装置 |
DE102007042073B4 (de) | 2007-09-05 | 2018-07-12 | Delta Electronics, Inc. | Vorrichtung und Verfahren zur Winkelberechnung für einen dreiphasigen optischen Codierer |
JP2009063332A (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-26 | Delta Electronics Inc | 三相の光学エンコーダのための角度計算装置および角度計算方法 |
JP2011141268A (ja) * | 2009-11-14 | 2011-07-21 | Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte Ltd | 高解像度の光学エンコーダ・システム、装置及び方法 |
EP2722649A2 (en) | 2012-10-17 | 2014-04-23 | Alps Electric Co., Ltd. | Magnetic encoder |
JP2014081298A (ja) * | 2012-10-17 | 2014-05-08 | Alps Electric Co Ltd | 磁気エンコーダ |
JP2015045529A (ja) * | 2013-08-27 | 2015-03-12 | Tdk株式会社 | 回転磁界センサ |
US10386169B2 (en) | 2013-08-27 | 2019-08-20 | Tdk Corporation | Rotating field sensor |
US10648787B2 (en) | 2013-08-27 | 2020-05-12 | Tdk Corporation | Rotating field sensor |
DE102014109745B3 (de) * | 2014-07-11 | 2015-11-05 | Helmholtz-Zentrum Berlin Für Materialien Und Energie Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer Motorposition |
JP2016161530A (ja) * | 2015-03-05 | 2016-09-05 | 日本航空電子工業株式会社 | レゾルバ装置 |
JP2018105845A (ja) * | 2016-12-27 | 2018-07-05 | 株式会社ミツトヨ | エンコーダ |
JP2019219347A (ja) * | 2018-06-19 | 2019-12-26 | 株式会社ミツトヨ | エンコーダ |
CN110617844A (zh) * | 2018-06-19 | 2019-12-27 | 株式会社三丰 | 位移编码器 |
JP7063743B2 (ja) | 2018-06-19 | 2022-05-09 | 株式会社ミツトヨ | エンコーダ |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5641746B2 (ja) | 光電式エンコーダ | |
EP2538179B1 (en) | Two-dimensional absolute encoder and scale therefor | |
JPH0132450B2 (ja) | ||
US8742322B2 (en) | Encoder and interferometer that generate M-phase signals by multiplying N-phase signals by M coefficient sets, where N is not less than 6 and M is not smaller than 2 | |
EP2511669B1 (en) | Encoder | |
JPH0131127B2 (ja) | ||
JP6099908B2 (ja) | 2次元アブソリュートエンコーダおよびスケール | |
JP2746178B2 (ja) | 測定装置の内挿回路 | |
JP2004309366A (ja) | 位置検出装置 | |
JP3278361B2 (ja) | 光学式エンコーダ | |
JP6308739B2 (ja) | 位置検出装置及びそれを有するレンズ装置、画像読取装置及び画像形成装置 | |
EP3792601B1 (en) | Angle detector | |
JP6276074B2 (ja) | 位置検出装置 | |
US7087888B2 (en) | Electrical division circuit for an optical encoder | |
KR101361625B1 (ko) | 위치 측정 장치 및 위치 측정 방법 | |
JP6091268B2 (ja) | 位置検出装置、レンズ装置、撮像システム、工作装置、位置検出方法、および、プログラム | |
JPH0518783A (ja) | 光学式エンコーダ | |
JPH0626817A (ja) | 光学式変位検出装置 | |
JPH0143243B2 (ja) | ||
JPH10300518A (ja) | 信号異常検知回路及びこれを用いた変位情報検出装置 | |
JPH0658769A (ja) | 信号処理方法及びそれを用いた変位検出装置 | |
JP2002286506A (ja) | 光学スケールを用いた寸法測定装置 | |
JPH0723692Y2 (ja) | 光学式エンコーダのインデックス信号発生装置 | |
JP3030760B2 (ja) | 直流分除去回路 | |
JPH08184466A (ja) | 光学格子およびエンコーダ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20040819 |