JP3491489B2 - タブテープ及びその製造方法 - Google Patents

タブテープ及びその製造方法

Info

Publication number
JP3491489B2
JP3491489B2 JP07145997A JP7145997A JP3491489B2 JP 3491489 B2 JP3491489 B2 JP 3491489B2 JP 07145997 A JP07145997 A JP 07145997A JP 7145997 A JP7145997 A JP 7145997A JP 3491489 B2 JP3491489 B2 JP 3491489B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solder resist
tab tape
edging
wiring pattern
resist layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP07145997A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH10270504A (ja
Inventor
軍一 高橋
司 千葉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Cable Ltd
Original Assignee
Hitachi Cable Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Cable Ltd filed Critical Hitachi Cable Ltd
Priority to JP07145997A priority Critical patent/JP3491489B2/ja
Publication of JPH10270504A publication Critical patent/JPH10270504A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3491489B2 publication Critical patent/JP3491489B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/50Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/11Printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
    • H05K1/118Printed elements for providing electric connections to or between printed circuits specially for flexible printed circuits, e.g. using folded portions
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3452Solder masks

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)
  • Paints Or Removers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はタブテープ及びその
製造方法に関し、特に、反りの少ないタブテープ及びそ
の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のタブテープ(TAPE AUTO
MATED BONDING TAPE)として、たと
えば、図4に示されるようなものが知られている。
【0003】ポリイミドフィルム等のベースフィルム1
に、たとえば、デバイスホール10を形成し、このデバ
イスホール10の周りを囲むように複数のボールパッド
12を配置するとともに、これらからデバイスホール1
0にかけてリード13を延ばすなどした配線パターンを
ベースフィルム1の上に形成し、さらに、この配線パタ
ーンの上には、ソルダーレジスト部(絶縁保護膜)7を
設けて構成されているもので、そのすぐれた薄型軽量性
や高密度実装性、あるいは曲げ配線可能なしなやかさな
どから、たとえば液晶表示パネルや高集積論理LSI等
の用途において広く活用されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、以上のような
従来のタブテープによると、ソルダーレジスト部7の形
成方法に問題があることから、テープ全体に反りが発生
することがあり、このため、後工程でのIC実装作業や
樹脂封止作業などに支障をきたすことがある。
【0005】普通、タブテープは、まず、ベースフィル
ム1に対して金属箔をラミネートし、その上にフォトレ
ジストを塗布し、次いでこの塗布膜に対して露光および
現像処理を行い、さらに、不要部を除去してエッチング
処理をほどこすことによって所定パターンの配線を設
け、この配線パターンの上にソルダーレジストを塗布
し、加熱硬化させることによって製造されている。
【0006】配線パターンを保護するためのソルダーレ
ジスト部7の構成材料としては、一般に加熱硬化型のも
のが使用されており、これにはフォトソルダーレジスト
やエポキシ樹脂塗料のような含有樹脂分の固いものと、
ポリイミド系のような柔らかいものとがあるが、それぞ
れに一長一短がある。
【0007】すなわち、前者の場合には、寸法精度のよ
いソルダーレジスト層を構成できる半面、樹脂分が固い
ことから、この固さが加熱硬化中における自身の熱膨張
量とベースフィルムの熱膨張量との間に差を生じ、この
ため、タブテープに反りが発生することがある。
【0008】また、ソルダーレジスト部7の上には、次
工程でハンダメッキや金メッキ等をほどこすのが普通で
あるが、その際に、ホイスカー防止や乾燥等の目的で実
施されるメッキ後の熱処理が、この熱膨張の差による反
りをさらに助長するように作用し、このため、タブテー
プとしての品質をいっそう損なわせることがある。
【0009】反りは、後工程におけるICチップ実装の
ためのボンディング作業や、樹脂封止作業を進めるうえ
において支障となるものであり、したがって、この現象
の発生は極力おさえなければならない。
【0010】これまでの発明者の経験によれば、ソルダ
ーレジスト部7をポリイミド系のような柔軟性のある樹
脂塗料によって構成することが、このタブテープの反り
を防ぐうえにおいて有効であることが確認されている。
【0011】しかしながら、この軟質の樹脂塗料は塗布
精度が悪く、厳しい寸法精度を要求されるタブテープの
ためのソルダーレジストとしては、不適当であるという
ことも、また、確認されている。
【0012】したがって、本発明の目的は、反りの少な
いタブテープと、これを製造するための製造方法とを提
供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するため、ベースフィルムに形成された配線パターン
の所定の部分をソルダーレジスト層で被覆したタブテー
プにおいて、硬質樹脂材料によって前記ソルダーレジス
ト層の境界に所定の幅で形成された縁取部と、軟質樹脂
材料によって前記縁取部で区画された領域に形成され、
前記縁取部と一体になって前記ソルダーレジスト層を構
成するソルダーレジスト部を備え、前記縁取部は、前記
配線パターンのアウターリードの終端を露出させながら
前記アウターリードと直交するように直線状の形状を有
することを特徴とするタブテープを提供するものであ
り、さらには、このタブテープを得るための以下のよう
な製造方法も提供するものである。
【0014】すなわち、ベースフィルムに形成された配
線パターンの所定の部分をソルダーレジスト層で被覆し
たタブテープの製造方法において、前記ソルダーレジス
ト層を形成する領域の境界に所定の幅の硬質樹脂塗料を
塗布し、前記硬質樹脂塗料を加熱硬化して縁取部を形成
し、前記縁取部により区画された前記領域に軟質樹脂塗
料を塗布し、前記軟質樹脂塗料を加熱硬化して前記縁取
部と一体にして前記ソルダーレジスト層を形成すること
を特徴とする製造方法をも発明の対象とするものであ
る。
【0015】ベースフィルムとしては、多くの場合、ポ
リイミド系フィルムが使用される。
【0016】本発明において縁取部が形成される個所
は、たとえば、デバイスホールやボールパッド、あるい
はアウターリード終端部などである。
【0017】デバイスホールを例にとるならば、硬質樹
脂材料製の縁取部は、配線パターンのインナーリード先
端を露出させるようにして、デバイスホールを取り囲む
ように形成される。
【0018】これにより配線パターンは、デバイスホー
ルと他の部分とに区画され、この区画された他の部分に
は、軟質樹脂材料製のソルダーレジスト部が縁取部と一
体化するように形成され、これによって縁取部とソルダ
ーレジスト部とから成るソルダーレジスト層が形成され
る。
【0019】ボールパッドを対象とする場合には、縁取
部は、ボールパッドを露出させるようにして、その外縁
を被覆するようにリング状に形成される。
【0020】配線パターンのアウターリード部に縁取部
を形成する場合には、縁取部は、アウターリードの終端
を露出させ、且つアウターリードと直交するようにし
て、直線状に形成される。
【0021】縁取部を形成するための硬質樹脂塗料とし
ては、エポキシ樹脂系のものやフォトソルダーレジスト
の使用が望ましく、具体的には、前者については株式会
社旭化学研究所製のエポキシソルダーレジストが適して
おり、後者については太陽インキ株式会社製のフォトソ
ルダーレジストが好適である。
【0022】反りの原因とならないよう、幅寸法を0.
1〜5mm程度におさえるべき縁取部の形成手段として
は、たとえばスクリーン印刷が適している。
【0023】あらかじめインプットされたプログラムの
もと、連続して送られてくるタブテープの縁取部形成個
所に対して、エポキシ系樹脂塗料などを一定量づつ自動
滴下し、その後、これを加熱硬化させることによって、
縁取部を形成することは考えられる。
【0024】このような自動連続作業は、ディスペンサ
ーロボットの採用によって可能であり、特に、縁取部形
成個所が複数個あるときに有効である。
【0025】縁取部形成材料として、フォトソルダーレ
ジストを使用する場合には、まず、フォトソルダーレジ
ストをスクリーン印刷等によって配線パターン上に塗布
し、次に、これへ露光、現像処理をほどこすことによっ
て形状を決め、その後、不要部除去、及び加熱硬化工程
を経ることによって、縁取部は形成される。
【0026】軟質樹脂塗料としては、ポリイミド系樹脂
塗料の使用が好ましく、具体的には、宇部興産株式会社
製のポリイミドソルダーレジストが好適である。
【0027】
【発明の実施の形態】次に、本発明によるタブテープ
と、その製造方法の実施形態について説明する。
【0028】図1の(イ)〜(ハ)は、本発明タブテー
プのひとつの実施形態を示したもので、1はポリイミド
製のベースフィルム、2はこのベースフィルム1の両サ
イドに形成されたスプロケットホール、3は接着剤4を
介してベースフィルム1へラミネートされた銅箔に対
し、フォトレジスト塗布、露光、現像、及びエッチング
等の一連の処理をほどこすことによって形成された配線
パターン、5はアウターホール、6a、6bは配線パタ
ーン3の所定の個所に所定の幅で形成された縁取部、7
はこれら縁取部6a、6bによって区画された領域へ設
けられたソルダーレジスト部を示す。
【0029】縁取部6a、6bとソルダーレジスト部7
とは、互いに一体化されており、これによって配線パタ
ーン3を被覆するソルダーレジスト層8が構成されてい
る。
【0030】このソルダーレジスト層8の境界に設けら
れたこれら縁取部のうちの一方側の6aは、配線パター
ンのインナーリード先端9を露出させるようにしてデバ
イスホール10を取り囲んでおり、もう一方の直線状の
縁取部6bは、露出したアウターリードの終端11と直
交するように設けられている。
【0031】次に、以上のタブテープを対象として実施
された本発明によるタブテープの製造実施例と、従来の
製造例とについて説明する。
【0032】なお、従来の製造例の説明にも図1を引用
するが、従来の製造例が対象とするタブテープには、当
然、図1における縁取部6a、6bはない。
【0033】
【実施例1】株式会社旭化学研究所製のエポキシ系ソル
ダーレジストを、スクリーン印刷により配線パターン3
上の所定の位置に塗布し、これを窒素ガス雰囲気下にお
いて130℃で3時間加熱することによって、縁取部6
a、6bを形成した。
【0034】次いで、これら縁取部6a、6bにより区
画された領域に、宇部興産株式会社製のポリイミド系ソ
ルダーレジストを塗布し、これを140℃で3時間加熱
することによって、ポリイミドソルダーレジスト部7を
形成した。
【0035】
【実施例2】太陽インキ株式会社製の感光性フォトソル
ダーレジストを、スクリーン印刷によって配線パターン
3を覆うように塗布した。
【0036】次にこのフォトソルダーレジスト塗布膜に
対して、露光、現像、不要部除去処理をほどこしたの
ち、これを窒素ガス雰囲気下で150℃に2時間加熱す
ることにより、縁取部6a、6bを形成した。
【0037】これら縁取部6a、6bにより区画された
領域に対して、実施例1で使用したポリイミド系ソルダ
ーレジストを塗布し、次いでこれを140℃で3時間加
熱することにより、ポリイミド製のソルダーレジスト部
7を形成した。
【0038】
【従来例1】実施例1で使用されたのと同じエポキシ系
ソルダーレジストを、スクリーン印刷によって配線パタ
ーン3上に塗布し、これを130℃で1時間加熱するこ
とにより、ソルダーレジスト部7を形成した。
【0039】
【従来例2】実施例2で使用されたのと同じフォトソル
ダーレジストを、スクリーン印刷によって配線パターン
3の上に塗布した。
【0040】次にこの塗布膜に対して、露光、現像およ
び不要部除去処理をほどこしたのち、これを150℃に
2時間加熱することにより、ソルダーレジスト部7を形
成した。
【0041】図2の(イ)〜(ホ)は、本発明によるタ
ブテープの他の実施形態を示したものである。
【0042】このタブテープは、デバイスホール10の
周りに複数のボールパッド12を配置するとともに、デ
バイスホール10とボールパッド12間に、インナーリ
ードにつながる引廻リード13を配列した配線パターン
を備えている。
【0043】デバイスホール10側のソルダーレジスト
層8の境界部には、インナーリードの先端9を露出させ
るようにして所定幅の縁取部6cが形成されており、さ
らに、ボールパッド12には、パット12を露出させた
かたちでその外縁を被覆するリング状の縁取部6dが形
成されている。
【0044】ソルダーレジスト部7は、この縁取部6d
によって区画された領域に設けられており、ソルダーレ
ジスト層8は、互いに一体化されたこれらソルダーレジ
スト部7と縁取部6dとによって構成されている。
【0045】この図2のタブテープを対象にして実施さ
れた本発明によるタブテープの製造実施例と、従来の製
造例とを以下に述べる。
【0046】従来の製造例が対象とするタブテープに
は、縁取部6c、6dはない。
【0047】
【実施例3】まず、実施例2において使用されたフォト
ソルダーレジストを、スクリーン印刷によって配線パタ
ーンの上に塗布した。
【0048】次に、このフォトソルダーレジスト塗布膜
に対して、露光、現像、不要部除去処理を順次ほどこし
たのち、これを150℃で2時間加熱することによっ
て、縁取部6c、6dを形成した。
【0049】縁取部6c、6dによって区画された領域
に対して、実施例1におけるのと同じポリイミド系ソル
ダーレジストを塗布し、これを150℃に2時間加熱す
ることによって、ポリイミド製のソルダーレジスト層8
を形成した。
【0050】
【従来例3】実施例2で使用されたのと同じフォトソル
ダーレジストを、配線パターン3上に塗布した。
【0051】次に、このフォトソルダーレジスト膜を対
象に、露光、現像、不要部除去処理をほどこし、これを
150℃で2時間加熱することによって、ソルダーレジ
スト部7を形成した。
【0052】表1は、以上により製造された各実施例の
タブテープと従来例のタブテープとを対象に、それぞれ
の反り量を測定した結果をまとめたものである。
【0053】図3は、反り量の測定方法を示したもの
で、一定の幅を有する長さ70mmのタブテープ14を
定盤15上に置いたときのタブテープ14の長手方向の
反り量であるD寸法をもって反り量とした。
【0054】
【表1】
【0055】この表1によれば、従来例1〜3のいずれ
もが4.3mm以上の大きな反り量を示しているのに対
して、本発明による実施例1〜3の場合には、そのすべ
てが、0.5mm以下の低い水準におさえられており、
両者間には明確な差が認められる。
【0056】
【発明の効果】以上のように、本発明のタブテープによ
れば、ポリイミド樹脂塗料のような軟質樹脂の塗料を塗
布し、これを加熱硬化させることによってソルダーレジ
スト層の主体部分を構成したものであることから、加熱
硬化時等におけるベースフィルムとソルダーレジスト間
の熱膨張の差は、このソルダーレジストの柔軟性によっ
て吸収されることになり、したがって、表1において実
証されたような反りの少ないタブテープを提供すること
ができる。
【0057】この結果、後工程のIC実装作業や樹脂封
止作業等に及ぼしていた反りによる悪影響は、解消され
ることになる。
【0058】また、本発明によれば、ソルダーレジスト
層の境界に、塗布精度のすぐれた硬質樹脂材料から成る
所定幅の縁取部を形成し、この縁取部により区画された
領域に対してソルダーレジスト部を一体に形成するもの
であることから、本来塗布精度の悪い軟質樹脂塗料によ
ってこのソルダーレジスト部を構成するにもかかわら
ず、縁取部の存在が塗布精度を保証するかたちとなり、
したがって、全体として精度のよいソルダーレジスト層
を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のタブテープにおけるひとつの実施形態
説明図であり、(イ)は平面図、(ロ)はA−A部の拡
大断面図、(ハ)は(ロ)の平面図である。
【図2】本発明のタブテープにおける他の実施形態説明
図であり、(イ)は平面図、(ロ)はデバイスホール1
0周辺の拡大図、(ハ)はそのB−B部拡大断面図、
(ニ)はボールパッド12周辺の拡大図、(ホ)はその
C−C部断面図である。
【図3】テープ反り量の測定方法説明図。
【図4】従来のタブテープの説明図。
【符号の説明】
1 ベースフィルム 3 配線パターン 4 接着剤 6a 縁取部 6b 縁取部 6c 縁取部 6d 縁取部 7 ソルダーレジスト部 8 ソルダーレジスト層 9 インナーリード先端 10 デバイスホール 11 アウターリード終端 12 ボールパッド 13 引廻リード 14 タブテープ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平6−283575(JP,A) 特開 平6−163632(JP,A) 特開 平9−64112(JP,A) 特開 平6−188293(JP,A) 特開 昭64−48492(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 21/60 C09D 163/00 C09D 179/08

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ベースフィルムに形成された配線パターン
    の所定の部分をソルダーレジスト層で被覆したタブテー
    プにおいて、硬質樹脂材料によって前記ソルダーレジス
    ト層の境界に所定の幅で形成された縁取部と、軟質樹脂
    材料によって前記縁取部で区画された領域に形成され、
    前記縁取部と一体になって前記ソルダーレジスト層を構
    成するソルダーレジスト部を備え 前記縁取部は、前記配線パターンのアウターリードの終
    端を露出させながら前記アウターリードと直交するよう
    に直線状の形状を有する ことを特徴とするタブテープ。
  2. 【請求項2】ベースフィルムに形成された配線パターン
    の所定の部分をソルダーレジスト層で被覆したタブテー
    プにおいて、硬質樹脂材料によって前記ソルダーレジス
    ト層の境界に所定の幅で形成された縁取部と、軟質樹脂
    材料によって前記縁取部で区画された領域に形成され、
    前記縁取部と一体になって前記ソルダーレジスト層を構
    成するソルダーレジスト部を備え、 前記縁取部は、前記配線パターンのボールパッドを露出
    させながらその外縁を被覆するリング状の形状を有する
    ことを特徴とするタブテープ。
  3. 【請求項3】ベースフィルムに形成された配線パターン
    の所定の部分をソルダーレジスト層で被覆したタブテー
    プの製造方法において、前記ソルダーレジスト層を形成
    する領域の境界に所定の幅の硬質樹脂塗料を塗布し、前
    記硬質樹脂塗料を加熱硬化して縁取部を形成し、前記縁
    取部により区画された前記領域に軟質樹脂塗料を塗布
    し、前記軟質樹脂塗料を加熱硬化して前記縁取部と一体
    にして前記ソルダーレジスト層を形成することを特徴と
    するタブテープの製造方法
  4. 【請求項4】前記縁取部が、エポキシ系樹脂塗料の塗
    布、及び加熱硬化によって形成されることを特徴とする
    請求項第項記載のタブテープの製造方法
  5. 【請求項5】前記縁取部が、フォトソルダーレジストの
    塗布、露光、現像、不要部除去、及び加熱によって形成
    されることを特徴とする請求項第3項記載のタブテープ
    の製造方法。
  6. 【請求項6】前記軟質樹脂塗料が、ポリイミド系の樹脂
    塗料であることを特徴とする請求項第3項ないし第5項
    のいずれかに記載のタブテープの製造方法。
JP07145997A 1997-03-25 1997-03-25 タブテープ及びその製造方法 Expired - Fee Related JP3491489B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP07145997A JP3491489B2 (ja) 1997-03-25 1997-03-25 タブテープ及びその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP07145997A JP3491489B2 (ja) 1997-03-25 1997-03-25 タブテープ及びその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH10270504A JPH10270504A (ja) 1998-10-09
JP3491489B2 true JP3491489B2 (ja) 2004-01-26

Family

ID=13461198

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP07145997A Expired - Fee Related JP3491489B2 (ja) 1997-03-25 1997-03-25 タブテープ及びその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3491489B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006073966A (ja) * 2004-09-06 2006-03-16 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd プリント配線基板および半導体装置
CN109762476B (zh) * 2019-02-02 2023-09-19 广州视源电子科技股份有限公司 板件包边机构及板件包边方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH10270504A (ja) 1998-10-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100614864B1 (ko) 프린트 배선판 및 반도체 장치
JP2501473B2 (ja) 配線基板の製造方法
JPH0774453A (ja) 印刷配線板の製造方法
JP3491489B2 (ja) タブテープ及びその製造方法
KR20050061343A (ko) 배선 회로 기판
JPH1027950A (ja) プリント配線板
JP2714691B2 (ja) 電子部品搭載用基板の製造方法
JPH0669638A (ja) プリント配線板のランド部構造
JPH09298219A (ja) Tabテープキャリアの製造方法
JP3195060B2 (ja) Tabテープの製造方法
JP2727870B2 (ja) フィルムキャリアテープ及びその製造方法
JPS6364916B2 (ja)
US5464725A (en) Method of manufacturing a printed wiring board
JP7002238B2 (ja) 配線基板用テープ基材、及び配線基板用テープ基材の製造方法
JPS604221A (ja) 半導体装置の製造方法
JPH01135050A (ja) 半導体装置
JP2833315B2 (ja) Tab用テープキャリア
JP2000138264A (ja) 補強シート付tab用フィルムキャリアテープ
JP2000091386A (ja) Tab用フィルムキャリアテープ
JP3818253B2 (ja) 半導体装置用テープキャリアの製造方法
JPH07302955A (ja) 両面フレキシブルプリント基板
JPH0964112A (ja) Tab用テープキャリア
JPH08250825A (ja) 印刷配線板の位置基準マーク
JPH0373593A (ja) フレキシブルプリント配線板の製造方法
JPH06104315A (ja) 半導体パッケージとその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071114

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081114

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081114

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091114

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees