JP2000091386A - Tab用フィルムキャリアテープ - Google Patents

Tab用フィルムキャリアテープ

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JP2000091386A JP10258596A JP25859698A JP2000091386A JP 2000091386 A JP2000091386 A JP 2000091386A JP 10258596 A JP10258596 A JP 10258596A JP 25859698 A JP25859698 A JP 25859698A JP 2000091386 A JP2000091386 A JP 2000091386A
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Nobumi Takemura
信美 竹村
Takahiro Tonooka
隆弘 殿岡
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    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/1517Multilayer substrate
    • H01L2924/15172Fan-out arrangement of the internal vias
    • H01L2924/15173Fan-out arrangement of the internal vias in a single layer of the multilayer substrate

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 TAB用フィルムキャリアテープの折り曲げ
加工後のテープ反りの少ないTAB用フィルムキャリア
テープを提供することを目的とする。 【解決手段】 ポリイミド樹脂フィルムからなるベース
フィルム11の片面に接着層15を形成した後所定の位
置に金型を用いてディバイスホール14及びスプロケッ
トホール12を打ち抜き加工する。スプロケットホール
12を除くベースフィルム11の接着層15面に銅箔を
熱圧着・積層し、銅箔/接着層/ベースフィルムからな
る3層テープを作製し、銅箔をパターニング処理して、
リード16を形成する。更に、リード16上に被膜強度
の異なる第1オーバーコート樹脂層18及び第2オーバ
ーコート樹脂層19を形成し、折り曲げ部20を形成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、TAB用フィルム
キャリアテープに関し、特にファインピッチのリードを
有する折り曲げ可能なTAB用フィルムキャリアテープ
に関する。
【0002】
【従来の技術】TAB(Tape Automated Bonding)法に
用いられるフィルムキャリアテープは、折り曲げ加工を
伴わないスリムTABと折り曲げ加工を伴うフレックス
TABの2種類がある。折り曲げ加工を伴う従来のフレ
ックスTABは、図3(a)、(b)に示すように、可
撓性を有するポリイミド系のベースフィルム21に、金
型にてディバイスホール24、スリットホール23及び
スプロケットホール22等の穴加工を行い、耐熱性を有
する接着層26を介して金属箔をラミネートした後にフ
ォトエッチング加工してリード27を形成する。更に、
べ一スフィルム21のもう一方の面からスリットホール
23に樹脂層25を形成し、リード27が形成されてい
るべ一スフィルム21のスリットホール23上にポリイ
ミド系樹脂をスクリーン印刷等により塗布しオーバーコ
ート樹脂層28を、他の部位にはエポキシ系又はアクリ
ル系樹脂等をスクリーン印刷等により塗布してオーバー
コート樹脂層29を形成していた。
【0003】然しながら、近年半導体装置の高集積化と
高速化が進んでおり、市場からは小スペース化や低コス
ト化が要求されているために、オーバーコート樹脂層を
1層とし、1種類のオーバーコート材で、折り曲げ部と
それ以外の部分を膜厚のみでコントロールする為、折り
曲げ部以外の形状は折り曲げ部からの影響で僅かに湾曲
し、最終アッセンブリーにおいてフレックスTABの形
状が外側に向かって湾曲するという問題が発生する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記問題点に
鑑みなされたものであり、TAB用フィルムキャリアテ
ープの折り曲げ加工後のテープ反りの少ないTAB用フ
ィルムキャリアテープを提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明に於いて上記課題
を解決するために、請求項1においては、絶縁性のベー
スフィルム上にリード及びオーバーコート樹脂層が形成
されてなる折り曲げ部を有するTAB用テープキャリア
において、前記オーバーコート樹脂層が第1オーバーコ
ート樹脂層と第2オーバーコート樹脂層の2層で形成さ
れていることを特徴とするTAB用フィルムキャリアテ
ープとしたものである。
【0006】また、請求項2においては、前記第1オー
バーコート樹脂層の被膜強度が鉛筆硬度2B以上2H以
下、前記第2オーバーコート樹脂層の被膜強度が鉛筆硬
度3H以上を有することを特徴とする請求項1記載のT
AB用フィルムキャリアテープとしたものである。
【0007】また、請求項3においては、前記折り曲げ
部が前記第1オーバーコート樹脂層で形成されているこ
とを特徴とする請求項1又は2記載のTAB用フィルム
キャリアテープとしたものである。
【0008】さらにまた、請求項4においては、前記第
1オーバーコート樹脂層の膜厚が前記第1オーバーコー
ト樹脂層と第2オーバーコート樹脂層とを合わせた総樹
脂層厚の1/5〜4/5になっていることを特徴とする
請求項1乃至3のいずれか1項に記載のTAB用フィル
ムキャリアテープとしたものである。
【0009】上記構成のTAB用フィルムキャリアテー
プは、折り曲げが容易なICチップ実装フレックスTA
Bとして使用され、液晶ディスプレイ等への装着加工が
容易で、歩留まりを向上させることができる。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明のTAB用フィルムキャリ
アは、ベースフィルムにスリットホールを形成しないで
折り曲げ部を有するTAB用フィルムキャリアを作製す
るものである。具体的には、ベースフィルム上のオーバ
ーコート樹脂層が第1オーバーコート樹脂層と第2オー
バーコート樹脂層とからなり、第1オーバーコート樹脂
層の被膜強度が鉛筆硬度2B以上2H以下、前記第2オ
ーバーコート樹脂層の被膜強度が鉛筆硬度3H以上で、
折り曲げ部が第1オーバーコート樹脂層で形成されてい
る。さらに、第1オーバーコート樹脂層の膜厚が前記第
1オーバーコート樹脂層と第2オーバーコート樹脂層と
を合わせた総樹脂層厚の1/5〜4/5になるようにす
る。このような構成にすることにより、折り曲げ部での
折り曲げが容易になり、且つ折り曲げに伴う変形を抑え
ることができる。
【0011】以下、本発明の実施の形態につき説明す
る。図1(a)〜(c)に本発明のフィルムキャリアテ
ープの主要製造工程の平面図を、図2(a)〜(c)
に、本発明のフィルムキャリアテープの主要製造工程の
A−A線切断断面図を、それぞれ示す。
【0012】まず、ポリイミド樹脂フィルムからなるベ
ースフィルム11の片面に接着層15を形成した後所定
の位置に、金型を用いてディバイスホール14及びスプ
ロケットホール12を打ち抜き加工する(図1(a)及
び図2(a)参照)。
【0013】次に、スプロケットホール12を除くベー
スフィルム11の接着層15面に銅箔を熱圧着・積層
し、銅箔/接着層/ベースフィルムからなる3層テープ
を作製し、銅箔をパターニング処理して、インナーリー
ド16a、アウターリード16b及びICチップ接合用
電極16cを含むリード16を形成する(図1(b)及
び図2(b)参照)。
【0014】次に、リード16が形成されたベースフィ
ルム11上の所定位置に樹脂被膜の被膜強度が2B以上
2H以下になるように調合された樹脂コート材を塗布
し、加熱硬化して第1オーバーコート樹脂層18を形成
し、さらに、樹脂被膜の被膜強度が3H以上になるよう
に調合された樹脂コート材を折り曲げ部を除いて塗布
し、加熱硬化して第2オーバーコート樹脂層19を形成
し、折り曲げ部20を作製する(図1(c)及び図2
(c)参照)。ここで、第1オーバーコート樹脂層18
及び第2オーバーコート樹脂層19の形成法はスクリー
ン印刷を始め各種の方法が適用可能であるが、スクリー
ン印刷法が一般的である。さらに、第1オーバーコート
樹脂層18の膜厚は第1オーバーコート樹脂層18と第
2オーバーコート樹脂層19の総膜厚の1/5〜4/5
の範囲になるようにする。
【0015】次に、インナーリード16a及びアウター
リード16bに無電解Snめっきを施して、本発明のT
AB用フィルムキャリアテープを得る。
【0016】
【実施例】以下実施例により本発明を詳細に説明する。
【0017】<実施例1>先ず、厚さ50μm、幅35
mmのポリイミド樹脂フィルムからなるベースフィルム
11の所定の位置に打ち抜き金型を用いて、ディバイス
ホール14とスプロケットホール12を打ち抜き加工し
た。
【0018】次に、スプロケットホール12を除くベー
スフィルム11の接着層15面に膜厚18μmの銅箔を
熱圧着・積層し、銅箔/接着層/ベースフィルムからな
る3層テープを作製した。更に、ベースフィルム11の
銅箔上に感光液を塗布、光照射してリードパターンを焼
付、現像機で未硬化部分を現像してレジストパターンを
形成し、露出した銅箔を腐食機でエッチングし、剥膜機
でグリコート処理して、インナーリード16a、アウタ
ーリード16b及びICチップ接合用電極16cを含む
リード16を形成した。
【0019】次に、リード16が形成されたベースフィ
ルム11上全面に表1の樹脂コート材Aをスクリーン印
刷し、加熱硬化して10μm厚の第1オーバーコート樹
脂層18を、さらに、表1の樹脂コート材Cをスクリー
ン印刷し、加熱硬化して20μm厚の第2オーバーコー
ト樹脂層19を形成し、折り曲げ部20を作製した。こ
こで、第1オーバーコート樹脂層18及び第2オーバー
コート樹脂層19の被膜強度は鉛筆硬度でそれぞれ2B
及び5Hであった。
【0020】次に、インナーリード16a及びアウター
リード16bに無電解Snめっきを施して、本発明のT
AB用フィルムキャリアテープを作製した。
【0021】<実施例2>実施例1と同様な方法で、厚
さ50μm、幅35mmのポリイミド樹脂フィルムから
なるベースフィルム11にディバイスホール14、スプ
ロケットホール12、インナーリード16a、アウター
リード16b及びICチップ接合用電極16cを含むリ
ード16を形成した。
【0022】次に、リード16が形成されたベースフィ
ルム11上全面に表1の樹脂コート材Bをスクリーン印
刷し、加熱硬化して10μm厚の第1オーバーコート樹
脂層18を、さらに、表1の樹脂コート材Dをスクリー
ン印刷し、加熱硬化して20μm厚の第2オーバーコー
ト樹脂層19を形成し、折り曲げ部20を作製した。こ
こで、第1オーバーコート樹脂層18及び第2オーバー
コート樹脂層19の被膜強度は鉛筆硬度でそれぞれ2H
及び4Hであった。
【0023】次に、インナーリード16a及びアウター
リード16bに無電解Snめっきを施して、本発明のT
AB用フィルムキャリアテープを作製した。
【0024】
【表1】
【0025】上記実施例1及び2の本発明のTAB用フ
ィルムキャリアテープで所定の実装作業を行い、折り曲
げアッセンブリーを行なったところ、折り曲げ位置に近
いテープ部分で外側に向かっての湾曲等の発生は確認さ
れなかった。
【0026】
【発明の効果】本発明のTAB用フィルムキャリアテー
プは、オーバーコート樹脂層を上記の構成にすることに
より、折り曲げ部での折り曲げアッセンブリーを行って
もテープ反りが発生しない。また、スリットホールなし
の折り曲げ加工ができるTAB用フィルムキャリアテー
プが作成可能になり、ファインピッチのリードを有する
フレキシブルTABが歩留まり良く生産できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)〜(c)は、本発明のTAB用フィルム
キャリアテープの製造工程の主要工程を示す模式平面図
である。
【図2】(a)〜(c)は、本発明のTAB用フィルム
キャリアテープの製造工程の主要工程を示し、図1
(a)〜(c)に示す平面図をA−A線で切断した模式
断面図である。
【図3】(a)は、従来のTAB用フィルムキャリアテ
ープを示す模式平面図である。(b)は、従来のTAB
用フィルムキャリアテープの平面図をB−B線で切断し
た模式断面図である。
【符号の説明】
11、21……ベースフィルム 12、22……スプロケットホール 14、24……ディバイスホール 15、26……接着層 16、27……リード 16a、27a……インナーリード 16b、27b……アウターリード 16c、27c……ICチップ接合用電極 18……第1オーバーコート樹脂層 19……第2オーバーコート樹脂層 20……折り曲げ部 23……スリットホール 25……樹脂層 28……折り曲げ部の樹脂層 29……オーバーコート樹脂層

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】絶縁性のベースフィルム上にリード及びオ
    ーバーコート樹脂層が形成されてなる折り曲げ部を有す
    るTAB用テープキャリアにおいて、前記オーバーコー
    ト樹脂層が第1オーバーコート樹脂層と第2オーバーコ
    ート樹脂層の2層で形成されていることを特徴とするT
    AB用フィルムキャリアテープ。
  2. 【請求項2】前記第1オーバーコート樹脂層の被膜強度
    が鉛筆硬度2B以上2H以下、前記第2オーバーコート
    樹脂層の被膜強度が鉛筆硬度3H以上を有することを特
    徴とする請求項1記載のTAB用フィルムキャリアテー
    プ。
  3. 【請求項3】前記折り曲げ部が前記第1オーバーコート
    樹脂層で形成されていることを特徴とする請求項1又は
    2記載のTAB用フィルムキャリアテープ。
  4. 【請求項4】前記第1オーバーコート樹脂層の膜厚が前
    記第1オーバーコート樹脂層と第2オーバーコート樹脂
    層とを合わせた総樹脂層厚の1/5〜4/5になってい
    ることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記
    載のTAB用フィルムキャリアテープ。
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KR20180054944A (ko) * 2016-11-14 2018-05-25 한국기계연구원 경도가변 캐리어 필름

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KR101866901B1 (ko) * 2016-10-12 2018-06-14 한국기계연구원 다층형 캐리어 필름 및 이를 이용한 소자 전사 방법과 이 방법을 이용하여 전자제품을 제조하는 전자제품 제조방법
KR20180054944A (ko) * 2016-11-14 2018-05-25 한국기계연구원 경도가변 캐리어 필름
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