JP3303558B2 - 走査光学装置 - Google Patents

走査光学装置

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JP3303558B2 JP23938694A JP23938694A JP3303558B2 JP 3303558 B2 JP3303558 B2 JP 3303558B2 JP 23938694 A JP23938694 A JP 23938694A JP 23938694 A JP23938694 A JP 23938694A JP 3303558 B2 JP3303558 B2 JP 3303558B2
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    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は走査光学装置に関し、特
に光源手段から光変調され出射した光束を回転多面鏡等
より成る光偏向器で偏向反射させた後、fθ特性を有す
る結像光学系(fθレンズ)を介して被走査面上を光走
査して画像情報を記録するようにした、例えば電子写真
プロセスを有するレーザービームプリンタ(LBP)や
デジタル複写機等の装置に好適な走査光学装置に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】従来よりレーザービームプリンタ等の走
査光学装置においては画像信号に応じて光源手段から光
変調され出射した光束を、例えば回転多面鏡(ポリゴン
ミラー)より成る光偏向器により周期的に偏向させ、f
θ特性を有する結像光学系によって感光性の記録媒体
(感光体ドラム)面上にスポット状に集束させ、その面
上を光走査して画像記録を行なっている。
【0003】図13は従来の走査光学装置の要部概略図
である。
【0004】同図において光源手段11から出射した発
散光束はコリメーターレンズ12により略平行光束とさ
れ、絞り13によって該光束(光量)を制限して副走査
方向にのみ所定の屈折力を有するシリンドリカルレンズ
14に入射している。シリンドリカルレンズ14に入射
した平行光束のうち主走査断面内においてはそのまま平
行光束の状態で射出する。又副走査断面内においては集
束して回転多面鏡(ポリゴンミラー)から成る光偏向器
15の偏向面(反射面)15aにほぼ線像として結像し
ている。
【0005】そして光偏向器15の偏向面15aで偏向
反射された光束をfθ特性を有する結像光学系(fθレ
ンズ)16を介して被走査面としての感光体ドラム18
面上に導光し、該光偏向器15を矢印A方向に回転させ
ることによって該感光体ドラム18面上を光走査して画
像情報の記録を行なっている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】この種の走査光学装置
において高精度な画像情報の記録を行なうには被走査面
全域にわたって像面湾曲が良好に補正されスポット径が
揃っていること、そして入射光の角度と像高とが比例関
係となる歪曲収差(fθ特性)を有していることが必要
である。このような光学特性を満たす走査光学装置、若
しくはその補正光学系(fθレンズ)は従来より種々と
提案されている。
【0007】又一方、レーザービームプリンタやデジタ
ル複写機等のコンパクト化及び低コスト化に伴ない、走
査光学装置にも同様のことが求められている。
【0008】これらの要望を両立させるものとしてfθ
レンズを1枚から構成した走査光学装置が、例えば特公
昭61−48684号公報や特開昭63−157122
号公報や特開平4−104213号公報や特開平4−5
0908号公報等で種々と提案されている。
【0009】これらの公報のうち特公昭61−4868
4号公報や特開昭63−157122号公報等ではfθ
レンズとして光偏向器側に凹面の単レンズを用いてコリ
メーターレンズからの平行光束を記録媒体面上に集束さ
せている。又特開平4−104213号公報ではfθレ
ンズとして光偏向器側に凹面、像面側にトロイダル面の
単レンズを用いてコリメーターレンズにより収束光に変
換された光束を該fθレンズに入射させている。又特開
平4−50908号公報ではfθレンズとしてレンズ面
に高次非球面を導入した単レンズを用いてコリメーター
レンズにより収束光に変換された光束を該fθレンズに
入射させている。
【0010】しかしながら上記に示した従来の走査光学
装置において特公昭61−48684号公報では副走査
方向の像面湾曲が残存しており、かつ平行光束を被走査
面に結像させている為、fθレンズから被走査面までの
距離が焦点距離fとなり長く、コンパクトな走査光学装
置を構成することが難しいという問題点があった。
【0011】特開昭63−157122号公報ではfθ
レンズの肉厚が厚い為、モールド成型による製作が困難
でありコストアップの要因となるという問題点があっ
た。
【0012】特開平4−104213号公報では歪曲収
差が残存しており、かつ光偏向器であるポリゴンミラー
の取付誤差によりポリゴン面数周期のジッターが発生す
るという問題点があった。
【0013】特開平4−50908号公報では高次非球
面のfθレンズを用い収差は良好に補正されているもの
の光偏向器と被走査面間における副走査方向の倍率の不
均一性により像高により副走査方向のスポット径が変化
するという傾向があった。
【0014】本発明はコリメーターレンズからの収束光
を光偏向器を介して1枚のfθレンズにより被走査面上
に結像させる際、該fθレンズのレンズ形状を適切に構
成することにより、像面湾曲や歪曲収差を補正し、かつ
光偏向器の取付誤差によるジッターや、像高による副走
査方向のスポット径の変化等を防止すると共にコンパク
トでしかも高精細な印字に適した走査光学装置の提供を
目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明の走査光学装置
は、光源手段から出射した光束を収束光に変換する第1
の光学素子と、該光束を偏向素子の偏向面上において主
走査方向に長手の線状に結像させる第2の光学素子と、
該偏向素子で偏向された光束を被走査面上にスポット状
に結像させる第3の光学素子と、を具備する走査光学装
置において、該第3の光学素子は単レンズより成り、該
単レンズの両レンズ面は共に主走査面内で非球面形状の
トーリック面より成り、近軸曲率半径をそれぞれ該偏向
素子側から順にR1 ,R2 、主走査面内における最大有
効径をYmax 、該最大有効径Ymax における近軸レンズ
面からの非球面量を各々S1 ,S2 としたとき 0<R1 <R2 (R1 2−Ymax 21/2 −R1 <S1 <0 S2 <(R2 2−Ymax 21/2 −R2 なる条件を満足し、かつ第3の光学素子の主走査面内に
おける焦点距離をft、該第3の光学素子から該被走査
面までの距離をSkとしたとき 0.2≦1−Sk/ft≦0.5 なる条件を満足することを特徴としている。
【0016】特に前記第3の光学素子を構成する単レン
ズの両レンズ面のうち少なくとも一方のレンズ面の副走
査面(光軸を含み主走査面と直交する面)内の曲率が、
レンズの有効部内において連続的に変化していること
や、前記第3の光学素子の主走査方向の対称軸が前記被
走査面の法線に対して主走査面内で傾いていることや、
前記第3の光学素子はプラスチック成型、あるいはガラ
ス成型により製作されていること等を特徴としている。
【0017】
【実施例】図1は本発明の実施例1の主走査方向の要部
断面図、図2は図1に示したfθレンズの拡大説明図で
ある。
【0018】図中、1は光源手段であり、例えば半導体
レーザより成っている。
【0019】2は第1の光学素子としてのコリメーター
レンズであり、光源手段1から出射された光束(光ビー
ム)を収束光に変換している。3は開口絞りであり、通
過光束径を整えている。
【0020】4は第2の光学素子としてのシリンドリカ
ルレンズであり、副走査方向にのみ所定の屈折力を有し
ており、絞り3を通過した光束を副走査断面内で後述す
る光偏向器5の偏向面5aにほぼ線像として結像させて
いる。
【0021】5は偏向素子としての例えばポリゴンミラ
ー(回転多面鏡)より成る光偏向器であり、モータ等の
駆動手段(不図示)により図中矢印A方向に一定速度で
回転している。
【0022】6は第3の光学素子としてのfθ特性を有
する1枚のレンズより成るfθレンズ(結像光学系)で
ある。fθレンズ6は後述するように光偏向器5側のレ
ンズ面Raと被走査面側のレンズ面Rbを共に主走査面
内で非球面形状のトーリック面より構成しており、光偏
向器5によって偏向反射された画像情報に基づく光束を
被走査面としての感光体ドラム8面上に結像させ、かつ
該光偏向器5の偏向面の面倒れを補正している。
【0023】本実施例におけるfθレンズ6の両レンズ
面Ra,Rbのうち少なくとも一方のレンズ面の副走査
面(光軸を含み主走査面と直交する面)内の曲率を、該
レンズの有効部内において連続的に変化させており、又
fθレンズ6の主走査方向の対称軸を被走査面(感光体
ドラム面)8の法線に対して主走査面内で傾けて構成し
ている。
【0024】尚、本実施例においてはfθレンズ6をプ
ラスチック成型により製作しても良く、あるいはガラス
成型(ガラスモールド)により製作しても良い。
【0025】本実施例において半導体レーザ1より出射
した光束はコリメータレンズ2により収束光に変換され
開口絞り3によって該光束(光量)を制限してシリンド
リカルレンズ4に入射している。シリンドリカルレンズ
4に入射した光束のうち主走査断面においてはそのまま
の状態で射出する。又副走査断面においては集束して光
偏向器5の偏向面5aにほぼ線像(主走査方向に長手の
線像)として結像している。そして光偏向器5の偏向面
5aで偏向反射された光束はfθレンズ6を介して感光
体ドラム8面上に導光され、光偏向器5を矢印A方向に
回転させることによって該感光体ドラム8面上を矢印B
方向に光走査している。これにより画像記録を行なって
いる。
【0026】次に本実施例において歪曲収差(fθ特
性)及び像面湾曲を補正する手段について説明する。コ
リメーターレンズ2から光偏向器5を介してfθレンズ
6に入射する光束は収束光である為、本装置のfθ特性
を満足させる為にはfθレンズ6の主走査面内における
近軸曲率半径を該光偏向器5側から順に各々R1 ,R2
としたとき、 0<R1 <R2 ‥‥‥‥(1) なる条件を満足させるように設定する。
【0027】即ち、fθレンズ6の光偏向器5側のレン
ズ面Raを光軸近傍で凸のメニスカス形状にし、該レン
ズ面Raと被走査面側のレンズ面Rbとを共に非球面形
状にしている。その非球面形状は像高による副走査方向
のスポット径を揃える為、主走査面内における最大有効
径をYmax 、該最大有効径Ymax における近軸レンズ面
Rからの非球面量を各々S1 ,S2 としたとき (R1 2 −Ymax 21/2 −R1 <S1 <0 ‥‥‥‥(2) S2 <(R2 2 −Ymax 21/2 −R2 ‥‥‥‥(3) なる条件を満足するようにレンズ形状を決定している。
【0028】これは一般的に副走査方向のスポット径ρ
S が ρS =cλFSS :副走査方向のFNo λ :使用波長 c :定数 と表わされることにより、像高による副走査方向のスポ
ット径を揃える為には像高による副走査方向のFナンバ
ー(FNo)のバラツキ、即ち副走査方向の主平面位置の
バラツキを抑えることが必要であるからである。
【0029】上記の条件式(1)を外れると像面湾曲や
歪曲収差等を良好に補正するのが難しくなってくるので
良くない。又条件式(2),(3)のいずれか1つでも
外れると副走査方向のスポット径の均一性を図るのが難
しくなってくるので良くない。
【0030】本実施例においてはこのように各条件式
(1),(2),(3)を満足するようにfθレンズ6
のレンズ形状を設定することにより、像面湾曲や歪曲収
差等を良好に保ちつつ、副走査方向のスポット径の均一
性を向上させている。
【0031】次に光偏向器(ポリゴンミラー)により生
じるジッターを緩和させる手段について図3〜図5を用
いて説明する。
【0032】一般にポリゴンミラーはモータ回転軸との
嵌合誤差や回転中心からポリゴン面(偏向面)までの距
離のバラツキ等により、図3に示すように光束を同一偏
向角に偏向する場合でも使用するポリゴン面によって、
その偏向点が前後に変化する。このときポリゴンミラー
5のポリゴン面5aで偏向されfθレンズ6に入射する
光束が平行光である場合は、該光束は像面である感光体
ドラム面上の同一点に結像される。
【0033】しかしながらコリメーターレンズからの光
束が収束光である場合には、該光束は感光体ドラム面上
の同一点に結像されずポリゴン面周期のジッターとなり
画像を劣化させるという問題点がある。
【0034】ここで図4に示すように、このときのジッ
ター量Jは偏向後の2光束のズレ量をh、主走査方向の
横倍率をmとしたときJ=mhと表わされ、横倍率mは
更に図5に示すようにfθレンズ6の主走査方向(主走
査面内)の焦点距離をft、該fθレンズ6から被走査
面(感光体ドラム面)8までの距離をSkとしたとき m=1−Sk/ft となる。従ってジッター量Jは J=(1−Sk/ft)h と表わすことができる。
【0035】又、図3に示すように2光束のズレ量hは
ポリゴン面の光束の入射角θi 、該ポリゴン面からの光
束の出射角θe 、そしてポリゴン面の偏心量dをパラメ
ーターとして決定される量であり、
【0036】
【数1】 と表わすことができるが、各パラメーターとも取り得る
値が限られている為、ズレ量hは略0.02〜0.04
の範囲内となる。
【0037】一般的に画像の2ドット(dot) 間の間隔が
1ドットの半分以上ズレると視覚的にジッターが目立つ
ようになる。例えば600dpiの解像力をもつプリン
ターの走査光学装置の場合、ジッター量Jが J=25.4/600/2=0.02mm 以上になると視覚的にジッターが目立つようになる為、
高品位な画像形成を行なう為には主走査方向の横倍率m
を J=mh 0.02≧m×0.04 m≦0.5 0.5以下に抑える必要がある。
【0038】しかしながら主走査方向の横倍率mが小さ
すぎるとfθレンズ6と被走査面8との間の距離Skが
長くなる為、装置のコンパクト化に反する。この為両者
を両立させる為には主走査方向の横倍率mを 0.2≦m≦0.5 即ち、 0.2≦1−Sk/ft≦0.5 ‥‥‥‥(4) なる条件を満たすようにfθレンズ6とコリメーターレ
ンズ2とのパワー配置を行なうことによってポリゴンミ
ラー(光偏向器)5の取付誤差によるジッターを緩和さ
せたコンパクトな走査光学装置を得ることができる。
【0039】上記の条件式(4)の上限値を越えるとジ
ッターが視覚的に目立つようになり良くない。又下限値
を越えるとfθレンズ6と被走査面8との間の距離が長
くなり装置全体が大型化になってくるので良くない。
【0040】本実施例ではfθレンズ6のレンズ形状を
主走査方向は10次までの関数で表わせる非球面形状と
し、副走査方向は像高方向に連続的に変化する球面より
構成している。そのレンズ形状は例えばfθレンズ6と
光軸との交点を原点とし、光軸方向をX軸、主走査面内
において光軸と直交する軸をY軸、副走査面内において
光軸と直交する軸をZ軸としたとき、主走査方向と対応
する母線方向が
【0041】
【数2】 (但し、Rは曲率半径、K,B4 ,B6 ,B8 ,B10
非球面係数)なる式で表わせるものであり、又副走査方
向(光軸を含む主走査方向に対して直交する方向)と対
応する子線方向が、
【0042】
【数3】 (ここでr´=r(1+D22 +D44 +D66
+D88 +D1010)なる式で表わせるものである。
【0043】図7に本実施例における光学配置とfθレ
ンズ6の非球面係数を示す。図9はfθレンズ6の非球
面形状を示す説明図であり、実線は近軸曲率半径からの
非球面量S、破線は(R2 −Ymax 21/2 −Rの値を示
したものである。
【0044】本実施例においてfθレンズ6の近軸曲率
半径R、非球面量S及び(R 2−Ymax 21/2 −Rのそ
れぞれの値は R1 =65.22 R2 =150.03 S1 =−9.44 S2 = −7.97 (R1 2−Ymax 21/2 −R1 =−14.50 (R2 2−Ymax 21/2 −R2 = −6.00 であり、これらの値は前述した各条件式(1)〜(3)
を満足させている。
【0045】図11は本実施例における像面湾曲と歪曲
収差等を示す収差図である。同図より各収差とも実用上
問題のないレベルまで補正されていることが分かる。又
像高による副走査方向のスポット径の変化も10μm以
内に抑えることができる。
【0046】次にポリゴンミラー(光偏向器)の取付誤
差によって生じるジッターであるが、本実施例ではfθ
レンズ6の主走査方向における焦点距離ftを213.
7mm、該fθレンズ6から被走査面(感光体ドラム
面)8までの距離Skを111.5mmとし、主走査方
向における横倍率mを m=1−Sk/ft =1−111.5/213.7 =0.478 と設定することによって条件式(4)を満足させ、これ
によりポリゴンミラー5の取付誤差によるジッターを緩
和させている。
【0047】又、本実施例における2光束のズレ量hは
ポリゴン面5aへの光束の入射角θi =−90°、光束
の出射角θe =45°、そしてポリゴン面5aの偏心量
dを15μmとしたとき
【0048】
【数4】 となる為、ジッター量Jは J=mh =0.0186mm となり、視覚的にジッターが目立たないレベルまでに抑
えることができる。
【0049】このように本実施例においてはfθレンズ
のレンズ形状及び光学配置を適切に設定することによっ
てコリメーターレンズからの収束光を光偏向器を介して
1枚のfθレンズにより被走査面上に結像させる際、像
面湾曲や歪曲収差等を良好に補正し、かつ光偏向器の取
付誤差によるジッターや、像高による副走査方向のスポ
ット径の変化等の問題点を解決している。
【0050】図6は本発明の実施例2の光学系の主走査
方向の要部断面図(主走査断面図)である。同図におい
て図1に示した要素と同一要素には同符番を付してい
る。
【0051】本実施例において前述の実施例1と異なる
点はfθレンズの光軸方向の中心厚を薄くしてfθレン
ズ26を構成したことであり、その他の構成及び光学的
作用は実施例1と略同様である。
【0052】図8に実施例2における光学配置とfθレ
ンズ26の非球面係数を示す。図10はfθレンズ26
の非球面量を示す説明図であり、実線は近軸曲率半径か
らの非球面量S、破線は(R2 −Ymax 21/2 −Rの値
を示したものである。
【0053】本実施例においてfθレンズ26の近軸曲
率半径R、該近軸曲率半径Rからの非球面量S及び(R
2 −Ymax 21/2 −Rのそれぞれの値は R1 = 45.16 R2 = 68.96 S1 =−20.24 S2 =−14.61 (R1 2−Ymax 21/2 −R1 =−26.23 (R2 2−Ymax 21/2 −R2 =−14.27 となり、これらの値は前述の実施例1と同様に各条件式
(1)〜(3)を満足させている。
【0054】図12は本実施例における像面湾曲と歪曲
収差等を示す収差図である。同図より各収差とも実用上
問題のないレベルまで補正されていることが分かる。又
像高による副走査方向のスポット径の変化も10μm以
内に抑えることができる。
【0055】又、本実施例ではfθレンズ26の主走査
方向における焦点距離ftを226.0mm、該fθレ
ンズ26から被走査面(感光体ドラム面)8までの距離
Skを111.5mmとしたとき、主走査方向における
横倍率mは m=1−Sk/ft =1−111.5/226.0 =0.493 となり、この値は前述の実施例1と同様に条件式(4)
を満足させており、これにより光偏向器(ポリゴンミラ
ー)5の取付誤差によるジッターを視覚的に目立たない
レベルまでに抑えている。
【0056】このように本実施例においては上述の如く
fθレンズ26のレンズ形状及び光学配置を適切に設定
することによって前述の実施例1と同様に像面湾曲や歪
曲収差等を良好に補正し、かつ光偏向器の取付誤差によ
るジッターや像高による副走査方向のスポット径の変化
等の問題点を解決している。
【0057】又、本実施例においてはfθレンズの光軸
方向の中心肉厚を薄くして構成したことにより、該fθ
レンズの成型タクトタイムを短縮することができ、より
低コストの走査光学装置を実現している。
【0058】
【発明の効果】本発明によれば前述の如くコリメーター
レンズからの収束光を光偏向器を介して1枚のfθレン
ズにより被走査面上に結像させる際、該fθレンズの主
走査方向の近軸曲率半径、非球面量、焦点距離、そして
被走査面までの距離等の値を適切に設定することによ
り、像面湾曲や歪曲収差等を良好に補正すると共に光偏
向器の取付誤差によるジッターや像高による副走査方向
のスポット径の変化等の影響を小さく抑えることがで
き、これによりコンパクトで高精細な印字に適した走査
光学装置を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例1の主走査方向の要部断面図
【図2】 図1に示したfθレンズの拡大説明図
【図3】 図1に示した光偏向器の一部分の拡大説明図
【図4】 本発明の実施例1における2光束ズレとジッ
ター量の相関を示す説明図
【図5】 本発明の実施例1における光偏向器から被走
査面までの位置関係を示す説明図
【図6】 本発明の実施例2の主走査方向の要部断面図
【図7】 本発明の実施例1における光学配置及びfθ
レンズの非球面係数を示す説明図
【図8】 本発明の実施例2における光学配置及びfθ
レンズの非球面係数を示す説明図
【図9】 本発明の実施例1におけるfθレンズの非球
面形状を示す説明図
【図10】 本発明の実施例2におけるfθレンズの非
球面形状を示す説明図
【図11】 本発明の実施例1における像面湾曲及び歪
曲収差を示す収差図
【図12】 本発明の実施例2における像面湾曲及び歪
曲収差を示す収差図
【図13】 従来の走査光学装置の光学系の要部概略図
【符号の説明】
1 光源手段 2 第1の光学素子(コリメーターレンズ) 3 絞り 4 第2の光学素子(シリンドリカルレンズ) 5 偏向素子(光偏向器) 6,26 第3の光学素子(fθレンズ) 8 被走査面(感光体ドラム)
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 3/00 - 3/14 G02B 9/00 - 17/08 G02B 21/02 - 21/04 G02B 25/00 - 25/04 G02B 26/10

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光源手段から出射した光束を収束光に変
    換する第1の光学素子と、該光束を偏向素子の偏向面上
    において主走査方向に長手の線状に結像させる第2の光
    学素子と、該偏向素子で偏向された光束を被走査面上に
    スポット状に結像させる第3の光学素子と、を具備する
    走査光学装置において、 該第3の光学素子は単レンズより成り、該単レンズの両
    レンズ面は共に主走査面内で非球面形状のトーリック面
    より成り、近軸曲率半径をそれぞれ該偏向素子側から順
    にR1,R2、主走査面内における最大有効径をYmax
    該最大有効径Ymaxにおける近軸レンズ面からの非球面
    量を各々S1,S2としたとき 0<R1<R2 (R1 2−Ymax 21/2−R1<S1<0 S2<(R2 2−Ymax 21/2−R2 なる条件を満足し、かつ第3の光学素子の主走査面内に
    おける焦点距離をft、該第3の光学素子から該被走査
    面までの距離をSkとしたとき 0.2≦1−Sk/ft≦0.5 なる条件を満足することを特徴とする走査光学装置。
  2. 【請求項2】 前記第3の光学素子を構成する単レンズ
    の両レンズ面のうち少なくとも一方のレンズ面の副走査
    面(光軸を含み主走査面と直交する面)内の曲率が、レ
    ンズの有効部内において連続的に変化していることを特
    徴とする請求項1の走査光学装置。
  3. 【請求項3】 前記第3の光学素子の主走査方向の対称
    軸が前記被走査面の法線に対して主走査面内で傾いてい
    ることを特徴とする請求項1の走査光学装置。
  4. 【請求項4】 前記第3の光学素子はプラスチック成型
    により製作されていることを特徴とする請求項1の走査
    光学装置。
  5. 【請求項5】 前記第3の光学素子はガラス成型により
    製作されていることを特徴とする請求項1の走査光学装
    置。
  6. 【請求項6】 請求項1から5のいずれか1項の走査光
    学装置と、被走査面に感光ドラムを有することを特徴と
    するレーザビームプリンタ
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