JP3292835B2 - 薄板ワークの平面研削方法およびその研削装置 - Google Patents
薄板ワークの平面研削方法およびその研削装置Info
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- JP3292835B2 JP3292835B2 JP12328298A JP12328298A JP3292835B2 JP 3292835 B2 JP3292835 B2 JP 3292835B2 JP 12328298 A JP12328298 A JP 12328298A JP 12328298 A JP12328298 A JP 12328298A JP 3292835 B2 JP3292835 B2 JP 3292835B2
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- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
- B24B7/20—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
- B24B7/22—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
- B24B7/228—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain for grinding thin, brittle parts, e.g. semiconductors, wafers
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B51/00—Arrangements for automatic control of a series of individual steps in grinding a workpiece
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄板ワークの平面
研削方法および平面研削装置に関し、詳しくは、半導体
ウエーハのごとき薄板ワークの平面研削に用いられる平
面研削方法とその装置に関する。
研削方法および平面研削装置に関し、詳しくは、半導体
ウエーハのごとき薄板ワークの平面研削に用いられる平
面研削方法とその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般にウエーハは、スライス工程を経た
ウエーハの外周部の欠けを防止するための面取り工程、
ウエーハの厚さのバラツキをなくするためのラッピング
工程、破砕層および汚染した部分（砥粒が食い込んだ部
分）をなくするためのエッチング工程、ウエーハの外周
面取り部および主面の研磨工程を順次行なって鏡面ウエ
ーハが得られる。更に近年前記ラッピング工程とエッチ
ング工程を省略して研削工程によりウエーハを高精度に
平坦且つ厚さのバラツキをなくする加工工程も採用され
ている。
ウエーハの外周部の欠けを防止するための面取り工程、
ウエーハの厚さのバラツキをなくするためのラッピング
工程、破砕層および汚染した部分（砥粒が食い込んだ部
分）をなくするためのエッチング工程、ウエーハの外周
面取り部および主面の研磨工程を順次行なって鏡面ウエ
ーハが得られる。更に近年前記ラッピング工程とエッチ
ング工程を省略して研削工程によりウエーハを高精度に
平坦且つ厚さのバラツキをなくする加工工程も採用され
ている。
【０００３】かかるウエーハを平坦に加工する技術とし
て、従来から平面研削盤を用いて研削加工を行なう技術
が知られている。この平面研削盤は、被加工物を多孔質
セラミックプレート等の硬質チャックテーブル上に支持
固定し、この被加工物の表面と砥石の平行度を調整した
後、砥石を回転させながらウエーハの表面に押しつけて
被加工物表面を研削するようになっている。
て、従来から平面研削盤を用いて研削加工を行なう技術
が知られている。この平面研削盤は、被加工物を多孔質
セラミックプレート等の硬質チャックテーブル上に支持
固定し、この被加工物の表面と砥石の平行度を調整した
後、砥石を回転させながらウエーハの表面に押しつけて
被加工物表面を研削するようになっている。
【０００４】さて半導体の業界においては、被加工物で
あるシリコンウエーハの高精度化が求められ、例えば直
径２００ｍｍクラスのウエーハにおいて、ＴＴＶ（Tota
l Thickness Variation ）と呼ばれる平坦度は２μｍ以
下と、極めて高平坦度が要求されるようになってきてい
る。このような、高平坦度の要求として、近年はカップ
型の砥石を用いたインフィード型の平面研削盤が用いら
れ、高速で自転運動するシリコンウエーハに、カップ砥
石を連続的に切込ませて研削を行なうウエーハ自転研削
法が開発されている。
あるシリコンウエーハの高精度化が求められ、例えば直
径２００ｍｍクラスのウエーハにおいて、ＴＴＶ（Tota
l Thickness Variation ）と呼ばれる平坦度は２μｍ以
下と、極めて高平坦度が要求されるようになってきてい
る。このような、高平坦度の要求として、近年はカップ
型の砥石を用いたインフィード型の平面研削盤が用いら
れ、高速で自転運動するシリコンウエーハに、カップ砥
石を連続的に切込ませて研削を行なうウエーハ自転研削
法が開発されている。
【０００５】かかるウエーハ自転研削法は図５に示すよ
うにシリコンウエーハ１２を、その中心をロータリテー
ブル１１の回転中心とほぼ一致させて取り付ける。一
方、カップ型砥石６をその砥石作業面内にシリコンウエ
ーハ１２の回転中心が位置するように配置する。この状
態でシリコンウエーハ１２とカップ型砥石６を回転させ
ながら研削面内に垂直方向に相対的切込み運動を与えれ
ば研削面内での送り運動を与えなくてもウエーハ前面の
研削が可能である。
うにシリコンウエーハ１２を、その中心をロータリテー
ブル１１の回転中心とほぼ一致させて取り付ける。一
方、カップ型砥石６をその砥石作業面内にシリコンウエ
ーハ１２の回転中心が位置するように配置する。この状
態でシリコンウエーハ１２とカップ型砥石６を回転させ
ながら研削面内に垂直方向に相対的切込み運動を与えれ
ば研削面内での送り運動を与えなくてもウエーハ前面の
研削が可能である。
【０００６】そして更に高平坦度研削を可能とするため
に、前記カップ状の砥石の切込み速度を高速切込み、低
速切込み、及びスパークアウト（無切込み）と少なくと
も３段階に変化させながら、ウエーハの高平坦度研削を
行なっている。
に、前記カップ状の砥石の切込み速度を高速切込み、低
速切込み、及びスパークアウト（無切込み）と少なくと
も３段階に変化させながら、ウエーハの高平坦度研削を
行なっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
従来技術においても次のような問題がある。即ち、ウエ
ーハ自転研削法では、ウエーハ中央部と外周部ではウエ
ーハ自転による周速度が異なり、これが砥石切込み速度
による切削抵抗とあいまって砥石の回転を行なう砥石軸
に微小なたわみが生じ、そのたわみに起因して砥石がウ
エーハ面内の中央側に傾き、ウエーハと砥石との水平な
面内を維持する事が出来ないという欠点が生じる。
従来技術においても次のような問題がある。即ち、ウエ
ーハ自転研削法では、ウエーハ中央部と外周部ではウエ
ーハ自転による周速度が異なり、これが砥石切込み速度
による切削抵抗とあいまって砥石の回転を行なう砥石軸
に微小なたわみが生じ、そのたわみに起因して砥石がウ
エーハ面内の中央側に傾き、ウエーハと砥石との水平な
面内を維持する事が出来ないという欠点が生じる。
【０００８】そして更にウエーハの研削加工において
は、カップ状の砥石の切込み速度を高速切込み、低速切
込み、及びスパークアウト（無切込み）と少なくとも３
段階に変化させながら、高平坦度の研削を行なっている
ために、砥石切込み速度の変化により砥石の傾斜角も変
化してしまうという問題が生じる。
は、カップ状の砥石の切込み速度を高速切込み、低速切
込み、及びスパークアウト（無切込み）と少なくとも３
段階に変化させながら、高平坦度の研削を行なっている
ために、砥石切込み速度の変化により砥石の傾斜角も変
化してしまうという問題が生じる。
【０００９】これを図３、図４に図解して説明する。
尚、以下の説明では、３段階での切込みパターンを例と
して示すが、切込みパターンは３段階に限らず、２段階
或いは３段階以上の多段で行なうこともある。
尚、以下の説明では、３段階での切込みパターンを例と
して示すが、切込みパターンは３段階に限らず、２段階
或いは３段階以上の多段で行なうこともある。
【００１０】図３において、実線で示す砥石６は切り込
みを行なっている時の実際の研削姿勢であり、点線で示
す砥石６ａは研削装置に設定したときの初期姿勢を示し
ている。これは、砥石の軸が完全な剛体であれば一到す
るものであるが、切削抵抗等により軸が撓むために生じ
る誤差である。
みを行なっている時の実際の研削姿勢であり、点線で示
す砥石６ａは研削装置に設定したときの初期姿勢を示し
ている。これは、砥石の軸が完全な剛体であれば一到す
るものであるが、切削抵抗等により軸が撓むために生じ
る誤差である。
【００１１】図３（ａ）において、第１段階の切り込み
は、砥石のワークへの食い込み性の確保と生産性の点を
考慮して、高速に切り込みを行なう。このときには、砥
石６とウエーハとの研削抵抗とウエーハ周速との関係で
ウエーハ１２の中心部に向け砥石６の切込みが生じ該切
込みに対応して砥石回転軸が撓み、結果として砥石６が
中央側に傾斜してウエーハ中央側の研削代が大きくな
り、ウエーハ１２の形状は強い凹形状となる。
は、砥石のワークへの食い込み性の確保と生産性の点を
考慮して、高速に切り込みを行なう。このときには、砥
石６とウエーハとの研削抵抗とウエーハ周速との関係で
ウエーハ１２の中心部に向け砥石６の切込みが生じ該切
込みに対応して砥石回転軸が撓み、結果として砥石６が
中央側に傾斜してウエーハ中央側の研削代が大きくな
り、ウエーハ１２の形状は強い凹形状となる。
【００１２】続いて、ウエーハ１２の研削精度を確保し
やすくするために、図３（ｂ）に示す低速切り込みに切
り込みを行なう。このときには、砥石６とウエーハ１２
との研削抵抗が低下してこれに合わせて砥石回転軸の撓
み量も低下し、結果として砥石中央側への傾斜が緩み、
これによりウエーハ１２中央側の研削代が弱くなるが、
尚中央側への砥石傾斜は続き、ウエーハ１２の凹形状は
弱くはなるが維持される。
やすくするために、図３（ｂ）に示す低速切り込みに切
り込みを行なう。このときには、砥石６とウエーハ１２
との研削抵抗が低下してこれに合わせて砥石回転軸の撓
み量も低下し、結果として砥石中央側への傾斜が緩み、
これによりウエーハ１２中央側の研削代が弱くなるが、
尚中央側への砥石傾斜は続き、ウエーハ１２の凹形状は
弱くはなるが維持される。
【００１３】さらに図３（ｃ）でスパークアウトと呼ば
れる無切り込み研削を行なって、装置と材料の応力変化
の影響を除去して精度を確保しているが、スパークアウ
トではウエーハ１２の凹形状は完全にはなくならない。
即ち、切り込み初期での切り込み速度が高くなればなる
ほどウエーハ１２の中心が削られる傾向となり、ウエー
ハ１２の研削形状はすり鉢形状となってしまうことであ
る。つまり、生産性を確保しょうと高速切り込みの速度
を高速に選定すればするほど、ウエーハ１２のすり鉢が
強くなり、その結果ウエーハ１２を平坦にするための低
速切り込み時間とスパークアウト時間が長くなってしま
うのみならず、スパークアウトを行なっても簡単にすり
鉢形状を解消できない。
れる無切り込み研削を行なって、装置と材料の応力変化
の影響を除去して精度を確保しているが、スパークアウ
トではウエーハ１２の凹形状は完全にはなくならない。
即ち、切り込み初期での切り込み速度が高くなればなる
ほどウエーハ１２の中心が削られる傾向となり、ウエー
ハ１２の研削形状はすり鉢形状となってしまうことであ
る。つまり、生産性を確保しょうと高速切り込みの速度
を高速に選定すればするほど、ウエーハ１２のすり鉢が
強くなり、その結果ウエーハ１２を平坦にするための低
速切り込み時間とスパークアウト時間が長くなってしま
うのみならず、スパークアウトを行なっても簡単にすり
鉢形状を解消できない。
【００１４】そこで本発明の比較例においては、一般的
補正手段である前記砥石姿勢を水平とすることなく、図
４に示すように、スパークアウト時のウエーハ１２の摺
り鉢形状に基づいて、逆に砥石６を研削前に外周側に傾
けて補正し、より具体的には研削後の形状に基づいて凸
方向に１μｍ補正した砥石姿勢位置を初期設定し、前記
カップ状の砥石６の切込み速度を高速切込み、低速切込
み、及びスパークアウト（無切込み）と３段階に変化さ
せながら、ウエーハ１２の高平坦度研削を行なってい
る。
補正手段である前記砥石姿勢を水平とすることなく、図
４に示すように、スパークアウト時のウエーハ１２の摺
り鉢形状に基づいて、逆に砥石６を研削前に外周側に傾
けて補正し、より具体的には研削後の形状に基づいて凸
方向に１μｍ補正した砥石姿勢位置を初期設定し、前記
カップ状の砥石６の切込み速度を高速切込み、低速切込
み、及びスパークアウト（無切込み）と３段階に変化さ
せながら、ウエーハ１２の高平坦度研削を行なってい
る。
【００１５】かかる比較技術によれば、各切込み時に前
記補正した傾斜姿勢分だけ、高速切込み時の凹量（２．
５μｍ）、低速切込み時の凹量（０．５μｍ）となり、
理論状はスパークアウト時で０．５μｍ研削するだけで
高平坦度が維持できる。
記補正した傾斜姿勢分だけ、高速切込み時の凹量（２．
５μｍ）、低速切込み時の凹量（０．５μｍ）となり、
理論状はスパークアウト時で０．５μｍ研削するだけで
高平坦度が維持できる。
【００１６】しかしながら、このように研削前に補正を
施す従来技術においても、低速切込み時の０．５μｍの
すり鉢形状を除去するため、本質的にはウエーハを１〜
２回転程度回転させればすむはずのスパークアウト研削
は１０回転程度必要となり、研削時間がかかることもあ
った。これは、低速切込み送り後でも、加工面が僅かな
すり鉢形状となり、本来ワーク表面を舐めるだけの役割
しかないスパークアウトを、平坦度回復のために作用さ
せ、０．５μｍの切り込み研削を行なっているために研
削時間が増大してしまう。
施す従来技術においても、低速切込み時の０．５μｍの
すり鉢形状を除去するため、本質的にはウエーハを１〜
２回転程度回転させればすむはずのスパークアウト研削
は１０回転程度必要となり、研削時間がかかることもあ
った。これは、低速切込み送り後でも、加工面が僅かな
すり鉢形状となり、本来ワーク表面を舐めるだけの役割
しかないスパークアウトを、平坦度回復のために作用さ
せ、０．５μｍの切り込み研削を行なっているために研
削時間が増大してしまう。
【００１７】又、ウエーハ１２が摺り鉢状で研削される
ことや研削時間の増加は砥石６にかかる負荷を大きく
し、刃先は磨耗し、切れ味を回復するための自生作用が
起きない目つぶれと呼ばれる状態となってしまう。この
状態となった砥石６は、ドレッシングという作業によっ
て意図的に砥石６を摩減させねば切れ味を回復せず、し
かもこの作業は砥石６の寿命を短くする課題を持ってい
る。
ことや研削時間の増加は砥石６にかかる負荷を大きく
し、刃先は磨耗し、切れ味を回復するための自生作用が
起きない目つぶれと呼ばれる状態となってしまう。この
状態となった砥石６は、ドレッシングという作業によっ
て意図的に砥石６を摩減させねば切れ味を回復せず、し
かもこの作業は砥石６の寿命を短くする課題を持ってい
る。
【００１８】本発明は、高精度に且つ確実に半導体ウエ
ーハ等の薄板ワークの高平坦度化が達成できる平面研削
方法および装置を提供することを目的とする。
ーハ等の薄板ワークの高平坦度化が達成できる平面研削
方法および装置を提供することを目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するべ
く、請求項１記載の発明は、テーブル上に支持されて回
転する薄板ワーク１２の被加工物に回転するカップ状の
砥石６を押し付けて、該砥石６の切込み速度を段階的に
変化させながら該薄板ワークを研削する平面研削方法に
おいて、前記研削加工の切込み速度の切換え時期とほぼ
同期させて、前記砥石のワークに対する相対的な傾斜
角、つまり前記被加工物の回転軸と前記砥石６の回転軸
との傾斜角を変化させるとともに、前記相対的傾斜角の
変化量を、切込みを行なっている時の切込み速度の各段
階における実際の研削姿勢との差にほぼ対応させること
を特徴とする。ここでほぼ同期させてとは、切込み速度
の切換え時期と前記傾斜角の変化を完全に一致させるの
ではなく、その切換え時期前後に亙って緩速に変化させ
てもよい。
く、請求項１記載の発明は、テーブル上に支持されて回
転する薄板ワーク１２の被加工物に回転するカップ状の
砥石６を押し付けて、該砥石６の切込み速度を段階的に
変化させながら該薄板ワークを研削する平面研削方法に
おいて、前記研削加工の切込み速度の切換え時期とほぼ
同期させて、前記砥石のワークに対する相対的な傾斜
角、つまり前記被加工物の回転軸と前記砥石６の回転軸
との傾斜角を変化させるとともに、前記相対的傾斜角の
変化量を、切込みを行なっている時の切込み速度の各段
階における実際の研削姿勢との差にほぼ対応させること
を特徴とする。ここでほぼ同期させてとは、切込み速度
の切換え時期と前記傾斜角の変化を完全に一致させるの
ではなく、その切換え時期前後に亙って緩速に変化させ
てもよい。
【００２０】請求項２及び３記載の発明は前記カップ状
の砥石６の切込み速度を高速切込み、低速切込み、及び
スパークアウト（無切込み）と多段階に変化させなが
ら、該薄板ワークの表面を研削する薄板ワークの平面研
削方法において、前記相対的傾斜角の変化量を、切込み
を行なっている時の切込み速度の各段階における実際の
研削姿勢との差にほぼ対応する傾斜補正角度量を予め設
定し、切込み速度を変化させる各段階で、ワークに対す
る砥石の相対角度を前記予め設定しておいた傾斜補正角
度まで変化させ、任意の目標形状に研削加工すること、
即ち前記高速切込み時、低速切込み時、及びスパークア
ウト時の複数の段階でワークに対する砥石の相対的角度
を予め記憶させておいた任意の角度（傾斜補正角度）に
順次補正していき、目標とする形状に加工することを特
徴とする。より具体的には、請求項３記載のように、前
記高速切込み時、低速切込み時、及びスパークアウト時
に、夫々薄板ワークの外周側に向け下向き傾斜させる第
１、第２、第３の補正傾斜角度を有し、 前記第１、第
２、第３の補正傾斜角度を、切込みを行なっている時の
切込み速度の各段階における実際の研削姿勢との差にほ
ぼ対応させて、順次水平方向に近付くように設定したこ
とを特徴とする。例えば水平（平坦）な形状に研削する
場合、夫々薄板ワーク１２の外周側に向け下向き傾斜さ
せる第１、第２、第３の異なる傾斜角度を設定し、前記
夫々の傾斜角度が、順次水平方向に近付くように補正し
ていく。
の砥石６の切込み速度を高速切込み、低速切込み、及び
スパークアウト（無切込み）と多段階に変化させなが
ら、該薄板ワークの表面を研削する薄板ワークの平面研
削方法において、前記相対的傾斜角の変化量を、切込み
を行なっている時の切込み速度の各段階における実際の
研削姿勢との差にほぼ対応する傾斜補正角度量を予め設
定し、切込み速度を変化させる各段階で、ワークに対す
る砥石の相対角度を前記予め設定しておいた傾斜補正角
度まで変化させ、任意の目標形状に研削加工すること、
即ち前記高速切込み時、低速切込み時、及びスパークア
ウト時の複数の段階でワークに対する砥石の相対的角度
を予め記憶させておいた任意の角度（傾斜補正角度）に
順次補正していき、目標とする形状に加工することを特
徴とする。より具体的には、請求項３記載のように、前
記高速切込み時、低速切込み時、及びスパークアウト時
に、夫々薄板ワークの外周側に向け下向き傾斜させる第
１、第２、第３の補正傾斜角度を有し、 前記第１、第
２、第３の補正傾斜角度を、切込みを行なっている時の
切込み速度の各段階における実際の研削姿勢との差にほ
ぼ対応させて、順次水平方向に近付くように設定したこ
とを特徴とする。例えば水平（平坦）な形状に研削する
場合、夫々薄板ワーク１２の外周側に向け下向き傾斜さ
せる第１、第２、第３の異なる傾斜角度を設定し、前記
夫々の傾斜角度が、順次水平方向に近付くように補正し
ていく。
【００２１】ここでの研削加工では平坦（水平）な形状
を目標とする形状としているが、目標とする狙い形状が
凸形状や凹形状も考えられ、これらについても各段階で
の補正量を予め設定し、順次補正していくことで、同様
に精度の良い研削が実施できる。
を目標とする形状としているが、目標とする狙い形状が
凸形状や凹形状も考えられ、これらについても各段階で
の補正量を予め設定し、順次補正していくことで、同様
に精度の良い研削が実施できる。
【００２２】請求項４記載の発明は、かかる発明を効果
的に実施するための平面研削装置に関する発明で、テー
ブル上に支持されて回転する薄板ワークの被加工物に回
転するカップ状の砥石６を押し付けて、該砥石６の切込
み速度を段階的に変化させながら該薄板ワークを研削す
る平面研削装置において、前記相対的傾斜角の変化量
を、切込みを行なっている時の切込み速度の各段階にお
ける実際の研削姿勢との差にほぼ対応する傾斜補正角度
量を予め設定し、前記砥石の切込み速度を前記補正角度
量に対応させて、段階的に変化可能な砥石送り速度調整
手段と、前記砥石の切込み速度に対応する各研削工程毎
の砥石傾斜角の補正量を記憶する補正量記憶手段と、前
記記憶手段より読み出した補正量に基づいて砥石軸とワ
ーク軸の相対角度を傾斜させる軸傾斜制御手段とを具
え、該軸傾斜制御手段により前記砥石の切込み速度に対
応する各研削工程毎に砥石軸の傾斜角を変更させる事を
特徴とする。軸傾斜制御手段は砥石軸側を制御しても、
ワーク側を制御しても、あるいは両者を合わせて制御し
てもよい。
的に実施するための平面研削装置に関する発明で、テー
ブル上に支持されて回転する薄板ワークの被加工物に回
転するカップ状の砥石６を押し付けて、該砥石６の切込
み速度を段階的に変化させながら該薄板ワークを研削す
る平面研削装置において、前記相対的傾斜角の変化量
を、切込みを行なっている時の切込み速度の各段階にお
ける実際の研削姿勢との差にほぼ対応する傾斜補正角度
量を予め設定し、前記砥石の切込み速度を前記補正角度
量に対応させて、段階的に変化可能な砥石送り速度調整
手段と、前記砥石の切込み速度に対応する各研削工程毎
の砥石傾斜角の補正量を記憶する補正量記憶手段と、前
記記憶手段より読み出した補正量に基づいて砥石軸とワ
ーク軸の相対角度を傾斜させる軸傾斜制御手段とを具
え、該軸傾斜制御手段により前記砥石の切込み速度に対
応する各研削工程毎に砥石軸の傾斜角を変更させる事を
特徴とする。軸傾斜制御手段は砥石軸側を制御しても、
ワーク側を制御しても、あるいは両者を合わせて制御し
てもよい。
【００２３】
【作用】本発明の作用を、平坦（水平）な形に研削する
場合を例に説明する。まず図３に示すように、前記カッ
プ型砥石６の回転軸を設定上は垂直にし、砥石研削面と
の傾斜角を“０”（水平状態）にしてウエーハを研削し
た場合、実際に研削されたウエーハの形状は、高速切り
込み時（図３（ａ））においては略３．５μｍ、低速切
り込み時（図３（ｂ））においては略１．５μｍ、スパ
ークアウト（図３（ｃ））で略１μｍの夫々中凹のすり
鉢形状となっている。（無補正で研削した結果）
場合を例に説明する。まず図３に示すように、前記カッ
プ型砥石６の回転軸を設定上は垂直にし、砥石研削面と
の傾斜角を“０”（水平状態）にしてウエーハを研削し
た場合、実際に研削されたウエーハの形状は、高速切り
込み時（図３（ａ））においては略３．５μｍ、低速切
り込み時（図３（ｂ））においては略１．５μｍ、スパ
ークアウト（図３（ｃ））で略１μｍの夫々中凹のすり
鉢形状となっている。（無補正で研削した結果）
【００２４】そこで本発明は、この無補正時の形状より
傾斜補正角度を求める。つまり高速切り込み時における
砥石傾斜角α1 は前記３．５μｍに対応する角度、より
具体的には、 tanα1 ＝（３．５μｍ）／Ｗ （Ｗ：ウエーハ半
径） になるように高速切り込み時における砥石傾斜角α1 を
設定する。同様に低速切り込み時における砥石傾斜角α
2 が、 tanα2 ＝（１．５μｍ）／Ｗ になるように砥石傾斜角α2 を設定する。更にスパーク
アウト時における砥石傾斜角α3 が、 tanα3 ＝（１．０μｍ）／Ｗ になるように砥石傾斜角α3 を設定する。そして前記砥
石傾斜角α1、α2、α3 は砥石傾斜角の補正量を記憶す
る補正量記憶手段に記憶させておく。
傾斜補正角度を求める。つまり高速切り込み時における
砥石傾斜角α1 は前記３．５μｍに対応する角度、より
具体的には、 tanα1 ＝（３．５μｍ）／Ｗ （Ｗ：ウエーハ半
径） になるように高速切り込み時における砥石傾斜角α1 を
設定する。同様に低速切り込み時における砥石傾斜角α
2 が、 tanα2 ＝（１．５μｍ）／Ｗ になるように砥石傾斜角α2 を設定する。更にスパーク
アウト時における砥石傾斜角α3 が、 tanα3 ＝（１．０μｍ）／Ｗ になるように砥石傾斜角α3 を設定する。そして前記砥
石傾斜角α1、α2、α3 は砥石傾斜角の補正量を記憶す
る補正量記憶手段に記憶させておく。
【００２５】そして図２に示すように、高速切込み時に
は前記補正量記憶手段より読み出した砥石傾斜角α1 に
基づいて砥石６を傾斜させた状態で高速切込みを行な
う。次の低速切込み移行時には前記砥石傾斜角をα1か
らα2に変化させた後、低速切込みを行なうか、若しく
は低速切込み移行と平行して緩速に前記砥石傾斜角をα
1からα2に変化させながら低速切込みを行なう。最後の
スパークアウト移行時には前記砥石傾斜角をα2からα3
に変化させた後、スパークアウトを行なうか、若しくは
スパークアウト移行と平行して緩速に前記砥石傾斜角を
α2からα3に変化させながらスパークアウトを行なう。
は前記補正量記憶手段より読み出した砥石傾斜角α1 に
基づいて砥石６を傾斜させた状態で高速切込みを行な
う。次の低速切込み移行時には前記砥石傾斜角をα1か
らα2に変化させた後、低速切込みを行なうか、若しく
は低速切込み移行と平行して緩速に前記砥石傾斜角をα
1からα2に変化させながら低速切込みを行なう。最後の
スパークアウト移行時には前記砥石傾斜角をα2からα3
に変化させた後、スパークアウトを行なうか、若しくは
スパークアウト移行と平行して緩速に前記砥石傾斜角を
α2からα3に変化させながらスパークアウトを行なう。
【００２６】この結果前記砥石６は、各研削工程で（高
速切り込み、低速切り込み、スパークアウト）の研削中
においては図２の実線で示すようにウエーハ面に対し水
平となり、夫々の研削段階でのウエーハ平坦度はいずれ
も１μｍ以下の非常に良好な平坦度を維持できた。尚、
図２の点線６ｃは高速切り込み時のウエーハ形状に基づ
いて補正した砥石６の姿勢、点線６ｄは低速切り込み時
の形状に基づいて補正した砥石６の姿勢、点線６ｅはス
パークアウト形状に基づいて補正した砥石６の初期姿勢
（研削を行なっていないときの姿勢）を示している。
速切り込み、低速切り込み、スパークアウト）の研削中
においては図２の実線で示すようにウエーハ面に対し水
平となり、夫々の研削段階でのウエーハ平坦度はいずれ
も１μｍ以下の非常に良好な平坦度を維持できた。尚、
図２の点線６ｃは高速切り込み時のウエーハ形状に基づ
いて補正した砥石６の姿勢、点線６ｄは低速切り込み時
の形状に基づいて補正した砥石６の姿勢、点線６ｅはス
パークアウト形状に基づいて補正した砥石６の初期姿勢
（研削を行なっていないときの姿勢）を示している。
【００２７】即ち、本発明によれば高速切込み時、低速
切込み時、スパークアウト時の各研削段階で、設定上は
上記の姿勢になるように砥石軸とワークの相対角度を補
正すると研削中の姿勢は平坦となり、高平坦度が維持で
きる。この結果、スパークアウト研削も１〜２回転程度
回転させればすみ、本来のスパークアウト機能が達成で
きる。
切込み時、スパークアウト時の各研削段階で、設定上は
上記の姿勢になるように砥石軸とワークの相対角度を補
正すると研削中の姿勢は平坦となり、高平坦度が維持で
きる。この結果、スパークアウト研削も１〜２回転程度
回転させればすみ、本来のスパークアウト機能が達成で
きる。
【００２８】又、砥石研削面がウエーハ面に切込む事な
く平行に接触するために、負荷が砥石研削面全面にかか
り、この結果切れ味を回復するための自生作用が円滑に
生じながら研削が可能となる。尚、前記砥石６の傾斜角
の変更は自動でやってもよく、又手動で行なってもよ
い。
く平行に接触するために、負荷が砥石研削面全面にかか
り、この結果切れ味を回復するための自生作用が円滑に
生じながら研削が可能となる。尚、前記砥石６の傾斜角
の変更は自動でやってもよく、又手動で行なってもよ
い。
【００２９】尚本発明に類似する技術として特開平９−
８５６１９号において、研削工程中にウエーハ上方に配
した非接触センサによりウエーハの厚さを検出し、該セ
ンサ検出値に基づいてウエーハを支持するテーブルと砥
石軸との傾き方向と大きさを演算し、該演算された傾き
状態に応じて砥石６の姿勢制御を行なう技術が開示され
ている。
８５６１９号において、研削工程中にウエーハ上方に配
した非接触センサによりウエーハの厚さを検出し、該セ
ンサ検出値に基づいてウエーハを支持するテーブルと砥
石軸との傾き方向と大きさを演算し、該演算された傾き
状態に応じて砥石６の姿勢制御を行なう技術が開示され
ている。
【００３０】しかしながらＴＴＶで２μｍ以下のウエー
ハ平坦度を非接触で測定でき、かつ研削装置に内蔵可能
な実用的センサは実質的に皆無であり、又例えあったと
してもコストの非常に高いものになり、産業的に本特許
を実用化するのは困難である。本発明では、このような
センサを用いずに研削速度（研削抵抗）とワークの面形
状の関係より、簡便に高精度の平面研削加工を行なうこ
とができる。
ハ平坦度を非接触で測定でき、かつ研削装置に内蔵可能
な実用的センサは実質的に皆無であり、又例えあったと
してもコストの非常に高いものになり、産業的に本特許
を実用化するのは困難である。本発明では、このような
センサを用いずに研削速度（研削抵抗）とワークの面形
状の関係より、簡便に高精度の平面研削加工を行なうこ
とができる。
【００３１】
【発明の実施の形態】以下に図面を参照して本発明の実
施の形態を例示的に説明する。ただし、この実施の形態
に記載されている構造部品の寸法、材質、形状、相対位
置などは特に特定的な記載がない限りは、この発明の範
囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、単なる説明例に
過ぎない。なお、図５と同一部材または同一機能のもの
は同一符号で示している。
施の形態を例示的に説明する。ただし、この実施の形態
に記載されている構造部品の寸法、材質、形状、相対位
置などは特に特定的な記載がない限りは、この発明の範
囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、単なる説明例に
過ぎない。なお、図５と同一部材または同一機能のもの
は同一符号で示している。
【００３２】図１は本発明の一実施の形態である平面研
削装置を示す。基台１の図上右側には固定フレーム２が
設けられ、この固定フレーム２に砥石軸支持部材３が支
点軸部４を介して矢印１８方向に揺動可能に支持されて
いる。砥石支持部材３に、砥石６が先端に固定された回
転軸５が支持され、この回転軸５は砥石軸駆動モータ７
により駆動されるようになっている。砥石６は、固定フ
レーム２の上部に設けられた砥石軸昇降モータ８により
昇降されると共に、支点軸部４は砥石軸傾斜制御モータ
９により回転制御されて砥石６の回転軸５の傾斜角を任
意に設定できるようになっている。
削装置を示す。基台１の図上右側には固定フレーム２が
設けられ、この固定フレーム２に砥石軸支持部材３が支
点軸部４を介して矢印１８方向に揺動可能に支持されて
いる。砥石支持部材３に、砥石６が先端に固定された回
転軸５が支持され、この回転軸５は砥石軸駆動モータ７
により駆動されるようになっている。砥石６は、固定フ
レーム２の上部に設けられた砥石軸昇降モータ８により
昇降されると共に、支点軸部４は砥石軸傾斜制御モータ
９により回転制御されて砥石６の回転軸５の傾斜角を任
意に設定できるようになっている。
【００３３】基台１の図上左側にはテーブル駆動モータ
１０の回転軸１３に取り付けられたテーブル１１が配置
されている。このテーブル１１上にウエーハ１２が支持
固定される。前記砥石軸昇降モータ８は砥石送り制御装
置１６からの砥石軸送り速度信号Ｓ１を昇降モータ８に
送り、該モ−タ制御により通常の研削開始位置までの送
り速度制御と共に、研削工程時における高速切込み、低
速切込み時、スパークアウト（無切込み）の三段階の切
込み速度（研削速度）に制御可能に構成されている。
１０の回転軸１３に取り付けられたテーブル１１が配置
されている。このテーブル１１上にウエーハ１２が支持
固定される。前記砥石軸昇降モータ８は砥石送り制御装
置１６からの砥石軸送り速度信号Ｓ１を昇降モータ８に
送り、該モ−タ制御により通常の研削開始位置までの送
り速度制御と共に、研削工程時における高速切込み、低
速切込み時、スパークアウト（無切込み）の三段階の切
込み速度（研削速度）に制御可能に構成されている。
【００３４】１５は、前記高速切込み、低速切込み時、
スパークアウトの各研削工程毎の砥石傾斜角の補正量が
記憶されている補正量記憶装置で、前記各切込み速度変
更時（各研削工程終了段階）での各補正量は、砥石の設
置・交換時や研削装置運転開始時に予め各研削工程での
ウエーハ形状を確認、設定しておいた値である。そして
砥石送り制御装置１６からの送り速度変更信号Ｓ２によ
り対応する補正量を軸傾斜制御装置１４に送出する。
スパークアウトの各研削工程毎の砥石傾斜角の補正量が
記憶されている補正量記憶装置で、前記各切込み速度変
更時（各研削工程終了段階）での各補正量は、砥石の設
置・交換時や研削装置運転開始時に予め各研削工程での
ウエーハ形状を確認、設定しておいた値である。そして
砥石送り制御装置１６からの送り速度変更信号Ｓ２によ
り対応する補正量を軸傾斜制御装置１４に送出する。
【００３５】軸傾斜制御装置１４は、砥石送り制御装置
１６からの送り速度変更信号Ｓ２により補正量記憶装置
１５より対応する軸傾斜補正量を読み込んで、該補正量
に対応するモータ駆動信号Ｓ３を前記砥石軸傾斜制御モ
ータ９に送り、支点軸部４を駆動して砥石３の回転軸５
の傾斜角（テーブル１１の回転軸１３に対する）を制御
するように構成されている。
１６からの送り速度変更信号Ｓ２により補正量記憶装置
１５より対応する軸傾斜補正量を読み込んで、該補正量
に対応するモータ駆動信号Ｓ３を前記砥石軸傾斜制御モ
ータ９に送り、支点軸部４を駆動して砥石３の回転軸５
の傾斜角（テーブル１１の回転軸１３に対する）を制御
するように構成されている。
【００３６】本実施形態の作用を具体的に説明する。先
ず、本発明の作用の項で求めた、砥石傾斜角α1、α2、
α3 に対応する砥石傾斜角の補正量を補正量記憶装置１
５に記憶させておく。そして、高速切込み開始時点で前
記補正量記憶装置より砥石傾斜角α1 を軸傾斜制御装置
１４に読み出し、該補正量に対応するモータ駆動信号Ｓ
３を前記砥石軸傾斜制御モータ９に送信して砥石を傾斜
角α1 だけ傾斜させた状態で高速切込みを行なう。
ず、本発明の作用の項で求めた、砥石傾斜角α1、α2、
α3 に対応する砥石傾斜角の補正量を補正量記憶装置１
５に記憶させておく。そして、高速切込み開始時点で前
記補正量記憶装置より砥石傾斜角α1 を軸傾斜制御装置
１４に読み出し、該補正量に対応するモータ駆動信号Ｓ
３を前記砥石軸傾斜制御モータ９に送信して砥石を傾斜
角α1 だけ傾斜させた状態で高速切込みを行なう。
【００３７】次の低速切込み移行時には砥石送り制御装
置１６からの送り速度変更信号Ｓ２により砥石傾斜角α
2 に対応する軸傾斜補正量を補正量記憶装置１５より読
み込んで、該補正量に対応するモータ駆動信号Ｓ３を前
記砥石軸傾斜制御モータ９に送り、砥石３を傾斜角α1
からα2に変化させて低速切込みを行なう。最後のスパ
ークアウト移行時には前記と同様に砥石傾斜角をα2か
らα3に変化させた後、スパークアウトを行なう。かか
る実施形態において、各研削工程の終了した段階で、研
削途中のウエーハ１２の表面平坦度を確認したところ、
いずれもＴＴＶ１μｍ以下の非常に良好な平坦度であっ
た。
置１６からの送り速度変更信号Ｓ２により砥石傾斜角α
2 に対応する軸傾斜補正量を補正量記憶装置１５より読
み込んで、該補正量に対応するモータ駆動信号Ｓ３を前
記砥石軸傾斜制御モータ９に送り、砥石３を傾斜角α1
からα2に変化させて低速切込みを行なう。最後のスパ
ークアウト移行時には前記と同様に砥石傾斜角をα2か
らα3に変化させた後、スパークアウトを行なう。かか
る実施形態において、各研削工程の終了した段階で、研
削途中のウエーハ１２の表面平坦度を確認したところ、
いずれもＴＴＶ１μｍ以下の非常に良好な平坦度であっ
た。
【００３８】次に、比較例として図４に示す傾斜角の初
期補正を研削前に行なった後、この砥石傾斜角を固定し
たまま高速、低速及びスパークアウトの３段階の研削を
行なう。この比較研削法と本発明の、前記高速、低速、
及びスパークアウト時に、夫々砥石傾斜角度を、順次水
平方向に近付くように変化させた補正法との比較を行な
うために、低速切込みの研削代を少なくした、具体的に
は３μｍから１．５μｍと半減させ、研削代減少の効果
を確認した。
期補正を研削前に行なった後、この砥石傾斜角を固定し
たまま高速、低速及びスパークアウトの３段階の研削を
行なう。この比較研削法と本発明の、前記高速、低速、
及びスパークアウト時に、夫々砥石傾斜角度を、順次水
平方向に近付くように変化させた補正法との比較を行な
うために、低速切込みの研削代を少なくした、具体的に
は３μｍから１．５μｍと半減させ、研削代減少の効果
を確認した。
【００３９】その結果、比較研削法で研削したウエーハ
１２は、高速切り込みで形成された２．５μｍ凹形状を
１．５μｍ程度の加工代では除去しきれず、１μｍ以上
の凹形状となってしまうが、随時平坦となるように調整
を行なっている本発明の方法では、研削代を少なくして
も平坦な状態であり、高速切込みで最終的に要求される
ウエーハ厚さ付近まで一気に研削し、低速での研削量を
少なくできることから、研削時間も短くできる。また、
必要なスパークアウトの時間も４０％程度低減できた。
それに付随して、前述の砥石の負荷が軽減され、加工時
間の短縮のほか、砥石寿命の延長も確認できた。
１２は、高速切り込みで形成された２．５μｍ凹形状を
１．５μｍ程度の加工代では除去しきれず、１μｍ以上
の凹形状となってしまうが、随時平坦となるように調整
を行なっている本発明の方法では、研削代を少なくして
も平坦な状態であり、高速切込みで最終的に要求される
ウエーハ厚さ付近まで一気に研削し、低速での研削量を
少なくできることから、研削時間も短くできる。また、
必要なスパークアウトの時間も４０％程度低減できた。
それに付随して、前述の砥石の負荷が軽減され、加工時
間の短縮のほか、砥石寿命の延長も確認できた。
【００４０】また、傾き補正について図での説明、例え
ば図１の説明では図の左右方向に対する傾きを補正した
ものを示しているが、研削の形態（砥石の回転方向や砥
石軸の動作方法、その他の研削条件の違い）によっては
図（紙面）の前後方向にも補正出来る機能を付随させて
おく。また、砥石軸とワークの相対角度は被加工物のテ
ーブル側を制御してもよい。
ば図１の説明では図の左右方向に対する傾きを補正した
ものを示しているが、研削の形態（砥石の回転方向や砥
石軸の動作方法、その他の研削条件の違い）によっては
図（紙面）の前後方向にも補正出来る機能を付随させて
おく。また、砥石軸とワークの相対角度は被加工物のテ
ーブル側を制御してもよい。
【００４１】
【発明の効果】以上、詳述したように、本発明によれ
ば、研削中に研削加工工程の各段階で砥石傾斜角を変化
させるようにしたので、被加工物の高平坦化が達成でき
ると共に、加工時間の短縮、必要ワーク研削代の低減、
砥石寿命の延長を図ることができ、ウエーハ等の薄板ワ
ークの加工が高精度に且つ高平坦度に行なうことが可能
となった。
ば、研削中に研削加工工程の各段階で砥石傾斜角を変化
させるようにしたので、被加工物の高平坦化が達成でき
ると共に、加工時間の短縮、必要ワーク研削代の低減、
砥石寿命の延長を図ることができ、ウエーハ等の薄板ワ
ークの加工が高精度に且つ高平坦度に行なうことが可能
となった。
【図１】 本発明の薄板ワークの平面研削装置の一実施
形態を示す概略構成を示す模式図である。
形態を示す概略構成を示す模式図である。
【図２】 本発明方法による砥石切り込み形態を示す作
用説明図であって、（ａ）は高速切り込み時、（ｂ）は
低速切り込み時、（ｃ）はスパークアウト時を各々示し
ている。
用説明図であって、（ａ）は高速切り込み時、（ｂ）は
低速切り込み時、（ｃ）はスパークアウト時を各々示し
ている。
【図３】 無補正の時の砥石切り込み形態を示す作用説
明図であって、（ａ）は高速切り込み時、（ｂ）は低速
切り込み時、（ｃ）はスパークアウト時を各々示してい
る。
明図であって、（ａ）は高速切り込み時、（ｂ）は低速
切り込み時、（ｃ）はスパークアウト時を各々示してい
る。
【図４】 砥石傾斜角の初期補正を加えた本発明の比較
方法による一般的な形状補正手段を用いた時の、砥石切
り込み形態を示す作用説明図であって、（ａ）は高速切
り込み時、（ｂ）は低速切り込み時、（ｃ）はスパーク
アウト時を各々示している。
方法による一般的な形状補正手段を用いた時の、砥石切
り込み形態を示す作用説明図であって、（ａ）は高速切
り込み時、（ｂ）は低速切り込み時、（ｃ）はスパーク
アウト時を各々示している。
【図５】 本発明が適用されるウエーハ自転平面研削方
法の基本構成を示す模式図である。
法の基本構成を示す模式図である。
３ 砥石軸支持部材 ４ 支点軸部 ５ 砥石の回転軸 ６ 砥石 ９ 砥石軸傾斜制御モータ １１ テーブル １２ 被加工物（ウエーハ） １３ テーブルの回転軸 １４ 軸傾斜制御装置 １５ 補正量記憶装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/304 ６２２ Ｈ０１Ｌ 21/304 ６２２Ｒ ６３１ ６３１ (72)発明者 岡部 啓一 長野県更埴市大字屋代1393番地 長野電 子工業株式会社内 (72)発明者 大國 ▲禎▼之 福島県西白河郡西郷村大字小田倉字大平 150番地 信越半導体株式会社 半導体 白河研究所内 (72)発明者 加藤 忠弘 福島県西白河郡西郷村大字小田倉字大平 150番地 信越半導体株式会社 半導体 白河研究所内 (72)発明者 大嶋 久 新潟県中頚城郡頚城村大字城野腰新田 596番地２ 直江津電子工業株式会社内 (56)参考文献 特開 平１−115559（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−185359（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−274459（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−85619（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−125893（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−257769（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B24B 7/04 B24B 1/00 B24B 47/20 B24B 51/00 H01L 21/304 621 H01L 21/304 622 H01L 21/304 631
Claims (4)
- 【請求項１】 テーブル上に支持されて回転する薄板ワ
ークの被加工物に回転するカップ状の砥石を押し付け
て、該砥石の切込み速度を段階的に変化させながら該薄
板ワークを研削する平面研削方法において、 前記研削加工の切込み速度の切換え時期とほぼ同期させ
て、前記砥石のワークに対する相対的傾斜角を少なくと
も１回変化させるとともに、前記相対的傾斜角の変化量
を、切込みを行なっている時の切込み速度の各段階にお
ける実際の研削姿勢との差にほぼ対応させることを特徴
とする薄板ワークの平面研削方法。 - 【請求項２】 前記カップ状の砥石の切込み速度を高速
切込み、低速切込み及びスパークアウト（無切込み）と
多段階に変化させながら、該薄板ワークの表面を研削す
る薄板ワークの平面研削方法において、前記相対的傾斜角の変化量を、切込みを行なっている時
の切込み速度の各段階における実際の研削姿勢との差に
ほぼ対応する傾斜補正角度量を予め設定し、 切込み速度
を変化させる各段階で、ワークに対する砥石の相対角度
を前記予め設定しておいた傾斜補正角度まで変化させ、
任意の目標形状に研削加工することを特徴とする請求項
１記載の薄板ワークの平面研削方法。 - 【請求項３】 前記カップ状の砥石の切込み速度を高速
切込み、低速切込み、及びスパークアウト（無切込み）
と多段階に変化させながら、該薄板ワークの表面を研削
する薄板ワークの平面研削方法において、 前記高速切込み時、低速切込み時、及びスパークアウト
時に、夫々薄板ワークの外周側に向け下向き傾斜させる
第１、第２、第３の補正傾斜角度を有し、前記第１、第２、第３の補正傾斜角度を、切込みを行な
っている時の切込み速度の各段階における実際の研削姿
勢との差にほぼ対応させて、 順次水平方向に近付くよう
に設定したことを特徴とする請求項２記載の薄板ワーク
の平面研削方法。 - 【請求項４】 テーブル上に支持されて回転する薄板ワ
ークの被加工物に回転するカップ状の砥石を押し付け
て、該砥石の切込み速度を段階的に変化させながら該薄
板ワークを研削する平面研削装置において、前記相対的傾斜角の変化量を、切込みを行なっている時
の切込み速度の各段階 における実際の研削姿勢との差に
ほぼ対応する傾斜補正角度量を予め設定し、前記砥石の
切込み速度を前記補正角度量に対応させて、 段階的に変
化可能な砥石送り速度調整手段と、 前記砥石の切込み速度に対応する各研削工程毎の砥石傾
斜角の補正量を記憶する補正量記憶手段と、 前記記憶手段より読み出した補正量に基づいて砥石軸と
ワーク軸の相対角度を傾斜させる軸傾斜制御手段とを具
え、 該軸傾斜制御手段により前記砥石の切込み速度に対応す
る各研削工程毎に砥石軸の傾斜角を変更させる事を特徴
とする薄板ワークの平面研削装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12328298A JP3292835B2 (ja) | 1998-05-06 | 1998-05-06 | 薄板ワークの平面研削方法およびその研削装置 |
| US09/301,348 US6220928B1 (en) | 1998-05-06 | 1999-04-29 | Surface grinding method and apparatus for thin plate work |
| DE69903215T DE69903215T2 (de) | 1998-05-06 | 1999-04-30 | Verfahren und Vorrichtung zum Schleifen der Oberfläche einer Halbleiterscheibe |
| EP99108711A EP0955126B1 (en) | 1998-05-06 | 1999-04-30 | Surface grinding method and apparatus for thin plate work |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12328298A JP3292835B2 (ja) | 1998-05-06 | 1998-05-06 | 薄板ワークの平面研削方法およびその研削装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11320356A JPH11320356A (ja) | 1999-11-24 |
| JP3292835B2 true JP3292835B2 (ja) | 2002-06-17 |
Family
ID=14856718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12328298A Expired - Fee Related JP3292835B2 (ja) | 1998-05-06 | 1998-05-06 | 薄板ワークの平面研削方法およびその研削装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6220928B1 (ja) |
| EP (1) | EP0955126B1 (ja) |
| JP (1) | JP3292835B2 (ja) |
| DE (1) | DE69903215T2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105945663A (zh) * | 2016-07-04 | 2016-09-21 | 山东聚龙液压机械有限公司 | 一种新型节能不锈钢方管抛光机 |
| CN106695523A (zh) * | 2017-02-20 | 2017-05-24 | 吴涛 | 一种机械零件表面抛光装置 |
Families Citing this family (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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