JPH04787B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、半導体素子等の電子部品の製造工
程において、シリコン等の材料を切断する切断刃
（ブレード）のドレツシング装置に係るものであ
る。

このような切断機のブレードとしては、金属の
薄板で作られる円板の外周部、または環状板の内
円周部にダイヤモンドの砥粒を電着したものが用
いられる。ドレツシングは、連続加工によつて生
ずるブレードの砥粒の目詰まり、損耗等を修正
し、鋭い切れ刃を再生させる操作である。

このドレツシングは、極めて重要な作業であつ
て、適時に行なわれないと、切断の作業性が損な
われ、必要以上の頻度で行なうと無用に砥粒が除
去されて、高価なブレードの寿命を縮めることに
なる。また、通常、ブレードの両側面の目詰まり
や損耗は均一でなく、切削抵抗が異なるため、切
断加工中にブレードは切削抵抗の小さい方へ曲が
つて切込む傾向を生じ、切断面の精度が悪化す
る。

このような場合には、ブレードの両側面のう
ち、目詰まりのひどい一側面のみをドレツシング
するか、その一側面をより強くドレツシングでき
ることが望ましく、これを適切に行なえば、ブレ
ードの耐用期間の延長を計ることも可能である。

従来は、被加工物の切断と同じ要領で、ブレー
ド側面に対し直立した棒状砥石をブレードで切断
する方式によつてドレツシングが行なわれてきた
が、これは、ブレード先端の端面の目詰まり解消
を主眼とするもので、ブレード刃先両側面の目詰
まり解消、成形は期待できない難点があつた。

これに対して、ブレードの両側面の切削性の良
否に対応して、上記ドレツシング砥石をブレード
の切断送り方向に対して任意の角度に傾斜させて
切込み、ドレツシングを行なう方法が提案されて
いるが、傾斜角度、切込量、または切込送り角度
によつては、砥石がブレードの台金に干渉し、損
傷、変形を生ずるため、傾斜角および切込量等を
慎重に制御しなければならない等の欠点があつ
た。

また、円筒状砥石の外周面をブレードの砥粒電
着側面に押圧し、噛合従動回転をさせる方式も考
案されているが、この方式では、ブレードの刃先
端面のドレツシングができないこと、ドレツシン
グ時は切断時より低速でブレードを回転させなけ
ればならないこと、ドレツシング砥石のブレード
に対する押圧力のコントロールが難しいこと、等
の欠点があり、いずれにしても、効果的で、自動
的なドレツシングが困難という問題があつた。

本発明は、上記事情を勘考し、それらの問題点
を解決するための装置を提供するものである。な
おブレードの内周刃の形状は厳密には不揃いであ
り、（第３，４，５図は説明上、刃先の砥粒の付
着状態を四角形に図示しているが、実際はほぼ楕
円状である）かつ側面の目詰まりも上下面で均一
には発生しない。そこで一方の側面に目詰まりを
起こすと、切削能力が上下で差を生じ、ブレード
は応力を受けて湾曲してインゴツトに切り込む現
象を起こす。そのため切削されたウエハの切削面
が凹もしくは凸形状に形成される。従つてこの面
の形成からブレードの側面の目詰まり状態を知
り、切削能力の低下した側面の切削昨日を回復さ
せるためのドレツシングの必要が生ずる。そのと
き砥石棒と刃との接触角度の設定は刃の形状によ
り、かつ経験により決められる。

第２図イ、ロ、ハは、本発明の機構の概要を示
すもので、ブレード１の内周先端部２の孔の中に
砥石３を上下動（）方向より挿入し、Ｘ方向に
移動（）させて、ブレードで切込んでドレツシ
ングするのであるが、本発明においては、砥石３
を、その切込（）方向のＸ−Ｘ線を含んだ直立
する面内において、正逆角度に傾斜させる〔以下
これをＸ傾斜（）という〕Ａ方式と、砥石３を
軸心の周りに回転させるＢ方式、および砥石３を
前記切込（）の方向Ｘ−Ｘ線と直角なＹ−Ｙ線
を含む直立面内において、正逆角度に傾斜させる
〔以下これをＹ傾斜（）という〕Ｃ方式を、ブ
レード１の砥粒面の劣化状況に対応して、選択的
に、単独で、または組合わせて、実施可能に構成
する。

ここで、Ａ，Ｂ，Ｃ方式のドレツシング状態を
図によつて説明する。

第３図のイは、従来の一般的な方式で、切り落
とし、または砥石の途中まで切込を行ない、刃先
の目詰まり解消が主眼である。ロ，ハは砥石の途
中まで切込み、ブレードの曲がり修正と刃先の下
面か上面の目詰まり修正を主とし、傾斜方向を変
えた例を示す。

第４図はＸ傾斜のＡ方式に砥石３の回転、Ｂ方
式を加えた例であり、ニはＸ傾斜は行なわず、切
込みは切り落とし、または中途までで、主に刃先
全体の目詰まり解消と成形によるブレードの座
屈、曲がり修正に適する。ホ，ヘの図の場合は、
主としてブレードの下面か上面と先端角部の部分
成形に適した方式で、ブレードの上面、または下
面側への曲がり修正に効果がある。

第５図の場合は、第４図の例に、さらにＹ傾斜
のＣ方式を組合わせた状態を示し、図トは、砥石
３の回転、すなわちＢ方式とＹ傾斜のＣ方式の組
合わせで、ブレードの先端角部を均等に成形する
場合に適する。チ，リはさらに、正逆のＣ傾斜を
加えた場合の状態で、両側面と先端の成形が同時
に可能である。第５図のＡ，Ｂ，Ｃ組合わせ方式
によればブレードの側面及び両先端角部が一度に
ドレツシング、成形されるので、ドレツシング作
業時間の短縮、並びに両先端角部に対するドレツ
シング効果の調節がはかれる等、極めて効率的な
手段である。

次に、以上述べたＡ，Ｂ，Ｃ方式の実施可能な
本発明の装置の実施例を図面を参照にして説明す
る。第１図において、固定部４の上に案内５によ
つて移動可能の移動台６を設ける。また、固定部
４の上には棒状の砥石３をブレード１に押圧し、
切込む機構用のモータ７を固定し、このモータに
ねじ軸８のナツト９を取り付ける。移動台６に
は、ねじ軸８に対して直角方向の回転軸１１の軸
受け１０を設け、この軸１１には、直角に揺動板
１４が取り付けられる。移動台６の上には揺動可
能にシリンダ１２をほぼ水平に設け、そのピスト
ンロツド１３の先端を揺動板１４に軸支して、シ
リンダ、ピストンにより、軸１１を希望する角度
だけ旋回可能とする。

軸１１の図の左端には、内部にモータを設け、
これによつて棒状砥石３のチヤツク１６を回転さ
せるボツクス１５を取り付ける。なお、ボツクス
１５には、ドレツシングする度に砥石先端が切り
落とされるので、チヤツク１６の前進（図では下
降）を行なわせる移動機構を内蔵する。

また、不使用時には、軸１１を旋回して砥石３
の中心軸をほぼ90度旋回せしめてねじ軸８の回転
により移動台６を移動させて、ウエハーの切断作
業に支障をきたさない位置に移す。そしてドレツ
シングを行なうときには、砥石をブレードの内周
または外周位置に移して、シリンダ１２を作動さ
せて、砥石をブレード１に対して所望の角度に傾
斜させ、モータ７を回転して、砥石を矢印１７の
方向に移動させる。このとき同時にボツクス１５
内のモータを回転させて、砥石を回転状態におい
てドレツシングを行なう。

さらに、ピストンロツド２０をシリンダ２１か
ら、出入させることにより、砥石棒の先端を支点
２２を中心に、第１図において左右に傾斜させる
ことができる。

なお、上記実施例においては内周刃式縦型切断
機への適用例について説明したが、本発明の装置
は、外周刃の場合も、横型の場合もほぼ同様に、
これを採用できるのは言うまでもない。

以上詳述したように、本発明の装置によれば、
ブレードの変形状態、切断形状、切断面粗さ等の
諸条件に対して最適な方式を選択して、自動的に
ドレツシング操作を行なうことができるので、被
加工物の精度の向上と、稼動率の向上をはかるこ
とが可能となる。さらに、ブレードの砥粒の消耗
を最小限に抑え、ブレードの耐用期間を著しく延
ばすことができる等の効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す説明図、第２
図は砥石の傾斜方向等の説明図で、イ図はブレー
ドと砥石の関係図、ロ図はイ図のイ方向矢視図、
ハ図はイ図のハ方向矢視図、第３図、第４図、第
５図はブレードと砥石との関係を示す説明図。 １……内周刃ブレード、２……端部、３……砥
石、５……案内、７……モータ、８……ねじ軸、
９……ナツト、１１……軸、１２……シリンダ、
１４……揺動板、１５……回転機構を有するボツ
クス、２０……ピストンロツド、２１……シリン
ダ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 切断機のブレードのドレツシング装置におい
   て、ドレツシング用棒状砥石をブレードに対し
   て、任意の角度に傾斜させる傾斜機構と、棒状砥
   石の回転機構、および砥石をブレードに対して切
   込む移動機構を有することを特徴とするブレード
   のドレツシング装置。 ２ 特許請求の範囲第１項の記載において棒状砥
   石の傾斜機構は、ブレード側面と直角で、切込み
   移動方向面に沿つた傾斜、並びにこれに直交する
   方向の面に沿つた傾斜を選択的に、かつ、その双
   方を同時に可能としたブレードのドレツシング装
   置。