JPH0655424A - 研削盤 - Google Patents
研削盤Info
- Publication number
- JPH0655424A JPH0655424A JP21256392A JP21256392A JPH0655424A JP H0655424 A JPH0655424 A JP H0655424A JP 21256392 A JP21256392 A JP 21256392A JP 21256392 A JP21256392 A JP 21256392A JP H0655424 A JPH0655424 A JP H0655424A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- grindstone
- grinding
- ground
- grinding wheel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワークを平面度良く研削でき、併せてワーク
の表面粗さの向上も図れるようにする。 【構成】 チャック４に固定したワークＷの研削面Ａに
対し砥石軸５を数度傾けて配設すると共に、その砥石軸
５の先端に取り付けられたカップ型砥石６には上記ワー
クＷの研削面Ａに当接可能な円錐部７を設ける。このよ
うにして、砥石６でワークＷの研削面Ａを研削する場合
には、砥石６の円錐部７がワークＷの研削面Ａに線接触
の状態で常時接するように設定し、砥石６を介して砥石
軸５に加わる研削負荷を減少させ、研削負荷による砥石
軸５の屈曲変形を小さくする。
の表面粗さの向上も図れるようにする。 【構成】 チャック４に固定したワークＷの研削面Ａに
対し砥石軸５を数度傾けて配設すると共に、その砥石軸
５の先端に取り付けられたカップ型砥石６には上記ワー
クＷの研削面Ａに当接可能な円錐部７を設ける。このよ
うにして、砥石６でワークＷの研削面Ａを研削する場合
には、砥石６の円錐部７がワークＷの研削面Ａに線接触
の状態で常時接するように設定し、砥石６を介して砥石
軸５に加わる研削負荷を減少させ、研削負荷による砥石
軸５の屈曲変形を小さくする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は円形ウエハ状ワーク等
の平面を砥石で研削する研削盤に関し、特に、平面度良
くワークを研削でき、併せてその表面粗さが向上するよ
うにしたものである。
の平面を砥石で研削する研削盤に関し、特に、平面度良
くワークを研削でき、併せてその表面粗さが向上するよ
うにしたものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、円形ウエハ状ワーク等の平面
を研削面として研削する場合には、図３（ａ）に示すよ
うなクリープフィード研削、又は同図（ｂ）に示すよう
なワーク自転研削が実施されている。
を研削面として研削する場合には、図３（ａ）に示すよ
うなクリープフィード研削、又は同図（ｂ）に示すよう
なワーク自転研削が実施されている。
【０００３】ところで、クリープフィード研削では、ワ
ークＷの研削面Ａとカップ型砥石１０の端面とを面接触
させた状態で、砥石１０をその軸心回りに回転させなが
らワークＷを砥石の軸心側に向かって往復移動させる。
このようなワークＷの往復移動により、カップ型砥石１
０にワークＷの研削面Ａを研削させるようにしている。
ークＷの研削面Ａとカップ型砥石１０の端面とを面接触
させた状態で、砥石１０をその軸心回りに回転させなが
らワークＷを砥石の軸心側に向かって往復移動させる。
このようなワークＷの往復移動により、カップ型砥石１
０にワークＷの研削面Ａを研削させるようにしている。
【０００４】また、ワーク自転研削では、予めワークＷ
の研削面Ａとカップ型砥石１０の端面とを一定の接触長
さＬで面接触させると共に、その接触長さＬを固定した
状態で、ワークＷ及び砥石１０をその各軸心回りにそれ
ぞれ回転させる。このようなワークＷ及び砥石１０の回
転により、砥石１０にワークＷの研削面Ａを研削させる
ようにしている。
の研削面Ａとカップ型砥石１０の端面とを一定の接触長
さＬで面接触させると共に、その接触長さＬを固定した
状態で、ワークＷ及び砥石１０をその各軸心回りにそれ
ぞれ回転させる。このようなワークＷ及び砥石１０の回
転により、砥石１０にワークＷの研削面Ａを研削させる
ようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来のクリープフィード研削にあっては、ワーク
Ｗの往復移動で砥石１０にワークＷの研削面Ａを研削さ
せるため、砥石がワークの外周部にあるときは砥石とワ
ークとの接触長さＬが最も短くなり、逆に、砥石がワー
クの中心部を通るときは接触長さＬが最も長くなるの
で、砥石を介して砥石軸（図示省略）に加わる研削負荷
は接触長さの周期的な変化に応じて変動するのみなら
ず、このクリープフィード研削では、砥石１０とワーク
Ｗとは常に面接触の状態で接するため、上記の如き砥石
軸に加わる研削負荷は比較的大きく、砥石軸を屈曲変形
させるので、ワークの研削面を平面度良く研削すること
は困難である。
ような従来のクリープフィード研削にあっては、ワーク
Ｗの往復移動で砥石１０にワークＷの研削面Ａを研削さ
せるため、砥石がワークの外周部にあるときは砥石とワ
ークとの接触長さＬが最も短くなり、逆に、砥石がワー
クの中心部を通るときは接触長さＬが最も長くなるの
で、砥石を介して砥石軸（図示省略）に加わる研削負荷
は接触長さの周期的な変化に応じて変動するのみなら
ず、このクリープフィード研削では、砥石１０とワーク
Ｗとは常に面接触の状態で接するため、上記の如き砥石
軸に加わる研削負荷は比較的大きく、砥石軸を屈曲変形
させるので、ワークの研削面を平面度良く研削すること
は困難である。
【０００６】一方、従来のワーク自転研削にあっても、
クリープフィード研削と同様に、砥石１０とワークＷと
は常に面接触の状態で接するため、砥石を介して砥石軸
に加わる研削負荷は比較的大きく、砥石軸を屈曲変形さ
せるので、ワークの研削面を平面度良く研削することは
困難である。
クリープフィード研削と同様に、砥石１０とワークＷと
は常に面接触の状態で接するため、砥石を介して砥石軸
に加わる研削負荷は比較的大きく、砥石軸を屈曲変形さ
せるので、ワークの研削面を平面度良く研削することは
困難である。
【０００７】しかも、このワーク自転研削では、砥石１
０とワークＷとの接触長さＬは比較的長い状態に固定さ
れ、砥石の砥粒１ヶによる研削量が多いので、特に微小
砥粒の砥石を使用する場合は砥石の目づまりによるワー
クの研削焼けが発生する。そのため、砥石の砥粒径には
研削面の径に対して一定の制限があり、その制限以上の
大径砥粒の砥石しか用いることができず、研削面の表面
粗さを向上させることができない。
０とワークＷとの接触長さＬは比較的長い状態に固定さ
れ、砥石の砥粒１ヶによる研削量が多いので、特に微小
砥粒の砥石を使用する場合は砥石の目づまりによるワー
クの研削焼けが発生する。そのため、砥石の砥粒径には
研削面の径に対して一定の制限があり、その制限以上の
大径砥粒の砥石しか用いることができず、研削面の表面
粗さを向上させることができない。
【０００８】この発明は上述の事情に鑑みてなされたも
ので、その目的とするところは、ワークを平面度良く研
削でき、併せてその表面粗さの向上も図れる研削盤を提
供することにある。
ので、その目的とするところは、ワークを平面度良く研
削でき、併せてその表面粗さの向上も図れる研削盤を提
供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、左右に往復移動するレシプロテーブル
と、このレシプロテーブルに配設されると共にそのレシ
プロテーブルの移動方向に対して略垂直に設置された主
軸と、この主軸の先端に取り付けられると共に研削時に
ワークを固定するチャックと、上記チャックに固定され
たワークの研削面に対し傾斜するように配設された砥石
軸と、上記チャックと向かい合うように上記砥石軸の先
端に取り付けられたカップ型砥石と、このカップ型砥石
の先端外周面を一部切り欠いて形成されると共に上記ワ
ークの研削面に当接可能なテーパ状の円錐部とを具備す
ることを特徴とする。
に、この発明は、左右に往復移動するレシプロテーブル
と、このレシプロテーブルに配設されると共にそのレシ
プロテーブルの移動方向に対して略垂直に設置された主
軸と、この主軸の先端に取り付けられると共に研削時に
ワークを固定するチャックと、上記チャックに固定され
たワークの研削面に対し傾斜するように配設された砥石
軸と、上記チャックと向かい合うように上記砥石軸の先
端に取り付けられたカップ型砥石と、このカップ型砥石
の先端外周面を一部切り欠いて形成されると共に上記ワ
ークの研削面に当接可能なテーパ状の円錐部とを具備す
ることを特徴とする。
【００１０】
【作用】この発明によれば、チャックに固定されたワー
クを研削する際、そのワークの研削面はカップ型砥石の
円錐部が線接触の状態で常時接しながら研削される。
クを研削する際、そのワークの研削面はカップ型砥石の
円錐部が線接触の状態で常時接しながら研削される。
【００１１】
【実施例】以下、この発明に係る研削盤の一実施例につ
いて図１及び図２を用いて詳細に説明する。
いて図１及び図２を用いて詳細に説明する。
【００１２】この研削盤には図１に示す如くベース１上
にレシプロテーブル２が配設されており、このレシプロ
テーブル２は図示しないテーブル送り機構を介して左右
に往復移動するように構成されている。
にレシプロテーブル２が配設されており、このレシプロ
テーブル２は図示しないテーブル送り機構を介して左右
に往復移動するように構成されている。
【００１３】また、上記レシプロテーブル２内には主軸
３が内蔵されており、この主軸３はその軸心回りに回転
可能に支持されていると共に、レシプロテーブル２の移
動方向（図中矢印イの方向）に対して略垂直に設置され
ている。
３が内蔵されており、この主軸３はその軸心回りに回転
可能に支持されていると共に、レシプロテーブル２の移
動方向（図中矢印イの方向）に対して略垂直に設置され
ている。
【００１４】さらに、上記のような主軸３の先端には円
形ウエハ状のワークＷを固定するためのチャック４が一
体に取り付けられている。このチャック４はチャック面
がポーラス状で真空によりワークＷを吸引して固定する
ように構成されている。
形ウエハ状のワークＷを固定するためのチャック４が一
体に取り付けられている。このチャック４はチャック面
がポーラス状で真空によりワークＷを吸引して固定する
ように構成されている。
【００１５】ところで、上記チャック４の先端側には砥
石軸５が配設されており、この砥石軸５はチャック４に
固定されたワークＷの平面、即ちワークＷの研削面Ａに
対し傾斜するように設置されていると共に、図示しない
切込送り機構を介して軸心方向（図中矢印ロの方向）に
沿って移動するように構成されている。
石軸５が配設されており、この砥石軸５はチャック４に
固定されたワークＷの平面、即ちワークＷの研削面Ａに
対し傾斜するように設置されていると共に、図示しない
切込送り機構を介して軸心方向（図中矢印ロの方向）に
沿って移動するように構成されている。
【００１６】なお、砥石軸５の傾斜角度は５度以下の範
囲内が最も好ましい。また、砥石軸５を設計する際に
は、砥石軸５の傾きが５度以下の範囲内であるため、ラ
ジアル剛性に影響するモーメントが全負荷の１０％程度
となるので、スラスト剛性のみを主に考えれば良い。
囲内が最も好ましい。また、砥石軸５を設計する際に
は、砥石軸５の傾きが５度以下の範囲内であるため、ラ
ジアル剛性に影響するモーメントが全負荷の１０％程度
となるので、スラスト剛性のみを主に考えれば良い。
【００１７】また、上記砥石軸５の先端には上記チャッ
ク４と向かい合うようにカップ型砥石６が一体に取り付
けられていると共に、このカップ型砥石６の先端にはそ
の先端外周面を一部切り欠いてテーパ状の円錐部７が設
けられており、このような円錐部７は図２に示す如くそ
の母線Ｌが上記ワークＷの研削面Ａに対して平行に接す
るように形成されている。
ク４と向かい合うようにカップ型砥石６が一体に取り付
けられていると共に、このカップ型砥石６の先端にはそ
の先端外周面を一部切り欠いてテーパ状の円錐部７が設
けられており、このような円錐部７は図２に示す如くそ
の母線Ｌが上記ワークＷの研削面Ａに対して平行に接す
るように形成されている。
【００１８】なお、上記のような円錐部７はレシプロテ
ーブル２上に設置されたドレス部材８で簡単に成形する
ことができる。即ち、円錐部７を形成するには、図３の
仮想線で示すような新品のカップ型砥石６を砥石軸５に
取り付けた後、レシプロテーブル２を移動させながら、
カップ型砥石６の先端角部６ａがドレス部材８の中心に
位置するようにセットする。この状態で、レシプロテー
ブル２を左右に往復移動させながら、砥石軸５をレシプ
ロテーブル２側に所定の切込み速度で降下させる。これ
により、カップ型砥石６には上記のようなワークＷと線
接触する円錐部７が形成される。また、ドレス部材８
は、円錐部７をカップ型砥石６に形成する作業の他、上
記と同様な作業手順で円錐部７の目立て作業を行うこと
もできる。
ーブル２上に設置されたドレス部材８で簡単に成形する
ことができる。即ち、円錐部７を形成するには、図３の
仮想線で示すような新品のカップ型砥石６を砥石軸５に
取り付けた後、レシプロテーブル２を移動させながら、
カップ型砥石６の先端角部６ａがドレス部材８の中心に
位置するようにセットする。この状態で、レシプロテー
ブル２を左右に往復移動させながら、砥石軸５をレシプ
ロテーブル２側に所定の切込み速度で降下させる。これ
により、カップ型砥石６には上記のようなワークＷと線
接触する円錐部７が形成される。また、ドレス部材８
は、円錐部７をカップ型砥石６に形成する作業の他、上
記と同様な作業手順で円錐部７の目立て作業を行うこと
もできる。
【００１９】次に、上記の如く構成された研削盤の動作
について図１及び図２を基に説明する。なお、カップ型
砥石６の先端には円錐部７が事前に形成されているもの
とする。
について図１及び図２を基に説明する。なお、カップ型
砥石６の先端には円錐部７が事前に形成されているもの
とする。
【００２０】この研削盤によれば、チャック４にワーク
Ｗを固定した後、主軸３及び砥石軸５を回転させなが
ら、砥石軸５をその軸心方向（図中矢印ロの方向）に沿
ってワークＷ側へと所定の切込み速度で降下させる。こ
れと同時に、レシプロテーブル２を往復移動させる。こ
れにより、ワークＷの研削面Ａは、カップ型砥石６の円
錐部７が線接触の状態で常時接し、その円錐部７の部分
で研削される。
Ｗを固定した後、主軸３及び砥石軸５を回転させなが
ら、砥石軸５をその軸心方向（図中矢印ロの方向）に沿
ってワークＷ側へと所定の切込み速度で降下させる。こ
れと同時に、レシプロテーブル２を往復移動させる。こ
れにより、ワークＷの研削面Ａは、カップ型砥石６の円
錐部７が線接触の状態で常時接し、その円錐部７の部分
で研削される。
【００２１】したがって、上記のような実施例の研削盤
によれば、カップ型砥石でワークの研削面を研削する
際、カップ型砥石の円錐部がワークの研削面に線接触の
状態で常時接するので、砥石軸に加わる研削負荷が減少
し、研削負荷による砥石軸の屈曲変形も小さくなる分、
ワークの研削面を平面度良く研削することができる。
によれば、カップ型砥石でワークの研削面を研削する
際、カップ型砥石の円錐部がワークの研削面に線接触の
状態で常時接するので、砥石軸に加わる研削負荷が減少
し、研削負荷による砥石軸の屈曲変形も小さくなる分、
ワークの研削面を平面度良く研削することができる。
【００２２】しかも、上記のような線接触の下では、砥
石から脱落した砥粒を砥石がひきずるのを防止でき、研
削面の表面粗さが向上するのみならず、砥石の砥粒１ヶ
による研削量が少なくなるので、微小砥粒の砥石を使用
する場合でも、砥石の目づまりが発生せず、ワークの研
削焼けを防止できるため、微小砥粒の砥石でワークを研
削することが可能になり、より一層表面粗さの向上を図
ることができる。
石から脱落した砥粒を砥石がひきずるのを防止でき、研
削面の表面粗さが向上するのみならず、砥石の砥粒１ヶ
による研削量が少なくなるので、微小砥粒の砥石を使用
する場合でも、砥石の目づまりが発生せず、ワークの研
削焼けを防止できるため、微小砥粒の砥石でワークを研
削することが可能になり、より一層表面粗さの向上を図
ることができる。
【００２３】また、上記の如く砥石軸に加わる研削負荷
が減少するので、これに併せて、剛性の低い細い砥石軸
を適用することができる分、装置全体の小型化も図れ
る。
が減少するので、これに併せて、剛性の低い細い砥石軸
を適用することができる分、装置全体の小型化も図れ
る。
【００２４】
【発明の効果】この発明に係る研削盤にあっては、上記
の如くチャックに固定したワークの研削面に対して砥石
軸を傾斜するように配設すると共に、その砥石軸の先端
に取り付けられたカップ型砥石には上記ワークの研削面
に当接可能な円錐部を設けたため、このようなカップ型
砥石でワークの研削面を研削する場合には、カップ型砥
石の円錐部がワークの研削面に常時線接触の状態で接す
るので、砥石軸に加わる研削負荷が減少し、研削負荷に
よる砥石軸の屈曲変形も小さくなる分、ワークの研削面
を平面度良く研削することができる。
の如くチャックに固定したワークの研削面に対して砥石
軸を傾斜するように配設すると共に、その砥石軸の先端
に取り付けられたカップ型砥石には上記ワークの研削面
に当接可能な円錐部を設けたため、このようなカップ型
砥石でワークの研削面を研削する場合には、カップ型砥
石の円錐部がワークの研削面に常時線接触の状態で接す
るので、砥石軸に加わる研削負荷が減少し、研削負荷に
よる砥石軸の屈曲変形も小さくなる分、ワークの研削面
を平面度良く研削することができる。
【００２５】しかも、上記のような線接触の下では、砥
石から脱落した砥粒を砥石がひきずるのを防止でき、研
削面の表面粗さが向上すると共に、また、砥石の砥粒１
ヶによる研削量が少なくなるので、微小砥粒の砥石を使
用する場合でも、砥石の目づまりが発生せず、ワークの
研削焼けを防止できるため、微小砥粒の砥石でワークを
研削することが可能になり、より一層表面粗さの向上を
図ることができる。
石から脱落した砥粒を砥石がひきずるのを防止でき、研
削面の表面粗さが向上すると共に、また、砥石の砥粒１
ヶによる研削量が少なくなるので、微小砥粒の砥石を使
用する場合でも、砥石の目づまりが発生せず、ワークの
研削焼けを防止できるため、微小砥粒の砥石でワークを
研削することが可能になり、より一層表面粗さの向上を
図ることができる。
【図１】この発明に係る研削盤の一部破断正面図。
【図２】この発明に係る研削盤の要部説明図。
【図３】従来のクリープフィード研削及びワーク自転研
削を説明する説明図。
削を説明する説明図。
２ レシプロテーブル ３ 主軸 ４ チャック ５ 砥石軸 ６ カップ型砥石 ７ 円錐部
Claims (1)
- 【請求項１】 左右に往復移動するレシプロテーブル
と、このレシプロテーブルに配設されると共にそのレシ
プロテーブルの移動方向に対して略垂直に設置された主
軸と、この主軸の先端に取り付けられると共に研削時に
ワークを固定するチャックと、上記チャックに固定され
たワークの研削面に対し傾斜するように配設された砥石
軸と、上記チャックと向かい合うように上記砥石軸の先
端に取り付けられたカップ型砥石と、このカップ型砥石
の先端外周面を一部切り欠いて形成されると共に上記ワ
ークの研削面に当接可能なテーパ状の円錐部とを具備す
ることを特徴とする研削盤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21256392A JPH0655424A (ja) | 1992-08-10 | 1992-08-10 | 研削盤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21256392A JPH0655424A (ja) | 1992-08-10 | 1992-08-10 | 研削盤 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0655424A true JPH0655424A (ja) | 1994-03-01 |
Family
ID=16624775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21256392A Withdrawn JPH0655424A (ja) | 1992-08-10 | 1992-08-10 | 研削盤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0655424A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5404634A (en) * | 1993-04-30 | 1995-04-11 | Yazaki Corporation | Wire ends processing apparatus |
| KR100910916B1 (ko) * | 2006-12-29 | 2009-08-05 | 주식회사 실트론 | 실리콘 잉곳의 표면 가공방법 |
| JP2010199336A (ja) * | 2009-02-25 | 2010-09-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | ワーク加工方法およびワーク加工装置 |
-
1992
- 1992-08-10 JP JP21256392A patent/JPH0655424A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5404634A (en) * | 1993-04-30 | 1995-04-11 | Yazaki Corporation | Wire ends processing apparatus |
| KR100910916B1 (ko) * | 2006-12-29 | 2009-08-05 | 주식회사 실트론 | 실리콘 잉곳의 표면 가공방법 |
| JP2010199336A (ja) * | 2009-02-25 | 2010-09-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | ワーク加工方法およびワーク加工装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991102 |