JP3272500B2 - 球面測定装置 - Google Patents

球面測定装置

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JP3272500B2
JP3272500B2 JP20890293A JP20890293A JP3272500B2 JP 3272500 B2 JP3272500 B2 JP 3272500B2 JP 20890293 A JP20890293 A JP 20890293A JP 20890293 A JP20890293 A JP 20890293A JP 3272500 B2 JP3272500 B2 JP 3272500B2
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明 松野
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  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光学素子であるレンズ
研削・加工において、光学表面の曲率半径を測定するた
めの球面測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、光学素子におけるその表面の曲率
半径を測定するために用いる球面測定装置としては、例
えば特開平3−115901号公報記載の発明がある。
上記発明は、図5に示す様に、測定ベース91と測定子
92とは一体に取り付けられている。この測定子92は
ベース94に対して傾動可能となるようにベース94に
遊嵌されている。また、測定ベース91はベース94に
バネ93を介して支持されている。このバネ93は、常
に測定ベース91を下方に付勢し、測定子92の嵌合部
92aをベース94の嵌合孔94aに嵌合させ、測定子
92を常に同一位置に位置決めさせる。レンズ95は保
持部96により保持されている。
【0003】上記状態において、レンズ95を測定ベー
ス91に押しつけることにより、バネ93が縮んで測定
ベース91と一体化された測定子92が押し上げられ、
測定子92は傾動可能になる。その際、レンズ95に対
して測定ベース91の偏心および傾きがあっても、レン
ズ面95aに倣って、測定ベース91が傾き、レンズ9
5のエッジ全周に亘って測定ベース91の下端が接する
ことを可能としている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、前記従来技
術には以下の様な問題がある。すなわち、測定ベース9
1を支持しているバネ93のバネ定数の決定が困難であ
る。バネ定数が小さい場合を図6に示す。レンズ95と
測定ベース91とが当接すると、測定ベース91はレン
ズ面95aに倣って傾く。しかし、バネ定数が小さいた
めに測定ベース91と一体になっている測定子92はそ
の位置を保持できず、さらに横に傾いてしまう。する
と、測定子92と嵌合孔94aとが接してしまい、レン
ズ面95a全周に亘って測定ベース91が接触できなく
なる。特に、曲率半径の小さな微小径レンズに対して顕
著に現れる。
【0005】上記とは反対に、バネ定数が大きい場合を
図7に示す。レンズ95と測定ベース91とが当接して
もバネ定数が高いため、測定ベース91はレンズ面95
aに倣って傾かない。従って、レンズ面95a全周に亘
って測定ベース91が接触できなくなる。
【0006】因って、本発明は前記従来技術における問
題点に鑑みて開発されたもので、レンズ面全周に亘って
測定ベースがスムーズに全接触でき、誤差の無い測定が
行える球面測定装置の提供を目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の球面測定装置
は、被測定物の測定面に当接する測定ベースと、該測定
ベースに支持された測定子を備えて該測定子の変位量を
検出する検出部と、前記被測定物の測定面を前記測定子
側に向けて保持する保持部と、を有する球面測定装置に
おいて、前記保持部に保持された前記被測定物を前記測
定子に接近するように浮き上がらせる浮き上げ手段と、
浮き上がらせた状態で前記被測定物を傾動自在に支持す
る支持手段とを有することを特徴とする。
【0008】
【作用】本発明では、測定ベースとレンズとが当接した
際、レンズ側が測定ベースに倣って当接する。そのた
め、測定子と一体である測定ベースがレンズ面に倣って
傾動する必要がない。因って、バネ定数を気にすること
なく測定可能となる。
【0009】
【実施例1】図1および図2は本実施例を示す断面図で
ある。測定ベース1には測定子2がビス(図示省略)で
一体に取り付けられている。測定ベース1はベース4に
バネ3を介して支持されている。測定子2は測定器10
に接続されるとともに、その中間部には嵌合部2aが設
けられている。また、ベース4には測定子2の嵌合部2
aに嵌合するテーパ状の嵌合孔4aが設けられている。
レンズ5は保持部6によって保持されている。保持部6
の内部には空気孔7が穿設され、空気孔7には空気吹き
出し口7aが数カ所等間隔に開けてある。空気孔7には
チューブ8および継手9を介して空気が送られる様に構
成されている。
【0010】以上の構成からなる球面測定装置の作用に
ついて述べる。測定時には、レンズ5を保持した保持部
6がリニアガイド(図示省略)をガイドにし、アクチュ
エータ(図示省略)により上昇する(図1参照)。上昇
後、レンズ面5aと測定ベース1とはある1点で当接す
る。また、バネ3は測定ベース1とレンズ面5aとが当
接した際、レンズ面5aにキズがつかないように衝撃力
を吸収している。そして、空気孔7に浮き上げ手段とし
ての空気を送ってレンズ5を浮かせて、レンズ面5aを
測定ベース1に倣って当接する(図2参照)。
【0011】この時、レンズ5に対して測定ベース1に
偏心や傾きがあっても、レンズ5が浮き上がりながら傾
動することにより測定ベース1の下端はレンズ面5aの
エッジ全周に亘って接触する。すなわち、保持部6は被
測定物を傾動自在に支持する支持手段としても機能す
る。測定後、空気孔7からの空気の流出を止めてレンズ
5の浮き上がりをなくす。レンズ5は保持部6に保持さ
れ、図示しないアクチュエータによって保持部6は下降
する。
【0012】本実施例によれば、レンズ5に対して測定
ベース1に偏心や傾きがあっても、測定ベース1の下端
に倣ってレンズ5が当接し、均一な圧力で測定誤差なく
計測できる。また、レンズ5を傾動する機構が空気圧を
利用しているので、偏心や傾きがあっても測定ベース1
とレンズ面5aはなじみ易い。さらに、支持手段として
の保持部6へのレンズ5の投入・排出がローダで行える
ためインライン計測も可能である。この時、空気圧によ
ってレンズ5を浮かせて傾動させているので、支持手段
である保持部6自体を傾動可能に構成するよりも容易に
インライン計測が可能となる。
【0013】
【実施例2】図3は本実施例を示す断面図である。本実
施例は、前記実施例1における保持部6自体を浮き上げ
手段である棒14で浮かせて、支持手段である保持部受
け11上に傾動自在に支持した点が異なり、他の構成は
同一な構成部分から成るもので、同一構成部分には同一
番号を付してその説明を省略する。
【0014】支持手段である保持部受け11はあるクリ
アランスをもって保持部12を受けている。該保持部1
2の下面中央には球面を受ける切り欠き12aが設けら
れている。また、保持部受け11は軸受13にビス(図
示省略)で固定されている。保持部受け11および軸受
13の中心にはそれぞれ孔11a,13aが穿設されて
いる。該孔11a,13aには上下動可能な棒14が浮
き上げ手段として遊嵌されている。
【0015】以上の構成から成る球面測定装置の作用に
ついて述べる。測定時は、前記実施例1と同じ手段(ア
クチュエータ)で保持部受け11を上昇させ、レンズ面
5aと測定ベース1とをある1点で当接させる。そし
て、保持部受け11を固定する。バネ3は測定ベース1
とレンズ面5aとが当接した際、レンズ面5aにキズが
つかないように衝撃力を吸収している。次いで、軸受の
内部に遊嵌されている棒14が上昇し、保持部12の下
面中心にある切り欠き12aに当接して保持部12を浮
かせる。すると、レンズ面5aは測定ベース1の下端に
倣う様に当接する。測定後は、前記棒14が下降し、保
持部12の浮き上がりをなくす。
【0016】本実施例によれば、前記実施例1の球面測
定値と同様な効果が得られる。
【0017】
【実施例3】図4は本実施例を示す断面図である。本実
施例は、前記実施例1における保持部6自体を浮き上げ
手段であるバネで浮かせて、支持手段であるバネ受け2
2上に傾動自在に支持した点が異なり、他の構成は同一
な構成部分から成るもので、同一構成部分には同一番号
を付してその説明を省略する。本実施例の保持部21は
支持手段であるバネ受け22にバネ23を介して傾動自
在に支持されている。
【0018】以上の構成から成る球面測定装置の作用に
ついて述べる。測定時は、前記実施例1と同じ手段(ア
クチュエータ)でバネ受け22を上昇させ、レンズ面5
aと測定ベース1とをある1点で当接させる。さらに、
数mm上昇させるとバネ23の伸縮により、バネ受け2
2から保持部12が浮き上がった状態でかつ傾動して、
レンズ面5aのエッジ全周に亘って測定ベース1の下端
が接触する。
【0019】本実施例によれば、前記実施例1の球面測
定装置と同様な効果が得られる。
【0020】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明に係る球面測
定装置によれば、測定ベースと被測定面とが全接触する
ように、被測定物を測定子に接近するように浮き上がら
せるとともに被測定面が測定ベースに対して傾動自在と
なるようにしたことにより、測定ベースを傾動しなくて
もよい。そのため、測定ベースを支持しているバネの定
数を高くしても、該バネの強弱にこだわらずに測定ベー
スへ倣って被測定面が当接し、均一な圧力で測定誤差な
く計測することができる。また、保持部への被測定物の
投入・排出がローダで行えるので、インライン計測が可
能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1を示す断面図である。
【図2】実施例1を示す断面図である。
【図3】実施例2を示す断面図である。
【図4】実施例3を示す断面図である。
【図5】従来例を示す断面図である。
【図6】従来例を示す断面図である。
【図7】従来例を示す断面図である。
【符号の説明】
1 測定ベース 2 測定子 3 バネ 4 ベース 5 レンズ 6 保持部 7 空気孔 8 チューブ 9 継手 10 測定器

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被測定物の測定面に当接する測定ベース
    と、該測定ベースに支持された測定子を備えて該測定子
    の変位量を検出する検出部と、前記被測定物の測定面を
    前記測定子側に向けて保持する保持部と、を有する球面
    測定装置において、前記保持部に保持された前記被測定
    物を前記測定子に接近するように浮き上がらせる浮き上
    げ手段と、浮き上がらせた状態で前記被測定物を傾動自
    在に支持する支持手段とを有することを特徴とする球面
    測定装置。
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JP2007163302A (ja) * 2005-12-14 2007-06-28 Murata Mach Ltd 物品受け台および計測器
CN110017744B (zh) * 2019-03-26 2024-04-26 四川宁江山川机械有限责任公司 一种弹簧座焊接尺寸检测量具及其检测方法

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