JP4474243B2 - 3点支持装置および3次元形状計測装置 - Google Patents
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Description
2、22 支持ベース
3、23、24、25 脚部
11、18 脚
12 固定支柱
13 フランジ
14 弾性支持手段
14a ハウジング
14b スタンド
14c 板バネ
15 スラストベアリング
15a、15b 平板
15c 球体
15d 保持器
16 ベローズシリンダ
17 Xガイド
19 受け座
102 測定台
103 被測定物
104 触針
105a〜105c 基準ミラー
106 フレーム
107、108 3点支持装置
110 定盤
111 Yスライド
114 Xスライド
118 Zスライド
134〜136 レーザー干渉計
Claims (5)
- 支持ベースに載置された被支持物体を3つの脚部で支持する3点支持装置であって、
前記3つの脚部は、
前記被支持物体に設けられ、球面部を備えた脚と、
前記脚の周囲を囲むように前記被支持物体と一体に設けられたフランジと、
前記支持ベースに設けられ、前記球面部と接触する平面部を備えた支柱と、
前記支柱の周囲に、前記フランジと接触可能に設けられ、X、Y方向に可動な可動体を備えた垂直方向に伸縮可能なωX、ωYの自由度を有するリフト機構と、
を有し、
前記リフト機構の伸縮によって前記可動体が前記フランジと接触して前記被支持物体を支持する支持形態と、前記支柱により前記脚を支持する支持形態とのどちらか一方に切り換え可能な支持装置であることを特徴とする3点支持装置。 - 支持ベースに載置された被支持物体を3つの脚部で支持する3点支持装置であって、
前記3つの脚部のうちの第1の脚部は、
前記被支持物体に設けられ、球面部を備えた脚と、
前記脚の周囲を囲むように前記被支持物体と一体に設けられたフランジと、
前記支持ベースに設けられ、前記球面部と接触する平面部を備えた支柱と、
前記支柱の周囲に、前記フランジと接触可能に設けられ、X、Y方向に可動な可動体を備えた垂直方向に伸縮可能なωX、ωYの自由度を有するリフト機構と、を有し、
第2の脚部は、前記被支持物体に設けられ、球面部を備えた脚と、
前記脚の周囲を囲むように前記被支持物体と一体に設けられたフランジと、
前記支持ベースに設けられ、前記球面部と接触する平面部を備えた支柱と、
前記支柱の周囲に、前記フランジと接触可能に設けられ、X、Y方向に可動な可動体を備えた垂直方向に伸縮可能なωX、ωYの自由度を有するリフト機構と、
前記可動体のY方向の自由度を拘束するXガイドと、を有し、
第3の脚部は、球面形状部を備えた脚と、前記球面形状部を受ける円錐状の凹部からなる受け座からなり、
前記リフト機構の伸縮によって前記可動体が前記フランジと接触して前記被支持物体を支持する支持形態と、前記支柱により前記脚を支持する支持形態とのどちらか一方に切り換え可能な支持装置であることを特徴とする3点支持装置。 - 前記可動体は、スラストベアリングであることを特徴とする請求項1または2記載の3点支持装置。
- 前記リフト機構は、ベローズシリンダであることを特徴とする請求項1〜3いずれか記載の3点支持装置。
- 請求項1または2記載の3点支持装置と、前記支持ベースである測定台と、前記被支持物体である被測定物を計測する触針とを有し、前記被測定物の被測定面に前記触針を接触させ、前記被測定面に沿って移動させながら前記触針の3次元位置を計測することを特徴とする3次元形状計測装置。
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