JPH0743104A - 球面測定装置 - Google Patents

球面測定装置

Info

Publication number
JPH0743104A
JPH0743104A JP20890293A JP20890293A JPH0743104A JP H0743104 A JPH0743104 A JP H0743104A JP 20890293 A JP20890293 A JP 20890293A JP 20890293 A JP20890293 A JP 20890293A JP H0743104 A JPH0743104 A JP H0743104A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lens
base
measurement base
measurement
contact
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP20890293A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3272500B2 (ja
Inventor
Akira Matsuno
明 松野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Optical Co Ltd filed Critical Olympus Optical Co Ltd
Priority to JP20890293A priority Critical patent/JP3272500B2/ja
Publication of JPH0743104A publication Critical patent/JPH0743104A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3272500B2 publication Critical patent/JP3272500B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 測定ベースに被測定面をスムーズに全接触さ
せ、誤差の無い測定を行う。 【構成】 測定ベース1には測定子2が取り付けられて
いる。測定ベース1はベース4にバネ3を介して支持さ
れている。レンズ5を保持する保持部6には空気孔7が
穿設され、空気孔7には空気吹き出し口7aが数カ所等
間隔に開いている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光学素子であるレンズ
研削・加工において、光学表面の曲率半径を測定するた
めの球面測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、光学素子におけるその表面の曲率
半径を測定するために用いる球面測定装置としては、例
えば特開平3−115901号公報記載の発明がある。
上記発明は、図5に示す様に、測定ベース91と測定子
92とは一体に取り付けられている。この測定子92は
ベース94に対して傾動可能となるようにベース94に
遊嵌されている。また、測定ベース91はベース94に
バネ93を介して支持されている。このバネ93は、常
に測定ベース91を下方に付勢し、測定子92の嵌合部
92aをベース94の嵌合孔94aに嵌合させ、測定子
92を常に同一位置に位置決めさせる。レンズ95は保
持部96により保持されている。
【0003】上記状態において、レンズ95を測定ベー
ス91に押しつけることにより、バネ93が縮んで測定
ベース91と一体化された測定子92が押し上げられ、
測定子92は傾動可能になる。その際、レンズ95に対
して測定ベース91の偏心および傾きがあっても、レン
ズ面95aに倣って、測定ベース91が傾き、レンズ9
5のエッジ全周に亘って測定ベース91の下端が接する
ことを可能としている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、前記従来技
術には以下の様な問題がある。すなわち、測定ベース9
1を指示しているバネ93のバネ定数の決定が困難であ
る。バネ定数が小さい場合を図6に示す。レンズ95と
測定ベース91とが当接すると、測定ベース91はレン
ズ面95aに倣って傾く。しかし、バネ定数が小さいた
めに測定ベース91と一体になっている測定子92はそ
の位置を保持できず、さらに横に傾いてしまう。する
と、測定子92と嵌合孔94aとが接してしまい、レン
ズ面95a全周に亘って測定ベース91が接触できなく
なる。特に、曲率半径の小さな微小径レンズに対して顕
著に現れる。
【0005】上記とは反対に、バネ定数が大きい場合を
図7に示す。レンズ95と測定ベース91とが当接して
もバネ定数が高いため、測定ベース91はレンズ面95
aに倣って傾かない。従って、レンズ面95a全周に亘
って測定ベース91が接触できなくなる。
【0006】因って、本発明は前記従来技術における問
題点に鑑みて開発されたもので、レンズ面全周に亘って
測定ベースがスムーズに全接触でき、誤差の無い測定が
行える球面測定装置の提供を目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、被測定物の測
定面に当接する測定ベースと、測定ベースに支持された
測定子を備えて該測定子の変位量を検出する検出部と、
被測定物を保持する保持部とを具備した球面測定装置に
おいて、前記被測定物の測定面が測定ベースに対して全
接触し得る傾動機構を保持部へ設けて構成したものであ
る。
【0008】
【作用】本発明では、測定ベースとレンズとが当接した
際、レンズ側が測定ベースに倣って当接する。そのた
め、測定子と一体である測定ベースがレンズ面に倣って
傾動する必要がない。因って、バネ定数を気にすること
なく測定可能となる。
【0009】
【実施例1】図1および図2は本実施例を示す断面図で
ある。測定ベース1には測定子2がビス(図示省略)で
一体に取り付けられている。測定ベース1はベース4に
バネ3を介して支持されている。測定子2は測定器10
に接続されるとともに、その中間部には嵌合部2aが設
けられている。また、ベース4には測定子2の嵌合部2
aに嵌合るテーパ状の嵌合孔4aが設けられている。レ
ンズ5は保持部6によって保持されている。保持部6の
内部には空気孔7が穿設され、空気孔7には空気吹き出
し口7aが数カ所等間隔に開けてある。空気孔7にはチ
ューブ8および継手9を介して空気が送られる様に構成
されている。
【0010】以上の構成からなる球面測定装置の作用に
ついて述べる。測定時には、レンズ5を保持した保持部
6がリニアガイド(図示省略)をガイドにし、アクチュ
エータ(図示省略)により上昇する(図1参照)。上昇
後、レンズ面5aと測定ベース1とはある1点で当接す
る。また、バネ3は測定ベース1とレンズ面5aとが当
接した際、レンズ面5aにキズがつかないように衝撃力
を吸収している。そして、空気孔7に空気を送ってレン
ズ5を浮かせて、レンズ面5aを測定ベース1に倣って
当接する(図2参照)。
【0011】この時、レンズ5に対して測定ベース1に
偏心や傾きがあっても、測定ベース1の下端はレンズ面
5aのエッジ全周に亘って接触する。測定後、空気孔7
からの空気の流出を止めてレンズ5の浮き上がりをなく
す。レンズ5は保持部6に保持され、図示しないアクチ
ュエータによって保持部6は下降する。
【0012】本実施例によれば、レンズ5に対して測定
ベース1に偏心や傾きがあっても、測定ベース1の下端
に倣ってレンズ5が当接し、均一な圧力で測定誤差なく
計測できる。また、レンズ5を傾動する機構が空気圧を
利用しているので、偏心や傾きがあっても測定ベース1
とレンズ面5aはなじみ易い。さらに、保持部6へのレ
ンズ5の投入・排出がローダで行えるためインライン計
測も可能である。
【0013】
【実施例2】図3は本実施例を示す断面図である。本実
施例は、前記実施例1における保持部6を傾動自在に構
成した点が異なり、他の構成は同一な構成部分から成る
もので、同一構成部分には同一番号を付してその説明を
省略する。
【0014】保持部受け11はあるクリアランスをもっ
て保持部12を受けている。該保持部12の下面中央に
は球面を受ける切り欠き12aが設けられている。ま
た、保持部受け11は軸受13にビス(図示省略)で固
定されている。保持部受け11および軸受13の中心に
はそれぞれ孔11a,13aが穿設されている。該孔1
1a,13aには上下動可能な棒14が遊嵌されてい
る。
【0015】以上の構成から成る球面測定装置の作用に
ついて述べる。測定時は、前記実施例1と同じ手段で保
持部受け11を上昇させ、レンズ5が測定ベース1に当
接する。そして、保持部受け11を固定する軸受の内部
に遊嵌されている棒14が上昇し、保持部12の下面中
心にある切り欠き12aに当接して保持部12を浮かせ
る。すると、レンズ面5aは測定ベース1の下端に倣う
様に当接する。測定後は、前記棒14が下降し、保持部
12の浮き上がりをなくす。
【0016】本実施例によれば、前記実施例1の球面測
定値と同様な効果が得られる。
【0017】
【実施例3】図4は本実施例を示す断面図である。本実
施例は、前記実施例1における保持部6を傾動自在に構
成した点が異なり、他の構成は同一な構成部分から成る
もので、同一構成部分には同一番号を付してその説明を
省略する。本実施例の保持部21はバネ受け22にバネ
23を介して傾動自在に支持されている。
【0018】以上の構成から成る球面測定装置の作用に
ついて述べる。測定時は、前記実施例1と同じ手段でバ
ネ受け22を上昇させ、レンズ5を測定ベース1に当接
する。さらに、数mm上昇させるとバネ23の伸縮によ
り、レンズ面5aのエッジ全周に亘って測定ベース1の
下端が接触する。
【0019】本実施例によれば、前記実施例1の球面測
定値と同様な効果が得られる。
【0020】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明に係る球面測
定装置によれば、測定ベースと被測定面とが全接触する
ように被測定面が測定ベースに対して傾動する機構を設
けたことにより、測定ベースを傾動しなくてもよい。そ
のため、測定ベースを支持しているバネの定数を高くし
ても、該バネの強弱にこだわらずに測定ベースへ倣って
被測定面が当接し、均一な圧力で測定誤差なく計測する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1を示す断面図である。
【図2】実施例1を示す断面図である。
【図3】実施例2を示す断面図である。
【図4】実施例3を示す断面図である。
【図5】従来例を示す断面図である。
【図6】従来例を示す断面図である。
【図7】従来例を示す断面図である。
【符号の説明】
1 測定ベース 2 測定子 3 バネ 4 ベース 5 レンズ 6 保持部 7 空気孔 8 チューブ 9 継手 10 測定器

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被測定物の測定面に当接する測定ベース
    と、測定ベースに支持された測定子を備えて該測定子の
    変位量を検出する検出部と、被測定物を保持する保持部
    とを具備した球面測定装置において、前記被測定物の測
    定面が測定ベースに対して全接触し得る傾動機構を保持
    部へ設けて構成したことを特徴とする球面測定装置。
JP20890293A 1993-07-30 1993-07-30 球面測定装置 Expired - Fee Related JP3272500B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20890293A JP3272500B2 (ja) 1993-07-30 1993-07-30 球面測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20890293A JP3272500B2 (ja) 1993-07-30 1993-07-30 球面測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0743104A true JPH0743104A (ja) 1995-02-10
JP3272500B2 JP3272500B2 (ja) 2002-04-08

Family

ID=16564023

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20890293A Expired - Fee Related JP3272500B2 (ja) 1993-07-30 1993-07-30 球面測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3272500B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002228403A (ja) * 2001-01-30 2002-08-14 Olympus Optical Co Ltd 球面測定装置および球面測定方法
JP2007163302A (ja) * 2005-12-14 2007-06-28 Murata Mach Ltd 物品受け台および計測器
CN110017744A (zh) * 2019-03-26 2019-07-16 四川宁江山川机械有限责任公司 一种弹簧座焊接尺寸检测量具及其检测方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7445993B2 (ja) 2019-07-23 2024-03-08 株式会社Param 電子銃装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002228403A (ja) * 2001-01-30 2002-08-14 Olympus Optical Co Ltd 球面測定装置および球面測定方法
JP2007163302A (ja) * 2005-12-14 2007-06-28 Murata Mach Ltd 物品受け台および計測器
CN110017744A (zh) * 2019-03-26 2019-07-16 四川宁江山川机械有限责任公司 一种弹簧座焊接尺寸检测量具及其检测方法
CN110017744B (zh) * 2019-03-26 2024-04-26 四川宁江山川机械有限责任公司 一种弹簧座焊接尺寸检测量具及其检测方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP3272500B2 (ja) 2002-04-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4427580B2 (ja) 形状測定装置用プローブ及び形状測定装置
EP2251635B1 (en) Probe for three-dimensional shape measuring apparatus and three-dimensional shape measuring apparatus.
US4944606A (en) Precision motion slideways
JP2005502876A (ja) 表面形状測定装置
CN110231000B (zh) 一种孔检测方法
JP4663378B2 (ja) 形状測定装置及び方法
JPH0743104A (ja) 球面測定装置
US7249520B1 (en) Self-loaded pendulum for slider flexure stiffness measurements
US5333388A (en) Probes
JP6730894B2 (ja) 検出装置
JP3636847B2 (ja) 材料試験機の曲げ試験におけるフローティング測定フレームを用いた撓み測定装置
JP2002131010A (ja) 粉末焼結体の高さ検査装置
JPH03115901A (ja) 球面測定装置
JP2520150Y2 (ja) 超音波探触子の保持装置
JPH065608Y2 (ja) 硬さ計用可撓式継手
US20040068881A1 (en) Viscous coupled micro interposer
JPH08233505A (ja) 球面測定装置
JPS61129501A (ja) カメラレンズの移動量測定装置
JPH04353759A (ja) 探触子ヘッド
WO2013017834A1 (en) Metrological apparatus
JP4918700B2 (ja) レンズ振れ測定装置、レンズ芯取り装置、形状測定装置
JPH05187983A (ja) 引っかき試験器
JPH11304461A (ja) 接触式形状測定装置
JP2002236013A (ja) 測定器、その測定器を用いた光学系の製造方法および載物台
JPH10197207A (ja) 角度測定治具および角度測定器

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20020108

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees