JP3252323B2 - インターフェースを有するミクロ構造の試験ヘッド - Google Patents
インターフェースを有するミクロ構造の試験ヘッドInfo
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Description
よる、試験中の電気部品の、好ましくは続いて近接して
配置される試験点と、接触させる装置を有する試験ヘッ
ドに関する。
中の電気部品、例えば半導体部品の続いて近接して配置
される複数個の試験点と同時に接触させるのに使用され
る。試験ヘッドは、弾性材料から構成され、試験手順中
に、各ケースの1つの割り当てられた試験点に当接され
る複数個のピン形状接触要素からなる。接触要素は接触
させる装置の部位である。接触力は、それぞれ、接触要
素が試験点に置かれ、または試験点が接触要素に置かれ
たとき、それらの縦延長部に垂直にばね延長下で接触要
素を折り込みおよび(または)曲げることにより加えら
れる。接触要素は互いに間隔をおいた2つの案内パネル
の送り通し開口に配置される。それらの機能のため、接
触要素は案内パネルの送り通し開口に軸方向可動に取り
付けられねばならない。試験ヘッドの作動できる位置、
すなわち2つの試験手順間の接触要素が重力方向に送り
通し開口から離脱する状態を防止するため、外寸が送り
通し開口の内法幅より大きい支持ヘッドを接触要素の端
部域に設けることがDE2364786から周知であ
る。上案内パネルの、試験試料から離れて面する側に、
送り通し開口を被覆するカウンターベアリングが設けら
れ、このカウンターベアリングは試験ヘッドが回転した
とき送り通し開口からの離脱を防止するために使用され
る。カウンターベアリングは接触させる装置に着脱でき
ないように接続される結果、接触要素が、するとして
も、多大の消費でのみで変化できるのは、このために
は、カウンターベアリングが接触させる装置から除去さ
れねばならず、2つの部分を一体に保持する付属手段が
無効にされねばならないからである。接触要素間は比較
的長い距離のため、よく見られるように、たとえば、試
験中の半導体部品等、きわめて窮屈なスペースに配置さ
れる小さい試験点と最早接触できない。
て近接して配置されかつ容易に交換できる試験ヘッドを
提供することにある。
試験ヘッドは前記目的を達成するために提供される。後
者は、接触要素が固定手段を使用して送り通し開口から
離脱しないように固定されること、さらに接続要素と接
触させる装置とが付属手段を使用して互いに着脱可能に
接続されることで識別される。その結果、接続要素は接
触させる装置からまたはその逆に分離されて、それで2
つの部品の一方が容易に偏向できる。さらにまた、接続
要素と接触させる装置との分離により接触要素を、接続
要素に面する接触させる装置の側から容易にアクセスさ
せ保守修理に供される。さらに、試験装置の部分をなす
接続要素を、異なる接触させる装置に使用でき、普遍適
用性を得る。”異なる”接触させる装置は本質的に同一
構造を有し、特に、特定の試験試料の試験点の構成に適
応される接触要素の間隔構成、および(または)接触要
素数が異なる。従って、接続要素は異なる試験試料に普
遍的に使用され、それで、例えば、2つの試験手続き間
の、作動できる位置で軸方向に変位可能ふうに送り通し
開口に配置される接触要素は送り通し開口から滑り出
ず、接触要素が喪失しないように固定する固定手段が設
けられる。
導材より構成される接触要素は、直径が大きい第1区分
と、直径が小さい第2隣接区分とを有し、直径の差は第
1区分域において電気絶縁層により引き起こされる。絶
縁層は、第1の場合、接触要素が触れたとき電気的接触
を防止することであり、接触要素の少なくともいくつか
は試験手続き中縦方向延長部と垂直に偏向される。第2
の場合、絶縁層は接触させる装置に接触装置を固定、す
なわちそれらが喪失しないように保護するために使用さ
れる。
素は、案内のそれぞれ割り当てられた送り通し開口にお
いて、直径が小さい、それらの第2区分とともに軸方向
に変位可能ふうに案内され、送り通し開口の直径は直径
が大きい第1区分の外径より小さい。第1と第2区分間
の直径差の結果、段部、縁部等は接触要素に形成され
て、段部、縁部等は案内の面、縁部等に当接するため、
接触要素がその自重により離脱しない。この実施例によ
り、比較的大きい度合いの遊びが接触要素の第2区分と
送り通し開口との間に実現され、それで製造費は比較的
少なくで済む。
すなわち接触要素の第1と第2区分間の直径差は、接触
要素の製造の面からみて、第2区分の絶縁を除去するこ
とにより形成される結果、これら要素はまず、第1作動
における絶縁層と、第2区分域の層を除去することによ
りもう1つの第2作動において設定される2つの区分の
所望長さとを備える。
第1区分域で電気絶縁を付与することにより引き起こさ
れる。接触要素の第1と第2区分間の直径差の製作は、
ここで単一作動工程のみが必要である点で簡単化され
る。これは、例えば、接触要素を限定ふうに液化絶縁に
浸せきすることにより、第1区分に所望厚みの絶縁体を
正確に備えることよりなる。勿論、絶縁体はまた、他の
周知の製造方法を使用して、接触要素の第1区分に排他
的に付与される。
案内は接触要素のため送り通し開口を備える少なくとも
2つの案内パネルを備え、各場合、案内パネルの、1つ
の接触要素に割り当てられる送り通し開口は、接触要素
が摩擦固定ふうにそれらに、またはそれらの少なくとも
1つに保持されるように、互いに分かれ出て配置される
ことにより識別される。送り通し開口とそこに配置され
る接触要素間の摩擦係合の結果接触要素に作用する保持
力が大きいので、試験ヘッドの作動できる位置におい
て、すなわち、接触要素が試験中の部品の試験点に当接
していないとき、接触要素は送り通し開口に保持され
る。これにより接触要素がその自重により試験ヘッドか
ら確実に離脱しないようにしている。摩擦係合の結果接
触要素に作用する保持力がまた同時に小さいので、接触
要素は試験手順中軸方向に変位する。これに関連して、
接触要素は、それらの縦方向延長部に垂直に、本質的に
垂直に案内パネル間の中間スペースにおいてばね延長中
に折り込みおよび(または)曲がる結果、接触力が加わ
る。試験中の部品の接触要素は、連続して近接、すなわ
ち、互いに好ましくはきわめて小さい距離で配置される
ので、試験点が小さくかつきわめて窮屈なスペースに配
置される試験用の部品の機能でも試験できる。従って、
接触要素を試験ヘッド、すなわち、案内パネルの送り通
し開口に保持するため、その直径の拡大を抑制できる。
接触要素の摩擦的固定保持より生づる他の利益は、それ
らをサービス容易に取り付けでき、すなわち、接触要素
を試験ヘッド内に導入したり必要時に交換することも容
易である。この目的のため、それぞれの接触要素を案内
パネルの送り通し開口から引き出したり、押し込むだけ
でよい。
は、第3案内パネルが、接触させる装置の第1案内パネ
ルと第2案内パネルとの間の中間スペースに配置されて
設けられ、接触要素に割り当てられた送り通し開口の少
なくとも1つは、他の案内パネルの他の送り通し開口に
対し分かれ出されている。好ましくは、第3案内パネル
の送り通し開口は、第1と第2案内パネルの送り通し開
口に対し分かれ出でて配置され、それで試験ヘッドが組
み立てられると接触要素は制限ふうに湾曲される。その
結果、一方で、折り込み力は完全に排除され、他方、摩
擦係合が、接触要素と、各ケースで案内パネルの少なく
とも1つの割当送り通し開口との間で形成される。第3
案内パネルはまた、特に試験手順中に、接触要素が互い
に触れないようし、それで適切ならば、接触要素間の電
気絶縁をなしですませ、試験ヘッドの費用を減ずる。
は)離れて対面する自由端が接触先端を有する、試験ヘ
ッドの典型的実施例も好ましい。その結果、連続して接
近配置されるきわめて小さい試験点との接触がなされ
る。試験点の接触先端の小さい接触面のため、発生され
る面圧は良好な電気接触が形成されるように比較的高
い。第1の実施例変形によれば、一方または両自由端で
点にまたは先鋭にされて延び接触先端を形成する、好ま
しくはばね弾性材より構成されるピン形状接触要素が設
けられる。従って、それぞれ接触要素と接触先端は一体
構造である。他の典型的実施例において、接触先端は接
触要素の自由端に固定される別の部品である。その結
果、異なる形状および(または)異なるサイズの接触先
端を有する接触要素を各試験ヘッドに個々に使用して、
試験ヘッドの適応性を改善する。接触先端のデザインに
関係なく、その最大径または最大幅は、接触要素の直径
より小さいかまたは大きく、もしくはそれに対応する。
すなわち、接触要素から接触先端までの遷移は流体状お
よび連続し、さもなくば遷移は少なくとも1つの肩部を
有する。
た、接触要素が、固定フィルム、弾性層等に摩擦工程ふ
うに保持されることが好ましい。接触要素の固定手段の
すべての実施例変型では、柔軟で電気的に不導材で構成
される点は共通である。このような固定手段は各々、接
触要素に送り通し開口を有し、送り通し開口の直径は、
接触要素の外径よりも小さい、ある区域では少なくとも
小さい。固定手段と接触要素間にこのように形成される
摩擦係合は、たとえば、試験手続き中でも、送り通し開
口における接触要素の軸方向変位が可能である大きさで
ある。固定手段の弾性の機能として、試験手続き中、固
定手段または接触要素が刺通する固定手段の領域にとっ
て、接触要素の縦延長部で偏向され得ることである。試
験手順が終了した後、前記接触要素はその開始位置に自
動的にばね復帰する。しかし、接触要素を送り通し開口
に保持する固定力も小さくて、送り通し開口の接触要素
は試験手順中軸方向に変位される。固定手段のすべての
典型的実施例は、固定力が少なくとも、接触要素がその
自重で送り通し開口が滑りでないような大きさである点
で共通である。
れる。
に説明する。以下説明する試験ヘッドは、試験点が小さ
くて連続して配置される電子部品を試験するため使用さ
れる。試験ヘッドは、たとえば、高精度プリント回路盤
および半導体ウェーハを電気的に試験する半導体の分野
で一般に使用できる。
配置される複数個の試験点3と同時に接触させる試験ヘ
ッド1の第1典型的実施例の詳細を示す略図である。試
験ヘッド1は、たとえば試験電圧源等からなる試験装置
の、接続要素11、たとえばプリント回路盤に、付属手
段9を用いて、着脱可能に接続される、接触させる装置
7からなる。この典型的実施例において、付属手段9は
雄ねじを備えるねじにより形成され、このねじは2つだ
け図1に例示されている。ねじは、ここで各ケースにお
いて試験ヘッド1の基体13のあけ孔に係合し、接続要
素11に設けられる(詳細に図示しない)ネジ付きあけ
孔にねじ込まれる。もちろん、付属手段はまた、ピン接
続、軸/ハブ接続として、またはクランプ、ばね等によ
り形成される。重要なことは、接続要素11のまた、接
触させる装置の凝集力が着脱可能接続により得られるこ
とである。そのため、付属手段は、2つの部品が互いに
分離されたとき破壊されない。
7、第2案内パネル19、および第3案内パネル21が
互いに平行にかつ互いに距離をおいて保持される、送り
通し孔15を有するスリーブ形状基体13からなる。試
験プローブとも言うピン形状接触要素25が軸方向変位
可能ふうに案内される、送り通し開口23が、案内パネ
ル17、19、および21に設けられる。図1による試
験ヘッドから見て、5つの接触要素のみが示されてい
る。ここで言う試験ヘッドは数千接触要素までよりな
る。接触要素25は、弾性、好ましくは、ばね弾性材、
たとえば、ばねメタルより構成され、ここでは座屈ワイ
ヤとして構成される。案内パネル17、19、及び21
は好ましくは、電気的に不導電材、たとえば、プラスチ
ック、ガラス、セラミックまたはシリコン等より構成さ
れる。(図示しない)他の典型的実施例では、接触要素
の案内は、案内パネルに代えまたはそれに加えて、厚み
が案内パネルの厚みより厚い案内要素からなる。
ぞれ第1案内パネル17および第2案内パネル19の、
接触要素25に割り当てられた送り通し開口23は互い
に平らに配置される。第1と第2案内パネル間の中間ス
ペースに配置される、第3案内パネル21の割り当てら
れた送り通し開口23は、案内パネル17、19の送り
通し開口23に対し分かれ出される。その結果、送り通
し開口23に配置される接触要素25は湾曲を有する
か、または湾曲形状を有する。接触要素25をそれらの
縦方向延長部に対し垂直に偏向することにより、接触要
素25と案内パネル17、19、及び21の割り当てら
れた送り通し開口23の少なくとも1つとの間に摩擦係
合が引き起こされる。接触要素25は、接触させる装置
7の基体13に摩擦によって排他的に保持される。この
ようにして接触要素25は送り通し開口23からの離脱
または滑り出だしを確実に防止される。
験点3に面する自由端27と、その接続要素11に面す
る自由端28とに、各ケースにおいてピン形状接触要素
25を先鋭にすることにより形成される接触先端29を
有する。接触要素25は、その試験点3から離れて面す
る自由端28を各ケースにおいて1つの割り当てられた
接触点31に押圧され、前記接触点31は、図1に示す
実施例において、試験装置の接続要素11に設けられ
る。接触要素25の自由端27は、各ケースにおいて、
試験中の部品5の1つの割り当てられた接触点3に押圧
される。
してさらに詳細に説明する:図1に示される、接触をさ
せる装置7の作用位置において、接触要素25は、試験
中の部品5の試験点3と、接続要素11の接触点11と
の両方と接触する。接触をさせる装置7と試験中の部品
5との間の相対移動の結果、接触要素25は案内パネル
19と21の送り通し開口23で軸方向に変位される。
第3案内パネル21の送り通し開口の分かれ出配置によ
りすでに湾曲されている接触要素は縦方向のピン形状接
触要素への圧力の付与により偏向される。接触要素の材
料の弾性により発生される回復力により、ここでその接
触先端29を、試験中の部品5の試験点3と接続要素1
1の接触点32とに押圧する結果、低電気接触抵抗が得
られる。そこで、試験点3の連続性と互いのそれらの絶
縁とを試験し、また試験中の部品の作用を試験すること
ができる。試験手順が終了した後、接触をさせる装置7
と試験中の部品5は互いに分離される。ついで偏向/湾
曲接触要素25は、それらの弾性のため、初期位置に自
動的に変位復帰される。
5の接触部として作用することが明らかになる。試験ヘ
ッドの(図示せざる)典型的実施例において、試験ヘッ
ド1の作動できる位置に、接触要素25が接触点31か
ら間隔をおいて配置される。その結果、試験点との接触
がなされると、接触要素25は、接触点31に当接する
程度まで最初軸方向に変位される。そこで、接触要素2
5をさらに曲げて、接触要素25の接触先端29をそれ
ぞれの試験点3またはそれぞれの接触点31に押圧する
接触力を発生できるだけである。
例は、きわめてコンパクトなデザインと、たとえば、試
験中の異なる部品および(または)試験パラメータに対
する高いレベルの適応性とにより識別される。
実施例の略図である。図1に相当する部品には同じ参照
符号が付され、それで、この点については、図1に係る
説明を参照されたい。以下では、異なる点についてのみ
詳細に説明する。
て、着脱可能ふうに接続され、この典型的実施例では、
接続要素11にねじにより形成され、また、要素に接触
点31が設けられる、試験装置の接続ヘッド33により
形成される。ねじは、ここで接続ヘッドに設けられる送
り孔を介し係合し、試験ヘッド1の基体13に設けたネ
ジ付きあけ孔にねじ込まれる。接触点31は各々、ライ
ン35の自由端に接続され、このラインは、直接または
(図示せざる)プラグ型コネクターに接続される。ライ
ン35は、接続ヘッド33の孔37に、固定、たとえ
ば、結合される。接触点31は、各ケースにおいて、ラ
イン35の自由端に接続され、このラインは(図示せざ
る)プラグ型コネクターを経てまたは直接試験装置に接
続される。ライン35は、接続ヘッド33の孔37に付
着、たとえば、結合される。
せる装置7が付属手段9を着脱することにより試験ヘッ
ド1の他の部品から容易に分離できる点で共通である。
そこで、接触要素25は送り通し孔15の2つの開口か
らアクセスでき、個々の接触要素の交換を容易にする。
接触要素25が案内パネル17、19、21の送り通し
開口23の少なくとも1つに摩擦係合することによりだ
けで保持されるため、前記要素25は送り通し開口から
容易に除去されて、新たな接触要素が挿入できる。
の送り通し開口に摩擦係合することにより、または案内
パネルのうち1つの送り通し開口に摩擦係合することに
よるだけで保持されるため、図1と図2を参照して説明
した試験ヘッド1は簡単な構成であるから、費用効果的
に製造できる。試験ヘッドを用いて、試験点がきわめて
小さくかつ、互いにわずかな距離をおいて配置されてい
る試験のため微構造部品を試験でき、接触要素と試験点
との間また接触要素と接触点との間の良好な電気的接触
が、先鋭接触要素および、それぞれ接触要素の接触先端
により、また高面圧によって達成される。
例の基本的概要を示す。同一部品には同一参照符号が付
され、それで、この点については前記図面を参照された
い。以下では、異なる点についてのみ詳細に説明する。
試験ヘッド1は、図1と図2による典型的実施例のよう
に、互いに距離をおいて配置されかつ、試験ヘッド1の
基体13の送り通し孔15に付着される3つの案内パネ
ル17、19、21からなる案内よりなる。この典型的
実施例では、互いに平らに配置される接触要素25の送
り通し開口23が、案内パネル17、19、21に設け
られている。このことは、各ケースで1つの接触要素に
割り当てられる送り通し開口23の縦軸線が、案内パネ
ルの仮想直線Gに前後に配置されることを意味し、この
線は図3の破線で示されている。この典型的実施例で
は、好ましくは柔軟材よりなる固定フィルム45により
形成される固定手段43は、案内パネル17と21間の
中間スペース41に配置される。固定フィルム45に
は、案内パネル17、19、21の送り通し開口23に
対し平らに配置され、また各ケースで、1つの接触要素
25が摩擦固定ふうに保持されている、送り通し開口4
7が設けられる。すなわち、送り通し開口47の直径
は、少なくともある区分では、接触要素の外径よりも小
さい。固定フィルム45は、二重矢印49の方向に案内
パネル17と21間で自由に移動できる。案内パネル1
7と21間の固定フィルム45の配置と、送り通し開口
47における接触要素の摩擦固定とにより、接触要素2
5は接触させる装置7からの滑りまたは離脱が防止され
る。勿論、固定フィルム45は、基体13の送り通し孔
15に非変位ふうに付着できるので、締め付け固定フィ
ルムのある区域のみが試験手順中偏向または曲げられ
る。
実施例変型において、第1と第2案内パネル17、19
の、各ケースにおいて接触要素25に割り当てられた送
り通し開口23は互いに平らに配置されること、および
案内パネル17、19間に配置される第3案内パネル2
1の送り通し開口23は他の案内パネルの送り通し開口
23に対し分かれ出されることを提供する。その結果、
送り通し開口に設けられる接触要素はその縦方向延長部
に垂直に偏向され、それで後者は円弧を持つことにな
る。その結果、接触要素は、圧力負荷を受けると偏向す
る、好ましい方向が付与される。言い換えれば、接触要
素の好ましい曲げ方向は、案内パネルまたはそこに設け
られる送り通し開口を互いに分かれ出すことにより設定
できる。試験ヘッドのこの実施例変型において、特に有
利なことは、取り付け状態において、接触要素の曲げ形
状は、接触要素を曲げるのに必要な力を排除する。固定
フィルム45の送り通し開口47も案内パネル17、1
9、21の少なくとも1つの送り通し開口23に対し分
かれ出て配置できる。
好ましくは柔軟材または弾性層より構成される、固定手
段43、すなわち、たとえば、固定フィルムが案内パネ
ル17、21の少なくとも1つに、たとえば、中間スペ
ース45に面するガイドパネル側に設けられる。その結
果、試験ヘッド1の製造、特に取り付けが簡単化でき
る。
1が着脱可能に付着される基体13と接触させる装置7
からなる試験ヘッド1のもう1つの典型的実施例の詳細
を示す。接続要素11に設けられる接触点31は、ここ
でリボンケーブル51を経て試験装置に接続される。こ
の典型的実施例において、接触させる装置7は、基体1
3の送り通し孔15に、互いに平行にかつ互いに距離を
おいて付着される、2つの案内パネル17、19のみか
らなる。案内パネル17、19に設けられる送り通し開
口23に、縦方向延長部のある区分における電気的絶縁
層53を備える接触要素25が配置される。絶縁層53
のため、接触要素25は、直径が大きい第1区分55
と、直径が小さい第2隣接区分57とを有する。そのた
め、直径差は、第1区分55の領域の絶縁層53により
引き起こされる。接触要素25は、案内パネル19のそ
れぞれ割り当てられた送り通し開口23における、直径
が小さい第2区分57により、また案内パネル17の送
り通し開口23における、直径が大きい区分55によ
り、軸方向に変位可能ふうに案内される。
23の直径は、第1区分55の領域における接触要素の
直径よりも小さい。これにより、接触要素25は、重力
作用により試験試料5の方向に接触させる装置7から離
脱できないようにする。試験試料5から離れて面する接
触させる装置7側で、ここで基体13の送り通し孔15
は、基要素13に着脱可能に付着される接続要素11に
より被覆されるから、接触要素25は同様に、離脱しな
い。
さい第2区分57は直径d2 を有し、これは、ここで接
触要素25の外径に相当する。図4から明らかなよう
に、第1区分の長さを選択するには、接触要素25の非
負荷状態において、すなわち、たとえば、2つの試験手
順間で、接触要素25の接触先端29と接続要素11上
の接触点31間に隙間Gを設けるようにする。試験ヘッ
ド1が試験試料に、またはその逆に、嵌合されると、接
触要素25は、接触先端19が接触点31に当接するま
で軸方向に変位される。接触要素25に圧力を加えるこ
とによって、それらは、案内パネル17と19間の中間
スペースでその縦方向延長部に対し横方向に変位され、
それで材料の弾性により発生される回復力により接触要
素の接触先端を試験点3と接触点31とに押圧する。
において、第2区分57の絶縁を除去することにより引
き起こされる。これは、接触要素25が最初、完全に絶
縁層を備え、これが再び、第2区分57において接触先
端で除去されることを意味する。しかし、また、直径差
のため、すなわち、接触要素の第1区分55から隣接第
2区分57までの段状遷移が、はじめから電気絶縁層が
第1区分55のみに付与されるために実現され得る。従
って、この絶縁は接触要素の限定長さにのみ付与され、
そのため、直径差は一作動で製造できるので、接触要素
の製造は簡単化できる。
的実施例の一実施例変型において、案内パネル17、1
9における、各ケースにおいて接触要素に割り当てられ
る送り通し開口23は、それらに設けられる接触要素が
曲げ形状を有するように互いに分かれ出て配置される。
その結果、曲げ力は完全に除去され、接触要素が、たと
えば、試験手順中、圧力がそれらの端部に加えられる
と、偏向される好ましい方向が予め限定される。
1のすべての典型的実施例は、接触要素25が、固定手
段を使用して、接触させる装置7内または上に、簡単で
費用効果的な方法で保持されて、接触要素が案内パネル
の送り通し開口から滑りでないようにする点で共通であ
る。たとえば、2つの案内パネルにより、互いに分かれ
出て配置される送り通し開口を形成し、接触要素が摩擦
固定、予曲げ捕捉ふうに保持される、固定手段の構成の
ため、接触要素は特に互いに近接して配置できるので、
試験点の狭い間隔構成を有する試験試料でも容易に試験
できる。さらにまた、特に有利なのは、接続要素11と
接触させる装置7が互いに着脱可能に接続される結果、
基体13の送り通し孔15に保持される接触要素25が
送り通し孔の両側から容易にアクセスできることであ
る。さらにまた、接触要素の実施例変型によっては、送
り通し孔15の両側の個々の接触要素を交換できる。
触させる装置を分離する可能性により各部品の1つを早
急に交換させる。加えて、試験ヘッドは、試験点の異な
る間隔構成を有する試験試料の複数個の実施例を試験す
るために使用できる。これをなすのに必要なことのすべ
ては、接触させる要素を、対応して異なるデザインであ
る接触させる要素と交換することである。
基本概略である。
る。
ある。
ある。
Claims (10)
- 【請求項1】 試験中の電気部品における、特に互いに
近接して配置されている試験点との接続を取るための接
触部材7を有する試験ヘッドであって、当該接触部材7
は、試験装置に於ける接続要素11に電気的に接続が可
能な複数の接触要素25を有しており、且つ当該個々の
接触要素25は少なくとも一つの案内パネルに設けられ
た個々の送り通し開口23内に配置されており、それに
よって、それぞれの接触要素25は当該案内パネルの個
々に割り当てられた当該送り通し開口23内に置いて軸
方向に移動可能な状態に構成されており、且つ当該接触
要素25のそれぞれの一端部は当該接続要素11に設け
られている接触点31の一つに対向する様に設けられて
おり、一方、当該接触要素25のそれぞれの他方の端部
は、試験中の電気部品の試験点の一つに対向せしめられ
る様に構成されており、然かも、当該個々の接触要素2
5は、直径の小さい第2の部分57と直径が大きい第1
の部分55とを有し、当該直径の差(d1−d2)は当
該第1の部分に形成される電気絶縁層53により達成さ
れるものであり、且つ当該接触要素25に於ける当該第
1の部分と第2の部分とはそれぞれ対応する第1と第2
の案内パネルに設けられた送り通し開口23’、23内
でそれぞれ軸方向に移動可能に案内されるものであり、
然かも当該第2の案内パネルに於ける送り通し開口2
3’の直径が当該接触要素25に於ける当該第1の部分
の外形d1よりも小さくなる様に設定されており、それ
によって、当該接触要素25は、当該案内パネルから離
脱しない様に構成された接触部材7であって、当該接触
部材7は複数のアタッチメント9によって当該接続要素
11と互いに着脱自在に接続されている事を特徴とする
試験ヘッド。 - 【請求項2】 当該直径の変化は当該第1の部分57の
絶縁層を除去することによって形成される事を特徴とす
る請求項1記載の試験ヘッド。 - 【請求項3】 当該直径の変化は当該第2の部分55に
絶縁層を付与することによって形成される事を特徴とす
る請求項1記載の試験ヘッド。 - 【請求項4】 当該接触要素25は弾性材により構成さ
れる事を特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載の試
験ヘッド。 - 【請求項5】 当該接触要素25は座屈ワイヤとして構
成される事を特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載
の試験ヘッド。 - 【請求項6】 当該接触要素25の当該試験点と対向す
る自由端部若しくは当該試験点と反対側の自由端部には
接触先端部29が設けられている事を特徴とする請求項
1乃至5の何れかに記載の試験ヘッド。 - 【請求項7】 当該試験点3と対向する当該接触要素2
5に於ける一方の端部27は、当該個々の対応する試験
点3に押圧せしめられるように構成されている事を特徴
とする請求項1乃至6の何れかに記載の試験ヘッド。 - 【請求項8】 当該試験点とは反対側にある当該接触要
素25に於ける他方の端部28は、当該試験装置と電気
的に接続を形成する為に、当該個々の対応する接触点3
1に押圧せしめられるように構成されている事を特徴と
する請求項1乃至7の何れかに記載の試験ヘッド。 - 【請求項9】 当該接触要素25の一端部が接触する当
該接触点31は、当該接触部材7に着脱自在に取付けら
れている当該接続要素11に設けられている事を特徴と
する請求項1乃至8の何れかに記載の試験ヘッド。 - 【請求項10】 当該案内パネルは、当該接触部材7の
外壁を構成する基体13の内部に形成される空間部内で
あって、当該外壁の側と、当該試験中の試料に対向して
いる側と当該接続要素11の側とで囲まれた空間部内に
設けられており、且つ当該接触要素25の第1の部分5
5は当該空間部内に設けられている事を特徴とする請求
項1乃至9の何れかに記載の試験ヘッド。
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