CN106783656B - 一种用于wat检测机的探针结构 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于WAT检测机的探针结构，包括压电陶瓷弯曲致动片，所述压电陶瓷弯曲致动片一端设置有探针，另一端设置在固定支架上；所述压电陶瓷弯曲致动片的正负接线处通过导线与电源电连接，所述电源与控制器电连接。本发明的有益效果是：用压电陶瓷弯曲致动片带动探针向下移动替代现有技术中微位移机构在电机作用下驱动晶圆盘向上移动；有效避免了微位移机构装配复杂，运动效率低，易磨损，且维修复杂的问题；且探针移动，移动负载小，有效提高探针与晶圆上待检测触点的接触精度，提高测试性能。

Description

一种用于WAT检测机的探针结构

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种用于WAT(晶圆验收测试)检测机的探针结构。

背景技术

现有WAT检测机的主流方案是：探针固定，当晶圆上待检测触点与探针在竖直方向对齐时，微位移机构在电机的作用下驱动晶圆盘垂直向上微运动，以实现探针与晶圆上待检测触点的接触，完成检测；此微位移机构有的采用丝杠导轨，有的采用凸轮，其装配复杂，运动效率低，易磨损，且维修复杂。

发明内容

本发明目的是提供一种用于WAT检测机的探针结构，解决现有技术中存在的上述问题。

本发明解决上述技术问题的技术方案如下：

一种用于WAT检测机的探针结构，包括压电陶瓷弯曲致动片，所述压电陶瓷弯曲致动片一端设置有探针，另一端设置在固定支架上；所述压电陶瓷弯曲致动片的正负接线处通过导线与电源电连接，所述电源与控制器电连接。

本发明的有益效果是：当晶圆上待检测触点与探针在竖直方向对齐时，控制器驱动电源给压电陶瓷弯曲致动片施加电压，压电陶瓷弯曲致动片在电压的驱动下向下弯曲，带动探针向下移动，以实现探针与晶圆上待检测触点接触，完成检测；用压电陶瓷弯曲致动片带动探针向下移动替代现有技术中微位移机构在电机作用下驱动晶圆盘向上移动；有效避免了微位移机构装配复杂，运动效率低，易磨损，且维修复杂的问题；且探针移动，移动负载小，有效提高探针与晶圆上待检测触点的接触精度，提高测试性能。

在上述技术方案的基础上，本发明还可以做如下改进。

进一步，所述固定支架包括固定板和连接板；所述连接板一端与所述固定板连接，另一端与位于其上方的第一固定盖板相配合夹紧所述压电陶瓷弯曲致动片；所述连接板上开设有与所述正负接线处的焊点相匹配的凹槽。

采用上述进一步方案的有益效果是，连接板上开设有凹槽，压电陶瓷弯曲致动片的正负接线处的焊点位于凹槽内，便于连接板与第一固定盖板相配合夹紧压电陶瓷弯曲致动片；且防止当连接板为金属材质时，与焊点接触导电；防止焊点裸露在外，受外界环境损伤。

进一步，所述连接板与所述第一固定盖板通过螺钉连接夹紧所述压电陶瓷弯曲致动片。

采用上述进一步方案的有益效果是，可通过调节螺钉改变连接板与第一固定盖板之间的距离，实现对压电陶瓷弯曲致动片夹紧的同时，不会损伤压电陶瓷弯曲致动片。

进一步，所述固定板、连接板和第一固定盖板的材质均为铝合金；所述连接板和第一固定盖板与所述压电陶瓷弯曲致动片相接触的接触面上均设置有隔离胶。

采用上述进一步方案的有益效果是，铝合金质轻且不易变形，保证探针与晶圆上待检测触点的接触精度；隔离胶防止铝合金材质的连接板和第一固盖板损伤压电陶瓷弯曲致动片，或与压电陶瓷弯曲致动片接触导电。

进一步，所述固定板为L型结构；所述固定板的一端与所述压电陶瓷弯曲致动片平行或共面，并与所述连接板固定连接；所述固定板的另一端与所述压电陶瓷弯曲致动片垂直设置，用于固定所述探针结构。

采用上述进一步方案的有益效果是，L型结构固定板利于探针结构的固定。

进一步，所述压电陶瓷弯曲致动片上设置有固定基板，所述固定基板与位于其上方的第二固定盖板相配合夹紧所述探针。

进一步，所述固定基板与所述第二固定盖板通过螺钉连接夹紧所述探针。

采用上述进一步方案的有益效果是，可通过调节螺钉改变固定基板与第二固定盖板之间的距离，实现对探针夹紧的同时，不会损伤探针。

进一步，所述固定基板通过环氧树脂固定在所述压电陶瓷弯曲致动片上。

采用上述进一步方案的有益效果是，采用环氧树脂固定，防止损伤压电陶瓷弯曲致动片。

进一步，所述导线上并联或串联有电流表。

采用上述进一步方案的有益效果是，当探针与晶圆上待检测触点接触时，探针受待检测触点反作用力，并进一步将此反作用力施加到压电陶瓷弯曲致动片，压电陶瓷弯曲致动片由于压电效应便会产生电流；在导线上并联或串联电流表，通过电流表的量测值折算出压电陶瓷弯曲致动片受探针与待检测触点接触的反作用力，获知探针与待检测触点接触的作用力，从而有效控制探针与待检测触点接触的作用力，保证探针与待检测触点有效接触的同时，不会损伤晶圆。

附图说明

图1为本发明一种用于WAT检测机的探针结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、压电陶瓷弯曲致动片，11、固定基板，12、第二固定盖板，2、探针，3、固定支架，31、固定板，32、连接板，33、第一固定盖板，321、凹槽，4、螺钉。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。

如图1所示，一种用于WAT检测机的探针结构，包括压电陶瓷弯曲致动片1，所述压电陶瓷弯曲致动片1一端设置有探针2，另一端设置在固定支架3上；所述压电陶瓷弯曲致动片1的正负接线处通过导线与电源电连接，所述电源与控制器电连接。

所述固定支架3包括固定板31和连接板32；所述连接板32一端与所述固定板31连接，另一端与位于其上方的第一固定盖板33相配合夹紧所述压电陶瓷弯曲致动片1；所述连接板32上开设有与所述正负接线处的焊点相匹配的凹槽321。所述连接板32与所述第一固定盖板33通过螺钉4连接夹紧所述压电陶瓷弯曲致动片1。所述固定板31、连接板32和第一固定盖板33的材质均为铝合金；所述连接板32和第一固定盖板33与所述压电陶瓷弯曲致动片1相接触的接触面上均设置有隔离胶。所述固定板31为L型结构；所述固定板31的一端与所述压电陶瓷弯曲致动片1平行或共面，并与所述连接板32通过螺钉4固定连接；所述固定板31的另一端与所述压电陶瓷弯曲致动片1垂直设置，用于固定所述探针结构。

所述压电陶瓷弯曲致动片1上设置有固定基板11，所述固定基板11与位于其上方的第二固定盖板12相配合夹紧所述探针2。所述固定基板11与所述第二固定盖板12通过螺钉4连接夹紧所述探针2。所述固定基板11通过环氧树脂固定在所述压电陶瓷弯曲致动片1上。

所述导线上并联或串联有电流表。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种用于WAT检测机的探针结构，其特征在于，包括压电陶瓷弯曲致动片(1)，所述压电陶瓷弯曲致动片(1)一端设置有探针(2)，另一端设置在固定支架(3)上；所述压电陶瓷弯曲致动片(1)的正负接线处通过导线与电源电连接，所述电源与控制器电连接；

所述固定支架(3)包括固定板(31)和连接板(32)；所述连接板(32)一端与所述固定板(31)连接，另一端与位于其上方的第一固定盖板(33)相配合夹紧所述压电陶瓷弯曲致动片(1)；所述连接板(32)上开设有与所述正负接线处的焊点相匹配的凹槽(321)；

所述固定板(31)、连接板(32)和第一固定盖板(33)的材质均为铝合金；所述连接板(32)和第一固定盖板(33)与所述压电陶瓷弯曲致动片(1)相接触的接触面上均设置有隔离胶。

2.根据权利要求1所述一种用于WAT检测机的探针结构，其特征在于，所述连接板(32)与所述第一固定盖板(33)通过螺钉(4)连接夹紧所述压电陶瓷弯曲致动片(1)。

3.根据权利要求1所述一种用于WAT检测机的探针结构，其特征在于，所述固定板(31)为L型结构；所述固定板(31)的一端与所述压电陶瓷弯曲致动片(1)平行或共面，并与所述连接板(32)固定连接；所述固定板(31)的另一端与所述压电陶瓷弯曲致动片(1)垂直设置，用于固定所述探针结构。

4.根据权利要求1所述一种用于WAT检测机的探针结构，其特征在于，所述压电陶瓷弯曲致动片(1)上设置有固定基板(11)，所述固定基板(11)与位于其上方的第二固定盖板(12)相配合夹紧所述探针(2)。

5.根据权利要求4所述一种用于WAT检测机的探针结构，其特征在于，所述固定基板(11)与所述第二固定盖板(12)通过螺钉(4)连接夹紧所述探针(2)。

6.根据权利要求4所述一种用于WAT检测机的探针结构，其特征在于，所述固定基板(11)通过环氧树脂固定在所述压电陶瓷弯曲致动片(1)上。

7.根据权利要求1至6任一所述一种用于WAT检测机的探针结构，其特征在于，所述导线上并联或串联有电流表。