JP3215068B2 - 高飽和磁束密度Fe系軟磁性合金 - Google Patents
高飽和磁束密度Fe系軟磁性合金Info
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Description
ンス、チョークコイル等に用いられる軟磁性合金に関す
るものであり、特に、高飽和磁束密度で軟磁気特性に優
れたFe系軟磁性合金に関する。
ル等に用いられる軟磁性合金において一般的に要求され
る諸特性は以下の通りである 飽和磁束密度が高いこと。 透磁率が高いこと。 低保磁力であること。 薄い形状が得やすいこと。
に記載の特性の他に耐摩耗性の観点から以下の特性が要
求される。 硬度が高いこと。
造する場合、これらの観点から種々の合金系において材
料研究がなされている。従来、前述の用途に対しては、
センダスト、パーマロイ、けい素鋼等の結晶質合金が用
いられ、最近ではFe基およびCo基の非晶質合金も使用
されるようになってきている。
場合、高記録密度化に伴う磁気記録媒体の高保磁力化に
対応するため、より好適な高性能磁気ヘッド用の磁性材
料が望まれている。またトランス、チョークコイルの場
合は、電子機器の小型化に伴い、より一層の小型化が必
要であるため、より高性能の磁性材料が望まれている。
性には優れるものの、飽和磁束密度が約11KGと低い
欠点があり、パーマロイも同様に、軟磁気特性に優れる
合金組成においては、飽和磁束密度が約8KGと低い欠
点があり、けい素鋼は飽和磁束密度は高いものの軟磁気
特性に劣る欠点がある。
軟磁気特性に優れるものの飽和磁束密度が10KG程度
と不十分である。また、Fe基合金は飽和磁束密度が高
く、15KGあるいはそれ以上のものが得られるが、軟
磁気特性が不十分である。また、非晶質合金の熱安定性
は十分ではなく、未だ未解決の面がある。前述のごとく
高飽和磁束密度と優れた軟磁気特性を兼備することは難
しい。
和磁束密度と、23200以上の優れた実効高透磁率を
兼備し、かつ高い機械強度と高い熱安定性を併せ持つ高
飽和磁束密度Fe系軟磁性合金、あるいは、15.3kG
以上の高い高飽和磁束密度と、33800以上の更に優
れた実効高透磁率を兼備し、かつ高い機械強度と高い熱
安定性を併せ持つ高飽和磁束密度Fe系軟磁性合金を提
供することである。
の特別な組成を有したものであり、従来実用合金と同程
度あるいはより優れた軟磁気特性を有し、しかも高い飽
和磁束密度を併せ持ち、かつ高い機械強度と高い熱安定
性を併せ持つFe系軟磁性合金を得ることに成功し、本
発明に想到した。
密度Fe系軟磁性合金は前記課題を解決するために、次
式で示される組成からなり、飽和磁束密度Bsが15K
G以上、かつ、1kHzにおける実効透磁率が2320
0以上であり、非晶質相と非晶質相から熱処理により析
出させたbcc構造のFeの微細結晶粒を主体としてな
ることを特徴とする。 (Fe1-a Co a)b Bx Zry
Cuz ただし、a≦0.05、84原子%≦b≦92原子%、2
原子%≦x≦8原子%、4原子%≦y≦8原子%、1原子
%≦z≦3原子%の関係を満足するものとする。
磁性合金は前記課題を解決するために、次式で示される
組成からなり、飽和磁束密度Bsが15kG以上、か
つ、1kHzにおける実効透磁率が23200以上であ
り、非晶質相と非晶質相から熱処理により析出させたb
cc構造のFeの微細結晶粒を主体としてなることを特
徴とする。 Feb Bx Zry Cuz ただし、84原子%≦b≦92原子%、2原子%≦x≦8
原子%、4原子%≦y≦8原子%、1原子%≦z≦3原子
%の関係を満足するものとする。
磁性合金は、前記課題を解決するために、次式で示され
る組成からなり、飽和磁束密度Bsが15kG以上、か
つ、1kHzにおける実効透磁率が33800以上であ
り、非晶質相と非晶質相から熱処理により析出させたb
cc構造のFeの微細結晶粒を主体としてなることを特
徴とする。 (Fe1-a Co a)b Bx Ty Cuz ただし、Tは、ZrとNbからなり、a≦0.05、84
原子%≦b≦92原子%、2原子%≦x≦8原子%、4原
子%≦y≦8原子%、1原子%≦z≦3原子%、0≦Zr
/Nb≦4の関係を満足するものとする。更に本発明に
係る高飽和磁束密度Fe系軟磁性合金は、前記課題を解
決するために、次式で示される組成からなり、飽和磁束
密度Bsが15kG以上、かつ、1kHzにおける実効
透磁率が33800以上であり、非晶質相と非晶質相か
ら熱処理により析出させたbcc構造のFeの微細結晶
粒を主体としてなることを特徴とする。 Feb Bx Ty
Cuz ただし、Tは、ZrとNbからなり、84原子%≦b≦
92原子%、2原子%≦x≦8原子%、4原子%≦y≦8
原子%、1原子%≦z≦3原子%、0≦Zr/Nb≦4
の関係を満足するものとする。また、前記組成におい
て、2/3≦Zr/Nb≦4の関係を満足することが好
ましい。
る。本発明の高飽和磁束密度Fe系軟磁性合金は、前記
組成の非晶質合金あるいは非晶質相を含む結晶質合金を
溶湯から急冷することにより得る工程と、スパッタ法あ
るいは蒸着法等の気相急冷法により得る工程と、これら
の工程で得られたものを加熱して冷却し、微細な結晶粒
を析出させる熱処理工程とによって通常得ることが出来
る。
ためには、非晶質形成能の高いZrを含む必要がある。
またZrはその一部を他の4A〜6A族 元素のうち、N
bと置換することが出来る。
効果、および前記熱処理工程において磁気特性に悪影響
を及ぼす化合物相の生成を抑制する効果があると考えら
れ、このためB添加は必須である。前記Zr、Nbは、合
金溶湯から急冷した場合に非晶質相を得るために重要な
元素であり、この非晶質相から熱処理によりFeの微結
晶粒を析出させて15kG以上の高い飽和磁束密度Bs
と23200以上の高い透磁率を両立するために重要で
ある。Zr、またはこれに加えてNbを添加する場合、4
原子%以上、8原子%以下の範囲でこれらの元素を添加
しないと必要量の非晶質相を得ることができない。ま
た、前述の如くBも非晶質形成能があるので、Zr、Nb
とともに非晶質生成に寄与するが、必要以上に添加する
と透磁率を低下させるので、添加量を2原子%以上、8
原子%未満とする必要がある。
む必要がある。Cuの添加量が1原子%より少ないか、
3原子%より多いと前記の熱処理工程により優れた軟磁
気特性を得ることが難しい。
善される機構については明らかではないが、結晶化温度
を示差熱分析法により測定したところ、Cuを添加した
合金の結晶化温度は、添加しない合金に比べてやや低い
温度であると認められた。これは前記元素の添加により
非晶質相が不均一となり、その結果、非晶質相の安定性
が低下したことに起因すると考えられる。また不均一な
非晶質相が結晶化する場合、部分的に結晶化しやすい領
域が多数でき不均一核生成するため、得られる組織が微
細結晶粒組織となると考えられる。また特にFeに対す
る 固溶度が著しく低い元素であるCuの場合、相分離傾
向があるため、加熱により ミクロな組成ゆらぎが生
じ、非晶質相が不均一となる傾向がより顕著になると考
えられ、組織の微細化に寄与するものと考えられる。ま
た、Cuの他に、Feに対する固溶限が小さい元素にも同
様の効果が期待できる。
性合金に含まれる合金元素の限定理由を説明したが、そ
の他、H,N,O,S等の不可避的不純物については所望
の特性が劣化しない程度に含有していても良いのは勿論
である。
e,Co量のbは、92原子%以下である。これは、後述す
るようにbが92原子%を越えると高い透磁率が得られ
ないためであるが、飽和磁束密度10kG以上を得るた
めには、bが75原子%以上必要であり、飽和磁束密度
15kG以上を得るためには、他の添加元素の添加範囲
を満たした上でできるだけ多く含有させることが必要で
あり、他の添加元素の量も鑑みると84原子%を超える
量を含有させることで後述する実施例で示す如く15k
G以上の飽和磁束密度を容易に得ることができる。
合金の組成限定理由について実施例をもって詳細に説明
する。
急冷法により作成した。すなわち、1つの回転している
鋼製ロール上におかれたノズルより溶融金属をアルゴン
ガスの圧力により前記ロール上に噴出させ、急冷して薄
帯を得る。以上のように作成した薄帯の幅は約15mmで
あり、厚さは約20〜40μmであった。
径5mmのリング状とし、これを積み重ねたものに巻線
し、インダクタンス法により測定した。実効透磁率(μ
e)の測定条件は10mOe,1KHzとした。保磁力(Hc)
は、直流B−Hループトレーサにより測定し、飽和磁束
密度(Bs)はVSMにて10kOeで測定した磁化より算
出した。なお、特に規定しない限り、以下に示す実施例
では、500〜700℃の温度で1時間保持後、水焼入
れした後の磁気特性を示す。
およぼす熱処理の効果について本発明合金の一つである
Fe86Zr7B6Cu1合金を例にとって以下に説明する。な
お、昇温速度毎分10℃の示差熱分析により求めたFe
86Zr7B6Cu1合金の結晶化開始温度は503℃であっ
た。
率に及ぼす熱処理(各温度で1時間保 持後水焼入れ)の
効果を示す。
して薄帯にした状態)における本合金の実効透磁率は、
Fe基非晶質合金程度の低い値を示すが、500〜62
0℃の熱処理(特に説明しない限り各温度で1時間保持
後水焼入れ)により、急冷状態(RQ)の10倍程度の
高い値に増加している。ここで、600℃熱処理後の厚
さ約20μmの試料について透磁率の周波数依存を調べ
たところ1KHzで32000、10KHzで2560
0、更に100KHzで8330と、高い測定周波数に
おいても優れた軟磁気特性を示した。また、透磁率に及
ぼす冷却速度の影響を調べたところ、600℃で1時間
保持後、水焼入れにより急冷した本合金の実効透磁率3
2000に対し、空冷した場合、その値は18000と
なり、熱処理後の冷却速度が重要であることが判明し
た。
件を適当に選ぶことにより調整することができ、また磁
場中熱処理などにより磁気特性を改善することもでき
る。次に、Fe86Zr7B6Cu1合金の熱処理前後の構造の
変化をX線回折法により調べ、熱処理後の組織を透過電
子顕微鏡を用いて観察し、結果をそれぞれ図2と図3に
示す。
薄帯にした状態)では非晶質に特有のハローな回折図形
が、熱処理(各温度で1時間保持後水焼入れ)後には体
心立方晶(bcc)に独特の回折図形がそれぞれ認めら
れ、本合金の構造が熱処理により、非晶質から体心立方
晶へと変化したことがわかる。そして図3より、熱処理
後の組織が、粒径約100オングストローム程度の微結
晶から成ることがわかる。また、Fe86Zr7B6Cu1合金
について熱処理(各温度で1時間保持後水焼入れ)前後
の硬さの変化を調べたところ、ビッカース硬さで急冷状
態(溶融金属を急冷して薄帯にした状態)の740DP
Nから650℃熱処理後には1390DPNと従来材料
にない高い値まで増加し、磁気ヘッド用材料に好適であ
ることも判明した。
有する非晶質合金を加熱後に冷却する熱処理により結晶
化させ、超微細結晶粒を主とする組織を得ることによ
り、高飽和磁束密度でかつ軟磁気特性に優れ、更に高い
硬さと高い熱安定性を有する優れた特性を得ることがで
きる。
させた場合の実施例を示す。後に記載 する表1は焼鈍
後あるいは各温度で1時間保持後水焼入れ後の磁気特性
を示し、図4は各温度で1時間保持後水焼入れ後の磁気
特性を示す。
で高透磁率が得やすいことがわかる。また、Zr量が4
原子%以下では10000以上の実効透磁率が得られ
ず、10原子%を超えると透磁率が急激に低下するとと
もに飽和磁束密度も低下するため好ましくない。そこ
で、本発明合金におけるZr含有量は、少なくとも4〜
10原子%の範囲の中から選択される必要があることが
判明した。
%の範囲で実効透磁率10000以上の高透磁率が得や
すいことがわかり、このためB含有量は、少なくとも
0.5〜16原子%の範囲から選択される必要があるこ
とが判明した。またZr,B量が前記範囲にあっても、F
e量が92原子%を超えると高い透磁率が得られないた
め、本発明合金におけるFe+Co含有量(b)は92原子
%以下とした。
12、13、14、15、16、22は、目的とする飽
和磁束密度15KG以上を得ることができた実施例であ
る。これらの実施例により、B量は2原子%以上、8原
子%以下を満たしていると飽和磁束密度15KG以上を
得ることができることがわかる。更に、表1において、
Zr量が4〜8原子%の範囲であって、B量が2〜8原
子%の範囲の中の例であっても、本発明で目的とする飽
和磁束密度15KG以上を得ることができない例が見ら
れる。第1に、No.1、2、5、6、18、19、2
0、21の試料は、Bを10〜16原子%含有させた試
料であるが、飽和磁束密度15KG以上を得ることがで
きていない例である。これらの例から、B量の含有範囲
は2原子%以上、8原子%未満であることが必要なこと
がわかる。第2に、No.26、27、28、29はZ
r量を9〜10原子%含有させた試料であるが、飽和磁
束密度15KG以上を得ることができていない例であ
る。これらの例から、Zr量の範囲は4原子%以上、8
原子%以下であることが必要なことがわかる。なお、こ
れらの組成を満たした上で、より高い透磁率を得るよう
にすると、試料No.4、7、9、12、13、14、
15、16、22において、18300以上であり、最
大の試料では32400の優れた透磁率が得られる。
r-B-Cu合金のZrの一部をNbで置換する場合について
説明する。
の一部を1〜5原子%のNbで置換した場合の結果を後
記する表2に示す。また、図5はNb添加量を3原子%
としたFe-Zr-Nb-B-Cu系合金の水焼入後の磁気特性
を示したものである。
Nbの量は、Fe-Zr-B-Cu系合金におけるZrの場合と
同じ4〜8原子%であり、この範囲ではFe-Zr-B-Cu
系合金と同等の高い実効透磁率が得られている。従っ
て、Fe-Zr-B-Cu合金のZrの一部はNbで置換するこ
とが可能である。ただし、表2のNo.53の試料は、
Bを本発明範囲外の10原子%以上含有させた試料であ
るが、目的とする飽和磁束密度15kG以上の値を達成
できていない例である。
3の試料は、Zr+Nbの量を本発明範囲外の9原子%以
上とした試料であるが、目的とする飽和磁束密度15K
G以上の値を達成できていない例である。更に、これら
の組成を満たした上で、より高い透磁率を得るようにす
ると、試料No.39、40、45において、3380
0〜37400の優れた透磁率を得ることができる。
も大きな意味をなしている。すなわち、原子%における
Zr/Nbの値が2/3〜4の範囲内である、表2のN
o.38(Zr/Nb=4)、39(Zr/Nb=
2)、40(Zr/Nb=4/3)、43(Zr/Nb
=2/3)においては、目的とする飽和磁束密度15k
G以上の値を達成できている。特に、Zr/Nbの値を
1〜2としたNo.39(Zr/Nb=2)、40(Z
r/Nb=4/3)、45(Zr/Nb=1)の試料で
は、1kHzにおいて30000以上の透磁率が得られ
ている。従って、15kG以上の飽和磁束密度と300
00以上の透磁率を両立させるためには、Zr/Nbの
値を1以上、2以下とすることが好ましいことがわか
る。以上のことから、ZrとNbを添加した系において
も、これらを合計で4原子%以上、8原子%以下、更
に、B量を2原子%以上、8原子%未満として冷却速度
を高くすることで目的とする飽和磁束密度15kG以上
の値を達成できることが明らかである。
含有量の限定理由について説明する。実施例として図6
に、Fe87-xZr4Nb3B6Cux合金のCu量と透磁率の関
係を示し、図7にFe88Cu1B3Zr8なる組成の軟磁性合
金(表1のNo.22の試料、透磁率29800)の透
磁率と冷却速度の関係を示す。
効透磁率の高い優れた軟磁気特性が得やすいことがわか
る。また、図7から、100℃/分を超える冷却速度、
例えば水焼き入れで冷却することにより始めて本願合金
が高い透磁率を示すことが明らかであり、空冷、焼鈍な
どのように冷却速度が遅い場合は目的の透磁率を得るこ
とができないことも明らかである。
含有量の限定理由について説明する。実施例として(Fe
1-a-Co a)86Zr4Nb3B6Cu1合金のCo量(a)と透磁率
の関係を図8に示す。
ては高い実効透磁率を示すが、0.05を超える範囲で
は実効透磁率が急激に低下し実用上好ま しくない。よ
って、本発明合金におけるCo含有量(a)は、0.05以
下とした。
和磁束密度Bsが15kG以上であって、透磁率232
00以上であり、非晶質相と非晶質相から熱処理により
析出させたbcc構造のFeの微細結晶粒を主体として
なり、高い飽和磁束密度と実用上十分な透磁率を兼ね備
えたFe系軟磁性合金を提供することができる。しかも
本発明の高飽和磁束密度Fe系軟磁性合金は、高い機械
強度を有し、高い熱安定性も兼ね備えている。また、本
発明によれば、飽和磁束密度Bsが15.3kG以上で
あって、透磁率33800以上であり、非晶質相と非晶
質相から熱処理により析出させたbcc構造のFeの微
細結晶粒を主体としてなり、高い飽和磁束密度と高い透
磁率を兼ね備えたFe系軟磁性合金を提供することがで
きる。以上のことから本発明の高飽和磁束密度Fe系軟
磁性合金は、磁気記録媒体の高保磁力化に対応すること
が必要な磁気ヘッド、より一層の小型化が要求されてい
るトランス、チョークコイル用として好適であって、こ
れらの用途に供した場合、これらの性能の向上と小型軽
量化をなしえる効果がある。
温度の関係を示すグラフである。
変化を示すX線回折図形を示すグラフである。
示す顕微鏡写真の模式図である。
量を変化させた場合の磁気特性を 示す三角組成図であ
る。
量を変化させた場合の磁気特性を 示す三角組成図であ
る。
磁率の関係を示すグラフである。
である。
磁率との関係を示すグラフである。
Claims (5)
- 【請求項1】 次式で示される組成からなり、飽和磁束
密度Bsが15kG以上、かつ、1kHzにおける実効
透磁率が23200以上であり、非晶質相と非晶質相か
ら熱処理により析出させたbcc構造のFeの微細結晶
粒を主体としてなることを特徴とする高飽和磁束密度F
e系軟磁性合金。 (Fe1-a Co a)b Bx Zry Cuz ただし、a≦0.05、84原子%≦b≦92原子%、2
原子%≦x≦8原子%、4原子%≦y≦8原子%、1原子
%≦z≦3原子%の関係を満足するものとする。 - 【請求項2】 次式で示される組成からなり、飽和磁束
密度Bsが15kG以上、かつ、1kHzにおける実効
透磁率が23200以上であり、非晶質相と非晶質相か
ら熱処理により析出させたbcc構造のFeの微細結晶
粒を主体としてなることを特徴とする高飽和磁束密度F
e系軟磁性合金。 Feb Bx Zry Cuz ただし、84原子%≦b≦92原子%、2原子%≦x≦8
原子%、4原子%≦y≦8原子%、1原子%≦z≦3原子
%の関係を満足するものとする。 - 【請求項3】 次式で示される組成からなり、飽和磁束
密度Bsが15.3kG以上、かつ、1kHzにおける
実効透磁率が33800以上であり、非晶質相と非晶質
相から熱処理により析出させたbcc構造のFeの微細
結晶粒を主体としてなることを特徴とする高飽和磁束密
度Fe系軟磁性合金。 (Fe1-a Co a)b Bx Ty Cuz ただし、Tは、ZrとNbからなり、a≦0.05、84
原子%≦b≦92原子%、2原子%≦x≦8原子%、4原
子%≦y≦8原子%、1原子%≦z≦3原子%、Zr/N
b≦4の関係を満足するものとする。 - 【請求項4】 次式で示される組成からなり、飽和磁束
密度Bsが15.3kG以上、かつ、1kHzにおける
実効透磁率が33800以上であり、非晶質相と非晶質
相から熱処理により析出させたbcc構造のFeの微細
結晶粒を主体としてなることを特徴とする高飽和磁束密
度Fe系軟磁性合金。 Feb Bx Ty Cuz ただし、Tは、ZrとNbからなり、84原子%≦b≦
92原子%、2原子%≦x≦8原子%、4原子%≦y≦8
原子%、1原子%≦z≦3原子%、Zr/Nb≦4の関
係を満足するものとする。 - 【請求項5】 前記組成において、2/3≦Zr/Nb
≦4の関係を満足することを特徴とする請求項3または
請求項4に記載の高飽和磁束密度Fe系軟磁性合金。
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|---|---|---|---|
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| JP2-108308 | 1990-04-24 | ||
| JP12480497A JP3215068B2 (ja) | 1990-04-24 | 1997-04-28 | 高飽和磁束密度Fe系軟磁性合金 |
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1997
- 1997-04-28 JP JP12480497A patent/JP3215068B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1060608A (ja) | 1998-03-03 |
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