JP2857257B2 - 高飽和磁束密度Fe系軟磁性合金 - Google Patents

高飽和磁束密度Fe系軟磁性合金

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JP2857257B2 JP3022791A JP2279191A JP2857257B2 JP 2857257 B2 JP2857257 B2 JP 2857257B2 JP 3022791 A JP3022791 A JP 3022791A JP 2279191 A JP2279191 A JP 2279191A JP 2857257 B2 JP2857257 B2 JP 2857257B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ヘッド、トラン
ス、チョークコイル等に用いられる軟磁性合金に関する
ものであり、特に、高飽和磁束密度で軟磁気特性に優れ
たFe系軟磁性合金に関する。
【0002】
【従来の技術】磁気ヘッド、トランス 、チョークコイ
ル等に用いられる軟磁性合金において一般的に要求され
る諸特性は以下の通りである 飽和磁束密度が高いこと。 透磁率が高いこと。 低保磁力であること。 薄い形状が得やすいこと。
【0003】また、磁気ヘッドに対しては、前記〜
に記載の特性の他に耐摩耗性の観点から以下の特性が要
求される。 硬度が高いこと。
【0004】従って軟磁性合金あるいは磁気ヘッドを製
造する場合、これらの観点から種々の合金系において材
料研究がなされている。従来、前述の用途に対しては、
センダスト、パーマロイ、けい素鋼等の結晶質合金が用
いられ、最近ではFe基およびCo基の非晶質合金も使用
されるようになってきている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかるに磁気ヘッドの
場合、高記録密度化に伴う磁気記録媒体の高保磁力化に
対応するため、より好適な高性能磁気ヘッド用の磁性材
料が望まれている。またトランス、チョークコイルの場
合は、電子機器の小型化に伴い、より一層の小型化が必
要であるため、より高性能の磁性材料が望まれている。
【0006】ところが、前記のセンダストは、軟磁気特
性には優れるものの、飽和磁束密度が約11KGと低い
欠点があり、パーマロイも同様に、軟磁気特性に優れる
合金組成においては、飽和磁束密度が約8KGと低い欠
点があり、けい素鋼は飽和磁束密度は高いものの軟磁気
特性に劣る欠点がある。
【0007】一方、非晶質合金において、Co基合金は
軟磁気特性に優れるものの飽和磁束密度が10KG程度
と不十分である。また、Fe基合金は飽和磁束密度が高
く、15KGあるいはそれ以上のものが得られるが、軟
磁気特性が不十分である。また、非晶質合金の熱安定性
は十分ではなく、未だ未解決の面がある。前述のごとく
高飽和磁束密度と優れた軟磁気特性を兼備することは難
しい。また、特開平1−242755号公報の第1表と
第2表の実施例の組成に開示されている如く、Fe 74-82
M' 8.0-15.0 5.1-15.0 0.5-10.1 なる組成系(ただ
し、M'はNb,Ta,Zr,Hf,Ti,Moの少なくとも1種、
AはCuまたはAgを示す)において、耐食性に優れ、1
MHzにおける透磁率の高いものが知られ、しかも、こ
の組成系において具体的にFe 80 Nb 10 9 Cu 1 なる組
成のものは、飽和磁束密度12.2kG、1kHzにお
ける実効透磁率21000であることが知られている。
ところが、この公報に記載の各試料のFeの含有量は7
4〜82原子%のものであり、この他のFe含有量の試
料についての軟磁気特性の開示や示唆は一切見られない
上に、この系の組成においても飽和磁束密度と実効透磁
率の値は未だ不 十分な面がある。
【0008】本発明の目的は、Feを高濃度で含む組成
系において、15kG以上の高い高飽和磁束密度と1k
Hzで26500以上の高い実効高透磁率を兼備し、か
つ高い機械強度と高い熱安定性を併せ持つFe系軟磁性
合金を提供することである。
【0009】本発明は前記問題点を解決するために以下
の組成を有したものであり、従来実用合金と同程度ある
いはより優れた軟磁気特性を有し、しかも高い飽和磁束
密度を併せ持つFe系軟磁性合金を得ることに成功し、
本発明に想到した。
【0010】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の高飽和
磁束密度Fe系軟磁性合金は前記課題を解決するため
に、次式で示される組成からなり、飽和磁束密度Bsが
15kG以上、1kHzにおける実効透磁率μeが26
500以上であって、非晶質相と非晶質相から熱処理に
より析出させたbcc構造のFeの微細結晶粒を主体と
してなり、前記Feの微細結晶粒が前記非晶質相を50
0〜700℃に加熱後に冷却されて析出されたものであ
ることを特徴とする。 (Fe1-a Co abxy Cuz ただしTは、Zr,Hf,Nbからなる群から選ばれた1種
又は2種以上の元素であり、かつ、Zr,Hfのいずれ
か、又は両方を必ず含み、a≦0.05、84原子%<b
≦92原子%、2原子%≦x<8原子%、4原子%≦y≦
8原子%、1原子%≦z≦3原子%である。
【0011】請求項2に記載の高飽和磁束密度Fe系軟
磁性合金は前記課題を解決するために、次式で示される
組成からなり、飽和磁束密度Bsが15kG以上、1k
Hzにおける実効透磁率μeが26500以上であっ
て、非晶質相と非晶質相から熱処理により析出させたb
cc構造のFeの微細結晶粒を主体としてなり、前記Fe
の微細結晶粒が前記非晶質相を500〜700℃に加熱
に冷却されて析出されたものであることを特徴とす
る。 Febxy Cuz ただしTは、Zr,Hf,Nbからなる群から選ばれた1種
又は2種以上の元素であり、かつ、Zr,Hfのいずれ
か、又は両方を必ず含み、84原子%<b≦92原子
%、2原子%≦x<8原子%、4原子%≦y≦8原子%、
1原子%≦z≦3原子%である。請求項3に記載の高飽
和磁束密度Fe系軟磁性合金は、前記Feの微細結晶粒が
前記非晶質相を加熱後に100℃/分を超える冷却速度
で冷却されて析出されたものであることを特徴とする。
【0012】請求項4に記載の高飽和磁束密度Fe系軟
磁性合金は前記課題を解決するために、前記の組成式に
おいてFeの組成比を示すbが、85原子%<b<91原
子%の関係を満足し、元素Tの組成比を示すyが、6原
子%≦y≦8原子%の関係を満足することを特徴とす
る。請求項に記載の高飽和磁束密度Fe系軟磁性合金
は、請求項1または2に記載の前記Feの微細結晶粒が
前記非晶質相を加熱後に水焼入されて析出されたもので
あることを特徴とする。請求項6に記載の高飽和磁束密
度Fe系軟磁性合金は、前記の組成式においてBの組成
比を示すxが、2原子%≦x<5.0原子%の関係を満足
し、飽和磁束密度Bsが15.4kG以上、1kHzに
おける実効透磁率μeが29800以上であることを特
徴とする。
【0013】以下に本発明を更に詳細に説明する。本発
明の高飽和磁束密度Fe系軟磁性合金は、前記組成の非
晶質合金あるいは非晶質相を含む結晶質合金を溶湯から
急冷することにより得る工程と、スパッタ法あるいは蒸
着法等の気相急冷法により得る工程と、これらの工程で
得られたものを加熱して冷却し、微細な結晶粒を析出さ
せる熱処理工程とによって通常得ることが出来る。
【0014】本発明において、非晶質相を得やすくする
ためには、非晶質形成能の高いZr、Hfのいずれかを含
む必要がある。またZr、Hfはその一部を他の4A〜6
A族元素のうち、Nbと置換することが出来る。
【0015】Bには本発明合金の非晶質形成能を高める
効果、および前記熱処理工程において磁気特性に悪影響
を及ぼす化合物相の生成を抑制する効果があると考えら
れ、このためB添加は必須である前記Zr、Hf、Nb
は、合金溶湯から急冷した場合に非晶質相を得るために
重要な元素であり、この非晶質相から熱処理によりFe
の微結晶粒を析出させて飽和磁束密度Bsが15kG以
上、1kHzにおける実効透磁率μeが26500以上
を両立するために重要である。ZrとHfのいずれか、ま
たはこれらに加えてNbを添加する場合、4原子%以
上、8原子%以下の範囲でこれらの元素を添加しないと
必要量の非晶質相を得ることができない。更に、これら
の元素を含有させる場合に6原子%以上、8原子%以下
の範囲がより好ましい。また、前述の如くBも非晶質形
成能があるので、Zr、Hf、Nbとともに非晶質生成に
寄与するが、必要以上に添加すると透磁率を低下させる
ので、添加量を2原子%以上、8原子%未満とする必要
がある。更に、本発明合金においては、熱処理時の冷却
速度も重要であり、100℃/分を超える冷却速度とす
ることで、飽和磁束密度Bsが15kG以上、1kHz
における実効透磁率μeが26500以上を確実に両立
できる。これは、前記の如く添加元素量を調整して充分
な非晶質相を得た上で、この非晶質相からbcc構造の
Feの微細結晶粒を必要量だけ析出させるために必要充
分な冷却速度が要求されるためである
【0016】本発明においては、Cuを1〜3原子%含
む必要がある。Cuの添加量が1原子%より少ないか、
3原子%より多いと前記の熱処理工程により優れた軟磁
気特性を得ることが難しい。
【0017】Cuの添加により、軟磁気特性が著しく改
善される機構については明らかではないが、結晶化温度
を示差熱分析法により測定したところ、Cuを添加した
合金の結晶化温度は、添加しない合金に比べてやや低い
温度であると認められた。これは前記元素の添加により
非晶質相が不均一となり、その結果、非晶質相の安定性
が低下したことに起因すると考えられる。また不均一な
非晶質相が結晶化する場合、部分的に結晶化しやすい領
域が多数でき不均一核生成するため、得られる組織が微
細結晶粒組織となると考えられる。また特にFeに対す
る固溶度が著しく低い元素であるCuの場合、相分離傾
向があるため、加熱によりミクロな組成ゆらぎが生じ、
非晶質相が不均一となる傾向がより顕著になると考えら
れ、組織の微細化に寄与するものと考えられる。
【0018】また、Cuの他に、Feに対する固溶限が小
さい元素にも同様の効果が期待できる。
【0019】以上、本発明の高飽和磁束密度Fe系軟磁
性合金に含まれる合金元素の限定理由を説明したが、そ
の他、H,N,O,S等の不可避的不純物については所望
の特性が劣化しない程度に含有していても良いのは勿論
である。
【0020】また、本発明合金における主成分であるF
e,Co量のbは、92原子%以下である。これは、後述す
るようにbが92原子%を越えると高い透磁率が得られ
ないためであるが、飽和磁束密度10kG以上を得るた
めには、bが75原子%以上必要であり、飽和磁束密度
15kG以上を得るためには、他の添加元素の添加範囲
を満たした上でできるだけ多く含有させることが必要で
あり、他の添加元素の量も鑑みると84原子%を超える
量を含有させることで後述する実施例で示す如く15k
G以上の飽和磁束密度を容易に得ることができる。
に、Feの含有量において後述する如く85原子%<F
e<91原子%の関係を満足させることにより、飽和磁
束密度15kG以上、1kHzにおける実効透磁率μe
で26500以上を確実に両立させることができる。
【0021】次に本発明の高飽和磁束密度Fe系軟磁性
合金の組成限定理由について実施例をもって詳細に説明
する。
【0022】
【実施例】「実施例1」 以下の各実施例に示す合金は片ロール液体急冷法により
作成した。すなわち、1つの回転している鋼製ロール上
におかれたノズルより溶融金属をアルゴンガスの圧力に
より前記ロール上に噴出させ、急冷して薄帯を得る。以
上のように作成した薄帯の幅は約15mmであり、厚さは
約20〜40μmであった。
【0023】透磁率は、薄帯を加工し、外径10mm、内
径5mmのリング状とし、これを積み重ねたものに巻線
し、インダクタンス法により測定した。実効透磁率(μ
e)の測定条件は10mOe,1KHzとした。保磁力(Hc)
は、直流B−Hループトレーサにより測定し、飽和磁束
密度(Bs)はVSMにて10kOeで測定した磁化より算
出した。なお、特に規定しない限り、以下に示す実施例
では、500〜700℃の温度で1時間保持後、水焼入
れした後の磁気特性を示す。
【0024】まず、本発明合金の磁気特性および構造に
およぼす熱処理の効果について本発明合金の一つである
Fe86Zr76Cu1合金を例にとって以下に説明する。な
お、昇温速度毎分10℃の示差熱分析により求めたFe
86Zr76Cu1合金の結晶化開始温度は503℃であっ
た。
【0025】図1は、Fe86Zr76Cu1合金の実効透磁
率に及ぼす熱処理(各温度で1時間保 持後水焼入れ)の
効果を示す。
【0026】図1より急冷状態(RQ)(溶融金属を急冷
して薄帯にした状態)における本合金の実効透磁率は、
Fe基非晶質合金程度の低い値を示すが、500〜62
0℃の熱処理(各温度で1時間保持後水焼入れ)によ
り、急冷状態(RQ)の10倍程度の高い値に増加して
いる。ここで、600℃熱処理後の厚さ約20μmの試
料について透磁率の周波数依存を調べたところ1KHz
で32000、10KHzで25600、更に100K
Hzで8330と、高い測定周波数においても優れた軟
磁気特性を示した。また、透磁率に及ぼす冷却速度の影
響を調べたところ、600℃で1時間保持後、水焼入れ
により急冷した本合金の実効透磁率32000に対し、
空冷した場合、その値は18000となり、熱処理後の
冷却速度が重要であることが判明した。
【0027】よって本合金の磁気特性は最適な熱処理条
件を適当に選ぶことにより調整することができ、また磁
場中熱処理などにより磁気特性を改善することもでき
る。次に、Fe86Zr76Cu1合金の熱処理前後の構造の
変化をX線回折法により調べ、熱処理後の組織を透過電
子顕微鏡を用いて観察し、結果をそれぞれ図2と図3に
示す。
【0028】図2より、急冷状態(溶融金属を急冷して
薄帯にした状態)では非晶質に特有のハローな回折図形
が、熱処理(各温度で1時間保持後水焼入れ)後には体
心立方晶(bcc)に独特の回折図形がそれぞれ認めら
れ、本合金の構造が熱処理により、非晶質から体心立方
晶へと変化したことがわかる。そして図3より、熱処理
後の組織が、粒径約100オングストローム程度の微結
晶から成ることがわかる。また、Fe86Zr76Cu1合金
について熱処理(各温度で1時間保持後水焼入れ)前後
の硬さの変化を調べたところ、ビッカース硬さで急冷状
態(溶融金属を急冷して薄帯にした状態)の740DP
Nから650℃熱処理後には1390DPNと従来材料
にない高い値まで増加し、磁気ヘッド用材料に好適であ
ることも判明した。
【0029】以上のごとく本発明合金は、前述の組成を
有する非晶質合金を加熱後に冷却する熱処理により結晶
化させ、超微細結晶粒を主とする組織を得ることによ
り、高飽和磁束密度でかつ軟磁気特性に優れ、更に高い
硬さと高い熱安定性を有する優れた特性を得ることがで
きる。
【0030】次に前記合金のZr量およびB量を変化さ
せた場合の実施例を示す。後に記載する表1は、焼鈍後
あるいは各温度で1時間保持後水焼入れ後の磁気特性を
示し、図4は各温度で1時間保持後水焼入れ後の磁気特
性を示す。
【0031】
【表1】
【0032】図4より、Zr量が4〜10原子%の範囲
で高透磁率が得やすいことがわかる。また、Zr量が4
原子%以下では10000以上の実効透磁率が得られ
ず、10原子%を超えると透磁率が急激に低下するとと
もに飽和磁束密度も低下するため好ましくない。そこ
で、本発明合金におけるZr含有量は、少なくとも4〜
10原子%の範囲の中から選択される必要があることが
判明した。
【0033】同様にB量については、0.5〜16原子
%の範囲で実効透磁率10000以上の高透磁率が得や
すいことがわかり、このためB含有量は、少なくとも
0.5〜16原子%の範囲から選択される必要があるこ
とが判明した。またZr,B量が前記範囲にあっても、F
e量が92原子%を超えると高い透磁率が得られないた
め、本発明合金におけるFe+Co含有量(b)は92原子
%以下とした。
【0034】次に表1において、No.7、12、1
3、14、15、16、22は、目的とする飽和磁束密
度15kG以上、1kHzにおける実効透磁率2650
0を両立できた実施例である。更に、表1において、Z
r量が4〜10原子%の範囲であって、B量が0.5〜1
6原子%の範囲の中の例であっても、本発明で目的とす
る飽和磁束密度15kG以上、1kHzにおける実効透
磁率26500を両立できない例が見られる。第1に、
No.1、2、4、5、6、17、18、19、20、
21の試料は、Bを8〜16原子%含有させた試料であ
るが、飽和磁束密度15kG以上、1kHzにおける実
効透磁率26500を両立できていない例である。ま
た、No.11の試料はB量を1原子%としたが、飽和
磁束密度15kG以上、1kHzにおける実効透磁率2
6500を両立できない例である。これらの例から、B
量の含有範囲は2原子%以上、8原子%未満であること
が必要なことがわかる。第2に、No.25、26、2
7、28、29はZr量を9〜10原子%含有させた試
料であるが、飽和磁束密度15kG以上、1kHzにお
ける実効透磁率26500を両立できていない例であ
る。これらの例から、Zr量の範囲は4原子%以上、8
原子%以下であることが必要なことがわかる。なお、N
o.3、8、9、10の試料は、本発明組成範囲内の試
料であるが、加熱後に焼鈍した試料であり、飽和磁束密
度は高いものの、透磁率が大幅に低下した。
【0035】実施例2 次に実施例1に示したFe-Zr-B-Cu系合金のZrをHf
で置換えしたFe-Hf-B-Cu系合金について説明する。
【0036】実施例としてB量を6原子%、Cu量を1
原子%でそれぞれ一定とした場合の結果を後記する表2
に示す。また、図5は、Hf量を4〜10原子%の範囲
で変化させた場合の透磁率を示す。図5には比較のため
に、Fe-Zr-B6-Cu1系合金の実効透磁率を併せて示
す。
【0037】
【表2】
【0038】図5から、Hf4〜8原子%の範囲におい
て、Fe-Hf-B-C系合金の実効透磁率がFe-Zr-B-C
u系合金のものと同等であることがわかる。従って実施
例1に示したFe-Zr-B-Cu系合金のZrは、その組成
範囲である4〜8原子%すべてにおいてHfと一部も
しくは全て置換可能である。なお、図5から、HfとZ
rのいずれの元素を添加した場合であっても、これら元
素の含有量が6原子%、5原子%、4原子%と減少する
につれて透磁率は低下する傾向になり、また、これら元
素の含有量が8原子%、9原子%、10原子%と増加す
るにつれて透磁率は低下する傾向になる。このことか
ら、この組成系においてFeの含有量とこれら元素の含
有量は、透磁率に影響し、高い透磁率を得るためにはF
eの含有量に好ましい範囲が存在することが明らかであ
る。そして、その好ましい範囲は、図5に示す結果と、
先に表1、2、3に示した 各試料の結果と、図4に示す
三角組成図に記載の飽和磁束密度と透磁率の関係から、
84原子%<Fe≦92原子%の範囲であり、更に、表
1においてFeを83〜86原子%の範囲で含む各試料
と、表1においてFeを90〜91原子%の範囲で含む
各試料の透磁率と飽和磁束密度の値と、図4の三角組成
図に示す飽和磁束密度と透磁率の関係から総合的に判断
すると85原子%<Fe<91原子%の範囲がより好ま
しいことが明らかである。
【0039】更に、表2において、No.32は、目的
とする飽和磁束密度15kG以上、1kHzにおける実
効透磁率26500を両立できた例である。これに対し
て、No.30の試料は、加熱後に焼鈍した試料であ
り、飽和磁束密度は高いものの、透磁率が大幅に低下し
た。No.34の試料は、B量を本発明範囲外の8原子
%とした試料であり、No.35と36の試料は、Hf量
を本発明範囲外の9、10原子%とした試料であるが、
目的とする飽和磁束密度15kG以上、1kHzにおけ
る実効透磁率26500を両立できていない例である。
【0040】実施例3 次に実施例1および実施例2に示したFe-(Zr,Hf)-B
-Cu合金のZr、Hfの一部をNbで置換する場合につい
て説明する。
【0041】実施例としてFe-Zr-B-Cu系合金のZr
の一部を1〜5原子%のNbで置換した場合の結果を後
記する表3に示す。また、図6はNb添加量を3原子%
としたFe-Zr-Nb-B-Cu系合金の水焼入後の磁気特性
を示したものである。
【0042】
【表3】
【0043】図6において高い透磁率が得やすいZr+
Nbの量は、Fe-Zr-B-Cu系合金におけるZrの場合と
同じ4〜8原子%であり、この範囲ではFe-Zr-B-Cu
系合金と同等の高い実効透磁率が得られているととも
に、この範囲の中でも6〜8原子%でより良い飽和磁束
密度と透磁率の両立性を図ることができることがわか
従って、Fe-(Zr,Hf)-B-Cu合金のZr,Hfの一
部はNbで置換することが可能である。ただし、表3の
No.43、44、46、48の試料は、Bを本発明範
囲外の8原子%以上含有させた試料であるが、目的とす
る飽和磁束密度15kG以上、1kHzにおける実効透
磁率26500を両立できていない例である。また、表
3のNo.42、51、52、53の試料は、Zr+Nb
の量を本発明範囲外の9原子%以上とした試料である
が、目的とする飽和磁束密度15kG以上、1kHzに
おける実効透磁率26500を両立できていない例であ
る。なお、No.38、47の試料は、本発明組成範囲
内の試料であるが、加熱後に焼鈍した試料であり、飽和
磁束密度は高いものの、透磁率が大幅に低下した。以上
のことから、ZrとNbを添加した系においても、これら
を合計で4原子%以上、8原子%以下、更に、B量を2
原子%以上、8原子%未満として冷却速度を高くするこ
とで目的とする飽和磁束密度15kG以上、1kHzに
おける実効透磁率26500を両立できることが明らか
である。
【0044】実施例4 次に本発明合金におけるCu含有量の限定理由について
説明する。実施例として図7に、Fe87-xZr4Nb36
ux合金のCu量と透磁率の関係を示し、図8にFe88Cu1
3Zr8なる組成の軟磁性合金(表1のNo.22の試
料、透磁率29800)の透磁率と冷却速度の関係を示
す。
【0045】図7から、Cu=1〜3原子%の範囲で実
効透磁率の高い優れた軟磁気特性が得やすいことがわか
る。また、図8から、100℃/分を超える冷却速度、
例えば、水焼き入れで冷却することにより始めて本願合
金が高い透磁率を示すことが明らかであり、空冷、焼鈍
などのように冷却速度が遅い場合は目的の透磁率を得る
ことができないことも明らかである。
【0046】実施例5 次に本発明合金におけるCo含有量の限定理由について
説明する。実施例として(Fe1-a-Co a)86Zr4Nb36
Cu1合金のCo量(a)と透磁率の関係を図9に示す。
【0047】図9においてaが0.05以下の範囲におい
ては高い実効透磁率を示すが、0.05を超える範囲で
は実効透磁率が急激に低下し実用上好ま しくない。よ
って、本発明合金におけるCo含有量(a)は、0.05以
下とした。
【0048】
【発明の効果】以上説明したように請求項1または2に
記載の発明によれば、特定の組成を有し、飽和磁束密度
Bsが15kG以上、1kHzにおける実効透磁率μe
が26500以上であって、非晶質相と非晶質相から熱
処理により析出させたbcc構造のFeの微細結晶粒を
主体としてなり、前記Feの微細結晶粒が前記非晶質相
を500〜700℃に加熱後に冷却されて析出された、
高い飽和磁束密度と高い透磁率を兼ね備えたFe系軟磁
性合金を提供することができる。しかも本発明の軟磁性
合金は、高い硬度を有し、高い熱安定性も兼ね備えてい
る。以上のことから本発明のFe系軟磁性合金は、磁気
記録媒体の高保磁力化に対応することが必要な磁気ヘッ
ド、より一層の小型化が要求されているトランス、チョ
ークコイル用として好適であって、これらの用途に供し
た場合、これらの性能の向上と小型軽量化をなしえる効
果がある。次に、請求項3に記載の如く、前記Feの微
細結晶粒が前記非晶質相を加熱後に100℃/分を超え
る冷却速度で冷却されて析出されたものであるならば、
飽和磁束密度Bsが15kG以上、1kHzにおける実
効透磁率μeが26500以上であって、非晶質相と非
晶質相から熱処理により析出させたbcc構造のFeの
微細結晶粒を主体としてなり、高い飽和磁束密度と高い
透磁率を兼ね備え、しかも、高い硬度と高い熱安定性を
も兼ね備えた軟磁性合金を提供できる。
【0049】 更に、請求項1または2の組成範囲内であ
っても、Feの含有量を84原子%<Fe>91原子%
の関係とし、元素Tの組成比を示すyを6原子%≦y≦8
原子%の関係を満足させたものであるならば、飽和磁束
密度Bsが15kG以上、1 kHzにおける実効透磁率
μeが26500以上の特性を兼備するものを確実に得
ることができる。
【0050】 次に、請求項5に記載の如く、前記Feの
微細結晶粒が水焼入で得たものにおいても、飽和磁束密
度Bsが15kG以上、1kHzにおける実効透磁率μ
eが26500以上であって、非晶質相と非晶質相から
熱処理により析出させたbcc構造のFeの微細結晶粒
を主体としてなり、高い飽和磁束密度と高い透磁率を兼
ね備え、しかも、高い硬度と高い熱安定性をも兼ね備え
た軟磁性合金を提供できる。
【0051】 また、請求項6に記載の如く、2原子%≦
B<5.0原子%の関係を満足することで、前記各特性
を満たした上で、飽和磁束密度Bsが15.4kG以
上、1kHzにおける実効透磁率μeが29800以上
であるといった特に優れた軟磁気特性を両立できる軟磁
性合金を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は本発明合金の一例の実効透磁率と焼鈍
温度の関係を示すグラフである。
【図2】 図2は本発明合金の一例の熱処理前後の構造
変化を示すX線回折図形を示すグラフである。
【図3】 図3は本発明合金の一例の熱処理後の組織を
示す顕微鏡写真の模式図である。
【図4】 図4は本発明合金の一例においてZr量とB
量を変化させた場合の磁気特性を 示す三角組成図であ
る。
【図5】 図5は本発明合金の一例においてHf量の変
化と透磁率の関係を示すグラフで ある。
【図6】 図6は本発明合金の一例においてB量とZr
量を変化させた場合の磁気特性を 示す三角組成図であ
る。
【図7】 図7は本発明合金の一例におけるCu量と透
磁率の関係を示すグラフである。
【図8】 図8は冷却速度と透磁率の関係を示すグラフ
である。
【図9】 図9は本発明合金の一例におけるCo量と透
磁率との関係を示すグラフである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 清策 東京都大田区雪谷大塚町1番7号 アル プス電気株式会社内 (72)発明者 牧野 彰宏 東京都大田区雪谷大塚町1番7号 アル プス電気株式会社内 (72)発明者 増本 健 宮城県仙台市青葉区上杉3丁目8−22 (72)発明者 井上 明久 宮城県仙台市青葉区川内無番地川内住宅 11−806 (72)発明者 潟岡 教行 宮城県仙台市太白区向山1丁目4番7号 (56)参考文献 特開 平1−242755(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) C22C 38/00 H01F 1/14

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 次式で示される組成からなり、飽和磁束
    密度Bsが15kG以上、1kHzにおける実効透磁率
    μeが26500以上であって、非晶質相と非晶質相か
    ら熱処理により析出させたbcc構造のFeの微細結晶
    粒を主体としてなり、前記Feの微細結晶粒が前記非晶
    質相を500〜700℃に加熱後に冷却されて析出され
    たものであることを特徴とする高飽和磁束密度Fe系軟
    磁性合金。 (Fe1-a Co abxy Cuz ただしTは、Zr,Hf,Nbからなる群から選ばれた1種
    又は2種以上の元素であり、かつ、Zr,Hfのいずれ
    か、又は両方を必ず含み、 a≦0.05、84原子%<b≦92原子%、2原子%≦x
    <8原子%、4原子%≦y≦8原子%、1原子%≦z≦3
    原子%である。
  2. 【請求項2】 次式で示される組成からなり、飽和磁束
    密度Bsが15kG以上、1kHzにおける実効透磁率
    μeが26500以上であって、非晶質相と非晶質相か
    ら熱処理により析出させたbcc構造のFeの微細結晶
    粒を主体としてなり、前記Feの微細結晶粒が前記非晶
    質相を500〜700℃に加熱後に冷却されて析出され
    たものであることを特徴とする高飽和磁束密度Fe系軟
    磁性合金。 Febxy Cuz ただしTは、Zr,Hf,Nbからなる群から選ばれた1種
    又は2種以上の元素であり、かつ、Zr,Hfのいずれ
    か、又は両方を必ず含み、 84原子%<b≦92原子%、2原子%≦x<8原子%、
    4原子%≦y≦8原子%、1原子%≦z≦3原子%であ
    る。
  3. 【請求項3】 前記Feの微細結晶粒が前記非晶質相を
    加熱後に100℃/分を超える冷却速度で冷却されて析
    出されたものであることを特徴とする請求項1または2
    のいずれかに記載の高飽和磁束密度Fe系軟磁性合金。
  4. 【請求項4】 前記の組成式においてFeの組成比を示
    すbが、85原子%<b<91原子%の関係を満足し、元
    素Tの組成比を示すyが、6原子%≦y≦8原子%の関係
    を満足することを特徴とする請求項1または2のいずれ
    かに記載の高 飽和磁束密度Fe系軟磁性合金。
  5. 【請求項5】 前記Feの微細結晶粒が前記非晶質相を
    加熱後に水焼入されて析出されたものであることを特徴
    とする請求項1または2のいずれかに記載の高飽和磁束
    密度Fe系軟磁性合金。
  6. 【請求項6】 前記の組成式においてBの組成比を示す
    xが、2原子%≦x<5.0原子%の関係を満足し、飽和
    磁束密度Bsが15.4kG以上、1kHzにおける実
    効透磁率μeが29800以上であることを特徴とする
    請求項1または2のいずれかに記載の高飽和磁束密度F
    e系軟磁性合金。
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