JP3197025B2 - 圧電振動素子の製造方法 - Google Patents
圧電振動素子の製造方法Info
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- JP3197025B2 JP3197025B2 JP19118891A JP19118891A JP3197025B2 JP 3197025 B2 JP3197025 B2 JP 3197025B2 JP 19118891 A JP19118891 A JP 19118891A JP 19118891 A JP19118891 A JP 19118891A JP 3197025 B2 JP3197025 B2 JP 3197025B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、広がり振動型の圧電振
動素子に係り、特に共振周波数を下げるために側面に切
り欠きを設ける圧電振動素子の製造方法に関する。
動素子に係り、特に共振周波数を下げるために側面に切
り欠きを設ける圧電振動素子の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術とその課題】図１は広がり振動を用いたセ
ラミック発振子の一例を示す分解斜視図である。広がり
振動型の圧電振動素子１は、二つの端子板２、３の間に
挟まれた状態で枠４の中に取付けられ、さらにケース５
の中に収納されている。圧電振動素子１は端子板２、３
の突起２ａ、３ａで中央部を両側から支持され、枠４で
側面を支持されている。このような圧電振動素子１とし
ては共振周波数が４００ｋＨｚ〜５００ｋＨｚの範囲か
ら選ばれる多種のものが用いられている。圧電振動素子
１の共振周波数を下げるためには、縦横の外形寸法を大
きくすればよい。ところが、外形寸法を大きくすると、
枠４やケース５などの寸法も大きくしなければならな
い。このため、共振周波数が異なるごとに圧電振動素子
１の外形寸法を変えるようにすると枠４やケース５を何
種類も用意しなければならなくなる問題があった。
ラミック発振子の一例を示す分解斜視図である。広がり
振動型の圧電振動素子１は、二つの端子板２、３の間に
挟まれた状態で枠４の中に取付けられ、さらにケース５
の中に収納されている。圧電振動素子１は端子板２、３
の突起２ａ、３ａで中央部を両側から支持され、枠４で
側面を支持されている。このような圧電振動素子１とし
ては共振周波数が４００ｋＨｚ〜５００ｋＨｚの範囲か
ら選ばれる多種のものが用いられている。圧電振動素子
１の共振周波数を下げるためには、縦横の外形寸法を大
きくすればよい。ところが、外形寸法を大きくすると、
枠４やケース５などの寸法も大きくしなければならな
い。このため、共振周波数が異なるごとに圧電振動素子
１の外形寸法を変えるようにすると枠４やケース５を何
種類も用意しなければならなくなる問題があった。
【０００３】一方、圧電振動素子１の側面に、図２のよ
うに切り欠き１ａを入れると共振周波数が下がることが
従来知られている。この性質を利用すると、共振周波数
の異なる圧電振動素子１であっても、同一寸法の枠４や
ケース５を共用できる利点がある。しかしながら、側面
の４箇所に、しかも４方向から切り欠き１ａを設けなく
てはならないため、切削加工に手数が掛かるうえ、４箇
所の切り欠き１ａの幅と深さを均一にするのが困難でス
プリアスが発生しやすい問題があった。
うに切り欠き１ａを入れると共振周波数が下がることが
従来知られている。この性質を利用すると、共振周波数
の異なる圧電振動素子１であっても、同一寸法の枠４や
ケース５を共用できる利点がある。しかしながら、側面
の４箇所に、しかも４方向から切り欠き１ａを設けなく
てはならないため、切削加工に手数が掛かるうえ、４箇
所の切り欠き１ａの幅と深さを均一にするのが困難でス
プリアスが発生しやすい問題があった。
【０００４】
【発明の目的】本発明は、効率よく切り欠きを形成でき
る圧電振動素子の製造方法を提供することを目的とす
る。
る圧電振動素子の製造方法を提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、両主表面に電
極を形成し厚み方向に分極した圧電セラミックの母基板
から同一寸法の角形の圧電振動素子を多数切りだし、こ
れら多数の圧電振動素子を厚さ方向に積み重ねて対角線
方向の二つの角部を押さえる冶具に装着し、圧電振動素
子の側面が冶具の両面から４５°傾斜して突出した状態
として、ダイシングマシンのブレードを圧電振動素子の
側面に４５°の角度で当てて削ることによって、各圧電
振動素子の四つの側面に切り欠きを形成する圧電振動素
子の製造方法を特徴とする。
極を形成し厚み方向に分極した圧電セラミックの母基板
から同一寸法の角形の圧電振動素子を多数切りだし、こ
れら多数の圧電振動素子を厚さ方向に積み重ねて対角線
方向の二つの角部を押さえる冶具に装着し、圧電振動素
子の側面が冶具の両面から４５°傾斜して突出した状態
として、ダイシングマシンのブレードを圧電振動素子の
側面に４５°の角度で当てて削ることによって、各圧電
振動素子の四つの側面に切り欠きを形成する圧電振動素
子の製造方法を特徴とする。
【０００６】
【実施例】本発明による圧電振動素子の製造方法の一実
施例について説明する。まず、図３のような両主表面に
電極６を形成した圧電セラミックからなる母基板７を厚
み方向に分極する。そしてダイシングマシンによって、
この母基板７から数ミリ角程度の圧電振動素子を多数切
り出す。これらの圧電振動素子10を、図４のように厚さ
方向に積み重ねて、内側に向かい合ったＶ字形の溝22を
有する治具20に挿入し固定する。このとき、多数の圧電
振動素子10は、対角線方向の二つの角部11が治具20の溝
22でしっかりと保持され、図５のように、その側面が治
具20の両面から４５°傾斜した状態でそれぞれ突出した
形となるようにする。図５及び図６における30はダイシ
ングマシンの切削ブレードである。同じ軸32に連結され
て回転する二枚のブレード30を圧電振動素子10の一つの
対角線に沿った方向、すなわち図５で真下方向に下降さ
せる。すると、ブレード30は、治具20の片面から突出し
た圧電振動素子10の二側面に４５°の角度で当たり、多
数の圧電振動素子10の二側面の中央部を同時に削って切
り欠き12を形成する。この後、治具20を裏返して、治具
20の反対側の面から突出した圧電振動素子10の別な二側
面にも同様にして切り欠き12を形成する。
施例について説明する。まず、図３のような両主表面に
電極６を形成した圧電セラミックからなる母基板７を厚
み方向に分極する。そしてダイシングマシンによって、
この母基板７から数ミリ角程度の圧電振動素子を多数切
り出す。これらの圧電振動素子10を、図４のように厚さ
方向に積み重ねて、内側に向かい合ったＶ字形の溝22を
有する治具20に挿入し固定する。このとき、多数の圧電
振動素子10は、対角線方向の二つの角部11が治具20の溝
22でしっかりと保持され、図５のように、その側面が治
具20の両面から４５°傾斜した状態でそれぞれ突出した
形となるようにする。図５及び図６における30はダイシ
ングマシンの切削ブレードである。同じ軸32に連結され
て回転する二枚のブレード30を圧電振動素子10の一つの
対角線に沿った方向、すなわち図５で真下方向に下降さ
せる。すると、ブレード30は、治具20の片面から突出し
た圧電振動素子10の二側面に４５°の角度で当たり、多
数の圧電振動素子10の二側面の中央部を同時に削って切
り欠き12を形成する。この後、治具20を裏返して、治具
20の反対側の面から突出した圧電振動素子10の別な二側
面にも同様にして切り欠き12を形成する。
【０００７】外形寸法が同じであっても圧電振動素子10
の共振周波数は母基板７の圧電定数の値によって変化す
る。そこで、母基板７の段階で外形寸法と共振周波数を
測定し、これらの値と圧電振動素子10の外形寸法から圧
電振動素子10の共振周波数を知り、この共振周波数と所
望の共振周波数との差から切り欠き12の深さを決定する
ようにする。このようにして、図７のように、側面に対
して４５°の角度で切り込んだ切り欠き12が四つの側面
に形成された圧電振動素子10が得られる。なお、もう一
組の二枚のブレード30を加え、治具20を裏返すことな
く、治具20の両側から合計四つのブレード30で同時に切
り欠き12を形成してもよい。
の共振周波数は母基板７の圧電定数の値によって変化す
る。そこで、母基板７の段階で外形寸法と共振周波数を
測定し、これらの値と圧電振動素子10の外形寸法から圧
電振動素子10の共振周波数を知り、この共振周波数と所
望の共振周波数との差から切り欠き12の深さを決定する
ようにする。このようにして、図７のように、側面に対
して４５°の角度で切り込んだ切り欠き12が四つの側面
に形成された圧電振動素子10が得られる。なお、もう一
組の二枚のブレード30を加え、治具20を裏返すことな
く、治具20の両側から合計四つのブレード30で同時に切
り欠き12を形成してもよい。
【０００８】
【発明の効果】本発明によれば、四つの側面の切り欠き
を一つの対角線方向に沿った二方向から形成できるの
で、切削工程が簡単で、自動機によって効率よく切り欠
きを形成することができる。また、切り欠きが三角形状
となるので、従来の四角形のものに比べて圧電振動素子
の強度の低下が少ない利点がある。さらに、圧電振動素
子の対角線方向の二つの角部を押さえるので、単純な構
造の治具で圧電振動素子をしっかり固定できるととも
に、治具への圧電振動素子の装着が容易になる効果もあ
る。
を一つの対角線方向に沿った二方向から形成できるの
で、切削工程が簡単で、自動機によって効率よく切り欠
きを形成することができる。また、切り欠きが三角形状
となるので、従来の四角形のものに比べて圧電振動素子
の強度の低下が少ない利点がある。さらに、圧電振動素
子の対角線方向の二つの角部を押さえるので、単純な構
造の治具で圧電振動素子をしっかり固定できるととも
に、治具への圧電振動素子の装着が容易になる効果もあ
る。
【０００９】
【図１】 従来のセラミック発振子の構成例を示す分解
斜視図
斜視図
【図２】 従来の圧電振動素子の平面図
【図３】 母基板の縮小斜視図
【図４】 本発明による圧電振動素子の製造工程を示す
分解斜視図
分解斜視図
【図５】 同、切削工程の正面図
【図６】 同工程の斜視図
【図７】 本発明による圧電振動素子の平面図
１０ 圧電振動素子 １１ 角部 １２ 切り欠き ２０ 治具 ３０ ブレード
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−54610（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−131617（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−227417（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−52796（ＪＰ，Ａ) 実開 昭64−23128（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭41−8662（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H03H 3/00 - 3/04 H03H 9/00 - 9/215
Claims (1)
- 【請求項１】角型の圧電基板の両主表面に電極を形成し
てなる広がり振動型の圧電振動素子の製造方法におい
て、両主表面に電極を形成し厚み方向に分極した圧電セ
ラミックの母基板から同一寸法の角形の圧電振動素子を
複数切りだし、該圧電振動素子を厚さ方向に積み重ねて
対角線方向の二つの角部を押さえる冶具に装着し、圧電
振動素子の側面が冶具の両面から４５°傾斜して突出し
た状態とし、ダイシングマシンのブレードを圧電振動素
子の側面に４５°の角度で当てて該側面の中央部を削る
ことによって、それぞれの圧電振動素子の四つの側面に
切り欠きを形成することを特徴とする圧電振動素子の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19118891A JP3197025B2 (ja) | 1991-07-05 | 1991-07-05 | 圧電振動素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19118891A JP3197025B2 (ja) | 1991-07-05 | 1991-07-05 | 圧電振動素子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0514113A JPH0514113A (ja) | 1993-01-22 |
| JP3197025B2 true JP3197025B2 (ja) | 2001-08-13 |
Family
ID=16270369
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19118891A Expired - Fee Related JP3197025B2 (ja) | 1991-07-05 | 1991-07-05 | 圧電振動素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3197025B2 (ja) |
-
1991
- 1991-07-05 JP JP19118891A patent/JP3197025B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0514113A (ja) | 1993-01-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |