JP3182083B2 - ゲッター物質の組み合わせ、ゲッター装置、及びゲッター物質の組み合わせを収容している熱絶縁性ジャケット - Google Patents
ゲッター物質の組み合わせ、ゲッター装置、及びゲッター物質の組み合わせを収容している熱絶縁性ジャケットInfo
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Description
規な組み合わせ及びそれを収容するゲッター装置に関す
る。特に、本発明は、約200℃よりも高い温度におい
て加熱されることができない装置において真空を維持す
るのに好適なゲッター物質の新規な組み合わせに関する
ものである。
要求される産業及び商業に関する用途のすべてにおいて
実際に必要であることが判明している。
要とするすべての装置においては、真空を形成するよう
に設計された壁は金属又はガラスから作られていた。金
属壁によって形成される排気領域は、例えば、“魔法
壜”(thermos )若しくは“ジュワー壜”(dewars)
に、極低温流体の搬送用の熱絶縁パイプに、又は粒子促
進材のような科学的用途に存在している。その代わり
に、ガラス壁によって形成される排気領域は、例えば、
テレビジョンスクリーン又はコンピューターディスプレ
ーの陰極線管にそしてランプに存在する。これらの用途
のすべてにおいて、ゲッター物質は装置にその密封前に
不活性状態で導入され、次いでその後に装置を密封した
ときに高周波のような外部からの加熱手段によって活性
化される。活性化されたゲッターは装置中になお存在す
る最後の微量ガスを吸着し、そして装置自体の寿命間に
種々の機構によって排気領域に入り込むようなガスを収
着する。通常のゲッター物質の活性化に要求される最低
温度は350〜400℃の程度であり、そしてある場合
には約900℃の温度にさえ達する場合がある。この種
のゲッター物質は、例えば、ジルコニウム−又はチタン
基合金である。
野での真空の使用は、約200℃よりも高い温度では加
熱することができないプラスチック材料より少なくとも
一部分作られた排気装置にまで拡張されている。この例
は、例えば、真空下の熱絶縁ジャケットであり、この場
合にはプラスチック材料は壁又は充填物或いは両者を形
成するのに使用されることができる。充填物(以下では
“充填材”と記載する)は、一般には、繊維、粉末又は
フォームの形態にあり、そしてジャケット中にその形状
を維持するために使用される。かかるジャケットの典型
的な例は、冷凍機の製造に主として使用される排気パネ
ルである。これらのパネルの囲いは、一般には、プラス
チック−金属積層箔より作られ、そしてそれらの端部が
プラスチック対プラスチック接触によって熱シールされ
る。金属対金属シールは、パネルの2つの面間の熱ブリ
ッジを破断するために回避される。プラスチック材料
は、その化学的及び機械的安定性を阻害しないように約
200℃よりも高い温度では加熱されることができな
い。それ故に、通常のゲッター物質はこの種の用途には
不向きである。このことは、低い活性化温度を有し又は
好ましくは熱的活性化を全く必要としないゲッター物質
の入手可能性に対する要求を引き起こした。
は、ジュワー壜、魔法壜等の排気ジャケットに真空を維
持するために貴金属の酸化物特に酸化パラジウム(Pd
O)と酸化バリウム(BaO)のような水分収着性物質
との併用が開示されている。しかしながら、酸化パラジ
ウムは、水素との反応によって、発火特性を有する微粉
末形態の金属Pdに変換される。従って、この物質の組
み合わせの使用は、安全上の理由のために勧められな
い。
5312607には、バリウム及びリチウムを基材とし
そしてアルミニウム又はアルカリ土類金属のような他の
元素が添加された合金の一群が記載されている。これら
の合金は、熱的活性化を必要とせずに室温で実質上すべ
てのガスを収着することができる唯一の公知のゲッター
物質である。これらの物質の具体的な用途は、例えば、
米国特許5408832及び国際特許出願WO 96/
01966に記載されている。特に、好ましい合金はB
aLi4 である。この合金(これは水蒸気の収着によっ
て使い果たされた状態になる)の窒素収着能を確保する
ために、米国特許5408832は、BaLi4 を酸化
バリウムのような水分収着性物質と併用することを開示
している。
びH2 Oの除去に関して極めて良好な性能を示し、かく
してジャケットの内部において気体環境から主要の大気
ガスを除去する。しかしながら、これらのジャケット内
のガスの組成は、ジャケットを構成する材料、特に充填
材(これらは一般には粉末、フォーム又はウールの形態
にあり従って大きな比表面が備えられている)の脱ガス
に主に左右される。プラスチック材料より作られたジャ
ケット中に存在する主なガスは、重合体充填材の場合に
はCO及びCO2 であり、そして例えばガラスウールの
場合にはH2 である。これらのガスの負荷量は、主にジ
ャケット製造法において加熱工程が存在するときはいつ
でも重要になる場合がある。これは、例えば、冷凍機の
製造の場合であり、ここでは真空絶縁パネルは、適当な
化合物を現場発泡法において反応させること(この間
に、数分間の間100℃に近い温度に達する可能性があ
る)によって得られる重合体フォーム(一般にはポリウ
レタン)によって器具の壁に固定される。
は、有機化合物即ち炭化水素又は置換炭化水素(ここ
で、水素はハロゲン原子によって一部分又は完全に置換
されてよい)である。水素がハロゲン原子によって完全
に置換された化合物はCFCsとして知られ、そして冷
凍機用の熱絶縁パネルの製造に数十年間使用されてき
た。これらのガスはオゾン層破壊の原因になっていると
認められており、そしてそれらの製造及び使用は中止さ
れている。しかしながら、CFCs を含有する古いパネ
ルを粉砕して重合体フォームの粉末にしそしてこれらの
粉末を新しいパネルの製造に循環することが研究されて
いる。この方法で、少量のCFCs が新たに製造された
熱絶縁パネル中に入り込む可能性がある。この分野にお
いてCFCsの代わりに部分ハロゲン置換炭化水素(H
CFCs と総称される)及び炭化水素が使用され、そし
てこれらは、パネルの製造工程において、またパネルを
パネル内部のものと全く同じフォームによって冷凍機の
壁に固定する工程において発泡材として使用される。こ
の用途における最も重要なガスは、シクロペンタン、C
5 H10及び1,1−ジクロル−1−フルオルエタン、C
l2 FC−CH3 であり、そしてこの後者のものは14
1−bとして斯界に知られている。これらのガスは、囲
いが作られたプラスチック−金属積層箔をプラスチック
対プラスチック熱シールによってシールするところの帯
域において端部を介してパネル中に入り込む可能性があ
る。これは、パネル内部の圧力の増大及びその熱絶縁特
性の悪化をもたらす。
CO、CO2 そして特にH2 を比較的低い速度で収着す
ることができる。その上、従来技術のゲッター物質は、
有機化合物を効果的に吸収することができることが知ら
れていない。
的は、CO、CO2 及びH2 に対して向上した収着特性
を有し且つ有機化合物を吸収することができるゲッター
物質の組み合わせであって、しかも熱的活性化を必要と
せず、それ故に少なくとも1個の部材を約200℃より
も高い温度では加熱することができないような装置と相
容性であるゲッター物質の組み合わせを提供することで
ある。
の組み合わせを使用した装置を提供することである。
の及び他の目的は、 ・酸化コバルト、酸化銅又はそれらの混合物から選択さ
れる遷移金属酸化物と金属パラジウムとの混合物であっ
て、約2重量%までの金属パラジウムを含有する混合物
と、 ・室温において1Paよりも低いH2 O蒸気圧を有する
水分収着性物質と、よりなるゲッター物質の組み合わせ
を用いて達成される。
コバルトが存在するけれども、本発明に有用な唯一のも
のは、実験式Co 3 O 4 (ここで、コバルトは酸化状態
(II)及び酸化状態(III)の下に同時に存在する)を有
する酸化物である。特許請求の範囲及び以下の明細書の
記載では、酸化コバルトは、ここに規定するような化合
物を意味する。同様に、特許請求の範囲及び以下の明細
書の記載では、酸化銅は、銅が酸化状態IIの下に存在す
るようなCuO化合物を意味する。更に、本明細書にお
いて、略語MOは、遷移金属の2種の酸化物又はそれら
の組み合わせのうちの1つを表わすのに使用され、そし
て略語MO/PdはMOと金属パラジウムとの混合物を
表わすのに使用される。これらの酸化物の特性は、例え
ば、Belousov外による文献 "Ukrainskij Chimiceskij Z
urnal,1986,52,No.8" によって既に知られているが、水
素の収着についてのみ知られている。
混合物の約2重量%までの金属パラジウムを含有する最
終混合物を得る程の量で金属パラジウムの前駆物質が添
加される。パラジウムは、可溶性塩例えばPdCl2 の
形態で同じ母液中に導入することによって遷移金属の酸
化物と一緒に共沈殿させることができる。別法として、
パラジウムは、予め形成された遷移金属酸化物の顆粒上
に溶液から付着させることもできる。遷移金属の酸化物
は、500μm未満そして好ましくは1〜200μmの
粒度の粉末形態で使用される。
から選択されることができる。斯界に知られたこれらの
物質は、水を化学反応によって不可逆形態で固定(収
着)させる。この用途に好適なものは、本件出願人の米
国特許5408832に記載されるように室温において
1Paよりも低いH2 O蒸気圧を有する化学的乾燥剤で
ある。例えば、カルシウム、ストロンチウム、バリウム
及び燐の酸化物又はそれらの組み合わせが本発明の目的
に対して好適である。酸化バリウム又は酸化カルシウム
の使用が特に好ましい。水分収着性物質は、約50〜5
00μmの粒度の粉末形態で使用されるのが好ましい。
それよりも大きい粒度では、粉末の表面積の過剰の減少
が生じるのに対して、それよりも小さい粒度では、水分
の収着によって粉末が過度に緻密化された状態になり、
かくしてガスが粉末それ自体を通過するのが困難になる
という危険性が生じる。湿った粉末の緻密化という問題
を打破するために、上記の国際特許出願WO 96/0
1966に記載されるように、水分収着性物質にアルミ
ナの如き不活性物質の粉末を添加することも可能であ
る。
予想される用途の種類及び収着しようとするガス混合物
の種類に依存して広い範囲内で変動することができる。
しかしながら、一般には、Mo/Pd混合物/水分収着
性物質間の重量比は、約5:1〜1:20そして好まし
くは1:1〜1:5の間を変動することができる。
存在する真空がO2 やN2 のような大気ガス中の成分に
よって低下することが予想される場合には、Mo/Pd
混合物と上記のような水分収着性物質との組み合わせ
に、上記の米国特許5312606及び5312607
に記載されるバリウム−及びリチウム基合金を添加する
ことも可能である。これらの合金の調製及び特性の詳細
についてはこれらの米国特許を参照されたい。バリウム
−及びリチウム基合金は、その表面積を増大させるため
に、約500μm未満そして好ましくは約150μm未
満の粒度の粉末形態で使用されるのが好ましい。また、
粉末は、上記の国際特許出願WO 96/01966に
記載されるように僅かに圧縮されることもできる。好ま
しい合金は、上記のBaLi4 組成の合金である。
バルト又は酸化銅は相互反応を引き起こすので、ゲッタ
ー物質の組み合わせの性能の変更を引き起こさないよう
にするために分離して保たれるべきである。
及びリチウム基合金と他の成分との間の重量比は広い範
囲内で変動することができる。Mo/Pd混合物とバリ
ウム−及びリチウム基合金との間の重量比は、一般には
10:1〜1:5そして好ましくは5:1〜1:2の間
を変動することができる。水分収着性物質とバリウム−
及びリチウム基合金との間の重量比は、一般には約5
0:1〜1:5そして好ましくは20:1〜1:1の間
を変動することができる。
物質の組み合わせを収容するゲッター装置に関する。
は、取扱い容易なコンパクトなゲッター装置を得るため
にそれを容器内に配置することによって使用されるのが
好ましい。容器は、ガス不透過性の材料より作られ、そ
してガスが所定の順序で種々のゲッター物質に接近でき
るような寸法の開口を有するのが好ましい。これは、水
蒸気がMo/Pd混合物の特性を阻害することが判明し
たためである。
の金属から作られる。好ましい金属は、アルミニウム
(これは、軽量でしかも低コストで機械加工するのが容
易である)であり、そして主としてゲッター装置の自動
的取扱いのためにより高い機械的強度が望まれるときに
はステンレス鋼である。
1つの具体例が示されている。ゲッター装置10はアル
ミニウムより作られたホルダー11から構成され、そし
てその下方部にはMo/Pd混合物の層12が収容さ
れ、上方部には水分収着性物質粉末の層13が収容され
る。これらの物質は、ホルダーに様々な方法で、例え
ば、粉末をホルダーに注入しそしてそれに僅かな圧縮を
施すことによって、又はいくらかの予備形成したペレッ
トをホルダーに導入することによって導入されることが
できる。両方の場合において、異なる物質の層間の界面
には、プラスチック材料より作ったネット、ガーゼ、多
孔質紙の円板等のようなガスを容易に通過させる機械的
分離要素(図示せず)を配置させることが好ましい。こ
れらの要素は、各物質を互いに分離した状態に保ち、ま
た衝撃の結果として又は例えばガスの収着による粉末の
膨潤によって生成される可能性がある物質の破片を保持
する役目をする。最後に、ホルダー11の上方縁端は内
側に僅かに曲げられ、かくしてゲッター構造体を所望の
位置に保つ保持要素14が形成される。
側に曲げられない。この具体例は、充填材が重合体フォ
ーム例えばポリウレタンであるような用途で使用しよう
とするときに好ましい。この場合では、直立の上方縁端
は切断作用を行い、そしてこれは、主として自動化した
製造において装置を圧縮によってフォームパネルに挿入
するのを容易にする。この具体例は図1bに示され、こ
こで装置を構成する要素は図1aと同じ参照数字によっ
て表わされているが、要素15では上方縁端は内側に曲
げられていない。
リチウム基合金も含む物質の三成分組み合わせを使用す
る場合には、これらの合金はMo/Pd混合物と反応す
る可能性がありかくしてこれらの2種の物質は分離して
保たれなければならないことを考慮すべきである。更
に、Mo/Pd混合物と同様に、バリウム−及びリチウ
ム基合金も感水性であり、これによってそれらは水から
保護されなければならない。これらの条件を実施するた
めに、ゲッター装置の様々な構造が可能である。最も簡
単な具体例では、図2に示されるように、ホルダー21
の内部に、その底部から上方に向かってMo/Pd混合
物の層22と水分収着性物質の層23とバリウム−及び
リチウム基合金の層24とそして最後に外部環境と接触
した水分収着性物質の第二層25とを含むホルダー12
より構成される装置20が使用される。図1aの装置に
おけると同じように、ホルダー21の上方縁端は内側に
曲げられることができ、かくして各物質の層を所望の位
置に保つ保持要素26が形成される。別法として、ホル
ダーの上方縁端は、図1bにおけるように曲げられなく
てもよい(図示せず)。参照数字22〜25の物質層
は、硬く固まっていない粉末の形態で導入されそこで層
の機械的安定性を向上させるために場合によっては僅か
な圧力を加えることができ、又は各物質のペレットを別
個に調製してその後にそれらを容器21に導入すること
もできる。両方の場合に、図1aの装置の場合に記載し
たような重合体ガーゼ等のような機械的分離要素(図示
せず)によって各層を分離することが可能である。
も収容するガッター装置の好ましい具体例が示されてい
る。この場合には、ゲッター装置30は、その底部に粉
末Mo/Pd混合物の層又はペレット33を収容するス
テンレス製又はアルミニウム製の第一ホルダー31より
構成される。この層33の上にはステンレス製の第二ホ
ルダー32が配置されてバリウム−及びリチウム基合金
34が充填される。粉末Mo/Pd混合物の層33、ホ
ルダー32及び粉末バリウム−及びリチウム基合金34
より構成される集合体は、次いで、水分収着性物質35
の粉末で覆われる。外部にさらされる粉末35の上部に
は、ガスの通過を容易にするために重合体ネット又はガ
ーゼ36のような機械的保持要素が配置されるのが好ま
しい。図1aの構造におけると同様に、粉末を混合させ
ないように且つ得られる構造体の機械的安定性を向上さ
せるためにかかる重合体ガーゼをMo/Pd混合物の層
の上にそしてバリウム−及びリチウム基合金粉末の上に
配置させることもできる(これらの追加的な重合体バー
ぜは図面には示されていない)。最後に、ホルダーの上
方縁端は内側に僅かに曲げられることができ、かくして
得られるゲッター構造をその位置に保つ保持要素36が
形成され、又は、図1bに示されるように重合体フォー
ムパネルへの装置の導入を助けるために曲げられなくて
もよい(図示せず)。
施例の記載からより明らかになるであろうが、これらの
実施例は本発明を単に例示するためのものであって、い
かなる点においても本発明の範囲を限定するものではな
い。
る。28mmの直径及び4mmの高さを有するステンレ
ス鋼製の円筒状ホルダーの底部に10mgのPdを含む
1gのCo3 O4 /Pd混合物を入れそして僅かにプレ
スする。かくして得られたCo3 O4 /Pd混合物の層
の上に重合体材料のガーゼを配置して粉末を所望の位置
に保つ。ホルダーにおいて、この第一層の上に4.5g
のBaOを導入し、次いで僅かにプレスする。ホルダー
の上方縁端は、最後に、両方の層をそれらの初めの形状
に保つような態様で内側に曲げることによって変形さ
れ、かくして図1aに示されるものに相当する装置が得
られる。
リウム−及びリチウム基合金も含む本発明に従った第二
のゲッター装置の製造を例示する。28mmの直径及び
6mmの高さを有するステンレス鋼製の第一円筒状ホル
ダーの底部に10mgのPdを含む1gのCo3 O4 /
Pd混合物を入れそして僅かにプレスする。かくして得
られたCo3 O4 /Pd混合物の層の上に重合体材料の
ガーゼを配置して粉末を所望の位置に保つ。15mmの
直径及び3mmの高さを有するステンレス鋼製の第二の
円筒状ホルダーを別個に準備し、0.25gのBaLi
4 合金を充填し、僅かに圧縮しそして重合体材料のガー
ゼで覆う。第一ホルダーにおいてCo3 O4 /Pd混合
物をその位置に保つガーゼの上にBaLi4 合金のホル
ダーを導入する。次いで、第一ホルダーにCo3 O4 /
Pd混合物及びBaLi4 合金のホルダーの両方を完全
に覆うまで4gの粉末BaOを導入する。BaO粉末を
水平にし、僅かに圧縮し、そして重合体材料のガーゼに
よって覆ってそれを適所に保つ。最後に、第一ホルダー
の上方縁端を僅かに内側に曲げて構造全体を適所に保
ち、かくして図3に示されるものに相当するゲッター装
置を得る。
する。圧力計に連結されそして遮断弁を介してガス流入
及び流出管に連結された1.5リットル容量の測定室に
例1の装置を入れる。充填材を収容したプラスチックジ
ャケットでのガス環境をまねて、測定室に50%のCO
及び50%のH2 を含むガス混合物を該室で0.32m
barの全圧に達するまで導入する。最後に、室を閉じ
そして圧力の変動(mbar)を時間(分)の関数とし
て監視する。室温で実施した試験の結果を図4において
曲線1としてプロットする。
置を使用して例3の試験を反復する。比較ゲッター装置
は、例1のものと同様の構造を有するがしかし0.25
gのBaLi4 及び4.5gのBaOを収容する。この
試験の結果を図4において曲線2としてプロットする。
する。測定室に33.3%のCO、33.3%のH2 及
び33.3%のN2 を含むガス混合物を導入したことを
除いて例3の試験を反復する。例2の装置の存在下に室
における圧力の変動を時間の関数として監視する。試験
結果を図5において曲線3としてプロットするが、室の
全圧(mbar)は時間(分)の関数として与えられて
いる。
OはCaOによって置き換えられている)によるガス収
着試験を例示する。例3のものと同様の全容量が0.7
4リットルの測定室に、2gのCaO、1gのCo3 O
4 及び10mgのPdを収容するゲッター装置を入れ
る。室を1.33・10-5mbarの圧力で排気させ
る。次いで、CO2 を室に0.86mbarの圧力に達
するまでそのままにし、そして圧力の変動(mbar)
を時間(分)の関数として監視する。この試験の結果を
図6において曲線4としてプロットする。
反復する。この試験の結果を図6において曲線5として
プロットする。
する。測定室に試験ガスとしてシクロペンタンを導入し
たことを除いて例3の試験を反復する。例2の装置の存
在下に室における圧力の変動を時間の関数として監視す
る。試験結果を図7において曲線6として片対数グラフ
でプロットするが、室の全圧(mbar)は時間(分)
の関数として与えられている。
する。測定室に141−bを導入したことを除いて例3
の試験を反復する。例1の装置の存在下に室における圧
力の変動を時間の関数として監視する。試験結果を図8
において曲線7として片対数グラフでプロットするが、
圧力(mbar)は時間(分)の関数として与えられて
いる。
する。測定室にCFC11として知られるCFCガスを
導入したことを除いて例3の試験を反復する。例1の装
置の存在下に室における圧力の変動を時間の関数として
監視する。試験結果を図9において曲線8として片対数
グラフでプロットするが、圧力(mbar)は時間
(分)の関数として与えられている。
する。例8の完了後に、室に窒素を約1.45mbar
の圧力に達するまでそのままにする。室を閉じそして圧
力の変動を時間(分)の関数として監視する。この試験
の結果を図10において曲線9としてプロットする。
物質の組み合わせは、熱絶縁ジャケットに特に冷凍機の
パネルにそれらの操作の間に入ることが予測されるガス
をすべて効果的に吸収することが明確に理解される。特
に、水素及び一酸化炭素のようなガスは数分で吸収さ
れ、これに対して従来技術の低活性化温度のゲッターは
より長い時間を要したことが理解される。また、本発明
の組み合わせは、予想外にも、炭化水素から中間のHC
FCsを経て全ハロゲン置換炭化水素CFCsの範囲に
わたる有機ガスを収着できることも分かる。最後に、試
験の結果は、大気ガスを代表する窒素の収着が有機ガス
の先立っての(又は、操作中での同時の)吸収によって
阻害されないことを示している。かくして、本発明の物
質の組み合わせ及びそれらを収容する装置は、150℃
よりも高い熱処理に耐えることができず従って室温で使
用される熱絶縁ジャケットの内部に所望の真空度を維持
するという問題に対する信頼できる解決策を提供するも
のである。
例を示す。図1bは、本発明のゲッター装置の別の具体
例を示す。
−及びリチウム基合金との三成分組み合わせの場合の本
発明のゲッター装置の1つの具体例を示す。
−及びリチウム基合金との三成分組み合わせの場合の本
発明のゲッター装置の好ましい具体例を示す。
ッター装置によるガス混合物の収着を、従来技術のゲッ
ター装置による同じガス混合物の収着と比較して示すグ
ラフである。
む本発明に従った物質の組み合わせを収容するゲッター
装置によるガス混合物の収着を示すグラフである。
む本発明に従った物質の組み合わせを収容するゲッター
装置による二酸化炭素(CO2 )の収着を従来技術のゲ
ッター装置による収着と比較して示すグラフである。
ッター装置によるシクロペンタンの収着を示すグラフで
ある。
ッター装置によるHCFCガスの収着を示すグラフであ
る。
ッター装置によるCFCガスの収着を示すグラフであ
る。
含む本発明に従った物質の組み合わせを収容するゲッタ
ー装置によるシクロペンタンの収着後の窒素の収着を示
すグラフである。
Claims (9)
- 【請求項1】 酸化コバルト、酸化銅又はそれらの混合
物から選択される遷移金属酸化物MOと金属パラジウム
とのMO/Pd混合物であって、2重量%までの金属パ
ラジウムを含有するMO/Pd混合物と、 室温において1Paよりも低いH2O蒸気圧を有する水
分収着性物質と、 より成り、かつMO/Pd混合物と水分収着性物質とは
混合されていないことを特徴とするゲッター物質の組み
合わせ。 - 【請求項2】 バリウム−リチウム基合金を更に含んで
成る請求項1記載のゲッター物質の組み合わせ。 - 【請求項3】 酸化コバルト、酸化銅又はそれらの混合
物から選択される遷移金属酸化物MOと金属パラジウム
とのMO/Pd混合物であって、2重量%までの金属パ
ラジウムを含有するMO/Pd混合物と、 室温において1Paよりも低いH2O蒸気圧を有する水
分収着性物質と、 より成るゲッター物質の組み合わせを含み、かつ水分収
着性物質のみが外部環境と直接接触していることを特徴
とするゲッター装置。 - 【請求項4】 ガス不透過性材料から作られた上向開放
型ホルダー(11)中に、MO/Pd混合物の層(1
2)と、水分収着性物質の層(13)とより成るゲッタ
ー物質の組み合わせを含み、そのホルダー自体の底部か
らホルダーの開口端に向かって、MO/Pd混合物の層
(12)、水分収着性物質の層(13)の順に配置され
ている請求項3記載のゲッター装置。 - 【請求項5】 酸化コバルト、酸化銅又はそれらの混合
物から選択される遷移金属酸化物MOと金属パラジウム
とのMO/Pd混合物であって、2重量%までの金属パ
ラジウムを含有するMO/Pd混合物と、 バリウム−リチウム基合金と、 室温において1Paよりも低いH2O蒸気圧を有する水
分収着性物質と、 より成るゲッター物質の組み合わせを含み、かつ水分収
着性物質のみが外部環境と直接接触していることを特徴
とするゲッター装置。 - 【請求項6】 ガス不透過性材料から作られた上向開放
型ホルダー(11)中に、MO/Pd混合物の層(2
2)と、水分収着性物質の第一層(23)と、バリウム
−リチウム基合金の層(24)と、水分収着性物質の第
二層(25)とより成るゲッター物質の組み合わせを含
み、そのホルダー自体の底部からホルダーの開口端に向
かって、MO/Pd混合物の層(12)、水分収着性物
質の層(13)、バリウム−リチウム基合金の層(2
4)、水分収着性物質の第二層(25)の順で配置され
ている請求項5記載のゲッター装置。 - 【請求項7】 ガス不透過性材料から作られた上向開放
型である第一ホルダー(31)と、 第一ホルダーの底部に配置されたMO/Pd混合物の層
(33)と、 MO/Pd混合物の層(33)の上に配置された上向開
放型である第二ホルダー(32)であって、MO/Pd
混合物の層(33)の高さと第二ホルダーの高さの合計
高さが第一ホルダーの内側高さよりも低い第二ホルダー
(32)と、 第二ホルダー内に配置されたバリウム−リチウム基合金
(34)と、 第二ホルダー(32)及びMO/Pd混合物の層(3
3)を完全に覆うように第一ホルダー(31)内に配置
された水分収着性物質の層(35)と、 よりなる請求項5記載のゲッター装置。 - 【請求項8】 少なくとも部分的にプラスチック材料か
ら作られた熱絶縁性ジャケット中に、 酸化コバルト、酸化銅又はそれらの混合物から選択され
る遷移金属酸化物MOと金属パラジウムとのMO/Pd
混合物であって、2重量%までの金属パラジウムを含有
するMO/Pd混合物と、 室温において1Paよりも低いH2O蒸気圧を有する水
分収着性物質と、 より成るゲッター物質の組み合わせが収容され、かつM
O/Pd混合物と水分収着性物質とは混合されていない
ことを特徴とするゲッター物質の組み合わせを収容して
いる熱絶縁性ジャケット。 - 【請求項9】 少なくとも部分的にプラスチック材料か
ら作られた熱絶縁性ジャケット中に、 酸化コバルト、酸化銅又はそれらの混合物から選択され
る遷移金属酸化物MOと金属パラジウムとのMO/Pd
混合物であって、2重量%までの金属パラジウムを含有
するMO/Pd混合物と、 室温において1Paよりも低いH2O蒸気圧を有する水
分収着性物質と、 バリウム−リチウム基合金と、 より成るゲッター物質の組み合わせが収容され、かつM
O/Pd混合物と水分収着性物質とバリウム−リチウム
基合金とは混合されていないことを特徴とするゲッター
物質の組み合わせを収容している熱絶縁性ジャケット。
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