KR970009874A - 게터물질의 화합물과 이를 수용한 게터장치 그리고 이러한 게터물질로 제조된 단열자켓 - Google Patents

게터물질의 화합물과 이를 수용한 게터장치 그리고 이러한 게터물질로 제조된 단열자켓 Download PDF

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Abstract

본 발명은 약 200℃ 이상의 온도로는 가열되지 않는 장치에서 진공상태를 유지하기에 특히 적합한 게터물질의 화합물의 게터장치 및 이러한 게터물질로 제조된 단열자켓에 관한 것이다. 본 발명의 게터물질의 화합물은 산화 코발트, 산화구리, 또는 이들의 화합물중에서 선택된 전이금속 MO와 중량비로 2%에 달하는 금속제 팔라듐간의 MO/Pd 혼합물과, 습기흡착재료를 포함하고 있다. 본 발명의 특별한 응용에서, 바륨 및 리튬을 기초한 합금, 바람직하는 BaLi4가 이 화합물에 첨가될 수 있다. 이러한 화합물을 함유한 게터장치 또한 바람직하다.
[대표도 : 제1도]

Description

게터물질의 화합물과 이를 수용한 게터장치 그리고 이러한 게터물질로 제조된 단열자켓
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명의 게터물질의 실시예를 도시한 개략도, 제 1a 도는 본 발명의 게터물질의 가능한 다른 하나의 실시예를 도시한 개략도,
제 2 도는 몰리브덴/팔라디움(MO/Pd)과, 흡기재료와, 그리고 바륨 및 리튬을 기초로한 합금의 3가지 성분을 가진 혼합물의 경우에 본 발명의 게터장치의 가능한 한 실시예를 도시한 개략도,
제 3 도는 몰리브덴/팔라디움과, 흡기재료와, 그리고 바륨 및 리튬을 기초로한 합금의 3가지 성분을 가진 혼합물의 경우에 본 발명의 게터장치의 바람직한 실시예를 도시한 개략도.

Claims (35)

  1. 산화코발트, 산화구리 또는 그들의 화합물중에서 선택된 전이 금속의 산화물(MO)과 2% 중량비 이하의 금속팔라듐이 MO/Pd 혼합물과, 실온에서 1Pa 미만의 H2O 증기압을 가진 습기흡착재료로 구성된 것을 특징으로 하는 게터물질의 화합물.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 MO/Pd 혼합물은 500㎛ 이하의 입자크기를 가진 분말 형태로 사용되는 것을 특징으로 하는 게터물질의 화합물.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 MO/Pd 혼합물은 1 내지 200㎛의 입자크기를 가진 분말 형태로 사용되는 것을 특징으로 하는 게터물질의 화합물.
  4. 제 1항에 있어서, 습기흡착재료는 칼슘, 스트론튬, 바륨 및 인의 산호물 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 게터물질의 화합물.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 흡착재료는 50 내지 500㎛의 입자크기를 가지는 것을 특징으로 하는 게터물질의 화합물.
  6. 제 4항에 있어서, 상기 습기흡착재료에 분말 알루미나가 첨가되는 것을 특징으로 하는 게터물질의 화합물.
  7. 제 4항에 있어서, 상기 습기흡착재료는 산화바륨인 것을 특징으로 하는 게터물질의 화합물.
  8. 제 4항에 있어서, 상기 습기흡착재료는 산화칼슘인 것을 특징으로 하는 게터물질의 화합물.
  9. 제 1항에 있어서, MO/Pd 혼합물과 습기흡착재료간의 중량비는 5:1 내지 1:20에서 변형되는 것을 특징으로 하는 게터물질의 화합물.
  10. 제 9항에 있어서, MO/Pd 혼합물과 습기흡착재료간의 중량비는 1:1 내지 1:5 사이에서 변형되는 것을 특징으로 하는 게터물질의 화합물.
  11. 제 1항에 있어서, 바륨 및 리튬을 기초한 합금을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 게터물질의 화합물.
  12. 제11항에 있어서, 바륨 및 리튬을 기초한 합금은 500㎛ 미만의 입자크기를 가지는 것을 특징으로 하는 게터물질의 화합물.
  13. 제12항에 있어서, 바륨 및 리튬을 기초한 합금은 150㎛ 미만의 입자크기를 가지는 것을 특징으로 하는 게터물질의 화합물.
  14. 제11항에 있어서, 바륨 및 리튬을 기초한 합금은 BaLi4인 것을 특징으로 하는 게터물질의 화합물.
  15. 제11항에 있어서, MO/Pd 혼합물과 바륨 및 리튬을 기초한 합금의 중량비는 10:1 내지 1:5 사이에서 변형되는 것을 특징으로 하는 게터물질의 화합물.
  16. 제15항에 있어서, MO/Pd 혼합물과 바륨 및 리튬을 기초한 합금의 중량비는 5:2 내지 1:2 사이에서 변형되는 것을 특징으로 하는 게터물질의 화합물.
  17. 제11항에 있어서, 습기흡착재료와 바륨 및 리튬을 기초한 합금의 중량비는 50:1 내지 1:5 사이에서 변형되는 것을 특징으로 하는 게터물질의 화합물.
  18. 제17항에 있어서, 습기흡착재료와 바륨 및 리튬을 기초한 합금의 중량비는 20:1 내지 1:1 사이에서 변형되는 것을 특징으로 하는 게터물질의 화합물.
  19. 산화코발트, 산화구리 또는 그들의 화합물중에서 선택된 전이 금속의 산화물(MO)과 2% 중량비 이하의 금속 팔라듐간의 MO/Pd 혼합물과, 실온에서 1Pa 이하의 H2O 증기압을 가진 습기흡착재료를 포함하는 게터장치에 있어서, 상기 증기흡착재료는 외부환경과 직접 접촉하는 것을 특징으로 하는 게터장치.
  20. 제19항에 있어서, 가스 투광성 재료로 제조된 상부로 개방된 홀더⑾로 형성되어 있고, 상기 홀더의 바닥으로부터 그 개방된 상부쪽으로, MO/Pd 혼합물의 층⑿과, 습기흡착재료의 층⒀을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 게터장치.
  21. 제20항에 있어서, 상기 홀더⑾의 상부 가장자리⒁는 안쪽으로 굽혀져 있는 것을 특징으로 하는 게터장치.
  22. 제20항에 있어서, 상기 홀더⑾의 상부 가장자리⒂는 안쪽으로 굽혀지지 않은 것을 특징으로 하는 게터장치.
  23. 제20항에 있어서, 상기 홀더는 스테인레스 강 및 알루미늄 사이에서 선택된 금속으로 제조된 것을 특징으로 하는 게터장치.
  24. 제20항에 있어서, 2개의 서로 다른 게터물질이 이들을 통한 가스의 유동을 용이하게 하는 기체적 분리부재에 의해서 분리되어 있는 것을 특징으로 하는 게터장치.
  25. 산화코발트, 산화구리 또는 이들의 화합물 중에서 선택된 전이금속의산화물 MO와, 중량비로 2% 이하의 금속 팔라듐간의 MO/Pd 혼합물과, 바륨 및 리튬을 기초한 합금과, 그리고 실온에서 1Pa 이하의 H2O 증기압을 가진 습기흡착 재료를 포함하는 게터장치에 있어서, 상기 증기흡착재료는 외부 환경과 직접 접촉하는 것을 특징으로 하는 게터장치.
  26. 제25항에 있어서, 가스 투광성 재료로 제조된 윗쪽으로 개방된 홀더(21)로 형성되어 있고, 상기 홀더의 바닥으로부터 그 개방 단부를 향하여, MO/Pd 혼합물의 층(22)과, 습기흡착재료의 층(23)과, 리튬 및 바륨을 기초로한 합금의 층(24)과, 그리고 습기흡착재료의 제2층(25)을 포함하는 것을 특징으로 하는 게터장치.
  27. 제26항에 있어서, 상기 홀더(21)의 상부 가장자리(26)가 안쪽으로 굽혀져 있는 것을 특징으로 하는 게터장치.
  28. 제26항에 있어서, 상기 홀더(21)의 상부 가장자리가 안쪽으로 굽혀져 있는 것을 특징으로 하는 게터장치.
  29. 제25항에 있어서, 윗쪽으로 개방되고 가스 투광성 재료로 제조된 제1홀더(31)와, 상기 제1홀더의 바닥위에 설치된 MO/Pd 혼합물의 층(33)과, 상기 층(33)의 높이에 더해지는 높이가 안쪽에서 측정되는 제1홀더의 높이보다 낮도록 상기 층(33)위에 설치되어 윗쪽으로 개방된 제2홀더(32)와, 상기 제2홀더내에 제공된 바륨 및 리튬을 기초한 합금(34)과, 상기 제2홀더(32)와 MO/Pd 혼합물의 층(33)을 완전하게 덮기 위해서 제1홀더(35)내에 제공된 습기흡착재료(35)를 포함하는 것을 특징으로 하는 게터장치.
  30. 제29항에 있어서, 상기 제1홀더(31)의 상부 가장자리(37)가 안쪽으로 굽혀져 있는 것을 특징으로 하는 게터장치.
  31. 제29항에 있어서, 상기 제1홀더(31)의 상부 가장자리가 안쪽으로 굽혀지지 않은 것을 특징으로 하는 게터장치.
  32. 제29항에 있어서, 상기 제1홀더(31)는 알루미늄으로 제조되고 상기 제2홀더(32)는 스테인레스 강으로 제조되는 것을 특징으로 하는 게터장치.
  33. 제29항에 있어서, 습기흡착재료의 층(35)위에 기계적 보유부재(36)가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 게터장치.
  34. 게터물질의 화합물을 포함하는 플라스틱재료로 적어도 부분적으로 제조된 단열자켓에 있어서, 산화 코발트, 산화구리, 또는 이들의 화합물 중에서 선택된 전이금속의 산화물 MO와 2% 중량비의 금속 팔라듐간의 MO/Pd 혼합물과, 실온에서 1Pa 이하의 H2O 증기압을 가지는 습기흡착재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 단열자켓
  35. 게터물질의 화합물을 포함하는 플라스틱재료로 적어도 부분적으로 제조된 단열자켓에 있어서, 산화 코발트, 산화구리, 또는 이들의 화합물 중에서 선택된 전이금속의 산화물 MO, 2% 중량비의 금속 팔라듐간의 MO/Pd 혼합물과, 실온에서 1Pa 이하의 H2O 증기압을 가지는 습기흡착재료와, 그리고 바륨 및 리튬을 기초한 합금을 포함하는 것을 특징으로 하는 단열자켓.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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