JP3173332B2 - 金属箔張り積層板の製造法 - Google Patents

金属箔張り積層板の製造法

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JP3173332B2 JP18010495A JP18010495A JP3173332B2 JP 3173332 B2 JP3173332 B2 JP 3173332B2 JP 18010495 A JP18010495 A JP 18010495A JP 18010495 A JP18010495 A JP 18010495A JP 3173332 B2 JP3173332 B2 JP 3173332B2
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/03Use of materials for the substrate
    • H05K1/0313Organic insulating material
    • H05K1/0353Organic insulating material consisting of two or more materials, e.g. two or more polymers, polymer + filler, + reinforcement
    • H05K1/0373Organic insulating material consisting of two or more materials, e.g. two or more polymers, polymer + filler, + reinforcement containing additives, e.g. fillers

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  • Reinforced Plastic Materials (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、面方向の熱膨張率
が小さい金属箔張り積層板の製造法に関する。この積層
板は、プリント回路板に表面実装方式で部品を搭載した
とき高い接続信頼性を確保するためのプリント回路板材
料として適したものである。
【0002】
【従来の技術】近年、電子機器は、小型化、多機能化、
高速化が要求されている。これらの要求に対して、使用
されるLSIは、微細配線化とチップサイズの大型化、
パッケージ外形の小型化あるいはベアチップ実装へと向
かい、半導体素材であるシリコンと同等かよりそれに近
い熱膨張率の部品となってきた。このため、これを搭載
するプリント回路板の基板にも、接続信頼性の面から、
小さい熱膨張率が要求されている。従来、その要求に対
応するため、セラミック基板、セラミック−樹脂複合基
板、繊維複合樹脂基板等が開発されているが、小さい熱
膨張率、良好な加工性の両方を満足するような基板は存
在しなかった。この問題を解決するため、シート状基材
にエポキシ樹脂を含浸乾燥して得たプリプレグの層とそ
の表面に載置した金属箔を加熱加圧成形して一体化した
金属箔張り積層板を基板に用いるものにおいて、エポキ
シ樹脂にブタジエン−アクリロニトリル共重合体、オル
ガノポリシロキサンなどの可撓化剤を添加する技術が提
案されている。可撓化剤の添加によって樹脂の弾性率を
低下させ、積層板の面方向の熱膨張を抑えようとするも
のである(特開平3−91288号公報)。しかし、ブ
タジエン−アクリロニトリル共重合体を添加すると電気
特性が劣化する。また、オルガノポリシロキサンを添加
すると耐熱性は良好であるが、オルガノポリシロキサン
とエポキシ樹脂の反応性が乏しいために、積層板表面に
オルガノポリシロキサンがブリードする(オルガノポリ
シロキサンの層が積層板表面にうきだす現象)。これら
の問題を解決するため、シート状基材に含浸してプレプ
レグを製造するためのエポキシ樹脂ワニスに、当該エポ
キシ樹脂と相溶するアクリルゴムを添加する技術が提案
されている(特願平6−231894号)。この技術に
よれば、成形した積層板の電気特性と耐熱性は良好であ
るが、成形時に表面に一体化した金属箔の引き剥がし強
さがやや劣っている。また、エポキシ樹脂ワニスにこれ
と相溶するアクリルゴムを多量に配合すると、製造した
プリプレグに粘着性が残るために、作業性を考慮すると
配合可能なアクリルゴムの量は限られてしまう。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、可撓化剤の添加によってエポキシ樹脂の弾
性率を低下させ面方向の熱膨張を抑えた金属箔張り積層
板を製造する方法において、金属箔の引き剥がし強さが
良好で、かつ熱膨張率が小さい金属箔張り積層板を製造
することである。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明に係る金属箔張り積層板の製造法は、硬化
剤を含有するエポキシ樹脂ワニスをシート状基材に含浸
乾燥して得たプリプレグの層とその表面に載置した金属
箔とを加熱加圧成形して一体化する方法において、前記
プリプレグの層の一部ないし全部が、エポキシ樹脂と相
溶しないゴム弾性を有する微粒子を分散させたエポキシ
樹脂ワニスをシート状基材に含浸乾燥して得たプリプレ
グであることを特徴とする。この方法で製造した積層板
は、硬化したエポキシ樹脂中にゴム弾性を有する微粒子
が分散している。これが、熱膨張によりエポキシ樹脂に
発生した応力を吸収緩和しているため、積層板の平面方
向の熱膨張を小さく抑えられるものと推測される。前記
ゴム弾性を有する微粒子は、エポキシ樹脂と相溶するゴ
ムとは異なり、プリプレグを製造するためのエポキシ樹
脂ワニス中で固体である。ゴム弾性を有する微粒子は、
エポキシ樹脂が硬化した後も粒子径が安定しており、エ
ポキシ樹脂に悪影響を与えないため、ゴム微粒子の存在
によって積層板性能はほとんど変化しない。従って、エ
ポキシ樹脂と相溶するゴムを添加した場合に問題になっ
ていた金属箔引き剥がし強さが大きくなる。ゴム弾性を
有する微粒子の含有量は、好ましくは、エポキシ樹脂と
硬化剤を合せた固形重量100に対して5以上である。
これによって、ゴム微粒子の可撓性が効果的に発揮さ
れ、積層板の低熱膨張化に一層効果的である。ゴム弾性
を有する微粒子としては、アクリルゴム微粒子、ニトリ
ルブタジエンゴム(略称「NBR」)微粒子、シリコン
ゴム微粒子があげられる。
【0005】本発明に係る金属箔張り積層板の製造法
は、さらに好ましくは、ゴム微粒子分散エポキシ樹脂ワ
ニスに、エポキシ樹脂と硬化剤を合せた固形重量100
に対して20以下の量でエポキシ樹脂と相溶するゴムを
配合する。ゴム微粒子と、エポキシ樹脂と相溶するゴム
を併用すると、両方の可撓化剤の相乗効果によって熱膨
張率はさらに小さくなる。エポキシ樹脂と相溶するゴム
の配合量を、ワニス中のエポキシ樹脂と硬化剤を合せた
固形重量100に対して20以下にすることによって、
ゴム微粒子が、エポキシ樹脂と相溶するゴムの欠点を補
なうように作用するため、金属箔引き剥がし強さも低下
せず、プリプレグのタック性の点でも問題がない。エポ
キシ樹脂と相溶するゴムとしては、アクリルゴムがあげ
られ、例えば、下記の(式1)で示されるアクリルゴム
が好ましい。製造した積層板の性能のバランスが良好と
なるからである。さらに、(式1)で示されるアクリル
ゴムの分子中のR1が、エポキシ基を含有する官能基で
一部置換されていると、金属箔引き剥がし強さは一層大
きくなる。これは、アクリルゴム分子中のエポキシ基の
良好な反応性によるものと推測される。アクリルゴム微
粒子分散エポキシ樹脂ワニスとNBR微粒子分散エポキ
シ樹脂ワニスには、それぞれ上記エポキシ樹脂と相溶す
るゴムに替えてシリコンゴム微粒子を併用してもよく、
併用する量は、エポキシ樹脂と硬化剤を合せた固形重量
100に対して20以下の量である。このようにアクリ
ルゴム微粒子を分散させたエポキシ樹脂ワニスにシリコ
ンゴムを配合した場合にも、上記のエポキシ樹脂と相溶
するアクリルゴムを配合した場合と同様の効果が現れ
る。シリコンゴムはスリップ剤としても作用するので、
プリプレグにタック性が残らないようにする上でも好都
合である。
【0006】
【化2】
【0007】
【発明の実施の形態】ゴム微粒子の粒子径は特に限定す
るものではないが、0.1〜10μmの粒子径を選ぶこ
とが望ましい。以下の例では、アクリルゴム微粒子分散
エポキシ樹脂として、日本触媒製の商品名「HDG31
6」を用いた。アクリルゴム微粒子は、平均粒子径0.
1〜4μmであり、含有量40重量%である。エポキシ
樹脂は、1,6HD−DGEタイプであり、エポキシ当
量270である。このアクリルゴム微粒子分散エポキシ
樹脂と別途用意したエポキシ樹脂を混合してアクリルゴ
ム微粒子分散エポキシ樹脂ワニス中のアクリルゴム微粒
子含有量を調整する。NBR微粒子として、日本合成ゴ
ム製の商品名「XER−91」を用いた。NBR微粒子
は、平均粒子径0.07μmである。また、シリコンゴ
ム微粒子として、東レ・ダウコーニング・シリコーン製
の商品名「トレフィルE−601」を用いた。平均粒子
径は2μmである。エポキシ樹脂と相溶するアクリルゴ
ムとして、次の2種を用いた。 (1)アクリルゴム1 帝国化学産業製の商品名「SG−P3DR」,分子量:
90万,(式1)におけるRは水素、R1は次の基が混
在している。
【0008】
【化3】
【0009】(2)アクリルゴム2 帝国化学産業製の商品名「SG−600LB」,分子
量:90万,(式2)に示す分子構造を有する。
【0010】
【化4】
【0011】
【実施例】本発明の実施例を、以下、従来例および参考
例とともに説明する。 実施例1 エポキシ樹脂(油化シェル社製「エピコート100
1」,エポキシ当量:500)96重量部、ジシアンジ
アミド4重量部、2−エチル4−メチルイミダゾール
(2E4MZ)0.5重量部に、アクリルゴム微粒子含
有量がエポキシ樹脂と硬化剤を合せた固形重量100に
対して5,10,20,30,40のそれぞれになるよ
うに、上記のアクリルゴム微粒子分散エポキシ樹脂を配
合し、固形分が60重量%となるようにメチルエチルケ
トンとメチルグリコールに溶解しワニスを調製した。上
記各ワニスをガラス織布(厚み:0.18mm)に含浸乾
燥し、樹脂量40重量%のプリプレグa〜eを得た。プ
リプレグa〜eをそれぞれ4枚重ね、その両側に厚さ1
8μmの銅箔を配し、温度170℃、圧力40Kg/cm2
で90分間加熱加圧成形して、厚さ0.8mmの両面銅張
り積層板を得た。各銅張り積層板のアクリルゴム微粒子
含有量と熱膨張率および銅箔引き剥がし強さとの関係
を、アクリルゴム微粒子含有量0の場合と併せて図1に
示す。
【0012】実施例2 実施例1において、アクリルゴム微粒子の代わりにNB
R微粒子を用い、以下実施例1と同様にして両面銅張り
積層板を作製し評価した。各銅張り積層板のNBR微粒
子含有量と熱膨張率および銅箔引き剥がし強さとの関係
を、NBR微粒子含有量0の場合と併せて図2に示す。
尚、エポキシ樹脂と硬化剤を合せた固形重量100に対
してNBR微粒子を40とする配合は困難であるので、
実施しなかった。
【0013】実施例3 実施例1において、アクリルゴム微粒子の代わりにシリ
コンゴム微粒子を用い、以下実施例1と同様にして両面
銅張り積層板を作製し評価した。各銅張り積層板のシリ
コンゴム微粒子含有量と熱膨張率および銅箔引き剥がし
強さとの関係を、シリコンゴム微粒子含有量0の場合と
併せて図3に示す。
【0014】実施例4 エポキシ樹脂(油化シェル社製「エピコート100
1」,エポキシ当量:500)96重量部、ジシアンジ
アミド4重量部、2−エチル4−メチルイミダゾール
(2E4MZ)0.5重量部に、アクリルゴム微粒子含
有量がエポキシ樹脂と硬化剤を合せた固形重量100に
対して20になるように、上記のアクリルゴム微粒子分
散エポキシ樹脂を配合した。さらに、エポキシ樹脂と相
溶するアクリルゴムがエポキシ樹脂と硬化剤を合せた固
形重量100に対して5,10,20,30のそれぞれ
になるように上記のアクリルゴム2「SG−600L
B」を配合し、固形分が60重量%となるようにメチル
エチルケトンとメチルグリコールに溶解しワニスを調製
した。上記各ワニスをガラス織布(厚み:0.18mm)
に含浸乾燥し、樹脂量40重量%のプリプレグf〜iを
得た。プリプレグf〜iをそれぞれ4枚重ね、その両側
に厚さ18μmの銅箔を配し、以下実施例1と同様にし
て両面銅張り積層板を得た。各銅張り積層板のエポキシ
樹脂相溶アクリルゴム2の含有量と熱膨張率および銅箔
引き剥がし強さとの関係を、エポキシ樹脂相溶アクリル
ゴム2の含有量0の場合と併せて図4に示す。
【0015】実施例5 実施例4において、アクリルゴム微粒子の代わりにNB
R微粒子を用い、以下実施例4と同様にして両面銅張り
積層板を作製し評価した。各銅張り積層板のNBR微粒
子含有量と熱膨張率および銅箔引き剥がし強さとの関係
を、NBR微粒子含有量0の場合と併せて図5に示す。
【0016】実施例6 実施例4において、アクリルゴム微粒子の代わりにシリ
コンゴム微粒子を用い、以下実施例4と同様にして両面
銅張り積層板を作製し評価した。各銅張り積層板のシリ
コンゴム微粒子含有量と熱膨張率および銅箔引き剥がし
強さとの関係を、シリコンゴム微粒子含有量0の場合と
併せて図6に示す。
【0017】実施例7 エポキシ樹脂(油化シェル社製「エピコート100
1」,エポキシ当量:500)96重量部、ジシアンジ
アミド4重量部、2−エチル4−メチルイミダゾール
(2E4MZ)0.5重量部に、アクリルゴム微粒子含
有量がエポキシ樹脂と硬化剤を合せた固形重量100に
対して20になるように、上記のアクリルゴム微粒子分
散エポキシ樹脂を配合した。さらに、エポキシ樹脂と相
溶するアクリルゴムがエポキシ樹脂と硬化剤を合せた固
形重量100に対して5,10,20,30のそれぞれ
になるように上記のアクリルゴム1「SG−P3DR」
を配合し、固形分が60重量%となるようにメチルエチ
ルケトンとメチルグリコールに溶解しワニスを調製し
た。上記各ワニスをガラス織布(厚み:0.18mm)に
含浸乾燥し、樹脂量40重量%のプリプレグj〜mを得
た。プリプレグj〜mをそれぞれ4枚重ね、その両側に
厚さ18μmの銅箔を配し、以下実施例1と同様にして
両面銅張り積層板を得た。各銅張り積層板のエポキシ樹
脂相溶アクリルゴム1の含有量と熱膨張率および銅箔引
き剥がし強さとの関係を、エポキシ樹脂相溶アクリルゴ
ム1の含有量0の場合と併せて図7に示す。
【0018】実施例8 実施例7において、アクリルゴム微粒子の代わりにNB
R微粒子を用い、以下実施例7と同様にして両面銅張り
積層板を作製し評価した。各銅張り積層板のNBR微粒
子含有量と熱膨張率および銅箔引き剥がし強さとの関係
を、NBR微粒子含有量0の場合と併せて図8に示す。
【0019】実施例9 実施例7において、アクリルゴム微粒子の代わりにシリ
コンゴム微粒子を用い、以下実施例7と同様にして両面
銅張り積層板を作製し評価した。各銅張り積層板のシリ
コンゴム微粒子含有量と熱膨張率および銅箔引き剥がし
強さとの関係を、シリコンゴム微粒子含有量0の場合と
併せて図9に示す。
【0020】実施例10 エポキシ樹脂(油化シェル社製「エピコート100
1」,エポキシ当量:500)96重量部、ジシアンジ
アミド4重量部、2−エチル4−メチルイミダゾール
(2E4MZ)0.5重量部に、アクリルゴム微粒子含
有量がエポキシ樹脂と硬化剤を合せた固形重量100に
対して20になるように、上記のアクリルゴム微粒子分
散エポキシ樹脂を配合した。さらに、シリコンゴム微粒
子をエポキシ樹脂と硬化剤を合せた固形重量100に対
して5,10,20,30のそれぞれになるように配合
し、固形分が60重量%となるようにメチルエチルケト
ンとメチルグリコールに溶解させワニスを調製した。上
記各ワニスをガラス織布(厚み:0.18mm)に含浸乾
燥し、樹脂量40重量%のプリプレグn〜qを得た。プ
リプレグn〜qをそれぞれ4枚重ね、その両側に厚さ1
8μmの銅箔を配し、以下実施例1と同様にして両面銅
張り積層板を得た。各銅張り積層板のシリコンゴム微粒
子含有量と熱膨張率および銅箔引き剥がし強さとの関係
を、シリコンゴム微粒子含有量0の場合と併せて図10
に示す。
【0021】実施例11 実施例10において、アクリルゴム微粒子の代わりにN
BR微粒子を用い、以下実施例10と同様にして両面銅
張り積層板を作製し評価した。各銅張り積層板のシリコ
ンゴム微粒子含有量と熱膨張率および銅箔引き剥がし強
さとの関係を、シリコンゴム微粒子含有量0の場合と併
せて図11に示す。
【0022】従来例 エポキシ樹脂(油化シェル社製「エピコート100
1」,エポキシ当量:500)96重量部、ジシアンジ
アミド4重量部、2−エチル4−メチルイミダゾール
(2E4MZ)0.5重量部を、固形分が60重量%と
なるようにメチルエチルケトンとメチルグリコールに溶
解した。さらに、エポキシ樹脂と相溶するアクリルゴム
がエポキシ樹脂と硬化剤を合せた固形重量100に対し
て10になるように上記のアクリルゴム2「SG−60
0LB」を配合しワニスを調製した。上記ワニスをガラ
ス織布(厚み:0.18mm)に含浸乾燥し、樹脂量40
重量%のプリプレグrを得た。プリプレグrを4枚重
ね、その両側に厚さ18μmの銅箔を配し、以下実施例
1と同様にして両面銅張り積層板を得た。尚、プリプレ
グrにはタック性が多少あった。
【0023】従来例の銅張り積層板の特性は、図1〜図
11に併せて示した。図中、熱膨張率は、積層板の平面
方向で基材ヨコ方向の測定値と基材タテ方向の測定値の
平均値である。銅箔引き剥がし強さは、JIS−C−6
481による常態での測定値である。各図から、本発明
に係る実施例によれば、銅箔引き剥がし強さが良好で、
かつ平面方向の熱膨張率の小さい銅張り積層板を製造す
ることができることを理解できる。図1〜図3から、エ
ポキシ樹脂と相溶しないゴム微粒子分散エポキシ樹脂ワ
ニス中の当該ゴム微粒子の含有量を、エポキシ樹脂と硬
化剤の合計100に対して5以上とすることにより、熱
膨張率が一層小さくなることを理解できる。図4〜図9
から、エポキシ樹脂と相溶しないゴム微粒子分散エポキ
シ樹脂ワニスに、エポキシ樹脂と硬化剤を合せた固形重
量100に対して20以下の量でエポキシ樹脂と相溶す
るアクリルゴムを配合することにより、銅箔の引き剥が
し強さを確保しながら、積層板のさらなる低熱膨張率化
を図れることを理解できる。エポキシ樹脂と相溶するア
クリルゴムとして、分子中にエポキシ基を有しているも
のを選ぶと、銅箔の引き剥がし強さを確保する上で一層
有利であることを、図4と図7、図5と図8、図6と図
9の各比較から理解できる。また、図10、図11か
ら、エポキシ樹脂と相溶しないゴム微粒子としてアクリ
ルゴムやNBRを使用した場合、エポキシ樹脂と硬化剤
を合せた固形重量100に対して20以下の量でシリコ
ンゴムを配合することによっても、銅箔の引き剥がし強
さを確保しながら、積層板のさらなる低熱膨張率化を図
れることを理解できる。
【0024】
【発明の効果】上述のように、本発明に係る方法によれ
ば、エポキシ樹脂と相溶しないゴム弾性を有する微粒子
を分散させたエポキシ樹脂ワニスをシート状基材に含浸
乾燥したプリプレグを用いることにより、金属箔の引き
剥がし強さが大きく熱膨張率の小さい金属箔張り積層板
を製造することができる。この金属箔張り積層板は、プ
リント回路板としたとき、表面実装方式で搭載した部品
の高い接続信頼性を確保することができる。ゴム弾性を
有する微粒子の含有量を、エポキシ樹脂と硬化剤の合計
100に対して5以上とすることにより、積層板の熱膨
張率を一層小さくすることができる。ゴム弾性を有する
微粒子分散エポキシ樹脂ワニスに、エポキシ樹脂と硬化
剤を合せた固形重量100に対して20以下の量でエポ
キシ樹脂と相溶するアクリルゴムを配合したりシリコン
ゴムを配合することにより、銅箔の引き剥がし強さを確
保しながら、積層板のさらなる低熱膨張率化を図ること
ができる。エポキシ樹脂と相溶するアクリルゴムを配合
する場合エポキシ基を有しているものを選ぶと、銅箔の
引き剥がし強さを確保する上で一層有利である。
【図面の簡単な説明】
【図1】銅張り積層板のアクリルゴム微粒子含有量と熱
膨張率および銅箔引き剥がし強さとの関係を示す曲線図
である。
【図2】銅張り積層板のNBR微粒子含有量と熱膨張率
および銅箔引き剥がし強さとの関係を示す曲線図であ
る。
【図3】銅張り積層板のシリコンゴム微粒子含有量と熱
膨張率および銅箔引き剥がし強さとの関係を示す曲線図
である。
【図4】アクリルゴム微粒子を含有する銅張り積層板に
おいて、エポキシ樹脂相溶アクリルゴム2の含有量と熱
膨張率および銅箔引き剥がし強さとの関係を示す曲線図
である。
【図5】NBR微粒子を含有する銅張り積層板におい
て、エポキシ樹脂相溶アクリルゴム2の含有量と熱膨張
率および銅箔引き剥がし強さとの関係を示す曲線図であ
る。
【図6】シリコンゴム微粒子を含有する銅張り積層板に
おいて、エポキシ樹脂相溶アクリルゴム2の含有量と熱
膨張率および銅箔引き剥がし強さとの関係を示す曲線図
である。
【図7】アクリルゴム微粒子を含有する銅張り積層板に
おいて、エポキシ樹脂相溶アクリルゴム1の含有量と熱
膨張率および銅箔引き剥がし強さとの関係を示す曲線図
である。
【図8】NBR微粒子を含有する銅張り積層板におい
て、エポキシ樹脂相溶アクリルゴム1の含有量と熱膨張
率および銅箔引き剥がし強さとの関係を示す曲線図であ
る。
【図9】シリコンゴム微粒子を含有する銅張り積層板に
おいて、エポキシ樹脂相溶アクリルゴム1の含有量と熱
膨張率および銅箔引き剥がし強さとの関係を示す曲線図
である。
【図10】アクリルゴム微粒子を含有する銅張り積層板
において、シリコンゴム微粒子の含有量と熱膨張率およ
び銅箔引き剥がし強さとの関係をを示す曲線図である。
【図11】NBR微粒子を含有する銅張り積層板におい
て、シリコンゴム微粒子の含有量と熱膨張率および銅箔
引き剥がし強さとの関係を示す曲線図である。
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI C08L 63/00 C08L 63/00 83/00 83/00 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B32B 15/08 C08J 5/24 C08L 9/02 C08L 33/06 C08L 63/00

Claims (10)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】硬化剤を含有するエポキシ樹脂ワニスをシ
    ート状基材に含浸乾燥して得たプリプレグの層とその表
    面に載置した金属箔とを加熱加圧成形して一体化する金
    属箔張り積層板の製造において、 前記プリプレグの層の一部ないし全部が、エポキシ樹脂
    と相溶しないゴム弾性を有する微粒子を分散させたエポ
    キシ樹脂ワニスをシート状基材に含浸乾燥して得たプリ
    プレグであり、 前記エポキシ樹脂ワニス中のエポキシ樹脂と相溶しない
    ゴム弾性を有する微粒子の含有量が、エポキシ樹脂と硬
    化剤を合せた固形重量100に対して5以上であ ること
    を特徴とする金属箔張り積層板の製造法。
  2. 【請求項2】エポキシ樹脂と相溶しないゴム弾性を有す
    る微粒子が、アクリルゴムであることを特徴とする請求
    項1記載の金属箔張り積層板の製造法。
  3. 【請求項3】エポキシ樹脂と相溶しないゴム弾性を有す
    アクリルゴム微粒子に加えて、エポキシ樹脂と硬化剤
    を合せた固形重量100に対して20以下の量でシリコ
    ンゴム微粒を配合したことを特徴とする請求項記載の
    金属箔張り積層板の製造法。
  4. 【請求項4】エポキシ樹脂と相溶しないゴム弾性を有す
    微粒子が、ニトリルブタジエンゴムであることを特徴
    とする請求項記載の金属箔張り積層板の製造法。
  5. 【請求項5】エポキシ樹脂と相溶しないゴム弾性を有す
    ニトリルブタジエンゴム微粒子に加えて、エポキシ樹
    脂と硬化剤を合せた固形重量100に対して20以下の
    量でシリコンゴム微粒を配合したことを特徴とする請求
    記載の金属箔張り積層板の製造法。
  6. 【請求項6】エポキシ樹脂と相溶しないゴム弾性を有す
    微粒子が、シリコンゴムであることを特徴とする請求
    記載の金属箔張り積層板の製造法。
  7. 【請求項7】エポキシ樹脂と相溶しないゴム弾性を有す
    る微粒子を分散させたエポキシ樹脂ワニスが、エポキシ
    樹脂と硬化剤を合せた固形重量100に対して20以下
    の量でエポキシ樹脂と相溶するゴムを配合したものであ
    ることを特徴とする請求項1〜2,4,6のいずれか
    記載の金属箔張り積層板の製造法。
  8. 【請求項8】エポキシ樹脂と相溶するゴムが、アクリル
    ゴムであることを特徴とする請求項記載の属箔張り積
    層板の製造法。
  9. 【請求項9】エポキシ樹脂と相溶するアクリルゴムが、
    下記の式(1)で示されるアクリルゴムであることを特
    徴とする請求項8記載の属箔張り積層板の製造法。 【化1】
  10. 【請求項10】分子中のR の一部がエポキシ基を含有
    する官能基であることを特徴とする請求項9記載の金属
    箔張り積層板の製造法。
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