JP3166374B2 - プリント配線板のパッド平坦化方法および平坦化装置 - Google Patents

プリント配線板のパッド平坦化方法および平坦化装置

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JP3166374B2 JP01144093A JP1144093A JP3166374B2 JP 3166374 B2 JP3166374 B2 JP 3166374B2 JP 01144093 A JP01144093 A JP 01144093A JP 1144093 A JP1144093 A JP 1144093A JP 3166374 B2 JP3166374 B2 JP 3166374B2
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3457Solder materials or compositions; Methods of application thereof

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  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線板の半田
付け用パッド上に形成された半田を平坦に成形するプリ
ント配線板のパッド平坦化方法およびプリント配線板用
パッド平坦化装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】プリント配線板に形成されるパッドは、
近年のIC類の微細ピッチ化に伴って形成間隔が狭めら
れる微細化する傾向にある。このため、パッドに半田ペ
ーストによって半田層を形成したり、ICリードを接合
するときにパッド間に半田ブリッジが生じ易い。従来で
は、銅パターン(パッド)上に半田ペーストを塗布した
り半田めっきを施したりして半田層を形成し、その後、
リフロー処理を行って半田を溶融,固形化することで半
田ブリッジの発生を抑える手法が採られていた。
【0003】しかしながら、前記半田層はリフロー処理
による溶融時に表面張力によって上面が略半球状にな
り、そのままの状態で固形化してしまう関係から、後工
程のIC実装工程でこの半田上にIC等の外部リードを
位置決めして載せると、リードがパッドから脱落し易く
なってしまう。従来では、このような不具合を解消する
ために、パッド上面を平坦に成形する種々の手法が提案
されている。この平坦化方法の例を図18および図19
によって説明する。
【0004】図18(a)〜(c)は例えば特開平2−
174232号公報に開示された従来のパッド平坦化方
法を説明するための断面図である。同図(a)は銅パタ
ーン上に半田層を形成した状態を示し、同図(b)はリ
フロー処理後の状態を示し、同図(c)は平板状のツー
ルでパッドを加圧している状態を示す。
【0005】図18(a)〜(c)において、1はプリ
ント配線板本体、2はプリント配線板本体1上の所定位
置に形成された半田付け用パッドとしての銅パターンで
ある。この銅パターン2上には半田層3が形成されてい
る。この半田層3は、半田ペーストを銅パターン2上に
塗布したり、銅パターン2に半田めっきを施したりして
形成されている。4はプリント配線板本体1を保持する
テーブル、5はパッド上の半田を押圧して成形するため
の平板状のツールである。
【0006】このパッド平坦化方法は、先ず、図18
(a)に示すように銅パターン2上に半田層3を形成
し、このプリント配線板本体1にリフロー処理を施す。
リフロー後は、同図(b)に示すように、半田層3は溶
融,固形化されてその上端面が略半球状になり、銅パタ
ーン2に融着してパッド上面を構成するようになる。こ
のパッド上面を図中符号6で示す。
【0007】次いで、このプリント配線板本体1をテー
ブル4上に載置固定させ、プリント配線板本体1に上方
から平板状のツール5を圧接させる。すなわち、パッド
上面6はこのツール5によって塑性変形されて上部が平
坦に成形される。パッド上面6に形成された平坦化面を
符号6aで示す。
【0008】ところが、プリント配線板本体1は種々の
熱履歴を経て形成されることから図18(b)に示すよ
うに反っていることがある。このように反った状態のプ
リント配線板本体1にツール5を圧接させて平坦化を行
うと、平坦化されないパッド上面6が残存し易い。すな
わち、複数存在するパッド上面6のうちツール5に接し
なかったり加圧力が小さかったパッド上面6が平坦化さ
れないまま残ることになる。
【0009】これを防止するためには、加圧力を増大さ
せて図18(c)に示すように反り部分を変形させて修
正しつつ平坦化を行えばよい。しかし、このようにした
のでは、加圧力を増大させることによってプリント配線
板本体1や銅パターン2が損傷され易くなってしまい、
品質上問題となる。
【0010】加圧力を小さく抑えて上述した不具合を解
消した平坦化方法としては、例えば特開平3−1320
93号公報に開示されたように、パッド上面を加熱した
状態で平坦化するものがある。この平坦化方法を図19
によって説明する。
【0011】図19は加熱源を有する半田プレス装置で
パッド上面の平坦化を行う従来の平坦化方法を説明する
ための断面図で、同図において前記図18で説明したも
のと同一もしくは同等部材については、同一符号を付し
詳細な説明は省略する。図19において、7は平坦化用
ツール5の内部に装填された加熱源を示す。
【0012】この平坦化方法では、ツール5を加熱源7
で加熱した状態でパッド上面6に圧接させて平坦化を行
う構成であった。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、この方法に
よればパッド上面6は加熱された状態で平坦化されるこ
とから常温で加工するよりは荷重を小さくすることがで
きるが、プリント配線板本体1の反りに追随させて平坦
化するすることは困難であった。すなわち、平板状のツ
ール5でパッド上面6を押圧して平坦化する原理は先に
説明した例と同じであるから、プリント配線板本体1の
反りやパッド上面6の高さのばらつきの影響を受け易
い。
【0014】しかも、加熱状態で平坦化を行うのでは、
熱によりパッド上面6の品質が低下し易くなるという不
具合が生じると共に、加熱源7の制御や加熱時間の確保
等が必要になる関係から実施するに当たって作業が複雑
になってしまう。すなわち、加熱しながら加圧を行う平
坦化方法は実用的ではなかった。
【0015】本発明はこのような問題点を解消するため
になされたもので、プリント配線板の反りやパッド上面
の高さのばらつきの影響を受けずに全てのパッド上面を
平坦化することができ、しかも、実用的である平坦化方
法および平坦化装置を得ることを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】本発明に係るプリント配
線板のパッド平坦化方法は、外周面にパッド加工面が形
成されたローラを、プリント配線板の半田層付きパッド
に押し付けると共にパッド形成面に沿って転動させるも
のである。
【0017】本発明に係るプリント配線板用パッド平坦
化装置は、プリント配線板を位置決め保持するテーブル
と、プリント配線板上のパッドに対向するローラを有し
かつ上下移動自在に構成された加圧装置と、前記テーブ
ルと加圧装置の少なくとも一方をプリント配線板のパッ
ド形成面に沿って移動させる移動装置とを備えたもので
ある。
【0018】
【作用】ローラが回転することでパッドが平坦化される
から、パッド単位で平坦化が行われる。また、プリント
配線板が反っていたり、パッドの高さにばらつきがある
場合には、ローラはその反りやパッド高さのばらつきに
追随して転動位置が変わる。
【0019】
【実施例】実施例1. 以下、本発明の一実施例を図1ないし図3によって詳細
に説明する。図1は本発明に係るプリント配線板のパッ
ド平坦化方法を実施する際に使用するパッド平坦化装置
の正面図、図2は同じく要部を拡大して示す側面図、図
3はローラによって平坦化を行っている状態を示す拡大
断面図である。これらの図において前記図18および図
19で説明したものと同一もしくは同等部材について
は、同一符号を付し詳細な説明は省略する。なお、図1
〜図3に示したパッド平坦化装置は、特許請求の範囲の
請求項2,4,5に記載されたパッド平坦化装置に対応
するものである。
【0020】これらの図において、符号11はプリント
配線板用パッド平坦化装置である。このパッド平坦化装
置11は、本体テーブル12上に配線板移動装置13
と、平坦化用加圧装置14とを装着させて構成されてい
る。
【0021】前記配線板移動装置13は従来周知のXY
テーブルであって、本体テーブル12上に設けられたY
軸テーブル15と、このY軸テーブル15上に設けられ
たX軸テーブル16と、このX軸テーブル16上に固定
されたプリント配線板保持用テーブル4とから形成され
ている。前記Y軸テーブル15はY軸モータ15aによ
って駆動されて図1の紙面と直交する方向へ移動する構
造になっており、X軸テーブル16はX軸モータ16a
によって駆動されて図1の左右方向へ移動する構造にな
っている。また、プリント配線板保持用テーブル6は、
本実施例では位置決めピン17によってプリント配線板
本体1を位置決め保持するように構成されている。
【0022】前記加圧装置14は、本体テーブル12の
上部に支持固定された正面視門型状のフレーム18に昇
降テーブル19を昇降自在に取付けて形成されている。
この昇降テーブル19は、装置前方(図1の紙面より手
前側)に延びる保持具20が固着され、フレーム18に
レール21を介して上下方向へのみ移動自在に取付けら
れている。そして、この昇降テーブル19は、上下方向
へ延びるねじ軸22が螺合しており、このねじ軸22を
介してフレーム上部のモータ23に連結されている。
【0023】すなわち、モータ23を駆動させてねじ軸
22を回動させることによって、この昇降テーブル19
が昇降することになる。なお、昇降テーブル19の近傍
に位置する符号24で示すものは、昇降テーブル19が
上方向の停止位置まで移動したことを検出するための位
置センサである。
【0024】昇降テーブル19の保持具20にはロータ
リアクチュエータ25を介して加圧ヘッド26が取付け
られている。ロータリアクチュエータ25は、回転軸2
7に加圧ヘッド26が固着され、この回転軸27を鉛直
軸回りに回動させて加圧ヘッド26の向きを変える構造
になっている。なお、回転軸27の回動角度は90度に
設定されている。
【0025】加圧ヘッド26は、前記回転軸27に固着
された断面下向きL字状の支持具28と、この支持具2
8にレール29を介して昇降自在に支持されたローラテ
ーブル30と、このローラテーブル30にローラ支持具
31および支軸32を介して回転自在に支持されたロー
ラ33と、前記支持具28の前方延在部28aと前記ロ
ーラ支持具31との間に介装された加圧用圧縮コイルば
ね34と、前記ローラテーブル30の上方向の停止位置
を検出する位置センサ35とから構成されている。そし
て、本実施例では、一つの加圧ヘッド26に対してロー
ラ33が2つ、別個の支持機構(前記レール29,ロー
ラテーブル30,ローラ支持具31,支軸32および圧
縮コイルばね34)を介して取付けられている。なお、
これに対応して位置センサ35も2つ設けられている。
【0026】前記2つのローラ33,33は、外径が互
いに同一とされて外周面に平坦な加工面が形成されてお
り、軸線を水平方向に向けて加圧ヘッド26に取付けら
れている。しかも、2つのローラ33は軸線方向に間隔
をおき、かつ上下方向の位置が同一となるように装着さ
れている。この両ローラ33の間隔は、プリント配線板
本体1のパッド間隔に一致させて設定されている。ま
た、両ローラ33の外径は、プリント配線板本体1上に
複数並んで位置するパッド上面6の並設間隔より十分に
大きな寸法になっている。
【0027】すなわち、この加圧ヘッド26では、ロー
ラ33を上方へ向けて押圧すると、ローラテーブル30
が圧縮コイルばね34を圧縮させながら上方へ移動す
る。言い換えれば、モータ23を駆動して昇降テーブル
19と共に加圧ヘッド26を下げ、両ローラ33を移動
装置13上のプリント配線板本体1に圧接させると、圧
縮コイルばね34の弾発力がローラ33を介してプリン
ト配線板本体1に上方から加えられることになる。この
パッド平坦化装置11は、上述したようにローラ33を
プリント配線板本体1(パッド上面6)に押し付けて平
坦化を行う。
【0028】また、図1において符号36で示すもの
は、前記パッド平坦化装置11の各機器を総合的に制御
するNCである。
【0029】次に、上述したように構成されたパッド平
坦化装置11によってパッド上面6を平坦に成形する手
順を説明する。先ず、予め銅パターン上に半田層が形成
されてリフロー処理されたプリント配線板本体1を移動
装置13のテーブル4上に位置決め固定する。このとき
には位置決めピン17を用いて正確に位置決めを行う。
なお、本実施例では、プリント配線板本体1として電子
部品半田付け用パッドが図1の紙面と直交する方向に多
数、2列に形成されたものを使用する例について説明す
る。なお、このプリント配線板本体1には、2方向にリ
ードが延びる電子部品が実装される。
【0030】上述したようにプリント配線板本体1を位
置決めした後、Y軸テーブル15およびX軸テーブル1
6を駆動させ、プリント配線板本体1をパッド上面6の
平坦化を行うための加工始点に位置づける。
【0031】次に、モータ23を駆動させて昇降テーブ
ル19を下降させる。このようにすると、先ず、ローラ
33がプリント配線板本体1の加工始点に当接し、引き
続き下降させることによって、ローラ33がローラテー
ブル30と共に支持具28に対して上側へずれて圧縮コ
イルばね34が圧縮されるようになる。このときに、ロ
ーラ33が加工始点に上方から加圧力をもって押し付け
られてプリロードの開始状態になる。
【0032】前記加圧力は、ローラテーブル30の支持
具28に対する上昇量が多くなればなるほど大きくなる
ため、所望の加圧力が得られるまでローラテーブル30
を支持具28とは相対的に上昇させることによって設定
される。本実施例では、設定加圧力となるような位置に
ローラテーブル30が移動したことを位置センサ35に
よって検出している。言い換えれば、この位置センサ3
5は、設定加圧力の得られる位置にあるローラテーブル
30を検出するような位置に取付けられている。このた
め、位置センサ35がローラテーブル30を検出した時
点でモータ23を停止させることによって、プリロード
が終了することになる。なお、前記加圧力は、パッド上
面6を形成する半田の頂部のみが塑性変形するように設
定している。
【0033】上述したようにプリロードが終了した後、
Y軸テーブル15によってプリント配線板本体1を水平
移動させ、パッド上面6の平坦化加工を開始する。な
お、プリント配線板本体1の装着向きが本実施例とは異
なり半田付け用パッドの並設方向が図1において左右方
向である場合には、ロータリアクチュエータ25によっ
て加圧ヘッド26を90度回した状態で前記プリロード
を行い、X軸テーブル16を駆動させて平坦化加工を行
う。
【0034】平坦化加工は図3に示すように行われる。
図3に示すようにプリント配線板本体1が矢印A方向へ
移動する場合、ローラ33は回転自在に加圧ヘッド26
に支持されているために加工面(ローラ33の外周面)
とパッド上面6との摩擦力によって同図中矢印B方向へ
回転する。すなわち、ローラ33がプリント配線板本体
1上を相対的に転動することになり、パッド上面6を乗
り越えるときにパッド上面6が加圧成形され、平坦化面
6aが形成されることになる。
【0035】プリント配線板本体1上の全てのパッド上
面6がローラ33によって成形された後は、モータ23
を駆動させて加圧ヘッド26を昇降テーブル19と共に
上昇させ、ローラ33をプリント配線板本体1の上方の
初期位置へ戻す。このときの昇降テーブル19の停止時
期は、位置センサ24が昇降テーブル19を検出したと
きとされる。そして、プリント配線板本体1を移動装置
13から取外す。
【0036】したがって、ローラ33が回転することで
パッド上面6が平坦化されるから、1〜数パッド単位で
順次連続して平坦化が行われる。このため、平坦化を行
うときの加圧力としては、ローラ33が圧接するパッド
上面6のみを成形させるだけの小さな値とすることがで
きる。また、プリント配線板本体1が反っていたり、パ
ッド上面6の高さにばらつきがある場合には、ローラ3
3はその反りやパッド高さのばらつきに追随して転動位
置が変わるから、これらの影響を受けることなくプリン
ト配線板本体1上の全てのパッド上面6にわたって均一
な平坦化面6aを形成することができる。
【0037】実施例2. 上述した実施例1ではプリント配線板本体1として半田
付け用パッドが2列に形成された(2方向にリードが延
びる電子部品が実装される)ものを使用したが、4方向
にリードが延びる半導体装置(以下、この半導体装置を
QFPという)が実装されるプリント配線板本体を用い
ることもできる。この例を図4および図5によって説明
する。
【0038】図4はQFPが実装されるプリント配線板
を示す平面図、図5はQFP実装用プリント配線板を使
用する場合に自動制御を行うためのシーケンス図であ
る。図4に示すプリント配線板本体1は、図中二点鎖線
で示すQFP型半導体装置41が2箇所に実装できるよ
うに半田付け用パッド42が形成されている。すなわ
ち、パッド42をQFP型半導体装置の外部リード(図
示せず)と対応する数だけ並べてなるパッド列が、QF
P型半導体装置の4辺となる位置に形成され、4つのパ
ッド列からなるパッド群が2箇所に設けられている。こ
のパッド群を符号43,44で示し、各パッド群43,
44のパッド列を43a,43b,43c,43d,4
4a,44b,44cおよび44dで示す。
【0039】また、図4において符号45は前記移動装
置13の位置決めピン17が嵌入する位置決め穴であ
る。
【0040】次に、このように形成されたプリント配線
板本体1を図1および図2に示したパッド平坦化装置1
1に装着させてパッド上面の平坦化を行う手順について
説明する。先ず、図4に示したプリント配線板本体1を
移動装置13のテーブル4上に位置決め固定する。この
ときには位置決めピン17を位置決め穴45に嵌入させ
て位置決めする。なお、プリント配線板本体1の向き
は、プリント配線板本体1の長手方向が図1において左
右方向となるようにする。
【0041】その後、不図示の自動運転スイッチをON
させる。自動運転スイッチがONされると、図5に示す
シーケンスがNC36の制御によって作動するようにな
る。以下、平坦化加工の動作を図5によって説明する。
先ず、図5中にステップS1に示すように移動装置13
が作動してプリント配線板本体1をパッド列43a,4
3cの加工始点に移動させて位置決めする。この加工始
点や後述する加工終点は、予めティーチング等によって
移動装置13に位置指定されており、NC36によって
制御される構成になっている。
【0042】次に、ステップS2においてモータ23が
作動し、ローラ33を加圧ヘッド26,昇降テーブル1
9等と共に下降させる。この下降動作は位置センサ35
がローラテーブル30を検出するまで行われ、プリロー
ドが終了する。そして、ステップS3にて移動装置13
のY軸テーブル15が作動し、パッド列43a,43c
の各パッド42が平坦化加工される。すなわち、2列の
パッド列が同時に加工されることになる。
【0043】加工終点までプリント配線板本体1が移動
した後、ステップS4にてモータ23が作動してローラ
33を上昇させる。上昇動作終了時期は位置センサ24
によって検出される。そして、ステップS5にてロータ
リアクチュエータ25が加圧ヘッド26を90度回し、
ステップS6で移動装置13がプリント配線板本体1を
パッド列43b,43dの加工始点に移動させて位置決
めする。
【0044】このようにした後、ステップS7に示すよ
うに再びモータ23が作動し、ローラ33を前記加工始
点に押し付けてプリロードを行う。そして、ステップS
8で移動装置13のX軸テーブル16によってプリント
配線板本体1を移動させて前記パッド列43b,43d
の平坦化加工を行う。加工終点まで移動した後、ステッ
プS9にてモータ23が作動しローラ33が上昇させ
る。以上でパッド群43の全てのパッド42が平坦化加
工されたことになる。
【0045】次に、ステップS10に示すようにロータ
リアクチュエータ25がステップS5のときとは逆方向
に加圧ヘッド26を90度回し、ステップS11で移動
装置13がパッド列44a,44cの加工始点へプリン
ト配線板本体1を移動させる。しかる後、このパッド列
44a,44cの平坦化加工を行い、前記ステップS3
〜S10と同じ動作を行ってパッド群44の全てのパッ
ド42の平坦化を行う(ステップS12)。このように
してプリント配線板本体1の全てのパッド42が平坦化
加工される。
【0046】したがって、QFP型半導体装置実装部が
複数設けられたプリント配線板であっても連続自動的に
平坦化加工を行うことができるから、前記実施例1と同
等の効果が得られることに加え、プリント配線板を製造
するに当たり生産性を向上させてコストを低減させるこ
とができる。
【0047】実施例3. 上述した各実施例では平坦化加工を常温で行う例につい
て説明したが、ローラおよびパッド部を加熱するように
構成してもよい。この実施例を図6によって説明する。
図6は加熱装置を備えたパッド平坦化装置の要部を拡大
して示す側面図で、同図において前記図1および図2で
説明したものと同一もしくは同等部材については、同一
符号を付し詳細な説明は省略する。図6において、46
は加熱装置本体としての熱風吹き出しノズル、47はこ
の熱風吹き出しノズル46から吹き出された高温気体で
ある。前記熱風吹き出しノズル46は、不図示の高温気
体発生供給装置に連通されて高温気体47をローラ33
およびプリント配線板本体1の上面に吹き付ける構造に
なっており、加圧ヘッド26の支持具28に不図示のブ
ラケット等を介して支持固定されている。
【0048】このように構成した場合、プリント配線板
本体1の取付け取外しおよび各パッド上面6の平坦化加
工は前記実施例1と同様であるが、平坦化加工を行う以
前に熱風吹き出しノズル46から高温気体47を吹き出
させてローラ33,パッド上面6を加熱する。すなわ
ち、ローラ33,パッド上面6を加熱した状態でローラ
33をパッド上面6に圧接させ、ローラ33を回転させ
ながら平坦化加工を行う。
【0049】また、熱風吹き出しノズル46が支持具2
8に固定されているため、加圧ヘッド26が90度回っ
たとしても常にローラ33,パッド上面6に高温気体4
7を吹き付けることができる。このため、前記実施例2
で示したような、パッド列が半導体装置実装部の4辺と
なる位置に形成されたプリント配線板であっても、生産
性よく平坦化加工を行うことができる。
【0050】本実施例では、加熱した状態で平坦化を行
うことから、加圧力をさらに小さくすることが可能とな
り、パッド上面6の下地となる銅パターンやプリント配
線板本体1への負担を軽減できる。このため、プリント
配線板の品質および信頼性を高めることができる。
【0051】実施例4. 上述した各実施例ではローラ33がプリント配線板本体
1に圧接された状態でプリント配線板本体1を移動させ
ることによってローラ33を回転させたが、ローラ33
を専用の駆動装置によって回転させることもできる。こ
の実施例を図7に示す。
【0052】図7はローラ回転装置を備えたパッド平坦
化装置の要部を拡大して示す正面図である。同図におい
て前記図1および図2で説明したものと同一もしくは同
等部材については、同一符号を付し詳細な説明は省略す
る。図7において、48はローラ33を回転駆動するた
めのモータで、このモータ48は、加圧ヘッド26のロ
ーラ支持具31に固定され、支軸32と共にローラ33
を単独で回転させるように構成されている。
【0053】本実施例では、パッド上面6の平坦化加工
を行うときにローラ33をパッド上面6に圧接させると
共にモータ48によって回転させる。なお、ローラ33
の回転方向は、上述した各実施例と同様に、プリント配
線板本体1の移動方向に沿うような方向とする。
【0054】このように構成すると、平坦化加工を行う
ときにローラ33とパッド上面6との摩擦が小さくなる
から、より一層平滑な平坦化面を得ることができる。こ
のため、プリント配線板の品質向上および歩留り向上に
寄与できる。
【0055】実施例5. 本発明に係るパッド平坦化装置においては、ローラの外
周面を常に平滑に保たせるために清掃装置を設けること
もできる。この実施例を図8によって説明する。
【0056】図8はローラ用清掃装置を備えたパッド平
坦化装置の要部を拡大して示す側面図である。同図にお
いて前記図1および図2で説明したものと同一もしくは
同等部材については、同一符号を付し詳細な説明は省略
する。図8において、49はローラ33の加工面(外周
面)を清掃するための清掃装置である。この清掃装置4
9は、移動装置13のテーブル4上に固定された保持具
50と、この保持具50に支持ブラケット51および支
持軸52を介して回転自在に支持された研磨砥石53
と、保持具50に支持ブラケット54および支持軸55
を介して回転自在に支持された清掃ローラ56等とから
構成されている。
【0057】前記研磨砥石53は円筒状に形成されてそ
の外周面がローラ33の加工面に添接している。そし
て、この研磨砥石53は不図示のモータによって回転す
るように構成されている。前記清掃ローラ56は、発泡
プラスチック(スポンジ)によって円筒状に形成され、
その外周面がローラ33の加工面に添接している。
【0058】この実施例では、回転しているローラ33
に研磨砥石53を回転させた状態で圧接させることによ
って、ローラ加工面の研磨を行う。さらに、この研磨と
同時に研磨屑等が清掃ローラ56によって拭き取られ
る。すなわち、平坦化加工を繰り返し行うことによって
ローラ33の加工面は半田が付着し凹凸が生じるが、本
実施例のように加工面を研磨することによって、加工面
に付着した半田等の異物を除去することができる。この
清掃処理によって、ローラ33の加工面は常に新生面と
なるから、凹凸が少なく高品質な平坦化面が得られる。
このため、プリント配線板の品質向上および歩留り向上
に寄与できる。
【0059】実施例6. 本発明に係るパッド平坦化装置は、ローラをガラスやセ
ラミック等の半田が付着し難い材料によって形成するこ
とができる。この実施例を図9に示す。図9は半田が付
着し難い材料よって形成されたローラを示す側面図であ
る。同図において前記図1および図2で説明したものと
同一もしくは同等部材については、同一符号を付し詳細
な説明は省略する。
【0060】図9において、57は半田が付着し難い材
料によって形成されたローラで、このローラ57の材料
としては、ガラスやセラミック等である。このローラ5
7は、回転が円滑に行われるように支軸32との間に軸
受58が介装されている。
【0061】このように構成すると、平坦化加工を行う
ときにローラ57の加工面に半田が付着し難くなるか
ら、凹凸の少ない高品質な平坦化面が得られる。このた
め、プリント配線板の品質向上および歩留り向上に寄与
できる。
【0062】実施例7. 本発明に係るパッド平坦化装置は、2つ設けられたロー
ラの間隔を変えることができるように構成することがで
きる。この実施例を図10によって説明する。なお、こ
の実施例で示したパッド平坦化装置は、特許請求の範囲
請求項6に記載されたパッド平坦化装置に対応するも
のである。図10はローラ間隔調整装置を備えたパッド
平坦化装置の要部を示す正面図で、同図において前記図
1および図2で説明したものと同一もしくは同等部材に
ついては、同一符号を付し詳細な説明は省略する。
【0063】図10において、59は一対のローラ33
の間隔を変えるためのアクチュエータである。このアク
チュエータ59は、モータやエアシリンダ等を駆動源と
して構成され、加圧ヘッド26の2つのローラテーブル
30にそれぞれ支持固定されており、両ローラ33,3
3を図10において左右方向へ進退させる構造になって
いる。
【0064】本実施例では、各種プリント配線板に2列
に形成されたパッド列のピッチに2つのローラ33のピ
ッチ(図10中符号Cで示す)をアクチュエータ59に
よって合致させることができる。このため、本発明に係
るパッド平坦化装置に多品種のプリント配線板を適用で
きるようになる。
【0065】実施例8. 本発明に係るパッド平坦化装置では、平坦化加工を行う
ときの加圧力を設定するに当たり、圧縮コイルばねの弾
発力を検出する荷重センサを用いることができる。この
実施例を図11によって説明する。なお、この実施例で
示したパッド平坦化装置は、特許請求の範囲の請求項3
に記載されたパッド平坦化装置に対応するものである。
【0066】図11は加圧力設定用荷重センサを備えた
パッド平坦化装置の要部を破断して示す正面図で、同図
において前記図1および図2で説明したものと同一もし
くは同等部材については、同一符号を付し詳細な説明は
省略する。図11において、60は荷重センサで、この
荷重センサ60は加圧ヘッド26における支持具28の
前方延在部28aと圧縮コイルばね34の上端との間に
介装されている。
【0067】本実施例においてローラ33からプリント
配線板本体に加えられる加圧力を設定する(プリロード
を行う)には、圧縮コイルばね34の弾発力を荷重セン
サ60により検出し、この荷重センサ60によって求め
られた荷重が設定荷重になるまで加圧ヘッド26を下降
させることによって行う。
【0068】このように構成すると、加圧力を、多品種
のプリント配線板の各仕様に応じた値となるように、自
動的に調整できるようになる。
【0069】実施例9. 本発明に係るパッド平坦化装置は、ローラの加工面を平
坦な曲面とする以外に、加工面に微細な凹凸を形成する
こともできる。この実施例を図12によって説明する。
図12は加工面に微細な凹凸が形成されたローラを使用
して平坦化加工を行っている状態を示す要部拡大断面図
である。同図において前記図1ないし図3で説明したも
のと同一もしくは同等部材については、同一符号を付し
詳細な説明は省略する。
【0070】図12において、61はローラ33の加工
面に形成された微細な凹凸、62はこの凹凸61を有す
るローラ33によって平坦化加工を行ったときにパッド
上面6に形成される凹凸加工部を示す。
【0071】このように構成すると、凹凸61が形成さ
れたローラ33でパッド上面6の平坦化加工を行うこと
によって、平坦化面6aと一連に凹凸加工部62が自動
的に形成される。このため、微細な凹凸によって平坦化
加工を行うときの加圧力を小さく抑えることができると
共に、平坦化幅の増大、フラックスの流動防止、電子部
品半田付け時の加熱特性向上を図ることができる。
【0072】実施例10. 前記実施例9では凹凸加工部を凹凸61によって構成し
ローラの加工面に微細な凹凸を形成したが、凹凸の代わ
りに線状の溝を多数形成することもできる。この実施例
を図13および図14によって説明する。
【0073】図13は幅方向に線状溝が形成されたパッ
ド上面を示す図で、同図(a)は平面図、同図(b)は
(a)図におけるB−B線断面図である。図14は長手
方向に線状溝が形成されたパッド上面を示す図で、同図
(a)は平面図、同図(b)は(a)図におけるB−B
線断面図である。
【0074】図13において、63はパッド上面6の平
坦化面6aに形成された線状溝で、この線状溝63は、
平面視において長方形状に形成されたパッド上面6の幅
方向(長手方向と直交する方向)と平行に形成されてい
る。図14においては、パッド上面6の長手方向と平行
に線状溝64が形成されている。前記何れの線状溝6
3,64も、一つのパッド上面6に溝幅方向へ間隔をお
いて複数形成されている。
【0075】これらの線状溝63,64をパッド上面6
に形成するに当たっては、ローラ(図示せず)の加工面
に線状溝63,64と対応する突条を形成し、このロー
ラによって平坦化加工して行う。このように線状溝6
3,64をパッド上面6に形成するようにしても、前記
実施例9と同等の効果が得られる。
【0076】実施例11. なお、パッド上面に平坦化加工を施すに当たっては、パ
ッド上面に半田付けされる電子部品の外部リードが係合
できるようにすることもできる。この実施例を図15に
よって説明する。
【0077】図15はリード係合部が形成されたパッド
上面にICの外部リードを係合させた状態を示す断面図
である。同図に示すパッド上面6は、平坦化加工を行う
ときにその一部のみを加圧成形させることによって平坦
化面6aが形成されている。この加工を行うローラ(図
示せず)としては、外周面に平坦化加工を行う突条と、
平坦化加工を行わない(パッド上面6aに圧接されな
い)平坦面とが形成されたものを使用する。
【0078】すなわち、パッド上面6の平坦化面6a
は、平坦化されなかった部分より段差65をもって低く
形成されることになる。本実施例では、この段差65を
利用して外部リード66をパッド上面6に係合させてい
る。なお、同図において67はプリント配線板本体1に
実装されるIC本体を示す。
【0079】このように構成すると、IC本体67をプ
リント配線板本体1上に実装するときに、外部リード6
6をパッド上面6の段差65に係合させて位置合わせす
ることができるから、ICの装着および半田付けの歩留
り向上、生産性の向上を図ることができる。
【0080】実施例12. 本発明に係るパッド平坦化装置では、半田付け部にフラ
ックスを供給するフラックス供給装置を設けることもで
きる。この実施例を図16によって説明する。図16は
フラックス供給装置を備えたパッド平坦化装置の要部を
拡大して示す側面図で、同図において前記図1および図
2で説明したものと同一もしくは同等部材については、
同一符号を付し詳細な説明は省略する。
【0081】図16において、68はフラックス供給装
置本体としてのフラックス供給ノズル、69はこのフラ
ックス供給ノズル68から吹き出されたフラックスであ
る。前記フラックス供給ノズル68は、不図示のフラッ
クス圧送装置に連通されてフラックス69をプリント配
線板本体1の上面におけるパッド形成部に吹き付ける構
造になっており、加圧ヘッド26の支持具28に不図示
のブラケット等を介して支持固定されている。
【0082】本実施例では、フラックス69をフラック
ス供給ノズル68からパッド上面6に向けて吹き付けな
がら平坦化加工を行う。このようにすると、次工程であ
るフラックス塗布プロセスを省略でき、生産性を向上さ
せることができる。
【0083】実施例13. 本発明に係るパッド平坦化方法を実施するに当たり使用
するプリント配線板としては、図17に示すようにダミ
ーパッドが形成されたものを使用することもできる。な
お、この実施例で示したパッド平坦化方法は、特許請求
の範囲の請求項1に記載されたパッド平坦化方法に対応
するものである。図17はダミーパッドが形成されたプ
リント配線板本体の側面図で、同図において前記図18
で説明したものと同一もしくは同等部材については、同
一符号を付し詳細な説明は省略する。
【0084】図17に示したプリント配線板本体1は、
パッドを複数1列に並べてなるパッド列70の両端側に
ダミーパッド71が形成されている。このダミーパッド
71は、不図示の電子部品が実装されるパッド(図にお
いては符号6を付して示した)と同等に形成され、本実
施例ではその外形寸法が僅かにパッドより大きく設定さ
れている。そして、このダミーパッド71は、パッド列
70の両端に位置するパッドの近傍にそのパッドとは間
隔をおいて配置されている。この間隔は、パッド列70
内のパッドどうしのパッド間隔と略等しい寸法とされて
いる。
【0085】このようにダミーパッド71が形成された
プリント配線板本体1を使用して平坦化加工を行うに当
たっては、先ず、プリント配線板本体1におけるパッド
列70の一方の端部側に位置するダミーパッド71の近
傍(加工始点)にローラ(図示せず)を圧接させてプリ
ロードを行い、その状態でプリント配線板本体1を移動
させて加工始点近傍のダミーパッド71から順にローラ
の下方へ送ることによって行う。ここで、ダミーパッド
71を設けた理由を説明する。
【0086】プリント配線板本体1の上面にローラが圧
接している状態でこのプリント配線板本体1を移動させ
ると、ローラは、プリント配線板本体1上を転動してパ
ッド列の一端に位置するパッドに乗り上がる。そして、
このローラは、各パッド上をパッドとは相対的に移動し
て各パッドの平坦化を行い、パッド列の他端に位置する
パッドを平坦化した後にそのパッドからプリント配線板
本体1の上面へ降りる。このため、パッド列の両端に位
置するパッドはローラが乗り降りする関係から平坦化面
が僅かに傾斜することになる。
【0087】すなわち、本実施例のようにパッド列70
の両端側にダミーパッド71を形成しておくと、ローラ
の乗り降りはダミーパッド71を介して行われるように
なる。このため、パッド列70の両端に位置するパッド
は平坦化面が傾斜することがない。
【0088】実施例14. 本発明に係るパッド平坦化方法は、上述した各実施例に
示したようにパッド列の一端から他端へローラを転動さ
せて平坦化を行う手法に限定されるものではない。例え
ば、平坦化加工の加工始点をパッド列の中央とし、この
パッド列中央からパッド列の一端へ向けてローラを相対
的に移動させ、パッド列の一端においてローラがパッド
から脱落しない位置でローラの相対移動を停止させる。
次いで、パッド列の他端へ向けてローラを相対的に移動
させ、このパッド列の他端においてパッドから脱落しな
い位置でローラの相対移動を停止させる。
【0089】このように平坦化加工を行うと、前記各実
施例と同等の効果が得られることに加え、パッド列の両
端に位置するパッドの平坦化面が傾斜しなくなるという
利点がある。
【0090】実施例15. なお、上述した各実施例では、プリント配線板本体をロ
ーラに対して移動させることによってローラを転動させ
たが、本発明に係る平坦化方法は、プリント配線板本体
は移動させずにローラをプリント配線板本体に対して移
動させるようにすることもできる。このようにしても上
記実施例と同等の効果が得られる。さらに、上述した各
実施例では平坦化加工を行うときの加圧源として圧縮コ
イルばねを使用したが、本発明はこのような限定にとら
われることなく、例えばエアーシリンダ等でもよい。こ
のように構成されたパッド平坦化装置は、特許請求の範
囲の請求項2に記載されたパッド平坦化装置に対応する
ものである。加えて、上下移動のためのモータ、総合制
御のためのNC、加熱のための高温気体、半田付着防止
のためのローラ材質等は、本実施例に示したものに限ら
ず、適宜変更することができる。
【0091】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るプリン
ト配線板の平坦化方法は、外周面にパッド加工面が形成
されたローラを、プリント配線板の半田層付きパッドに
押し付けると共にパッド形成面に沿って転動させるもの
であり、本発明に係るプリント配線板用パッド平坦化装
置は、プリント配線板を位置決め保持するテーブルと、
プリント配線板上のパッドに対向するローラを有しかつ
上下移動自在に構成された加圧装置と、前記テーブルと
加圧装置の少なくとも一方をプリント配線板のパッド形
成面に沿って移動させる移動装置とを備えたものである
ため、ローラが回転することでパッドが平坦化されるか
ら、パッド単位で平坦化が行われる。
【0092】したがって、平坦化を行うときの加圧力と
しては、ローラが圧接するパッドのみを成形させるだけ
の小さな値とすることができる。このため、加圧力を従
来の装置に較べて小さく設定することができるから、パ
ッドやパッドの下地となるプリント配線板本体が平坦化
加工時に損傷されるのを確実に防ぐことができる。
【0093】また、プリント配線板が反っていたり、パ
ッドの高さにばらつきがある場合には、ローラはその反
りやパッド高さのばらつきに追随して転動位置が変わる
から、これらの影響を受けることなくプリント配線板上
の全てのパッドにわたって均一な平坦化面を形成するこ
とができる。このため、プリント配線板の品質向上およ
び電子部品実装時の歩留り向上を図ることができる。
【0094】本発明に係るパッド平坦化方法において、
平坦化加工を行うときに、パッド列の両端に形成された
ダミーパッドを介してローラを半田層付きパッドに対し
て乗り降りさせると、ローラのパッドに対する乗り降り
はダミーパッドを介して行われるようになるから、パッ
ド列の両端に位置するパッドは平坦化面が傾斜すること
がない。
【0095】本発明に係るパッド平坦化装置において、
加圧装置にローラの加圧力を検出する荷重センサを設け
ると、加圧力を、多品種のプリント配線板の各仕様に応
じた値となるように、自動的に調整できるようになる。
【0096】本発明に係るパッド平坦化装置において、
ローラをパッド形成面と直交する軸線回りに回動させる
回転機構を設けると、パッドの並設方向が異なるパッド
列が形成されたプリント配線板であってもプリント配線
板を外すことなく全てのパッドに平坦化加工を施すこと
ができる。
【0097】本発明に係るパッド平坦化装置において、
一対のローラを用いて加圧装置を構成すると共に、これ
らのローラをパッド形成面と直交する軸線回りに回動さ
せる回転機構と、両ローラ間の間隔を変える間隔調整機
構とを設けると、パッドの並設方向が異なるパッド列が
形成されたプリント配線板であってもプリント配線板を
外すことなく全てのパッドに平坦化加工を施すことがで
きることに加え、パッド列の間隔にローラ間隔を合わせ
ることができ多品種のプリント配線板を適用できるよう
になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るプリント配線板のパッド平坦化方
法を実施する際に使用するパッド平坦化装置の正面図で
ある。
【図2】本発明に係るプリント配線板のパッド平坦化方
法を実施する際に使用するパッド平坦化装置の要部を拡
大して示す側面図である。
【図3】ローラによって平坦化を行っている状態を示す
拡大断面図である。
【図4】QFPが実装されるプリント配線板を示す平面
図である。
【図5】QFP実装用プリント配線板を使用する場合に
自動制御を行うためのシーケンス図である。
【図6】加熱装置を備えたパッド平坦化装置の要部を拡
大して示す側面図である。
【図7】ローラ回転装置を備えたパッド平坦化装置の要
部を拡大して示す正面図である。
【図8】ローラ用研磨装置を備えたパッド平坦化装置の
要部を拡大して示す側面図である。
【図9】半田が付着し難い材料よって形成されたローラ
を示す側面図である。
【図10】ローラ間隔調整装置を備えたパッド平坦化装
置の要部を示す正面図である。
【図11】加圧力設定用荷重センサを備えたパッド平坦
化装置の要部を破断して示す正面図である。
【図12】加工面に微細な凹凸が形成されたローラを使
用して平坦化加工を行っている状態を示す要部拡大断面
図である。
【図13】幅方向に線状溝が形成されたパッド上面を示
す図で、同図(a)は平面図、同図(b)は(a)図に
おけるB−B線断面図である。
【図14】長手方向に線状溝が形成されたパッド上面を
示す図で、同図(a)は平面図、同図(b)は(a)図
におけるB−B線断面図である。
【図15】リード係合部が形成されたパッド上面にIC
の外部リードを係合させた状態を示す断面図である。
【図16】フラックス供給装置を備えたパッド平坦化装
置の要部を拡大して示す側面図である。
【図17】ダミーパッドが形成されたプリント配線板本
体の側面図である。
【図18】従来のパッド平坦化方法を説明するための断
面図で、同図(a)は銅パターン上に半田層を形成した
状態を示し、同図(b)はリフロー処理後の状態を示
し、同図(c)は平板状のツールでパッドを加圧してい
る状態を示す。
【図19】加熱源を有する半田プレス装置でパッド上面
の平坦化を行う従来の平坦化方法を説明するための断面
図である。
【符号の説明】
1 プリント配線板本体 6 パッド上面 11 パッド平坦化装置 13 移動装置 14 加圧装置 15 Y軸テーブル 16 X軸テーブル 23 モータ 26 加圧ヘッド 33 ローラ 34 圧縮コイルばね46 熱風吹き出しノズル 49 清掃装置 59 アクチュエータ 60 荷重センサ 61 凹凸 62 凹凸加工部 63 線状溝 64 線状溝 65 段差 68 フラックス供給ノズル 71 ダミーパッド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田尾 幸一 兵庫県尼崎市塚口本町8丁目1番1号 三菱電機株式会社 生産技術研究所内 (72)発明者 本橋 昌也 兵庫県尼崎市塚口本町8丁目1番1号 三菱電機株式会社 生産技術研究所内 (56)参考文献 特開 平2−98993(JP,A) 特開 平2−46794(JP,A) 特開 昭60−127793(JP,A) 特開 平4−44292(JP,A) 実開 平1−110467(JP,U) 実開 平2−86133(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H05K 3/34 H05K 3/00

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 外周面にパッド加工面が形成されたロー
    ラを、プリント配線板の半田層付きパッドに押し付ける
    と共にパッド形成面に沿って転動させて、平坦化加工を
    行うのに、パッド列の両端に形成されたダミーパッドを
    介して前記ローラを前記半田層付きパッドに対して乗り
    降りさせることを特徴とするプリント配線板のパッド平
    坦化方法。
  2. 【請求項2】 プリント配線板を位置決め保持するテー
    ブルと、プリント配線板上のパッドに対向するローラを
    有しかつ上下移動自在に構成された加圧装置と、前記テ
    ーブルと加圧装置の少なくとも一方をプリント配線板の
    パッド形成面に沿って移動させる移動装置とを備え、前
    記加圧装置のローラ支持具に前記ローラを一軸方向に弾
    性支持する弾性部材を設けたことを特徴とするプリント
    配線板のパッド平坦化装置。
  3. 【請求項3】 プリント配線板を位置決め保持するテー
    ブルと、プリント配線板上のパッドに対向するローラを
    有しかつ上下移動自在に構成された加圧装置と、前記テ
    ーブルと加圧装置の少なくとも一方をプリント配線板の
    パッド形成面に沿って移動させる移動装置とを備え、前
    記加圧装置に前記ローラの加圧力を検出する荷重センサ
    を設けたことを特徴とするプリント配線板のパッド平坦
    化装置。
  4. 【請求項4】 プリント配線板を位置決め保持するテー
    ブルと、プリント配線板上のパッドに対向するローラを
    有しかつ上下移動自在に構成された加圧装置と、前記テ
    ーブルと加圧装置の少なくとも一方をプリント配線板の
    パッド形成面に沿って移動させる移動装置とを備え、ロ
    ーラを1個用いて前記加圧装置を構成すると共に、この
    ローラを前記パッド形成面と直交する軸線回りに回動さ
    せる回転機構を設けたことを特徴とするプリント配線板
    のパッド平坦化装置。
  5. 【請求項5】 プリント配線板を位置決め保持するテー
    ブルと、プリント配線板上のパッドに対向するローラを
    有しかつ上下移動自在に構成された加圧装置と、前記テ
    ーブルと加圧装置の少なくとも一方をプリント配線板の
    パッド形成面に沿って移動させる移動装置とを備え、軸
    線が同一とされた2個のローラを用いて前記加圧装置を
    構成すると共に、これらのローラを前記パッド形成面と
    直交す る軸線回りに回動させる回転機構を設けたことを
    特徴とするプリント配線板のパッド平坦化装置。
  6. 【請求項6】 プリント配線板を位置決め保持するテー
    ブルと、プリント配線板上のパッドに対向するローラを
    有しかつ上下移動自在に構成された加圧装置と、前記テ
    ーブルと加圧装置の少なくとも一方をプリント配線板の
    パッド形成面に沿って移動させる移動装置とを備え、一
    対のローラを用いて前記加圧装置を構成すると共に、こ
    れらのローラを前記パッド形成面と直交する軸線回りに
    回動させる回転機構と、両ローラ間の間隔を変える間隔
    調整機構とを設けたことを特徴とするプリント配線板の
    パッド平坦化装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH01125454A (ja) * 1987-11-11 1989-05-17 Sakuo Nakamura 壁体
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