CN112558433B - 一种光刻机主动辊式压板机构 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种光刻机主动辊式压板机构，包括压板部，所述压板部包括支撑翼板以及设置于所述支撑翼板下方的胶辊组件；所述胶辊组件包括转轴以及套接于所述转轴上的胶辊，所述转轴两端均通过直线运动装置与所述支撑翼板下端连接，本申请采用辊式压板机构，使用气缸作为动力，通过气缸的伸出，在曝光区域两侧压住PCB板，避免了边缘压板机构导致中间鼓起、曝光区域不平整的现象，同时长辊结构可靠，无悬臂梁式压板机构使用过程中悬臂梁形变风险，整个结构简单，容易实现，而且胶辊可绕自身的转轴旋转，无滑动摩擦，长辊外侧包有不粘油墨的硅胶或橡胶，无损坏PCB板风险。

Description

一种光刻机主动辊式压板机构
技术领域
本发明涉及光刻机压板设备技术领域，具体是一种光刻机主动辊式压板机构。
背景技术
激光直写光刻是采用激光束对基片表面的抗蚀材料进行曝光，并在显影后在抗蚀剂表面得到所需要图案的技术，它的原理是由计算机控制高精度的激光束，在光刻胶上直接曝光出任意图案，优点是无需掩膜版，成本低，效率高，现在已经广泛的应用在PCB板的曝光工序中。
在半导体产品PCB激光直写光刻过程中，为了提高PCB板和平台的紧密贴合，一般除了在平台上对PCB板进行真空吸附外，还需要一种压板机构，在曝光过程中压住PCB板，减少和防止PCB板的翘曲对曝光的影响，在光刻机制版的过程中，由于光刻机光路焦深、吸盘放置、PCB板平整度的限制，很难实现PCB板在吸盘上完全平整放置，这给整个光刻过程带来了很大的工艺性挑战。
现有的压板设备只能在PCB板的边缘进行压板，不能在关键的曝光区域压板；在吸盘两边压板导致其余两边出现板翘，在三边和四边压板虽能避免边缘板翘，但实现的结构复杂，需要每个边的压板均能实现抬起、避让侧移、下压、行程位移等多个连贯动作，控制性要求高，可靠性低。此外PCB板一般靠右下角放置，而在上侧和右侧的压板一般采用悬臂梁结构，这种结构既复杂，又容易出现悬臂梁形变，导致压不住板的现象。
发明内容
本发明的目的在于提供一种光刻机主动辊式压板机构，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种光刻机主动辊式压板机构，包括压板部，所述压板部包括支撑翼板以及设置于所述支撑翼板下方的胶辊组件；
所述胶辊组件包括转轴以及套接于所述转轴上的胶辊，所述转轴两端均通过直线运动装置与所述支撑翼板下端连接。
作为本发明进一步的方案：所述压板部设有两组，且两组所述压板部平行布置。
作为本发明进一步的方案：所述直线运动装置包括固定连接在所述支撑翼板下端的气缸，所述气缸平行设有两个，两个所述气缸的活塞下端分别与所述转轴的两端连接。
作为本发明进一步的方案：所述气缸的活塞下端固定连接有支撑板，所述支撑板下端固定连接有两个平行布置的轴架，所述转轴固定连接与两个所述轴架之间。
作为本发明进一步的方案：所述转轴两端均通过限位器与所述轴架连接，所述限位器通过止动螺丝与所述轴架固定连接，所述胶辊卡接于两端的限位器之间。
作为本发明进一步的方案：所述胶辊包括辊筒以及包裹于所述辊筒外部的辊胶层，所述辊筒通过轴承与所述转轴滚动连接。
作为本发明进一步的方案：所述辊筒为金属材质，所述辊胶层为硅胶或橡胶材质。
作为本发明进一步的方案：所述支撑翼板上设有加强筋板，所述加强筋板位于所述气缸上方。
作为本发明进一步的方案：所述支撑翼板上开设有多个减重孔。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1、本申请采用辊式压板机构，使用气缸作为动力，通过气缸的伸出，在曝光区域两侧压住PCB板，避免了边缘压板机构导致中间鼓起、曝光区域不平整的现象，同时长辊结构可靠，无悬臂梁式压板机构使用过程中悬臂梁形变风险，整个结构简单，容易实现；
2、本申请的胶辊可绕自身的转轴旋转，无滑动摩擦，长辊外侧包有不粘油墨的硅胶或橡胶，无损坏PCB板风险。
附图说明
图1为本实施例的压板机构爆炸示意图；
图2为本实施例的压板机构装配示意图；
图3为本实施例的胶辊组件结构示意图；
图4为本实施例胶辊筒组件结构示意图；
图5为本实施例轴架结构示意图；
图6为本实施例的压板机构支撑翼板结构示意图；
图7为本实施例压板机构实施时为准示意图；
图8为本实施例压板机构胶辊与光源为准示意图。
图中：1-支撑翼板、2-气缸、3-支撑板、4-止动螺丝、5-轴架、6-轴承、7-限位器、8-胶辊、801-辊胶层、802-辊筒、9-转轴、10-PCB板、11-曝光光源。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-8，本发明实施例中，一种光刻机主动辊式压板机构，包括压板部，压板部设有两组，且两组压板部平行布置，两组压板部分布在曝光光源两侧，当PCB板曝光时，压板机构始终压在PCB上，在曝光光源两侧压住PCB板，防止PCB板翘曲，从而减少曝光不良，压板部包括支撑翼板1以及设置于支撑翼板1下方的胶辊组件，支撑翼板1上设有加强筋板，加强筋板位于气缸2上方，支撑翼板1上开设有多个减重孔，用于减轻重量，两块筋板用于加强强度，以免气缸2伸缩冲击导致压板机构支撑翼板变形，从而影响压板效果，此外，支撑翼板开长圆孔，用于调节压板机构与光源之间的水平距离。光源与压板机构离得越近，则曝光时PCB板压的越紧，越不容易翘曲，曝光效果越好。
胶辊组件包括转轴9以及套接于转轴9上的胶辊8，转轴9两端均通过直线运动装置与支撑翼板1下端连接，在本实施例中，直线运动装置包括固定连接在支撑翼板1下端的气缸2，气缸2平行设有两个，气缸2的活塞下端固定连接有支撑板3，支撑板3下端固定连接有两个平行布置的轴架5，转轴9两端均通过限位器7与轴架5连接，通过限位器7来固定胶辊8，防止胶辊8滑动，限位器7通过止动螺丝4与轴架5固定连接，轴架5上设置有限位器安装孔，限位器安装孔四周均匀分布三个螺纹孔，用于安装止动螺丝4，既能固定胶辊的位置，又不影响胶辊绕转轴的转动，胶辊8卡接于两端的限位器7之间，胶辊8包括辊筒802以及包裹于辊筒802外部的辊胶层801，辊筒802通过轴承6与转轴9滚动连接，辊筒802为金属材质，辊胶层801为硅胶或橡胶材质，硅胶或橡胶材质的辊胶层801不占油墨，而且还可以减少平台运动带来的冲击。
本发明在使用时，从图7可以看出，胶辊8用于接触PCB板10，PCB板10放置在平台上，气缸2用于胶辊8的上下移动，在曝光前，气缸2缩回，当曝光开始时，气缸2伸出，带动胶辊8向下移动，压在PCB板10上，曝光完成后，气缸2缩回，完成一次曝光工序，后续曝光依次重复该过程。
在本实施例中，如图8所示，压板部设有两组且平行布置，分布在曝光光源11的两侧，当PCB板10曝光时，压板部始终压在PCB板10上，在曝光光源11两侧压住PCB板10，防止PCB板10翘曲，从而减少曝光不良。
在PCB板10运动过程中，胶辊8绕转轴转动，胶辊8和转轴9之间由轴承6连接，减少摩擦，防止刚性接触。曝光过程中，气缸2活塞始终处于伸出状态，胶辊8压在PCB板10上的力，为两端的气缸2的压力之和，单个气缸2的压力由气压大小决定，通过调整气缸2供气压力的大小，从而调整胶辊8压在PCB板10上力的大小。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (8)

1.一种光刻机主动辊式压板机构，其特征在于，包括压板部，所述压板部包括支撑翼板(1)以及设置于所述支撑翼板(1)下方的胶辊组件；
所述胶辊组件包括转轴(9)以及套接于所述转轴(9)上的胶辊(8)，所述转轴(9)两端均通过直线运动装置与所述支撑翼板(1)下端连接，所述直线运动装置包括固定连接在所述支撑翼板(1)下端的气缸(2)，所述气缸(2)平行设有两个，两个所述气缸(2)的活塞下端分别与所述转轴(9)的两端连接。
2.根据权利要求1所述的一种光刻机主动辊式压板机构，其特征在于，所述压板部设有两组，且两组所述压板部平行布置。
3.根据权利要求2所述的一种光刻机主动辊式压板机构，其特征在于，所述气缸(2)的活塞下端固定连接有支撑板(3)，所述支撑板(3)下端固定连接有两个平行布置的轴架(5)，所述转轴(9)固定连接与两个所述轴架(5)之间。
4.根据权利要求3所述的一种光刻机主动辊式压板机构，其特征在于，所述转轴(9)两端均通过限位器(7)与所述轴架(5)连接，所述限位器(7)通过止动螺丝(4)与所述轴架(5)固定连接，所述胶辊(8)卡接于两端的限位器(7)之间。
5.根据权利要求1所述的一种光刻机主动辊式压板机构，其特征在于，所述胶辊(8)包括辊筒(802)以及包裹于所述辊筒(802)外部的辊胶层(801)，所述辊筒(802)通过轴承(6)与所述转轴(9)滚动连接。
6.根据权利要求5所述的一种光刻机主动辊式压板机构，其特征在于，所述辊筒(802)为金属材质，所述辊胶层(801)为硅胶或橡胶材质。
7.根据权利要求2所述的一种光刻机主动辊式压板机构，其特征在于，所述支撑翼板(1)上设有加强筋板，所述加强筋板位于所述气缸(2)上方。
8.根据权利要求1所述的一种光刻机主动辊式压板机构，其特征在于，所述支撑翼板(1)上开设有多个减重孔。
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