JP3154488B2 - レーザ外科システムのターゲット移動補正 - Google Patents

レーザ外科システムのターゲット移動補正

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JP3154488B2 JP50677592A JP50677592A JP3154488B2 JP 3154488 B2 JP3154488 B2 JP 3154488B2 JP 50677592 A JP50677592 A JP 50677592A JP 50677592 A JP50677592 A JP 50677592A JP 3154488 B2 JP3154488 B2 JP 3154488B2
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Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明は光学系に係わり、具体的には、レーザ光線の
焦点をターゲットに合わせるような医療または工業的過
程において、光学系の動作中における光学ターゲットの
検出,測定及びその移動の修正に関するものである。
レーザ出射システムにおいて、具体的には、手術中の
ターゲットの組織に向かって外科治療用のレーザ光線を
出射するシステムにおいて、その手術進行中に、ターゲ
ット全体が固定されているか、あるいはターゲットの移
動に迅速に追従すること、あるいはまたターゲットを光
学的に探知することが重要である。ターゲットの移動
は、手術環境下において、患者が随意筋肉系を十分に抑
制することができないか、および/または、(たとえば
心拍運動や呼吸運動のような)不随意筋肉系の動きによ
り発生する。これは、ターゲットの形状または地形学的
形状、および/または、出射されたとき、ターゲット上
またはそのなかのレーザ光線の焦点の位置に関する画像
とデータをユーザーへ送る画像システムに当てはまる。
また、焦点調節システム自体にも当てはまる。
共焦点顕微鏡の原理はよく知られている。この原理で
は、対物レンズ前方の被写体またはその位置への光学シ
ステムの焦点調節合わせを必要としており、また、第二
焦点は、対物レンズの背後に位置する光学系のピンホー
ルに合致するように位置している。対物レンズを経てシ
ステムに入射した鏡面反射光の原点の深度が変化する
と、ピンホール背後の画面における光の光度は、ピンホ
ールからの第二焦点または光線の狭細部の移動により、
低くなる。
バイルの特許No.4,881,808は、人間の眼の角膜などの
被写体の位置を測定する画像システムを開示している。
バイルが開示したシステムは、角膜の形状の電子光学的
画像を描くため、及びその位置を明確にするため、角膜
上の一連の点の位置の測定に共焦点顕微鏡の原理を採用
した。各点の位置の測定において、光がピンホールを通
り過ぎて焦点が合わされるようなピンホールの位置、す
なわち、ピンホールの後ろの光電検出器上の光の最大光
度を見いだすために、バイルは共焦点顕微鏡装置内のピ
ンホールを移動した。バイルの装置内で測定された各点
は、この画像システム固有の照準位置に対する相対深度
を与えた。多数のこのような点は、それぞれ異なる照準
位置において測定され、バイルのシステムは一連の点の
座標を得、これにより、映像化された曲がった形状の位
置の画を描くことが出来た。従って、バイルのシステム
は、従来の共焦点顕微鏡と同様に動作し、そこで調べた
点の位置の縦軸方向の移動により、映像化された被写体
の地形学的作図を行うために使用された測定値が収集さ
れた。
バイルのシステムは、バイルの目的および対象が、眼
の角膜などの形状を映像化すること、また、その形状の
位置を測定することである点で、本発明と原理的に異な
る。本発明のシステムは画像システムではなく、むし
ろ、レーザによる眼の手術中等においてターゲット(眼
の角膜)の移動を検出するシステムである。本システム
は、角膜の形状を画像化し、または、空間の一連の点を
位置づけることではなく、単一の光軸線に沿って鏡面反
射の点の深度をモニターする対物レンズを有する。
さらに、本発明の主たる目的は、手術中の眼の角膜な
どのターゲットの深度の移動を修正し、追従することで
ある。すなわち、これは、ターゲット上の鏡面反射点の
深度位置の変化により生じた、ピンホールの背後の光電
検出器上の光の光度の変化するのに応答して、システム
の対物レンズ(または他の光学系)を駆動することによ
り達成される。
発明の要約 本発明に基づいて、レーザが目標としているターゲッ
トの移動を検出し、測定し、及びまたは修正するシステ
ムは、ターゲットの深度位置の変化を追跡するために、
好適な実施態様において、共焦点顕微鏡の原理を採用し
ている。
ピンホールと光電検出器の組合わせ体は、レーザ光
線、例えば眼科治療用用レーザ光線を出射するシステム
の光学系の背後に位置している。本発明のシステムの光
学系は、レーザ光線のターゲットが基準位置にある場
合、光線の狭細部がピンホールに正確に形成されるよう
に構成されている。従って、最大光度は、ピンホール背
後の光電検出器へ指向される。
ターゲットがその基準位置から移動し、光学システム
からのその深度距離を変化すると、ピンホール/光電検
出器の組み合わせ体からの信号は低下する。この信号の
変化は、移動するターゲットとともに動くように、光学
システムの対物レンズを前後に駆動するために使用され
る。ターゲットが移動すると、信号は、ターゲット移動
のいずれかの方向で、すなわち対物レンズへ向かうか、
離れるかの方向で減少する。これが発生すると、対物レ
ンズは、焦点がターゲットの反射面へ再び移動するよう
に動いて、光電検出器上の信号を最大にする。焦点整合
状態の制御は、どの移動方向が信号の増加を生じるかを
決定するためにピンホール/光電検出器組み合わせ体を
動揺することにより行われる。信号が動揺の各終端で平
衡状態にあるかぎり、修正は必要なく、その位置で信号
は最大である。適切な方向が平衡状態の形成により識別
されると、光電検出器における信号が再び平衡状態と最
大になるまで、対物レンズはその方向に移動し、このよ
うにして、光線の狭細部が再びピンホールに位置する
(これは最大点を過ぎて移動することを必要とし、従っ
て最大点へもどる)。これにより、対物レンズは、レー
ザ光線をターゲットに正確な深度で焦点調節するよう
に、再びその点に位置する。この深度は反射光線が受光
された表面と同じ深度ではないが、その深度と一定の関
係にある。
ほかの実施例または実施態様において、最大の信号が
再び得られるような新しい位置へ移動するように、光電
検出器の信号がピンホール/光電検出器組み合わせ体の
移動を行うように使用されている。ピンホールの位置の
変更は、ターゲットにおける深度の変化の程度を測定す
るために使用され、量的測定値を与える。
従って、本発明の目的は、レーザによる治療の進行と
共に使用される、比較的に簡単で正確な深度の検知、修
正、及びまたは測定のシステムを提供することであり、
特にこの場合、治療用用レーザは、共通の対物レンズを
使用するように同じ光路へ折り返す。本発明のこれら及
び他の目的、利点、特徴は、添付図面とともに考察し
て、以降の好適な実施態様の説明から明らかになるであ
ろう。
図面の説明 図1は、ターゲットの範囲を決定しおよび/またはタ
ーゲットの移動に追従する、本発明の原理を例示する光
学システムを示す説明図である。
図2は、ターゲットが出射対物レンズの焦点にほぼ位
置しており、ターゲット(眼の角膜上の涙液の層)から
の光線の反射を詳細に示している説明図である。
図3は、システムのピンホールに正確に位置している
後部焦点または光線の狭細部に焦点が合っている状態
の、図2のターゲット表面から反射した光線を示す詳細
な説明図である。
図4は、反射面が出射対物レンズの焦点にない新しい
深度位置へのターゲットの被写体の移動を示している、
図2と同様でこれに並んでいる詳細な説明図である。図
4は非焦点位置からの照明光線の反射を示している。
図5は、図3と同様な詳細な説明図で、図4と図2に
より示されているような、ターゲットの変位によるピン
ホールにおける光線の縁切りを示している。
図6は、図1と同様なシステムの説明図であるが、タ
ーゲットが図4のように変位している場合にシステムを
通る反射光線の異なる光路を示しており、図5に示され
ている光線の狭細部が形成している。
図7は、本発明の一部を形成しているターゲット追従
システムの動作を示す簡単な流れ図である。
図8は、本発明のほかの実施態様を示す説明図であ
る。
好適な実施態様の説明 図面において、図1は本発明の原理を例示する光学シ
ステム10を示している。光学システム10において、出射
対物レンズまたは対物レンズ組み立て体は、人間の眼の
角膜16として示されたターゲット14に隣接して位置して
いる。この場合、角膜上の涙液層である前面の反射面17
は、光学システム10と対物レンズ組み立て体12の光学軸
18上に基準通りに位置し、また、少なくとも基準通りに
対物レンズ装置12の焦点に位置している。これは図1の
外縁光線20により示されている。レーザによる手術の実
際のターゲットは、反射面17、特に眼の手術と一致しな
いことがしばしばある。手術箇所は角膜の内部または眼
内に深く、網膜にさえもあることがあり、それは光学軸
から外れている。反射面17は、基準点であり、その手術
のターゲットはその表面と一定の関係を有する。
また、図1は治療用レーザ22を示しており、その光線
24は、ビームスプリッタ26によりシステムの光学軸18へ
折り返されている。このようにして、治療用レーザ24は
対物レンズ組み立て体12によりターゲットに焦点整合さ
れ、このターゲットは、再び反射面17と一致することは
ない。
第二レーザ28も図1に示されている。レーザ28は、照
明専用の低出力のレーザ光線を出射する。そのレーザ光
線30はビーム形成光学系32を通過し、ビームスプリッタ
34によりシステム10の光学軸18へ折り返される。示され
ているように、照明光線は図1に示されていないほかの
光学系を通り、平行またはほぼ平行な光線として出射対
物レンズ組み立て体12に近づく。次ぎに、この照明光線
は、ターゲットへの外縁光線20により示されているよう
に、対物レンズの焦点にほぼ焦点整合される。
同時に、上記のように、治療用レーザが手術されてい
る患部に狭い深度範囲で手術するように、治療用レーザ
光線24は同じ対物レンズ12により焦点合わせされる。ど
ちらの光線も同じ対物レンズ12を通過しているが、対物
レンズの背後の別の出射光学系により、治療用光線の焦
点は照明光線の焦点と異なる焦点に生成する。図1は説
明図であり、尺度と角度に関して正確ではない。
図1は、システム10の一部を形成している平行/集束
レンズ組み立て体38も示している。ビーム形成光学系32
とレンズ組み立て体38は、照明光線30を延伸しており、
レンズ組み立て体38は、反対方向に進んでいる戻りの反
射光線を焦点合わせする。このように、ターゲット(例
えば、眼14)が高い精度で出射対物レンズ12から正確な
距離にある場合、照明光線の反射光は、角膜表面上の涙
液層17から鏡面反射して、システムへ戻り進む。外縁光
線20は、反射光が対物レンズ12を通って戻り、40で示さ
れた平行な経路(照明光線の経路にほぼ平行で似てい
る)を再び進むことを図示している。次に、外縁光線20
は平行/集束レンズ組み立て体38により焦点に集束し、
ビームスプリツタ34とピンホール組み立て体42を通る。
ピンホール組み立て体のピンホールは、光線狭細部44に
高精度に位置しており、従って、全反射光線は実質的に
光線狭細部44の位置を経てピンホールを通過する。
ピンホール組み立て体42の背後には光電検出器46があ
り、図1に示されているように、光線の狭細部がピンホ
ールに適切に配置されている場合、この検出器は光学系
を通過する反射光のすべてを受光する。このようにし
て、最大光度が光電検出器46において検出される。
マイクロプロセッサ48は光電検出器46からの光度信号
を受信し、線50に示されているように、応答して、信号
をモーターまたはほかのサーボ装置52へ信号を送る。図
示されているように、モーターまたはサーボ装置は出射
対物レンズ組み立て体12へ接続されており、マイクロプ
ロセッサからの信号に応答して、対物レンズを深度方向
前後に移動することが出来る。前述のように、光電検出
器における信号が弱ければ、深度に関する限り、システ
ムはターゲットの新しい位置を探さなければならない。
従って、マイクロプロセッサ48において測定されたと
き、信号が弱ければ、マイクロプロセッサは、より強い
かまたはより弱い信号を探査する所与の方向に対物レン
ズを動かすようにモーターに命令し、適切な方向に動か
す。あるいは、上述のように、ピンホール/光電検出器
組み立て体が非常に迅速に動揺されているならば、組み
立て体は、信号の不平衡によりどの方向が信号を増加す
るかを決定することが出来る。正しい方向が確認される
と、対物レンズ組み立て体12は、信号が再び最大に達す
るまで、その方向に移動される。
光電検出器における信号は、光線の狭細部44がピンホ
ール42にから変位するようになるので、ターゲットの移
動により弱くなる。この影響は、図2,図3,図4,図5,及び
図6に示されている。
図2において、角膜の涙液層17が対物レンズの正確な
焦点に示されている。外縁光線20により示されているよ
うに、光線は反射して同じ経路に沿って戻る。図3に示
されているように、システムの他端において、光線の狭
細部44は正確にピンホールに形成し、これにより、反射
光線の十分な光度が光電検出器46の感知面54に投射され
る。
他方で、図4に示されているように、ターゲット、従
って、反射面17が図2の位置から深度方向に変位する
と、戻り反射光の光学系は異なる。図4は、角膜がシス
テム10へ、すなわち、出射対物レンズ12へ接近して移動
したことを示している。到達する照明光線の外縁光線20
は、涙液層の反射面17を焦点でなく照射し、図1に示さ
れた外縁光線経路に追従しない反射した戻り光線58を形
成する。この結果は図5に示されている。
図6は、線58として示された照明光線の反射光が対物
レンズの中心により近接して出射対物レンズを通過して
いる状態を示している。これらの戻り光線は、逆方向に
戻っているが、照明の外縁光線20とほぼ同じ角度(ター
ゲットの曲率に依存して)を成している。このように、
照明光線は対物レンズをその中心により近く通過してい
るので、それらは60に分岐しており、ほぼ平行である。
これにより、後部の焦点または光線の狭細部44は、図5
の詳細図に44aで示された点へ後方に押し出される。こ
れは戻り光線が交差する点であるが、ピンホール構造体
は、戻り光線の非常に小さい中心部のほかはすべて切り
取られる。従って、光電検出器の面54に実際に到達する
反射光線は、ターゲットが適切に位置した場合よりも遥
かに低い光度である(図1と3を参照)。
図2と図4は、反射面17の位置の変化が照明光線の外
縁光線の焦点の位置のより大きい変化を生じ、図3と図
5に示された光線の狭細部の移動となることを示してい
る。
図7は、光電検出器46における信号の変化に応答し
て、マイクロプロセツサ48によるモーターまたはサーボ
装置52の制御を示す簡単な流れ図である。
図8は図7の関連部分を示しており、ピンホール/光
電検出器組み立て体の機械的動揺と等価の電子回路を使
用することが出来るように変更されている。図1の単一
のビームスプリッタ34、ピンホール構造体42、及び光電
検出器46は、図8の二重ビームスプリッタ34aと34b、ピ
ンホール構造体42aと42b、及び光電検出器46a46bとに置
き換えられている。この実施例において、ピンホールは
各光線の狭細部に関して−−例えば、図3と図5の狭細
部−−軸上で異なる位置へ設定され、マイクロプロセッ
サ48は、一つの動揺したピンホール/光電検出器組み立
て体からの変化する信号をモニターするよりはむしろ、
二つの光電検出器からの信号を抽出し、比較する。一つ
のピンホールがその各狭細部において軸上に配置され
(システムが基準通りである場合)、ほかのピンホール
はそうでないならば、ターゲットの追跡運動の手順は、
上記の通りである。すなわち、その光電検出器からの信
号を最大にするように対物レンズを移動する。信号は、
システムが基準通りである場合最大になる。運動の方向
は、二つの信号の比が基準状態における比より大きい
か、小さいかにより決定される。言い換えれば、第二ピ
ンホール42bが事例のように基準通りに光線の狭細部の
背後(検出器46bに近く)にあり、光電検出器46aにおけ
る信号がターゲットの移動により弱くなるならば、対物
レンズ調節の正しい方向は、検出器46bの信号が弱くな
るか、強くなるかを調べることにより明らかになる。こ
の事例の強い信号は、ターゲットが近くへ移動し、光線
の狭細部をピンホール42bへ近づけたことを示す。
ターゲットを捕捉する厳密な範囲は、システムが基準
通りの状態である場合、二つの信号が等しいように(し
かし、いずれも最大化されていない)、一つのピンホー
ルをその各狭細部の軸上前方に、ほかのピンホールをそ
の各狭細部の軸上後方に位置することにより、得られ
る。この場合、ターゲットの移動を追跡する手順は、平
衡状態を再び得るように、対物レンズを移動することで
ある(移動の方向は、どの光電検出器がより大きい信号
を有しているかにより決定される)。
上述の好適な実施態様は、本発明の原理を示すための
ものであるが、その範囲を限定するものではない。ほか
の実施態様及び変形は、この分野における専門家には明
らかであり、次の請求の範囲に記載されているように、
本発明の精神と範囲から逸脱することなく、行うことが
出来る。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) A61B 18/20 A61F 9/007

Claims (11)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】治療用レーザ光線が指向するターゲットの
    深度方向の移動を検出し、かつ修正するもので、前記治
    療用レーザ光線が光学システムと共に共通の対物レンズ
    を通過する光学システムにして、 光学システムの前部に配置される対物レンズ手段であっ
    て、該対物レンズ手段の光学軸上でかつ対物レンズ手段
    のほぼ焦点に位置づけられるターゲットの隣接位置に位
    置を定められる対物レンズ手段と、 該対物レンズ手段を通りターゲットへ向かう照明光線を
    送る照明手段であって、ターゲットが基準位置にある場
    合、ターゲットに関連した反射面に照明光線の焦点を位
    置させる照明手段と、 前記対物レンズ手段の背後にあり、前記ターゲットに関
    連した反射面から反射しかつ前記対物レンズ手段を通過
    した光線を受け、かつ前記反射光を後部焦点または光線
    の狭細部へ焦点合わせする光学手段と、 前記ターゲットが、前記照明光線の焦点が前記反射面上
    にある基準位置に位置する時に、前記光線の狭細部に位
    置するピンホールを有するピンホール構造体と、 ピンホール構造体の背後にあり、ターゲットの前記反射
    面から反射しかつ前記対物レンズ手段、前記光学手段、
    及びピンホールを通過した照明光線を受光するように位
    置づけられ、前記ピンホールを通り受光された光線の光
    度を測定する手段を有する光電検出手段と、 治療用レーザ光線を発生し、該治療用レーザ光線を前記
    対物レンズ手段を通しターゲットにある治療用レーザ焦
    点へ指向せしめるように、治療用レーザ光線を前記光学
    システムへ折り返す手段を有する治療用レーザ手段と、 前記光電検出手段に接続され、かつ前記対物レンズ手段
    をターゲットに向かって外方向へまたはターゲットから
    離れて内方向へ移動する駆動装置を有するターゲット追
    従手段であって、前記光電検出手段における光線の光度
    の減少に応答し、光電検出手段において感知された光線
    レベルが、ピンホール上に光線狭細部が位置するととも
    に照明光線の焦点上に反射面が位置することを示す最大
    になるまで前記対物レンズ手段を移動し、これにより治
    療用レーザ光線の焦点が望む通りにターゲットに関連し
    て正確に再配置されるターゲット追従手段と、 を備えていることを特徴とする光学システム。
  2. 【請求項2】ターゲットと関連した反射面が人間の眼の
    角膜の涙液層であることを特徴とする請求の範囲第1項
    に記載のシステム。
  3. 【請求項3】治療用レーザ手段は、眼内の治療手術が可
    能であるような出力と反復速度とを有する治療用レーザ
    光線を出射することを特徴とする請求の範囲第2項に記
    載のシステム。
  4. 【請求項4】ターゲット追従手段は、どの進行方向が光
    電検出手段において増加した光線レベルを高めるかを測
    定するために、ピンホールと光電検出手段との組み立て
    体を動揺させ、感知された光線レベルが、平衡した動揺
    速度を得ることと等価で、最大になるまで、動揺から測
    定された適切な方向に対物レンズ手段を移動させること
    を特徴とする請求の範囲第1項に記載のシステム。
  5. 【請求項5】ターゲット追従手段は光電検知手段からの
    光度信号をモニターするマイクロプロセッサを備え、 マイクロプロセッサは、光線レベルの減少が検出された
    後、感知された光線の光度を最大にするように対物レン
    ズ手段を移動するために、駆動装置に設けられたモータ
    ー手段を自動的に指向することを特徴とする請求の範囲
    第1項に記載のシステム。
  6. 【請求項6】第二ピンホールを有する第二ピンホール構
    造体と第二ピンホールの背後にある第二光電検出手段と
    後部焦点または光線狭細部への途中で反射光線の一部を
    分岐させ、ほぼ第二ピンホールに第二光線狭細部を形成
    するビームスプリッタとを備え、 ターゲット追従手段は、光線狭細部の一つがピンホール
    から軸方向に偏移し、他の光線狭細部が正確にピンホー
    ルにある場合の二つの光線狭細部/ピンホールの間に設
    定された既知の関係に基づいて、ターゲットの深度の変
    化が起きたことが光電検出手段の一つの光線の光度変化
    から判断される場合にターゲットの移動の方向が接近す
    るか、またはさらに遠くなるかをほかの光電検出手段に
    おける信号の変化から判断し、一つの光電検出手段にお
    ける光線信号を再び最大にするため、対物レンズを適切
    な方向へ移動することにより、感知された光線レベルを
    最大にするように対物レンズ手段を移動させることを特
    徴とする請求の範囲第1項に記載のシステム。
  7. 【請求項7】治療用レーザ光線が指向するターゲットの
    深度方向の移動を検出し、かつ修正するもので、前記治
    療用レーザ光線が光学システムと共に共通の対物レンズ
    を通過する光学システムにして、 光学システムの前部に配置される対物レンズ手段であっ
    て、該対物レンズ手段の光学軸上でかつ対物レンズ手段
    のほぼ焦点に位置づけられるターゲットの隣接位置に位
    置を定められる対物レンズ手段と、 該対物レンズ手段を通りターゲットへ向かう照明光線を
    送る照明手段であって、ターゲットが基準位置にある場
    合、ターゲットに関連した反射面に照明光線の焦点を位
    置させる照明手段と、 前記対物レンズ手段の背後にあり、前記ターゲットに関
    連した反射面から反射しかつ前記対物レンズ手段を通過
    した光線を受け、かつ前記反射光を後部焦点または光線
    の狭細部へ焦点合わせする光学手段と、 前記ターゲットが、前記照明光線の焦点が前記反射面上
    にある基準位置に位置する時に、後部焦点または前記光
    線の狭細部が位置する基準位置と関連のある位置にある
    ピンホールを有する少なくとも一つのピンホール構造体
    と、 ピンホール構造体の背後にあり、ターゲットの前記反射
    面から反射しかつ前記対物レンズ手段、前記光学手段、
    及びピンホールを通過した照明光線を受光するように位
    置づけられ、前記ピンホールを通り受光された光線の光
    度を測定する手段を有する光電検出手段と、 治療用レーザ光線を発生し、該治療用レーザ光線を前記
    対物レンズ手段を通しターゲットにある治療用レーザ焦
    点へ指向せしめるように、治療用レーザ光線を前記光学
    システムへ折り返す手段を有する治療用レーザ手段と、 前記光電検出手段に接続され、かつ前記対物レンズ手段
    をターゲットに向かって外方向へまたはターゲットから
    離れて内方向へ移動する駆動装置を有するターゲット追
    従手段であって、前記光電検出手段における光線の光度
    の変化に応答して、光電検出手段において感知された光
    線レベルが、ピンホールと関連のある基準位置に光線狭
    細部が位置するとともに照明光線の焦点上に反射面が位
    置することを示す最大になるまで前記対物レンズ手段を
    移動し、これにより治療用レーザ光線の焦点が望む通り
    にターゲットに関連して正確に再配置されるターゲット
    追従手段と、 を備えていることを特徴とする光学システム。
  8. 【請求項8】第二ピンホールを有する第二ピンホール構
    造体と第二ピンホールの背後にある第二光電検出手段と
    後部焦点または光線狭細部への途中で反射光線の一部を
    分岐させるビームスプリッタとを備え、 ターゲット追従手段は、照明光線の焦点が反射面に位置
    する基準位置にある場合には、ビームスプリッタによっ
    て分岐された二つの光線の狭細部がほぼ各ピンホールの
    位置ではあるが軸方向にずれた位置、すなわち一つがピ
    ンホールの前方に、一つがピンホールの後方に位置する
    とともにこのような基準位置における二つの光電検出手
    段において検出された光線レベルの間に設定された所定
    の関係に基づき、光電検出器手段における光線の光度変
    化からターゲットの深度の変化が発生したと判断される
    と、二つの光電検出手段における信号の変化の方向から
    ターゲット移動の方向が接近するか、さらに離れるかを
    判断し、二つの光電検出手段における検出された光線レ
    ベルの間の関係が再び基準位置にあることを示す所定の
    関係となるように対物レンズを適切な方向へ移動させる
    ことを特徴とする請求の範囲第7項に記載のシステム。
  9. 【請求項9】二つの光電検出手段における検出された光
    線レベルの間の所定の関係が、同等、すなわち、平衡状
    態の光線レベルにあることを特徴とする請求の範囲第8
    項に記載のシステム。
  10. 【請求項10】ターゲット追従手段は、光電検出手段の
    それぞれからの電気信号を、両方の光電検出手段からの
    電気信号の合計でこの信号を割ることにより、反射光線
    の光度に標準化し、所定の関係をこの結果標準化された
    検出光線レベルの間に設定し、これにより、照明光線の
    光線レベルとターゲットに関連する反射面の反射率との
    変化の影響を受けないようにすることを特徴とする請求
    の範囲第8項に記載のシステム。
  11. 【請求項11】基準位置に関して標準化された検出され
    た光線レベルの間の所定の関係が同等であることを特徴
    とする請求の範囲第10項に記載のシステム。
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