DE19608468C2 - Optischer Abstandssensor - Google Patents
Optischer AbstandssensorInfo
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- DE19608468C2 DE19608468C2 DE1996108468 DE19608468A DE19608468C2 DE 19608468 C2 DE19608468 C2 DE 19608468C2 DE 1996108468 DE1996108468 DE 1996108468 DE 19608468 A DE19608468 A DE 19608468A DE 19608468 C2 DE19608468 C2 DE 19608468C2
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- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/026—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring distance between sensor and object
Description
Die Erfindung betrifft einen optischen Abstandssensor nach
dem konfokalen optischen Abbildungsprinzip zur Ermittlung von
Abstands- bzw. Höhenwerten zu oder von einer Oberfläche eines
Meßobjektes. Die ebenen Koordinaten der Vielzahl von Meßpunk
ten werden durch die laterale Verschiebung eines Abstandssen
sors relativ zu dem Meßobjekt vorgegeben, wobei ein Raster
erzeugt wird.
Bevorzugte Einsatzgebiete liegen im Bereich der Verbindungs- und
Montageverfahren der Halbleiter- und Flachbaugruppenferti
gung. In der Regel weisen Prüfobjekte einen dreidimensionalen
Charakter auf, beispielsweise in der Form und Höhe der Löt
höcker bei Ballgrid Arrays bzw. bei der Flip-Chip-Kontaktie
rung sowie in der Form von Nailheads beim Drahtbonden. Aus
diesem Grund ist eine dreidimensionale schnelle Erfassung der
zu überprüfenden Bereiche erforderlich. Dreidimensionale Sen
soren üblicher Art genügen jedoch in der Regel den Anforde
rungen hinsichtlich annehmbarer Kosten und ausreichender De
tektionssicherheit bei stark spiegelnden gekrümmten Flächen
nicht.
Bei der Qualitätsprüfung in der Fertigung von elektronischen
Teilen spielt neben der elektrischen Prüfung die äußere,
meist optische Prüfung eine wesentliche Rolle. Da an die Ver
bindungs- und Montageverfahren der Halbleiter- und Flach
baugruppenfertigung ständig höhere Anforderungen hinsichtlich
Qualität gestellt werden, müssen die entsprechend eingesetz
ten Prüfverfahren zunehmend verfeinert werden. So werden bei
spielsweise Fehlerraten von weniger als 10 dpm (Defekte pro
10⁶) gefordert. Lediglich durch die Optimierung der Prozesse
läßt sich dieses hochgesetzte Ziel nicht mehr erreichen.
Letztendlich wird nach annähernd jedem Verfahrensschritt eine
automatische Inspektion gefordert.
Zweidimensionale Bildverarbeitungsverfahren üblicher Art ge
nügen in der Regel nicht den heutigen Anforderungen.
Zur dreidimensionalen Erfassung von Oberflächen werden häufig
noch Triangulationsverfahren eingesetzt. Bei einer Auflösung
von beispielsweise 10 µm sind diese Verfahren jedoch aus op
tischen Gründen, wie beispielsweise Sekundärlichtreflexionen,
deutlich eingeschränkt. Wesentlich besser sind hierfür konfo
kale Systeme mit einer koaxialen Strahlanordnung geeignet.
Die erzielbare Datenrate ist jedoch aufgrund des mechanisch
bewegten Objektives sehr begrenzt.
In der einen optischen Abstandssensor betreffenden
Patentschrift WO 93/114 03 A1 wird eine Erhöhung der Da
tenrate auf 2 MHz sowie eine flächenhafte Erfassung mit dem
konfokalen Prinzip beschrieben. Die hohe Datenrate wird durch
ein scannendes System erreicht, das auf einer schnellen
Strahlablenkung basiert. Die relative Bewegung des Prüfobjek
tes zum Abtastsensor erfolgt mäanderförmig. Zur Vermeidung
von mechanischen Bewegungen des Objektives wird durch auf dem
Meßstrahl axial gestaffelte Detektoren auf der Bildseite eine
Höhenermittlung durchgeführt. Dieses technisch hoch entwic
kelte Prinzip ist jedoch mit sehr hohen Kosten verbunden.
In der dreidimensionalen Oberflächenvermessung werden auf je
den Fall in zunehmendem Maße konfokale Prüfmethoden einge
setzt, die je nach Ausführung weitgehend unabhängig von den
optischen Eigenschaften der Oberflächen sind. Dies wird
idealerweise dadurch erreicht, daß die Objektoberfläche
punktförmig beleuchtet wird und das reflektierte Licht wird
wiederum auf einen punktförmigen Detektor abgebildet. Je
kleiner die beleuchtete Fläche und die hierzu korrespondie
rende Detektorfläche ist, desto größer wird das Auflösungs
vermögen und desto mehr werden Störungen durch sekundäres
Streulicht und Fehlmessungen durch die Form bzw. durch die
Krümmmung im Bereich des Meßfleckes unterdrückt. Dies kann
mathematisch so formuliert werden, daß selbst stark gekrümmte
spiegelnde Flächen als eben erscheinen, wenn der Meßfleck
sehr viel kleiner ist als der Krümmungsradius der Fläche.
Konventionelle käuflich erhältliche konfokale Mikroskope be
sitzen durchaus diese optischen Eigenschaften, sind jedoch in
der Regel aufgrund des erforderlichen mechanischen Nachfüh
rens der Objekte bzw. der Mikroskopobjektive für den Einsatz
in der Fertigung zu langsam.
Aus der US-Zeitschrift Applied Optics ist folgender Artikel
bekannt: T. R. Corle, J. T. Fanton, G. S. Kino; "Distance measu
rement by differential confocal optical ranging"; Applied Op
tics, 26 (1987) 12, Seite 2416 bis 2420. Darin wird ein opti
scher Abstandssensor nach dem konfokalen optischen Abbil
dungsprinzip zur Ermittlung von Abstandswerten zu einer Ober
fläche beschrieben. Zur Durchführung des Verfahrens wird das
Objekt mit einem kleinen Lichtfleck beleuchtet. Der reflek
tierte Meßstrahl wird auf einen Punktdetektor fokussiert. Die
optische Wegstrecke wird zwischen Empfangseinheit und Abbil
dungsoptik variiert. Weiterhin wird mittels eines Peakdetek
tors die maximale Leuchtdichte auf der Empfangseinheit fest
gestellt, wodurch der aktuelle Abstands- bzw. Höhenwert bei
der Abtastung der Oberfläche des Objekts ermittelbar ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen konfokalen
optischen Abstandssensor bereit zustellen, der eine automati
sche Oberflächenprüfung mit hoher Datenrate ermöglicht, wobei
die Systemkosten gering gehalten werden.
Die Lösung dieser Aufgabe geschieht durch einen Sensor mit den Merkmalen nach
Anspruch 1 oder 2.
Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß der Einsatz
einer einzigen Empfangseinheit auf der Bildseite mit gleich
zeitiger periodischer Variation der optischen Wegstrecke zwi
schen dieser Empfangseinheit und der Abbildungsoptik einen
optischen Abstandssensor mit hoher Datenrate liefert. Der Hö
henwert eines abgetasteten Punktes auf der Oberfläche eines
Meßobjektes ergibt sich, indem ein in der Empfangseinheit
aufgenommenes Maximum der Leuchtdichte des Meßstrahles mit
tels eines Peakdetektors detektiert wird und gleichzeitig die
besagte korrespondierende optische Wegstrecke, die dem Höhen
wert entspricht, festgehalten wird.
Eine weitere Lösung, die die Anwendbarkeit eines Sensors bei
bestimmten Montageverfahren von elektronischen Bauelementen,
insbesondere bei der Inspektion von Löthöckern mit spiegeln
den Oberflächen bei kleinsten Krümmungsradien, erschließt, lau
tet wie folgt:
Zur Erzeugung eines reellen Zwischenbildes, in dem die konfo kal angeordneten punktförmigen Lichtquellen und Sensoren überlagert werden, wird simultan mit Hilfe eines auf der op tischen Achse mechanisch bewegten (oszillierenden) Spiegelsy stemes die Strahlrichtung mit einem Parallelversatz um 180° umgelenkt. Das entstehende reelle Zwischenbild wird anschlie ßend durch eine geeignete Optik auf das Objekt abgebildet. Das vom Objekt zurückgestreute Licht wird rückwärts über die selbe oszillierende Spiegelanordnung auf die stationären Sen soren bzw. Empfänger geführt. Die aktuelle Position des Spie gelsystems, bei der die maximale Leuchtdichte gemessen wird, entspricht dem momentanen Höhenwert auf der Objektoberfläche.
Zur Erzeugung eines reellen Zwischenbildes, in dem die konfo kal angeordneten punktförmigen Lichtquellen und Sensoren überlagert werden, wird simultan mit Hilfe eines auf der op tischen Achse mechanisch bewegten (oszillierenden) Spiegelsy stemes die Strahlrichtung mit einem Parallelversatz um 180° umgelenkt. Das entstehende reelle Zwischenbild wird anschlie ßend durch eine geeignete Optik auf das Objekt abgebildet. Das vom Objekt zurückgestreute Licht wird rückwärts über die selbe oszillierende Spiegelanordnung auf die stationären Sen soren bzw. Empfänger geführt. Die aktuelle Position des Spie gelsystems, bei der die maximale Leuchtdichte gemessen wird, entspricht dem momentanen Höhenwert auf der Objektoberfläche.
Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung sieht den Ein
satz mehrerer optischer Empfänger in der Empfangseinheit vor.
Deren Anordnung relativ zur optischen Achse ist vorgegeben,
wobei auf der Sendeeinheit die gleiche Anzahl von Licht
quellen korrespondierend vorhanden ist. Somit ergibt sich ei
ne gleichzeitige zeilenförmige Anordnung von Meßpunkten auf
der Objektoberfläche und ein Zusammenspiel von beispielsweise
einer ersten Lichtquelle mit einem ersten Empfänger und einer
zweiten Lichtquelle und einem zweiten Empfänger und so fort.
Würden bei einer derartigen Anordnung von Leuchtquellen bei
spielsweise mehrere Abtastpunkte auf der Oberfläche des Meß
objektes gleichzeitig angesprochen, so wäre eine empfangssei
tige Trennung des Ortes nicht möglich. Anders ausgedrückt
würde ein "Übersprechen" eindeutige Messungen verhindern. So
mit ist die Datenrate für diese Ausführungsform insofern be
grenzt, als ein serielles Abtasten für die einzelnen Ab
tastpunkte mit einer Lichtquelle und einem entsprechenden
Empfänger notwendig ist. Wesentlich ist die Variation der op
tischen Wegstrecke zwischen Objekt und Empfangseinheit bzw.
auch zwischen Objekt und Sendeeinheit entweder durch mechani
sche Bewegung des Empfängers oder durch die Bewegung eines
Spiegelsystems, das im Strahlengang positioniert ist, in Kom
bination mit der parallelen Anordnung von Empfängern und Sen
dern und der Trennung der einzelnen Sende-/Empfangskanäle
durch zeitliche Variation der Intensität (Zeitmultiplex). Der
Einsatz eines Spiegelsystemes anstelle des schwingenden Emp
fängers ist dann zu empfehlen, wenn die Auslegung des schwin
genden Empfängers hinsichtlich Größe und Rastermaß an die Di
mensionierungsgrößen stößt. Zur Erzeugung einer Schwingung
sollte die Größe des Empfängers so klein wie möglich sein,
wodurch die optomechaniche Handhabung jedoch erschwert wird,
indem die Zahl der gleichzeitig anwendbaren Lichtquellen
stark eingeschränkt wird.
Eine Differenzierung mehrerer gleichzeitig eingeschalteter
Lichtquellen ist empfangsseitig möglich, indem die unter
schiedlichen Lichtquellen unterschiedliche Lichtfrequenzen
aufweisen. Empfangsseitig geschieht dies durch entsprechende
Modulation der einzelnen Lichtquellen mit unterschiedlichen
Frequenzen. Empfangsseitig wird durch eine zwischen Empfangs
einheit und Peakdetektor geschaltete Bandpaßanordnung jeweils
differenziert, zu welchem Abtastpunkt, der mit einem Licht
bestimmter Frequenz erzeugt wird, der detektierte Peak in der
Leuchtdichte gehört.
Eine andere vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung zur Ab
tastung der Oberfläche eines lateral rechtwinklig ausgebil
deten Meßobjektes, wie beispielsweise einer Flachbaugruppe
mit darauf befindlichen elektronischen Bauelementen, sieht
vor, daß die Reihe von gleichzeitig erzeugten Abtastpunkte
durch entsprechende Anstellung des Abstandssensors bzw. rela
tiv zum Meßobjekt in Bezug auf einen allgemeinen Verfahrweg
eine laterale Anstellung von 45° aufweist. Sind beispielswei
se bei üblichen Meßobjekten orthogonale Abtastbahnen vorgese
hen, beispielsweise ein Rahmen, so ist durch die genannte
Maßnahme ein Drehen des Abtastkopfes bei einem Richtungswech
sel im Verfahrweg um 90° eine Drehung des Abtastsensors bzw.
Meßkopfes relativ zum Meßobjekt nicht notwendig.
Im folgenden wird anhand von schematischen Figuren ein Aus
führungsbeispiel beschrieben.
Fig. 1 zeigt eine Prinzipskizze mit einem
konfokalen optischen Abstandssensor,
Fig. 2 zeigt einen Ausschnitt einer mit Bondverbindungen 20
versehenen Oberfläche 13 eine elektronischen Bauelementes 19
mit Bonddrähten 21,
Fig. 3 zeigt die Oberfläche eines elektronischen Bauelemen
tes 19 mit in ungefähr rechtwinkliger Anordnung darauf aufge
brachten Bondverbindungen 20,
Fig. 4 zeigt korrespondierend mit Fig. 3 die lateralen An
ordnungen am Einbauplatz 25 eines elektronischen Bauelementes
mit Lotdepots 23 auf einer entsprechenden Leiterplatte,
Fig. 5 zeigt eine Prinzipdarstellung eines Systems mit einer
schwingenden Empfangseinheit 4,
Fig. 6a und 6b zeigen zum einen die vollständige dreidi
mensionale Erfassung einer Flachbaugruppe und andererseits
die partielle Erfassung der Flachhbaugruppenoberfläche,
Fig. 7 zeigt eine Anordnung eines konfokalen optischen Sy
stemes, indem mittels eines schwingenden Spiegelsystemes 30
die optische Wegstrecke variierbar ist und
Fig. 8a, 8b und 8c zeigen schematisch die Bewegungen des
Spiegelsystemes und des an dieser Stelle erzeugten Zwischen
bildes,
Fig. 9 zeigt eine Variante des Systemes nach Fig. 7.
In der Fig. 1 wird ein optischer Abstandssensor nach dem
konfokalen Prinzip dargestellt. Ein derartiger Sensor arbei
tet mit punktförmigen Lichtquellen 2, die auf die Oberfläche
13 eines Meßobjektes 12 abgebildet werden. Das vom Meßobjekt
12 rückgestreute Licht wird in einen ebenfalls punktförmigen
Empfänger bzw. eine Empfangseinheit 4 abgebildet. Das Meßob
jekt 12 und das erzeugte Bild bzw. die Empfangseinheit befin
den sich im Fokus des Beleuchtungsstrahles- 7 bzw. des Meß
strahles 8. Der Beleuchtungsstrahl ist hierbei statisch und
legt aufgrund seiner Schärfentiefe den Höhenmeßbereich fest.
Eine weiterführende Beschreibung des konfokalen Prinzips ist
beispielsweise der europäischen Patentschrift
EP 0 615 607 zu entnehmen.
Auf der Sendeseite ist in Fig. 1 eine Sendeeinheit 1 darge
stellt. Diese enthält eine oder mehrere punktförmige Licht
quellen 1.1, 1.2, . . ., jeweils bestehend aus einer Lichtquelle
2 und einer Blende 3. Hierdurch wird der Beleuchtungsstrahl 7
erzeugt. Die Optik 9, 10, 11 wirkt als Ganzes zusammen und
stellt die Abbildungsoptik dar. Unter der periodisch variier
baren optischen Wegstrecke zwischen der Empfangseinheit 4 und
der Abbildungsoptik ist in diesem Fall die Wegstrecke zu der
Optik 11 zu verstehen. Der Beleuchtungsstrahl 7 wird über den
Teilerspiegel 14 in Richtung auf das Meßobjekt 12 mit der
Oberfläche 13 geleitet. Der reflektierte Meßstrahl wird mit
tels der Optik 10 und 11, sowie dem Teilerspiegel 14 der Emp
fangseinheit 4 zugeführt. Die Empfangseinheit 4 besteht aus
Fotoempfängern 5 mit jeweils zugehörigen Blenden 6, so daß
punktförmige Empfänger 4.1, 4.2, . . . dargestellt werden. Nach
dem die Masse der Abbildungsoptik oder Teilen davon relativ
groß ist, so ist es zur Erzeugung der Variation der optischen
Wegstrecke in der Praxis günstiger, die Empfangseinheit 4 in
Richtung der optischen Achse in Schwingungen zu versetzen.
Dies wird durch das seitwärts dargestellte Höhenwert z/Zeit
t-Diagramm angedeutet. Die Schwingungsrichtung 17 ist paral
lel zur optischen Achse des Systems im bildseitigen Meßbe
reich. Die Schwingung, beispielsweise 2 kHz, ist periodisch,
insbesondere sinusförmig.
Theoretisch wäre der Einsatz einer einzigen punktförmigen
Lichtquelle 1.1 und eines einzigen punktförmigen Empfängers
4.1 möglich. Die hiermit erzielbare Datenrate bei der Abta
stung einer gesamten Oberfläche eines Bauelementes 19 ist je
doch sehr gering. Wird die Anzahl der punktförmigen Licht
quellen und Empfänger erhöht, so korrespondieren jeweils eine
erste Lichtquelle mit einem ersten Empfänger, eine zweite
Lichtquelle mit einem zweiten Empfänger und so fort. Anstelle
einer seriellen Abtastung sind die Lichtquellen bzw. das
Licht der verschiedenen Lichtquellen unterschiedlich modul
iert, so daß es unterschiedliche Frequenzen aufweist. Somit
kann entsprechend der Anzahl von Lichtquellen/Empfänger-
Paarungen eine entsprechende Anzahl von Abtastpunkten 18 in
einer geraden Linie auf der Oberfläche 13 erzeugt werden. Wie
bereits beschrieben, wird für jeden Punkt annähernd gleich
zeitig ein Höhenwert ermittelt.
In der Fig. 2 ist ein Ausschnitt aus der Oberfläche eines
elektronischen Bauelementes 19 dargestellt mit Bondverbindun
gen 20 und Bonddrähten 21 befestigt. Spezifizierungen erlau
ben eine maximale Höhe zmax, um in nachgeschalteten Verfah
rensschritten die Bonddrähte 21 nicht zu beschädigen. Ferner
müssen Höhe h und Durchmesser D der Bondverbindungen 20 be
stimmte Werte einhalten. Die in Fig. 2 eingezeichneten Lini
en 24 stellen den allgemeinen Verfahrweg 24 dar. Ob eine oder
mehrere Lichtquellen/Empfänger-Paarungen mit der entspre
chenden Anzahl von Abtastpunkten 18 eingesetzt werden, be
stimmt zunächst die Anforderung bezüglich der Abtastgeschwin
digkeit. Die Tatsache, daß mehrere Abtastpunkte 18 gleichzei
tig erzeugbar sind, ist jedoch in dem Zusammenhang zu sehen,
daß der Sensorkopf bzw. Abtastsensor insgesamt eine laterale
Relativbewegung zu der Oberfläche 13 des Meßobjektes 12 auf
weist.
Das erfindungsgemäß beschriebene Mikroskop hat im wesentli
chen das Anwendungsziel die dreidimensionale optische Prüfung
von Elektronikeinheiten deutlich kostengünstiger und schnel
ler zu machen. Hierzu wird eine konfokale Höhenmessung
gleichzeitig an mehreren auf einer Linie angeordneten Meß
punkten durchgeführt, so daß bei Bewegung des Meßobjektes re
lativ zum Sensor ein Band (Zeile, Reihe) von parallelen Ab
tastpunkten entsteht, beispielsweise 30 Stück. Diese Struktur
des Sensors und die damit erreichbaren Prüfgeschwindigkeiten
sind insgesamt nur dann sinnvoll, wenn mit diesem Band im we
sentlichen nur die Randbereiche von elektronischen Bauelemen
ten erfaßt werden, in denen sich beispielsweise Lötstellen
befinden, die zu überprüfen sind. Dadurch wird bei einer üb
lichen elektronischen Baugruppe die Abtastung auf etwa 5% der
gesamten Flachbaugruppe reduziert. Der Aspekt der partiellen
Oberflächenerfassung in Verbindung mit dem parallelarbeiten
den konfokalen Mikroskop ist wesentlich und führt erst zu ei
nem akzeptablen Preis-/Leistungsverhältnis. Die partielle und
flexible Erfassung eröffnet auch die Möglichkeit, die Prüfung
nur auf kritische Bereiche zu erstrecken.
Fig. 3 zeigt ein elektronisches Bauelement 19, auf dessen
nach oben gerichtete Oberfläche 13 mehrere Bondverbindungen
20 in orthogonaler Anordnung plaziert sind. Die Bondverbin
dungen werden durch Bonddrähte 21 mit elektrischen Anschluß
punkten auf beispielsweise einem nicht dargestellten System
träger verbunden. Der Einsatz eines optischen Abstandssensors
entsprechend der Erfindung erzeugt eine geradlinige Reihe von
Abtastpunkten 18. Nachdem an dem Bauelement 19 lediglich die
Bondverbindungen 20 bzw. die entsprechenden Bonddrähte 21 zu
prüfen sind, ist für den allgemeinen Verfahrweg 24 des Sen
sors relativ zum Bauelement 19 eine Art Rahmen abzufahren,
der ebenfalls orthogonal ausgestaltet ist. Nachdem die hier
dargestellte Reihe von Abtastpunkten 18 zu diesem Verfahrweg
24 unter 45° angestellt ist, erübrigt sich ein Drehen des
Prüfkopfes mit dem Abstandssensor. Fährt der Abstandssensor
den in den Fig. 3 bzw. 4 dargestellten Verfahrweg 24 ab,
so wird jeweils eine Art Korridor parallel zur X-Achse bzw.
parallelel zur Y-Achse erfaßt, der eine Breite 22 von bei
spielsweise 256 µm aufweist. Dabei sind beispielsweise 16 Ab
tastpunkte 18 in einer Reihe.
Die Fig. 4 zeigt ebenfalls in ebener Darstellung entspre
chend Fig. 3 einen Verfahrweg 24, mit dem die zu prüfenden
Lotdepots 23 abgetastet werden. Die Ausbildung des orthogona
len Rahmens für den Verfahrweg 24 gilt in diesem Falle ana
log. Ein Bauelement 19 ist zu diesem Zeitpunkt am Einbauplatz
25 noch nicht vorhanden. Bei dieser Anwendung werden Positi
on, Form und Volumen der Lotpastendepots geprüft.
Die mechanische Bewegung eines Empfängers wird erleichtert,
wenn dessen Masse gering ist. Aus diesem Grund müssen sowohl
die Empfangseinheit 4 als auch eine parallele Lichtquellenan
ordnung hinsichtlich der Größe und der Rastermaße sehr klein
dimensioniert werden, wodurch die optomechanische Handhabung
erschwert wird und die Zahl der gleichzeitig anwendbaren
Lichtquellen bzw. Abtastpunkte 18 stark eingeschränkt wird.
Bei einer parallelen Anordnung von Sendern und Empfängern
kann es zu optischem Übersprechen und somit zu Fehlmessungen
kommen. Dies tritt insbesondere dann in Erscheinung, wenn die
Beleuchtungsfleckdurchmesser bzw. die korrespondierenden
Blendendurchmesser groß sind im Verhältnis zu den seitlichen
Abständen. Da bei einer Konfiguration mit einem bewegten Emp
fänger die Rayleigh-Länge des an sich starren Beleuchtungs
strahles den Höhenmeßbereich vorgibt, muß der Öffnungswinkel
klein dimensioniert werden. Dies hat zur Folge, daß der Meß
fleckdurchmesser selbst im Bereich der Strahltaille relativ
groß ist. Übersprechen muß daher durch eine Maßnahme, wie
beispielsweise zeitliche Variation der Intensität oder Diffe
renzierung durch unterschiedliche Frequenzen des Lichtes un
terdrückt werden. Der konfokale Detektor in Verbindung mit
einem schwingenden Spiegelsystem weist insbesondere Vorteile
auf:
- - Konfokale Detektoranordnung und Lichtquellenanordnung können durch entsprechende Wahl der Linsen verkleinert in das bewegte Zwischenbild abgebildet werden. Dadurch können die Spiegel sehr klein dimensioniert werden und entsprechend hohe Frequenzen bei den oszillierenden Spiegeln erzielt werden.
- - Hinsichtlich der Dimensionierung von Rasterabständen der Lichtquellen und der Detektoren besitzt man große Auswahlmög lichkeiten, da der Vergrößerungsmaßstab durch entsprechende Auslegung der Abbildungsoptiken eingestellt werden kann.
- - Der Höhenmeßbereich wird nicht mehr durch die Form des Beleuchtungsstrahles vorgegeben, sondern durch die Wahl der Optiken in Verbindung mit der Amplitude der mechanischen Schwingung des Spiegelsystemes 30. Bei dem beschriebenen Spiegelsystem bewegt sich das Zwischenbild um die doppelte Amplitude der Spiegeloszillation.
- - Da die Brennebene des Beleuchtungsstrahles im Objektbe reich mitbewegt wird, kann die numerische Apertur des Be leuchtungsstrahles und das Auflösungsvermögen in axialer und lateraler Richtung (Höhe und Breite) erhöht werden.
- - Im Parallelbetrieb ist für jede Lichtquelle ein korre spondierender Empfänger vorhanden, wobei ein optisches Übersprechen zu Fehlmessungen führen kann. Das Übersprechen wird umso größer, je größer der Durchmesser der konfokalen Detek torfläche relativ zum Abstand der Empfänger zueinander ist. Wegen der konfokalen Abbildung ist der Abstand der einzelnen Lichtquellen zueinander proportional zum wechselseitigen Ab stand der Detektoren. Wählt man daher z. B. Lichtquellen mit großen Leuchtfleckabständen bei gleichbleibendem Abstrahlwin kel bzw. Leuchtfleckgrößen und verkleinert diese auf das er forderliche Maß in den Zwischenbild- bzw. Objektbereich, so kann das Übersprechen erheblich reduziert werden. So kann beispielsweise eine Laserdiodenanordnung mit einem Rastermaß von 125 µm statt mit einem Rastermaß von 25 µm eingesetzt werden. In diesem Fall kann unter Umständen auf eine elektro nische Unterdrückung des Übersprechens gänzlich verzichtet werden, was wiederum den technischen Aufwand und damit die Kosten eines derartigen Sensor verringert.
- - Aufgrund der Unterdrückung des Übersprechens durch eine geeignete Wahl des Verhältnisses von Meßfleckdurchmesser zu Meßflecksabstand müssen die Lichtquellen nicht getrennt ange steuert werden oder durch unterschiedliche Frequenzen diffe renzierbar sein. Dadurch wird eine parallele Oberflächenabta stung mit nur einer einzigen Lichtquelle ermöglicht. Die Strahlaufspaltung in die verschiedenen Sendekanäle kann dann z. B. mittels lichtbeugender Elemente erfolgen.
Das erfindungsgemäße System nach Anspruch 1 kommt ohne
strahlablenkende scannende Einheiten aus. Ebenso werden kei
nerlei gestaffelt entlang des Meßstrahles angeordnete Empfän
ger eingesetzt. Die einzige vorhandene Empfangseinheit kann
beispielsweise piezoelektrisch, magnetostriktiv oder elektro
magnetisch bewegt werden. Eine für praktische Anwendungen
ausreichende Oszillationsfrequenz liegt bei 2 kHz. Gleichzei
tig wird die Steigerung der Datenrate durch Einsatz mehrerer
Lichtquellen 1.1, 1.2, . . . in der Sendeeinheit 1 und mehrerer
korrespondierender Empfänger 4.1., 4.2, . . . der einzigen Emp
fangseinheit 4 erzielt. Als Empfänger können beispielsweise
integrierte Fotodiodenzeilen verwendet werden. Als Lichtquel
len werden vorzugsweise Laserdioden-Arrays verwendet. Die
bisherige Beschreibung ging von der Verwendung von Blenden
3, 6 aus, da die Lichtquellen 2 bzw. die Fotoempfänger 5, so
weit übliche Typen im normalen Kostenrahmen verwendet werden,
nicht als punktförmig betrachtet werden können. Bei Lasern
ist die Verwendung von Blenden nicht notwendig.
Es kann jedoch jederzeit die Intensität der parallelen Licht
quellen 2 nach jeweils unterschiedlichen Gesetzmäßigkeiten
zeitlich verändert werden, so daß auf der Empfängerseite eine
eindeutige Zuordnung und damit ein Übersprechen absolut eli
miniert wird. Für langsame Anwendungen ist auch ein serieller
Betrieb der Lichtquellen 2 und der Fotoempfänger 5 möglich.
In diesem Fall ist die Anordnung eines einzigen Fotodetektors
hinter einem Lochblenden-Array ausreichend.
Wird zur Erzeugung einer hohen Datenrate der parallele Be
trieb von mehreren Sende-Empfangseinheiten eingesetzt, so ist
zunächst bei der Bewegung eines Meßobjektes 13 in einer Rich
tung nur die Abtastung von Zeilen möglich. In der Regel ist
bei den Verbindungs- und Montageverfahren der Halbleiter- und
Flachbaugruppentechnik die Überwachung der Randbereiche eines
Chips oder eines Bauelementes 19 ausreichend. Diese Bereiche
erstrecken sich jedoch auf den vollen Umfang des Bauelemen
tes. Um bei derartige erforderlichen orthogonalen Abtastbah
nen den Sensorkopf nicht drehen zu müssen, wird die Achse der
zeilenförmig korrespondierend angeordneten Sender und Empfän
ger und damit entsprechend die Ausrichtung der Reihe von Ab
tastpunkten auf der Oberfläche 13 unter 45° zu der Abta
strichtung orientiert.
Die mechanische schwingende Bewegung des Empfängers (Anspruch
1) der Bildseite, sowie die parallele Anordnung von mehreren
Empfängern und Sendern jeweils nebeneinander ist einfach und
kostengünstig zu realisieren. Die Trennung der einzelnen Sen
de- und Empfangskanäle durch unterschiedliche Lichtfrequenzen
erhöht die Trennschärfe zwischen den einzelnen Kanälen. Die
45°-Anordnung der Reihe von Abtastpunkten relativ zu den or
thogonalen Abtastrichtungen vereinfacht die Führung des Prüf
kopfes. Es erfolgt zweckmäßigerweise keine vollständige Er
fassung der Szene, sondern es werden lediglich die Bereiche
erfaßt, die geprüft werden sollen und die im wesentlichen im
Randbereich auf einer großflächigen Oberfläche eines elektro
nischen Bauelementes plaziert sind. Der Einsatz eines Syste
mes mit einem Spiegelsystem zur Variation der optischen Weg
strecke erbringt darüber hinausgehende oben erwähnte techni
sche Vorteile, die mit einer weiteren Erkennungssicherheit
und zusätzlicher Kosteneinsparung verbunden sind.
In der Fig. 5 wird eine stark vereinfachte Prinzipskizze ei
nes Systems mit schwingenden Empfänger dargestellt, wobei
folgende typische Werte des Verfahrens angeführt werden kön
nen:
Auflösung (x, y, z): 10 µm
Höhenmeßbereich: 500 µm
Parallele Abtastspuren: 30 Stück
Datenrate: 150 kHz
Verfahrgeschwindigkeit: 4 cm/sec.
Auflösung (x, y, z): 10 µm
Höhenmeßbereich: 500 µm
Parallele Abtastspuren: 30 Stück
Datenrate: 150 kHz
Verfahrgeschwindigkeit: 4 cm/sec.
In den Fig. 6a und 6b wird die wesentliche Zeit und Ko
stenersparnis sichtbar, indem die abzutastenden Bereiche je
weils dargestellt werden. In Fig. 6a betrifft die dreidimen
sionale Erfassung der Oberfläche die gesamte Flachbaugruppe
bestehend aus beispielsweise einer Leiterplatte mit darauf
befindlichen Bauelementen 26. Der Abtastbereich ist vollflä
chig. In Fig. 6b werden lediglich partielle Abtastungen vor
genommen. Die Abtastbereiche 27 sind orthogonale Streifen,
durch deren Abtastung und Auswertung die Lötstelleninspektion
an den elektrischen Verbindungen der Bauelemente 26 vollstän
dig gewährleistet ist. Die partielle Erfassung der Oberfläche
der Flachbaugruppe beträgt beispielsweise 5% der Gesamtflä
che.
Fig. 7 zeigt den Aufbau eines konfokalen Mikroskopes beste
hend aus einer Sendeeinheit 1, einer Empfangseinheit 4, einem
Teilerspiegel 14, einem Spiegelsystem 30 und einem System von
Abbildungsoptiken. Dabei kann die Oberfläche 12 des Meßobjek
tes 13 abgetastet werden und ein Höhenbild davon erzeugt wer
den. Das Spiegelsystem 30 besteht aus einer Einheit von zwei
gegeneinander um 90° versetzten und verbundenen oder zumin
dest gleichförmig bewegbaren Spiegeln. Das System wird in der
Schwingungsrichtung 17 bewegt. Durch diese Schwingung wird
die optische Wegstrecke in ihrer Länge variiert. Die Schwin
gung ist vorzugsweise eine sinusförmige Schwingung. Die Fre
quenz kann beispielsweise bei 2 MHz liegen. Unter optischer
Wegstrecke kann entsprechend Fig. 7 zunächst die Wegstrecke
zwischen der Abbildungsoptik 31 und dem Spiegelsystem 30 be
trachtet werden. Wesentlich sind jedoch die Veränderungen im
Strahlengang zwischen der Abtastung der Objektoberfläche 13
und der Empfangseinheit 4 bzw. der Sendeeinheit 1. Am Spie
gelsystem 30 wird ein Zwischenbild erzeugt, in welchem die
konfokal angeordneten punktförmigen Lichtquellen der Sende
einheit 1 und der Detektoren der Empfangseinheit 4 überlagert
werden. Am Spiegelsystem 30 werden die Strahlen durch den in
Fig. 7 sichtbaren Aufbau um insgesamt 180° zurückgespiegelt.
Dies geschieht jedoch mit einem Parallelversatz, so daß der
Strahlengang zweifach durch die Abbildungsoptik 31 geführt
wird. Die Symmetrieachse des Spiegelsystems 30 liegt auf der
optischen Achse der Abbildungsoptik 31. Weiterhin liegt das
Spiegelsystem 30 im konvergenten Bereich der Lichtbündel auf
einer Seite der Abbildungsoptik 31.
Die Fig. 8a, 8b, 8c stellen den Strahlengang am Spiegelsy
stem 30 dar, wobei die Null-Lage 32 und die Bewegung des
Spiegelbildes während der Schwingung des Spiegelsystems 30
angedeutet sind. In Fig. 8a befindet sich das Spiegelsystem
30 ungefähr in der Null-Lage bezogen auf die Schwingungsrich
tung 17. Die Achsstrahlen (die annähernd axialen oder
achsparallelen Strahlen) 28 werden um 2 × 90° gespiegelt.
Weitere nicht axial ausgerichtete Strahlen, die in durchgezo
genen Strichen mit entsprechenden Pfeilen dargestellt sind,
werden um insgesamt 180° gespiegelt. Das Zwischenbild befin
det sich ebenfalls in einer mittleren Lage. Der Übergang von
Fig. 8a zur Fig. 8b beinhaltet eine entsprechend der
Schwingungsrichtung 17 erfolgte Verschiebung nach rechts. Da
bei verschiebt sich die Lage des Zwischenbildes nach oben
entsprechend der Bewegung 29. Die Umlenkung der Achsstrahlen
bleibt identisch. Der Strahlengang weiterer nicht axial ge
führter Strahlen verändert sich entsprechend. Der Übergang
von der Fig. 8a zu der Fig. 8c besteht darin, daß sich ent
sprechend der Schwingungsrichtung 17 das Spiegelsystem 30 von
der Null-Lage 32 nach links verschoben hat. Die Spiegelung
der Achsstrahlen 28 bleibt weiterhin bezogen auf die Spiegel
richtungen unverändert. Die Spiegelung anderer nicht axial
geführter Strahlen verändert sich derart, daß die Bewegung 29
des Zwischenbildes 29 nach unten gerichtet ist.
Fig. 9 zeigt eine Variante der Erfindung, wobei die Strah
lengänge lediglich einmal durch die Abbildungsoptik 31 ge
führt sind. Die Umlenkung der Strahlengänge auf das Objekt
erfolgt über einen zusätzlichen Umlenkspiegel 33.
Claims (10)
1. Optischer Abstandssensor nach dem konfokalen optischen Ab
bildungsprinzip zur Ermittlung von Abstands- und/oder Höhen
werten einer Oberfläche (13), insbesondere zur dreidimensio
nalen Oberflächenvermessung, mit
- - einer Sendeeinheit (1) mit mehreren punktförmigen Lichtquellen (1.1, 1.2, . . .), die auf eine Oberfläche (13) eines Meßobjektes (12) abgebildet werden,
- - einer Empfangseinheit (4) mit mehreren korrespondierenden punktförmigen Empfängern (4.1, 4.2, . . .) gleicher Anzahl, die konfokal im bildseitigen Meßbereich angeordnet sind, wobei die punktförmigen Lichtquellen (1.1, 1.2, . . .) und die punktförmigen Empfänger (4.1, 4.2, . . .) jeweils zeilenförmig in einer zur optischen Achse orthogonalen Ebene angeordnet sind und auf der Oberfläche (13) eine geradlinige Reihe von Abtastpunkten (18) erzeugen,
- - einer koaxialen Führung von Beleuchtungs- und Meßstrahl (7; 8),
- - einer optischen Wegstrecke zwischen der Empfangseinheit (4) und der Abbildungsoptik, die periodisch variierbar ist,
- - einem Peakdetektor (16) zur Feststellung maximaler Leuchtdichten auf der Empfangseinheit (4), wobei die jeweils korrespondierenden optischen Wegstrecken dem jeweiligen Höhenwert des aktuellen Abtastpunktes (18) entsprechen.
2. Optischer Abstandssensor nach dem konfokalen optischen Ab
bildungsprinzip zur Ermittlung von Abstands- und/oder Höhen
werten einer Oberfläche (13), insbesondere zur dreidimensio
nalen Oberflächenvermessung, mit
- - einer Sendeeinheit (1) mit mindestens einer punktförmi gen Lichtquelle (1.1, 1.2, . . .), die auf eine Oberfläche (13) eines Meßobjektes (12) abgebildet wird,
- - einer Empfangseinheit (4) mit mindestens einem zur punkt förmigen Lichtquelle (1.1, 1.2, . . .) konfokal im bildseitigen Meßbereich angeordneten punktförmigen Empfänger (4.1, 4.2, . . .),
- - einer koaxialen Führung von Beleuchtungs- und Meßstrahl (7; 8), wobei die optische Wegstrecke zwischen der Empfangseinheit (4) und dem Objekt (12) und zwischen Sendeeinheit (1) und Meßobjekt (12) durch den Einsatz eines in Richtung der opti schen Achse einer Abbildungsoptik (31) schwingenden Spiegel systemes (30) variierbar ist und mittels eines Peakdetektors (16) maximale Leuchtdichten auf der Empfangseinheit (4) fest stellbar sind, wobei der Strahlengang zwischen der Lichtquel le und dem Meßobjekt und zwischen der Empfangseinheit und dem Meßobjekt jeweils zweimal über die Abbildungsoptik (31) ge führt ist und wobei die jeweilige Strahlrichtung vor dem er sten und zweiten Durchgang durch die Abbildungsoptik (31) durch das Spiegelsystem (30), das aus zwei um 90° zueinander geneigten Spiegeln besteht und im Fokusbereich der Abbil dungsoptik (31) in Bezug auf den Sendestrahl positioniert ist, jeweils um 180° umgelenkt wird und einen Parallelversatz aufweist.
3. Optischer Abstandssensor nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet
daß die Strahlengänge einmal über die Abbildungsoptik (31)
geführt sind und zum anderen zwischen Abbildungsoptik (31)
und Spiegelsystem (30) durch einen zusätzlichen Umlenkspiegel
(33) über eine Optik jeweils zum Meßobjekt (12) hin oder weg
geführt werden.
4. Optischer Abstandssensor nach Anspruch 2 oder 3,
gekennzeichnet durch
mehrere in der Sendeeinheit (1) enthaltene punktförmige
Lichtquellen (1.1, 1.2, . . .) und mehrere korrespondierende,
in der Empfangseinheit (4) enthaltene punktförmige Empfänger
(4.1, 4.2, . . .) gleicher Anzahl, wobei die punktförmige
Lichtquellen (1.1, 1.2, . . .) und die punktförmigen Empfänger
(4.1, 4.2, . . .) jeweils zeilenförmig in einer zur optischen
Achse orthogonalen Ebene angeordnet sind und auf der Oberflä
che (13) eine geradlinige Reihe von Abtastpunkten (18) er
zeugbar ist.
5. Optischer Abstandssensor nach Anspruch 1 oder 4,
gekennzeichnet durch eine serielle Abtastung
über Abtastpunkte (18) durch jeweils zugehörige korrespondie
rende punktförmige Lichtquellen (1.1, 1.2, . . .) und punktför
mige Empfänger (4.1, 4.2, . . .).
6. Optischer Abstandssensor nach einem der Ansprüche 1, 4
oder 5,
gekennzeichnet durch
eine unterschiedliche Frequenzmodulation des Lichtes an un
terschiedlichen punktförmigen Lichtquellen (1.1, 1.2) und
Einsatz von auf die jeweiligen Frequenzen angepaßten Bandpaß
filtern (15) hinter der Empfangseinheit (4).
7. Optischer Abstandssensor nach einem der Ansprüche 1, 4, 5
oder 6,
gekennzeichnet durch
Mittel zum Verfahren des Abstandssensors in Bezug auf das
Meßobjekt (12), wobei die Reihe der Abtastpunkte (18) rela
tiv zu einem Verfahrweg (24) einen Winkel von ungefähr 45°
aufweist und für die Strahlführung jedes Abtastpunktes (18)
das konfokale optische Abbildungsprinzip gilt.
8. Optischer Abstandssensor nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Mittel zum Verfahren bei einer Abtastung von orthogo
nal ausgebildeten Strukturen auf einem Meßobjekt (12) ein
Verfahren des Abstandssensors in orthogonalen Richtungen ent
sprechend der Strukturen auf dem Messeobjekt (12) erlauben.
9. Optischer Abstandssensor nach Anspruch 7 oder 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Mittel zum Verfahren das Anfahren vorbestimmter we
sentlicher Bereiche der Oberfläche (13) erlauben.
10. Verfahren nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß die wesentlichen Bereiche Randbereiche von elektronischen
Bauelementen (26) sind.
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