JP2962581B2 - 光距離センサ - Google Patents

光距離センサ

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JP2962581B2
JP2962581B2 JP9504694A JP50469497A JP2962581B2 JP 2962581 B2 JP2962581 B2 JP 2962581B2 JP 9504694 A JP9504694 A JP 9504694A JP 50469497 A JP50469497 A JP 50469497A JP 2962581 B2 JP2962581 B2 JP 2962581B2
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Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、測定対象物の表面までの或いは表面から
の距離もしくは高さの値を検出するための共焦点光学結
像原理による光距離センサに関する。多数の測定点を平
面座標は、測定対象物に対して相対的に距離センサを水
平面で移動することによって与えられ、その際走査パタ
ーンが作られる。
有利な使用分野は半導体モジュールや平形モジュール
製造の接続及び組立方法の範囲である。一般に検査対象
物は、例えばボールグリッドアレイもしくはフリップチ
ップ接続におけるろう接部の形状や高さ並びにワイヤー
ボンディングの際のネールヘッドの形状において３次元
の性格を備えている。この理由から検査される範囲を３
次元的に速やかに検出することが必要である。普通の方
式の３次元センサは、しかしながら、一般に強く反射す
る湾曲面の場合妥当なコスト及び充分な検出精度に関す
る要求を満足しない。
電子部品の製造における品質検査においては電気的検
査の他に外観検査、多くの場合光学的検査が重要な役割
を果たしている。半導体モジュールや平形モジュール製
造の接続及び組立方法については品質に関して常にかな
り高い要求が課せられるので、これに対応して使用され
る検査方法は益々精密化されなければならない。例えば
10dpm（106当たりの欠陥）以下の欠陥率が要求される。
プロセスを最適化することだけではこのような高く設定
された目標はもはや達成できない。最終的にはほぼ各工
程の後に自動検査が必要とされる。
普通の方式の２次元画像処理方法は、一般に今日の要
求を満足しない。
表面の３次元検出のためには、しばしば３角測量法が
使用される。しかしながらこの方法は、例えば10μｍの
分解能において例えば２次光反射のような光学的理由か
ら明らかに制約されている。これに対して同軸ビーム構
成の共焦点システムははるかに好適である。しかしなが
ら、これにより得られるデータレートは対物レンズを機
械的に動かすので非常に制限されている。
光距離センサに関するヨーロッパ特許第0615607号明
細書にはデータレートを2MHzに上げること並びに共焦点
原理による面検出が記載されている。この高率のデータ
レートは、迅速なビーム偏向に基づくスキャンシステム
により達成される。走査センサに対する検査対象物の相
対運動は蛇行状に行われる。対物レンズの機械的運動を
回避するために高さの検出は測定ビーム上に軸方向に梯
形の列に配置された検出器により像側で行われる。この
技術的に高度に開発された原理は、しかしながら非常に
高いコストを伴う。３次元表面測定ではいずれにせよそ
の構成に応じて殆ど表面の光学的性質に無関係である共
焦点検査法が益々使用されてきている。これは理想的に
は、対象物の表面が点状に照射され、反射された光もま
た点状の検出器に結像されることによって行われる。照
射される面及びこれに対応する検出器表面が小さければ
小さい程分解能は大きく、二次的な散乱光による擾乱及
び形状によるもしくは測定点の範囲における曲率による
誤測定がそれだけ多く抑えられる。これは数学的には、
測定点が曲率半径よりずっと小さいときには、著しく湾
曲した反射面ですら平面として現れるように定式化され
る。
従来の金銭的に得ることのできる共焦点顕微鏡は全く
この光学的性質を持つものであるが、一般に測定対象物
もしくは顕微鏡の対物レンズを機械的に追従させること
が必要であることにより製造分野での使用に対しては速
度が遅すぎる。
この発明の課題は、高いデータレートを持った自動表
面検査を可能とし、しかもシステム経費を少なくするこ
とができる共焦点光距離センサを提供することにある。
この課題は請求項１による特徴によって解決される。
この発明は、像測に唯一の受光装置を使用し、同時に
この受光装置と結像光学系との間の光路長を周期的に変
えることにより高いデータレートを持つ光距離センサが
提供されるという認識に基づいている。測定対象物の表
面における走査された点の高さ値は、受光装置において
記録される測定ビームの輝度の最大値がピーク検出器に
よって検出され、同時に高さ値に相当する前記の対応す
る光路長が確定されることによって求められる。
センサの適用性を電子デバイスの特定の組立方法にお
いて、特に最小曲率半径において反射する表面を持つろ
う接部の検査において見出しているその他の解決方法は
次のようなものである。
共焦点に配置された点状の光源及びセンサが重畳され
る中間実像を作るために、同時に光軸上を機械的に動か
される（振動する）反射鏡によりビーム方向が平行変位
をもって180゜転向される。その時生ずる中間実像は次
いで適当な光学素子により対象物上に結像される。対象
物から逆反射された光は逆向きに同一の振動反射鏡を介
して固定のセンサもしくは受光装置に導かれる。最大輝
度が測定される反射鏡の実際の位置は対象物表面におけ
るその時の高さ値に相当する。
この発明の有利な構成においては、受光装置に複数個
の受光素子が使用される。光軸に対して相対的な受光素
子の配置は予め与えられており、受光装置には同数の光
源が対応して存在する。それ故、対象物の表面における
同時的な行状の配置の測定点と、例えば第一の光源と第
一の受光素子との、第二の光源と第二の受光素子との、
さらにそれぞれの光源とそれぞれの受光素子との相互作
用とが生ずる。このような光源配置において例えば測定
対象物の表面上の多数の走査点が同時に要求されるなら
ば、その地点を受光側で分離することは不可能であろ
う。換言すれば、いわゆる「クロストーク」が一義的な
測定を妨げることになろう。それ故この実施例に対する
データレートは、個々の走査点を１つの光源とそれに対
応する受光素子とで直列的に走査することが必要である
点において、制限されている。測定対象物と受光装置と
の間もしくはまた測定対象物と発光装置との間の光路長
を受光素子の機械的な運動により又はビームの通路に位
置している反射鏡の運動により変えることは、受光素子
と発光素子の並列位置と、個々の発光及び受光通路を光
の強度を時間的に変えること（時分割多重方式）により
分離することとの組み合わせにおいて重要である。振動
性の受光装置を設置することがそのサイズ及びモジュー
ル寸法に関して全体の寸法サイズに抵触するときには、
振動性の受光装置の代わりに反射鏡を使用するのがよ
い。振動を発生させるために受光装置の大きさはできる
だけ小さいことが好ましいであろうが、これにより同時
に使用される光源の数が著しく制限されることになるの
で光学機構的な扱いが難しくなる。
同時に投入される数個の光源を細分化することは、異
なる光源が異なる光周波数を持っていることにより受光
側で可能である。これは、受光側で異なる周波数を持つ
個々の光源を適当に変調することにより行われる。受光
側で受光装置とピーク検出器との間に接続されたバンド
パスフィルタにより、特定の周波数の光で形成されるど
の走査点に検出された輝度のピークが属するかがそれぞ
れ細分化される。
例えばその上に電子デバイスを搭載した平形モジュー
ルのように、平面が直角に形成された測定対象物を走査
するため、この発明の他の有利な構成においては、同時
に得られた走査点の列が距離センサを適当に配列するこ
とによりもしくは一般的な走査行程に関して測定対象物
に対して相対して45゜の水平配列を持っている。例えば
通常の測定対象物において直交する走査軌道が、例えば
枠状の軌道が設けられる場合には、前記の手段により走
査行程において90゜方向転換する際の走査ヘッドの回転
は走査センサもしくは測定ヘッドを測定対象物に相対的
に回転することである必要はない。
以下に図面によりこの発明の実施例を説明する。
図１はこの発明の基礎となった共焦点光距離センサを
備えた基本図を、 図２はボンド接続部20を備えた電子デバイス19の表面
13の一部分を、 図３はほぼ直角状に配置されて設けられたボンド接続
部20を備えた電子デバイス19の表面を、 図４は図３に対応して相応する導体板にろう溜まり23
を備えた電子デバイスの取付け位置25における水平面配
置を、 図５は振動する受光装置４を備えたシステムの基本図
を、 図6aは平形モジュールの完全な３次元検出を、図6bは
平形モジュール表面の部分的検出を、 図７はこの発明による振動性の反射鏡30により光路長
の変更可能な共焦点光学システムの構成を、 図8a、8b及び8cは反射鏡及びこの位置に作られる中間
像の移動を概略的に、 図９は図７によるシステムの変形例を示す。
図１には共焦点原理による光距離センサが示されてい
る。このようなセンサは測定対象物12の表面13に結像さ
れる点光源２でもって動作する。測定対象物12から反射
されたビームは同様に点状の受光素子もしくは受光装置
４に結像される。測定対象物12及び得られた像もしくは
受光装置はそれぞれ照射ビーム７及び測定ビーム８の焦
点位置にある。照射ビームはこの場合静的であり、その
焦点の深さにより高さの測定範囲を確定する。共焦点原
理のそれ以上の説明は、例えばヨーロッパ特許第061560
7号明細書に明らかにされている。
図１において発光側には発光装置１が示されている。
この発光装置は、それぞれ光源２と絞り３とからなる１
個或いは複数個の点光源1.1、1.2・・・を有している。
これにより照射ビーム７が作られる。光学素子９、10、
11は一体として働き、結像光学系を形成している。受光
装置４と結像光学系との間の周期的に変化する光路長と
はこの場合光学素子11までの光路長と解される。照射ビ
ーム７はビームスプリッタ14を介して測定対象物12の表
面13の方向に導かれる。反射された測定ビーム８は光学
素子10及び11並びにビームスプリッタ14をとおして受光
装置４に導かれる。受光装置４はそれぞれ対応の絞り６
を備えた受光体５よりなり、点状の受光素子4.1、4.2・
・・として示されている。結像光学系の質量或いはその
部分は比較的大きいから、光路長の変化を作るために、
受光装置４を光軸の方向に振動させることが実際上好ま
しい。この振動は高さ値ｚと時間ｔとのダイヤフラムに
より傍に示されている。振動方向17は像側の測定範囲に
おいてシステムの光軸に対して平行である。振動は例え
ば2kHzで周期的であり、特にサイン形状をしている。
理論的には唯一の点光源1.1と唯一の点状受光素子4.1
を使用することも可能である。しかしながら、これによ
り電子デバイス19の全表面を走査する際に得られるデー
タレートは非常に少ない。点状の光源及び受光素子の数
が増える場合、第一の光源が第一の受光素子に、第二の
光源が第二の受光素子に、以下順次それぞれ対応する。
直列的な走査に代わって光源もしくは異なる光源のビー
ムが異なって変調されているので、ビームは異なる周波
数を持っている。それ故、光源と受光素子との対の数に
応じてそれに対応した数の走査点18が表面13に直線に作
られる。既に説明したように、各点に対してほぼ同時に
高さ値が求められる。
図２にはボンド接続部20及びボンドワイヤ21が固定さ
れている電子デバイス19の表面の一部分が示されてい
る。次に続く工程でボンドワイヤー21を損傷しないよう
にするため、設計仕様により最大値により最大高さzmax
が与えられている。さらにボンド接続部20の高さｈ及び
直径Ｄは特定の値を維持する必要がある。図２に記され
た線24は一般的な走査行程24を表している。光源と受光
素子との１つ或いは数個の対がそれに対応した数の走査
点18と共に使用されるかどうかは、先ず走査速度に関す
る要求により決まる。数個の走査点18が同時に得られる
という事実は、しかしながら、センサヘッドもしくは走
査センサが全体で測定対象物12の表面13に対して水平面
の相対運動を示している関係において見られる。
この発明により説明された顕微鏡は、主として電子ユ
ニットの３次元光学検査を明らかにコスト的に有利にか
つ迅速に行うという使用目的を持っている。このため共
焦点の高さ測定が同時に直線上に配置された数個の測定
点において実行されるので、センサに対して相対的に測
定対象物を動かす際に１つのバンド（行、列）の平行な
走査点、例えば30個の走査点が発生する。センサのこの
構造及びこれにより得られる検査速度は全体として、こ
の走査点のバンドにより主として電子デバイスの例えば
検査すべき接合位置が存在する縁部領域だけが検出され
る場合においてこそ意義がある。これにより通常の電子
モジュールにおいて走査は全体の平形モジュールの約５
％に削減される。並列動作する共焦点顕微鏡と関連した
部分的な表面検査の観点は重要であり、これにより初め
て、値段と成果との比が受け入れることのできる値とな
る。部分的な及びフレシキブルな検出は、また検査を臨
界的範囲だけに適用する可能性をも開く。
図３は、その上側の表面に数個のボンド接続部20が直
交形状に配置されている電子デバイス19を示す。ボンド
接続部はボンドワイヤ21を介して例えば図示されてない
システムの電気端子に接続されている。この発明による
光距離センサを使用することにより走査点18を直線の列
にすることができる。電子デバイス19についてただボン
ド接続部20もしくはそれに対応するボンドワイヤ21だけ
が検査されるから、電子デバイス19に対する相対的なセ
ンサの一般的な走査行程24に対しては、同様に直交形状
に形成される一種の枠が作られる。ここに図示された走
査点18の列はこの走査行程24に対して45゜の角度で整列
されているので、検査ヘッドを距離センサと共に回転す
る必要はない。距離センサが図３もしくは４に示された
走査行程24を通る場合には、Ｘ軸に対して平行に並びＹ
軸に対して平行に、例えば256μｍの幅22を持つ一種の
回廊が検出される。その場合例えば16個の走査点18が一
列にある。
図４は同様に図３に対応する平面表示で検査されるろ
う溜まり23を走査する行程24を示す。走査行程24に対し
て直交枠の形成はこの場合同様に行われる。電子デバイ
ス19はこの時点で取付け位置25にまだ存在していない。
その適用においてろうペースト溜まりの位置、形状及び
容積が検査される。
受光素子の機械的運動は、その質量が小さければ容易
である。この理由から受光素子４並びに平行な光源装置
もその大きさ及びモジュール寸法に関して非常に小さい
ものとされなければならない。これにより光学機械的扱
いが難しくなり、同時に使用される光源もしくは走査点
の数が著しく制限される。
発光素子と受光素子とを平行に配置する場合光学的な
クロストーク、従って誤測定に至ることがある。これ
は、特に照射点の直径もしくは対応する絞りの直径が測
面距離に比して大きいときに生ずる。可動の受光素子を
備えた形態においてはそれ自体固定された照射ビームの
レイリー長が高さ測定範囲を設定するので、開き角は小
さく設定されなければならない。この結果、測定点の直
径自体はビームの胴回りの範囲において比較的大きいこ
とになる。従って、クロストークは、例えば光の強度の
時間的な変化或いは光の異なる周波数による細分化のよ
うな手段により抑制されなければならない。振動反射鏡
と関連した共焦点検出器は特に次のような利点を持つ。
共焦点の検出装置及び光源装置はレンズを適当に選択
することにより縮小されて動かされた中間像に結像する
ことができる。これにより反射鏡を非常に小さい寸法と
することができ、それに応じて高い周波数を振動反射鏡
において得ることができる。
光源及び検出器のグリッド間隔の寸法決めに関しては
大きな選択性がある。拡大尺度は結像光学系を適当に設
計することにより調整することができるからである。
高さの測定範囲は照射ビームの形によって予め決まる
のでなく、反射鏡30の機械的振動の振幅と関連した光学
素子の選択により決まる。前述の反射鏡においては中間
像は反射鏡の振動の２倍の振幅だけ動く。
照射ビームの焦平面は対象物範囲において一緒に動く
ので、照射ビームの開口数及び分解能を軸及び水平方向
（高さ及び幅）に上げることができる。
並列運動において各光源に対してそれぞれ１つの対応
する受光素子があり、その際光学的クロストークが誤測
定に導くことがある。このようなクロストークは、共焦
点の検出器面の直径が受光素子の相互間隔に対して相対
的に大きければ大きい程それだけ大きくなる。共焦点結
像のために個々の光源相互の間隔は検出器の交互の間隔
に比例する。従って、例えば大きな照射点間隔を持つ光
源を発光角もしくは照射光点間隔を一定にしてかつこれ
を中間像もしくは対象物範囲において必要な寸法に縮小
して選択すれば、クロストークは著しく減少させること
ができる。このようにして、例えば25μｍのフレーム寸
法に代わって125μｍのフレーム寸法を持つレーザダイ
オード装置を使用することができる。この場合、場合に
よってクロストークの電子的抑制を全く不要にすること
ができ、これによりまた技術的経費、従ってまたこのよ
うなセンサのコストを削減することができる。
測定点直径と測定点間隔との比を適当に選択すること
によりクロストークを抑制することにより光源は別々に
制御される必要はなく、或いは異なる周波数によって区
別される必要もない。これにより唯一の光源により並列
的な表面検査が可能となる。ビームを幾つかのビーム通
路に分割することは例えば光回折素子により行うことが
できる。
請求項１によるこの発明によるシステムはビーム方向
を偏向するスキャン装置なしで済む。同様に測定ビーム
に沿って梯形に配置された受光素子も何ら使用されな
い。唯一つ存在する受光装置は例えば圧電により、磁気
歪みにより或いは電磁的に動かすことができる。実際の
使用に対して充分な振動周波数は2kHzである。同時にデ
ータレートの上昇も発光装置１に数個の光源1.1、1.2・
・を、唯一の受光装置４の対応する受光素子4.1、4.2・
・・を使用することにより得られる。受光素子としては
例えば集積化されたホトダイオード列が使用される。光
源としては特にレーザダイオードアレイが使用される。
今までの説明は絞り３、６を使用することを基本にして
行ってきた。なぜなら光源２並びに受光体５として、普
通の型のものが通常のコストの枠内で使用される限り、
点状とは見なされないからである。レーザの場合には絞
りを使用する必要はない。
しかしながら、平行光源２の強度をそれぞれ異なる規
則性に従って時間的に変え、受光素子側に一義的な関係
が、従ってクロストークが絶対的に除去されるようにす
ることもできる。速度の遅い適用のためには光源２及び
受光体５の直列的な運転もまた可能である。この場合唯
一の光検出器は開口絞りアレイの背後に配置することで
充分である。
高いデータレートを得るために、数個の発光／受光装
置の並列運動が行われる場合、先ず測定対象物12を１つ
の方向に動かす際に行の走査だけが可能である。一般に
半導体モジュールや平形モジュールの接続方法及び組立
方法においてチップ或いはデバイス19の縁部領域の監視
で充分である。この領域は、しかしながら、デバイスの
全周に延びている。このような必要な直交の走査軌道に
おいてセンサヘッドを回転する必要がないようにするた
め、行状に対応して配置された発光素子及び受光素子の
軸、従って測定対象物の表面13における走査点の列の整
列は走査方向に対して45゜に向けられる。
像側は受光素子の機械的振動運動並びに数個の受光素
子及び発光素子相互の並列配置は簡単にかつコスト的に
有利に実現できる。個々の発光及び受光通路を異なる光
周波数によって分離することは個々の通路の間の分離感
度を高める。走査点の列を直交走査方向に対して45゜に
配置することにより検査ヘッドの案内が容易となる。合
目的的には、全体を完全に検出するのではなく、検査す
べき範囲、主として電子デバイスを大きな面の表面の縁
部領域にある範囲だけを検出するのがよい。光路長を変
えるために反射鏡を備えたシステムを使用することは、
上述の技術的利点を越えて、更に検出信頼性及び付加的
なコストの節約に伴う利点をもたらす。
図５には振動する受光素子を備えたシステムの著しく
簡単化された原理図を示し、この場合次の代表的な値が
挙げられる。
分解能（x,y,z）: 10μｍ 高さ測定範囲: 500μｍ 並列走査軌跡: 30個 データレート: 150kHz 走査速度: 4cm/sec 図6a及び6bは走査すべき範囲がそれぞれ図示されるこ
とにより著しい時間とコストの節約が得られることを示
す。図6aにおいて表面の３次元検出は例えば導体板とそ
の上に設けられたデバイス26からなる全体の平形モジュ
ールに関する。走査範囲は全面である。図6bでは部分的
な走査だけが行われている。走査範囲27は直交した帯状
部であり、この走査及び評価によってデバイス26の電気
接続部のろう接部の検査が完全に保証される。平形モジ
ュールの表面の部分的走査は例えば全体の表面の５％と
なる。
図７は発光装置１、受光装置４、ビームスプリッタ1
4、反射鏡30及び結像光学系からなるこの発明による共
焦点顕微鏡の構造を示す。この場合測定対象物12の表面
13が走査され、その高さの像が作られる。反射鏡30は２
つの互いに90゜ずらされて結合された或いは少なくとも
同じように可動な反射鏡単位からなる。この反射鏡は振
動方向17に動かされる。この振動によりその光路の長さ
が変わる。この振動は特にサイン形状の振動であるのが
よい。周波数は例えば2MHzとすることができる。なお光
路とは図７によれば先ず光学素子31と反射鏡30との間の
区間が考えられる。しかしながら、測定対象物の表面13
と受光装置４もしくは発光装置１との間の光路長の変化
が重要である。反射鏡30には、発光装置１の共焦点に配
置された点状の光源と受光装置４の検出器が重畳される
中間像が作られる。反射鏡30でビームは図７に見られる
構造により全体で180゜反射される。これは、しかしな
がら、平行変位で行われるので、光路は二重に光学素子
31を通して導かれる。反射鏡30の対称軸は光学素子31の
光軸にある。さらに反射鏡30は光学素子31の一方の側で
光束の収束範囲にある。
図8a、8b、8cは反射鏡30における光路を示し、この場
合零位置32と反射鏡30の振動の間の鏡像の動きを示して
いる。図8aでは反射鏡30は振動方向17に関してほぼ零位
置にある。軸ビーム（ほぼ軸方向及び反軸方向のビー
ム）28は２×90゜反射される。その他の非軸方向ビーム
は対応する矢印を持つ実線で示され、全体で180゜反射
される。中間像は同様に中間の位置にある。図8aから図
8bへの移行は振動方向17に応じて行われる右への移動で
ある。その場合中間像の位置は運動29に応じて上へ移動
する。軸ビームの転向は同一である。その他の非軸方向
ビームの光路はそれに応じて変化する。図8aから図8cへ
の移行は振動方向17に応じて反射鏡30が零位置32から左
へ移動することを表す。軸ビーム28の反射はなお反射方
向に関して不変である。他の非軸方向に導かれるビーム
の反射は、中間像の運動29が下に向かうように変化す
る。
図９はこの発明の変形例を示し、この例では光路はた
だ一回光学素子31を通っている。測定対象物への光路の
転向は付加的な転向反射鏡33によって行われている。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ケレンシユペルガー、パウル ドイツ連邦共和国 デー−81475 ミユ ンヘン マクスホーフシユトラーセ 21 ベー (56)参考文献 特開 平７−311025（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−94641（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−42117（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−304031（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−297012（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−288444（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−264720（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−105615（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01B 11/00 - 11/30

Claims (9)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】少なくとも１つの点光源（1.1、1.2・・
    ・）を備え、この点光源が測定対象物（12）の表面（1
    3）に結像される発光装置（１）と、 少なくとも１つの前記点光源（1.1、1.2・・・）に対し
    て共焦点に像側の測定範囲に配置された点状受光素子
    （4.1、4.2・・・）を備えた受光装置（４）とを備え、 照射ビーム（７）及び測定ビーム（８）が同軸に導かれ
    る、 測定対象物（12）の表面（13）の距離及び高さの値を求
    めるための特に３次元表面測定のための共焦点光学結像
    原理による光距離センサにおいて、 受光装置（４）と測定対象物（12）との間及び発光装置
    （１）と測定対象物（12）との間の光路長が結像光学素
    子（31）の光軸の方向に振動する反射鏡（30）の使用に
    よって変化可能でありかつピーク検出器（16）により受
    光装置（４）上の最大輝度が確定可能であり、その際光
    源と測定対象物との間及び受光装置と測定対象物との間
    の光路がそれぞれ２回結像光学素子（31）を経由して導
    かれ、それぞれの光路が結像光学素子（31）を通る第一
    回の通過及び第二回の通過の前に、互いに90゜傾けて配
    置された２個の鏡からなり、発光ビームに関して結像光
    学素子（31）の焦点範囲に位置している反射鏡（30）に
    よってそれぞれ180゜転向され、平行変位していること
    を特徴とする光距離センサ。
  2. 【請求項２】光路が一方では結像光学素子（31）を介し
    て導かれており、他方では結像光学素子（31）と測定対
    象物（12）との間において付加的な転向反射鏡（33）に
    よって光学素子を介してそれぞれ測定対象物（12）に向
    かって或いはそれから離れるように導かれていることを
    特徴とする請求項１記載の光距離センサ。
  3. 【請求項３】発光装置（１）に含まれる数個の点光源
    （1.1、1.2・・）及び受光装置（１）に含まれこれに対
    応する数個の点状受光素子（4.1、4.2・・）とが同数で
    あり、点光源（1.1、1.2・・）と点状受光素子（4.1、
    4.2・・）とがそれぞれ行状に光軸に対して直交する平
    面に配置され、測定対象物（12）の表面（13）に直線列
    の走査点（18）が作られることを特徴とする請求項１又
    は２のいずれかに記載の光距離センサ。
  4. 【請求項４】それぞれ対応する点光源（1.1、1.2、・・
    ・）と点状受光素子（4.1、4.2、・・・）とにより走査
    点（18）が直列的に走査されることを特徴とする請求項
    １乃至３の１つに記載の光距離センサ。
  5. 【請求項５】異なる点光源（1.1、1.2）における光の周
    波数がそれぞれ異なって変調され、それぞれの周波数に
    適合されたバンドパスフィルタ（15）が受光装置（４）
    の後ろに配置されていることを特徴とする請求項１乃至
    ４の１つに記載の光距離センサ。
  6. 【請求項６】点光源とこれに対応する点状受光素子との
    使用により直線状の走査点（18）が結像され、その際距
    離センサの走査行程（24）に対して相対的な走査点（1
    8）の列が測定対象物（12）に関して約45゜の角度を持
    ち、各走査点（18）のビームの案内に共焦点結像原理が
    妥当していることを特徴とする請求項３乃至５の１つに
    記載の光距離センサ。
  7. 【請求項７】測定対象物（12）の直交形状に形成された
    構造が走査され、その際距離センサが直交方向に前記構
    造に応じて測定対象物（12）上を走査可能であることを
    特徴とする請求項６記載の光距離センサ。
  8. 【請求項８】測定対象物（12）の表面（13）が部分的に
    走査され、その際その表面（13）の所定の主要領域が検
    出されることを特徴とする請求項６又は７記載の光距離
    センサ。
  9. 【請求項９】主要領域が電子デバイス（26）の縁部領域
    であることを特徴とする請求項８記載の光距離センサ。
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