JP3129096B2 - Ａｇ表面保護用耐蝕性膜および耐蝕性複合構造体 - Google Patents

Ａｇ表面保護用耐蝕性膜および耐蝕性複合構造体

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ａｇの大気中のオゾ
ン、硫化物成分などによる表面腐蝕を防止するためのＡ
ｇ表面保護用耐蝕性膜に係り、さらに詳しくは、例えば
光磁気記録媒体用反射膜、光記録媒体用反射膜、リフレ
クタ用反射膜、照明器具用反射膜、標識用反射膜などの
反射膜、および、金属製品用、プラスチック製品用のメ
ッキ膜などとして用いられるＡｇ基体と前記耐蝕性膜と
からなる複合構造物に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】Ａｇは、その銀白色の美しい光沢ととも
に展性、延性に優れ、金属のうちで電気および熱の伝導
率が最も大きいので非常に有用な金属である。特に可視
光に対する反射率が広い波長範囲にわたって１００％に
近い値を示すため、鏡面を必要とする装置、例えば、前
記したような光記録媒体等の反射膜などに広く利用され
ている。また、このようなＡｇの特徴を生かして例えば
洋食器にＡｇメッキを行うと、その装飾性に優れている
点や水分中の微生物が殺菌されるなどの利点があるため
に、被メッキ物に高級感を与え商品価値を高めることと
なる。
【０００３】以上のようにＡｇは非常に有用な金属であ
り、酸素中で高温に熱しても酸化されない等、化学的に
も安定な金属であるが、唯一その欠点として、大気中の
硫化物成分によって褐色または黒色のＡｇ2 Ｓに変化
し、また、硫化物ほどではないが、大気中のオゾンによ
り黒色のＡｇＯに変化して、その光沢を失うことが挙げ
られる。特に、硫黄とは直接結合して、例えばＨ2 Ｓと
反応して常温でも容易にＡｇ2 Ｓとなり黒変する。この
黒変化を逆に利用した古美術色装飾品も知られているが
一般的ではない。このような黒変化を一時的に防止する
には、クロム酸処理や透明樹脂を塗装する方法が用いら
れ、またさらに効果的な方法としてＡｇ上にＲｈメッキ
を薄く形成する方法が知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来知
られる前記したようなＡｇの褪色を防止する方法はいず
れも十分なものではない。すなわち、クロム酸処理によ
って形成される化成膜は非常に薄くかつ比較的短時間で
その活性が失われてしまうものである。また樹脂被膜は
ピンホール等の膜欠陥を完全になくすことが困難であ
り、このような欠陥部からＡｇの腐蝕が進行してしまう
ものであった。さらにＲｈメッキを施す方法は、材料自
体が高価であるために一般的なものではなかった。さら
に上記したような光磁気記録媒体用反射膜などとして用
いる場合には熱伝導率の高さが問題となる。
【０００５】本発明は、大気中の硫化物成分やオゾンに
よるＡｇの硫化、酸化という化合物化による褪色を防止
し、Ａｇの反射率、光沢の高さを保持するＡｇ表面保護
用耐蝕性膜を提供することを目的とする。本発明はま
た、Ａｇ基体とこのような耐蝕性膜とからなる、例え
ば、光磁気記録媒体用反射膜、光記録媒体用反射膜、リ
フレクタ用反射膜、照明器具用反射膜、標識用反射膜な
どの反射膜、および、金属製品用、プラスチック製品用
のメッキ膜など好適に用いられる複合構造物を提供する
ことを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、このよう
なＡｇの大気中の硫化物成分やオゾンによる腐蝕を防止
するために鋭意検討を行なった結果、Ａｇに代えてＡｇ
−Ｍｇ合金を用いることで上記したような腐蝕を有効に
防止し得るとの知見を得た。しかしながら、このような
Ａｇ−Ｍｇ合金膜はＡｇ膜よりも残留圧縮応力が大きい
ので硬いが、例えばこのようなＡｇ−Ｍｇ合金膜を、基
板ないし下地層上に形成しようとする場合には、これら
の基板ないし下地層との密着性が悪く、剥離しやすいも
のとなってしまい、剥離が生じるとこれらの部分から腐
蝕が進行してしまうために、Ａｇ膜をＡｇ−Ｍｇ合金膜
に単純に置換えるのみでは、十分な効果が得られない。
そこで、さらに本発明者らは、鋭意検討を進めた結果、
Ａｇ基体の保護膜としてＡｇ−Ｍｇ合金膜を形成し、Ａ
ｇ基体とこのＡｇ−Ｍｇ合金膜とで複合構造化すること
で、非常に耐蝕性の良好なものが得られることを見い出
し本発明を完成するに至った。
【０００７】すなわち、上記目的は、Ａｇ基体に対する
保護膜であって、Ｍｇの含有量が１〜１０原子％である
Ａｇ−Ｍｇ合金からなることを特徴とするＡｇ表面保護
用耐蝕性膜（以下、保護膜と称する。）により達成され
る。なお、本明細書において述べる保護膜におけるＭｇ
の含有量は、その保護膜の層厚全体にわたる平均値を示
すものであり、従って、Ａｇ基体との接合界面から最表
面にわたり漸次Ｍｇ濃度が変化するもの、あるいは例え
ば接合界面あるいは最表面などの部分において部分的に
Ｍｇ濃度が異なるものであっても、平均として上記含有
量範囲に収まるものであれば、本発明の範囲内に含まれ
る。
【０００８】上記目的はまた、Ａｇ基体と、その表面に
形成されたＭｇの含有量が１〜１０原子％であるＡｇ−
Ｍｇ合金からなる保護膜とよりなることを特徴とする耐
蝕性複合構造体によっても達成される。本発明の複合構
造体において、Ａｇ−Ｍｇ合金からなる保護膜の表層部
が酸化によりＭｇＯ層となっているものであることが、
十分な保護効果を得る上で望まれる。
【０００９】本発明の複合構造体において、前記Ａｇ基
体は、代表的には膜状体である。しかしながら、Ａｇ基
体の形状は特に限定されるものではなく、バルク状のも
のなどでもあり得る。本発明の複合構造体においては、
５００オングストローム以上の膜厚を有するＡｇ基体上
に５０オングストローム以上の膜厚を有する保護膜を形
成してなることが安定した特性を得る上から望まれる。
【００１０】本発明はまた、上記したような複合構造体
より構成される反射膜である。この反射膜は例えば、光
磁気記録媒体、光記録媒体、リフレクタ、照明器具、各
種標識等に用いられる。さらに反射膜として用いられる
場合、Ａｇ基体下部にアンダーコートを、および／また
は保護膜上部にオーバーコートを有するものであること
がより耐蝕性の良好な反射膜となるために望ましいもの
である。アンダーコート、オーバーコートとしては合成
樹脂、透明誘電体薄膜などが用いられ得る。
【００１１】本発明の反射膜を光磁気記録媒体用として
用いる場合、保護膜がＡｇに１〜８原子％のＭｇを含有
させたＡｇ−Ｍｇ合金からなるものであることが望まし
い。本発明の反射膜を光記録媒体用として用いる場合、
保護膜がＡｇに１〜５原子％のＭｇを含有させたＡｇ−
Ｍｇ合金からなるものであることが望ましい。
【００１２】本発明の反射膜をリフレクタ用として用い
る場合、保護膜がＡｇに１〜５原子％のＭｇを含有させ
たＡｇ−Ｍｇ合金からなるものであることが望ましい。
なお、このリフレクタとは、反射器、反射鏡、反射板な
どを示す。本発明の反射膜を照明器具用として用いる場
合、保護膜がＡｇに１〜５原子％のＭｇを含有させたＡ
ｇ−Ｍｇ合金からなることが望ましい。
【００１３】本発明の反射膜を標識用として用いる場
合、保護膜がＡｇに１〜５原子％のＭｇを含有させたＡ
ｇ−Ｍｇ合金からなることが望ましい。さらに本発明は
上記したような複合構造体より構成されるプラスチック
製品のメッキ膜である。プラスチック製品としては例え
ば家庭で使用される各種製品があり、例えば化粧品容器
等である。
【００１４】
【作用】上記したように本発明のＡｇ表面保護用耐蝕性
膜は、Ｍｇの含有量が１〜１０原子％であるＡｇ−Ｍｇ
合金からなる。Ａｇに含有させるＭｇは、Ａｇと近似し
た銀白色の光沢を有する金属であり、銀と同様に展性、
延性に富み容易に箔化する。よって、銀と合金をつくる
のに適した金属である。Ｍｇは常温の空気中で容易に酸
化され安定な酸化物を形成する。このため、Ａｇ−Ｍｇ
合金よりなる保護膜においては、酸化処理を施すことに
より、あるいは大気中に曝すことによって、その表層部
においてＭｇが選択的に酸化されてＭｇＯ層を形成し、
その内部ではＭｇが消費されるためにＭｇ濃度が下が
る。ＭｇＯは可視光に対しては透明であり、光は通すが
オゾンやＳＯ2 は遮断することとなるため、Ａｇ基体に
対する有効な保護膜として働くこととなる。またこの表
層部のＭｇＯ層より内部の組成はＡｇに近づくことにな
るため、その反射率はよりＡｇ基体に近づくこととな
る。
【００１５】また、Ａｇ基体上に上記したようなＡｇ−
Ｍｇ合金よりなる保護膜を形成した場合、Ａｇ基体側へ
とある程度のＭｇ成分の拡散が生じ、組成が連続的に変
化してその界面が明確なものとならないために密着性が
良好であり、例えばＡｇ基体上に反応性スパッタ等によ
りＭｇＯ層を形成する場合と比べて剥離が生じにくく高
い保護作用が得られる。
【００１６】本発明の耐蝕性複合構造体は、Ａｇ基体
と、その表面に形成された上記したようなＡｇ−Ｍｇ合
金からなる保護膜とよりなる。Ａｇ基体が膜状体である
態様においては、このようなＡｇ膜は、基板ないし下地
層上に形成されることとなるが、上記したようなＡｇ−
Ｍｇ合金からなる保護膜は基板ないし下地層上に直接形
成されるものでなく、Ａｇ膜を介して形成されるので、
従来Ａｇ膜用の基板ないし下地層として使用されている
材料をそのまま利用して、これらに対して密着性の良好
な複合構造体を形成でき、例えばＡｇ基体（膜）に代え
てＡｇ−Ｍｇ合金よりなる基体を用い、Ａｇ−Ｍｇ合金
を直接基板ないし下地層上に形成した場合と比較してよ
り安定な構造物とすることができる。
【００１７】さらに、前記複合構造体を例えば光磁気記
録媒体用反射膜などの反射膜として使用する態様におい
ては、この反射膜上にはさらに合成樹脂などからなる透
明保護層が設けられることが多くあるが、このような透
明保護層は、Ａｇ等の金属上よりもＭｇＯのような酸化
物上の方が、ボイドや、ピンホール等の欠陥が少なく、
より高密度でかつ密着性の高い膜構造を形成し得るため
に、より保護効果の高いものとなる。
【００１８】
【実施例】以下、本発明を実施態様に基づきより詳細に
説明する。本発明のＡｇ表面保護用耐蝕性膜は、Ｍｇの
含有量が１〜１０原子％であるＡｇ−Ｍｇ合金からな
る。この合金を大気中あるいは酸化されやすい雰囲気、
例えば高温、高湿度の雰囲気中に置くと、Ａｇより酸化
されやすいＭｇが優先的に酸化され、合金表面に透明な
Ｍｇ酸化被膜が形成される。このＭｇ酸化被膜は透明で
あるのでＡｇの銀白色光沢を損なうことがないだけでな
く、Ａｇを前述の大気中のオゾン、硫化物成分から遮断
する有効な保護膜として機能する。そして、このＭｇ酸
化被膜が合金表層部に形成される際に、表層部近傍のＭ
ｇが酸化被膜中に取り込まれるため、表層部より内部の
合金組成は純Ａｇに近づく。このため、Ｍｇ酸化被膜が
形成されると、合金の反射率は９０〜９５％と増加し、
純Ａｇの９８％に近づく。
【００１９】この合金のＭｇ濃度を１〜１０原子％と限
定したのは、この範囲未満ではＭｇの量が酸化膜形成に
よる十分な保護作用を発揮し得ず、一方この範囲を越え
ると表層部のＭｇが強固なＡｇ−Ｍｇ金属間化合物を形
成していると考えられるので、Ｍｇの酸化被膜の形成が
困難となるからである。
【００２０】なお、このＡｇ−Ｍｇ合金保護膜におい
て、Ｍｇ濃度は膜厚全体を通じてほぼ均一なものとする
ことも、あるいはＡｇ基体との接合界面から最表面に向
って漸次濃度が増加するといったように、膜厚方向に濃
度勾配を有するものとすることも可能である。
【００２１】また、このＡｇ−Ｍｇ合金保護膜の表層部
に形成されるＭｇ酸化被膜は、大気中に放置することに
より形成される自然酸化膜であっても、あるいは高温、
高湿度、例えば８０℃、８５％ＲＨ雰囲気中に１０時間
程度といった処理条件下で積極的に酸化処理を行なうこ
とによって形成される酸化膜であってもよい。
【００２２】このようなＡｇ−Ｍｇ合金からなる保護膜
を適用するＡｇ基体の形状としては、特に限定されず、
バルク状のものであってもあるいは膜状のものであって
もよいが、代表的には各種の反射膜あるいはメッキ膜に
おけるような膜状のものである。
【００２３】本発明の複合構造体は、Ａｇ基体の上に前
記のごときＡｇ−Ｍｇ合金からなる保護膜を形成してな
る。このような複合構造体の具体例としては、例えば、
光磁気記録媒体、光記録媒体、リフレクタ、照明器具、
各種標識等における反射膜、あるいはプラスチック製品
のメッキ膜などが挙げられる。このような複合構造体に
おいては、一般に、５００オングストローム、より好ま
しくは１０００オングストローム以上の厚さを有するＡ
ｇ基体上に５０オングストローム以上の膜厚を有する保
護膜を形成してなることが望まれる。すなわち、Ａｇ基
体の厚さが５００オングストローム未満では所望の光
沢、反射率などの特性が得られない虞れが多い。なお、
保護膜の厚さのより好ましい範囲としては、後述するよ
うにその用途により若干の変動がある。
【００２４】さらに本発明の反射膜を、いわゆる大容量
メモリとしての光磁気ディスク等の光磁気記録媒体用と
して用いる場合、保護膜がＡｇに１〜８原子％のＭｇを
含有させたＡｇ−Ｍｇ合金からなるものであることが望
ましい。すなわち、この組成範囲に限定した理由は、熱
伝導率がＡｇのそれの２／３以下であり、かつ反射率が
８０％以上であることが必要であるからである。
【００２５】図１および図２は本発明の複合構造体を反
射膜として光磁気ディスクに使用した実施例を示してい
る。これらの図に示すように、光磁気ディスク１１は、
ポリカーボネート（ＰＣ）基板１２に保護層１３を介し
て記録層１４を積層し、さらに保護層１５を介して反射
層１６を積重ねている。この反射層１６を、本発明に係
るＡｇ膜１６ａとその上部に形成されたＡｇ−Ｍｇ合金
膜１６ｂとからなる複合構造体により形成している。Ａ
ｇ−Ｍｇ合金膜１６ｂはＡｇに１〜８原子％のＭｇを含
有させた合金膜で形成され、その厚さは５０オングスト
ローム以上が適当である。またＡｇ膜の厚さは５００オ
ングストローム以上が適当である。Ａｇ膜厚と、Ａｇ−
Ｍｇ膜厚の合計が５００〜１０００オングストロームで
あることが望ましい。なお、保護層にはＳｉＡｌＯＮ、
Ｓｉ3 Ｎ4 などが、記録層としてはＴｂＦｅＣｏまたは
ＴｂＦｅＣｏＣｒなどがそれぞれ使用される。この記録
層の厚さは２００〜２５０オングストロームのものが用
いられる。図２（Ａ）は３．５インチの光磁気ディス
ク、図２（Ｂ）は５．２５インチの光磁気ディスクの構
造を示している。本発明に係る反射膜はこれらのいずれ
についても用いることができる。
【００２６】本発明の反射膜を、例えば光ディスク（Ｃ
Ｄ）用反射膜、光カード用反射膜などの光記録媒体用反
射膜として使用する場合、保護膜がＡｇに１〜５原子％
のＭｇを含有させたＡｇ−Ｍｇ合金からなるものである
ことが望ましい。すなわち、反射率が９０％以上である
ことが必要であるからである。
【００２７】図３は光ディスクについて本発明に係る反
射膜を適用した実施例を示す。透明プラスチックの基板
２２に反射膜２１を積層し、保護膜２３で被覆してい
る。この反射膜２１を、本発明に係るＡｇ膜とその上部
に形成されたＡｇ−Ｍｇ合金膜とからなる複合構造体に
より形成している。Ａｇ−Ｍｇ合金膜はＡｇに１〜５原
子％のＭｇを含有させた合金膜で形成され、その厚さは
５０オングストローム以上が適当である。またＡｇ膜の
厚さは５００オングストローム以上が適当である。保護
層はＳｉＡｌＯＮ、Ｓｉ3 Ｎ4 などで形成される。
【００２８】さらに、本発明の反射膜をリフレクタ用と
して用いる場合、保護膜がＡｇに１〜５原子％のＭｇを
含有させたＡｇ−Ｍｇ合金からなるものであることが望
ましい。すなわち、反射率が９０％以上であることが望
ましいからである。図４はリフレクタの１つである鏡
（家庭用、自動車用等）について本発明に係る反射膜を
適用した実施例を示す。この鏡では、平坦なガラス板３
１に反射膜３２を被着し、さらにその上部を樹脂コーテ
ィング層３３で保護している。反射膜３２は、厚さ５０
０オングストローム以上のＡｇ膜とその上部に形成され
た厚さ５０オングストローム以上のＡｇに１〜５原子％
のＭｇを含有させたＡｇ−Ｍｇ合金とから形成されてな
るものである。Ａｇ膜厚とＡｇ−Ｍｇ合金膜厚の合計が
５００〜１０００オングストロームであることが望まし
い。この組成範囲内であれば、従来のＡｌまたはＣｒ製
の反射膜を有する鏡と同等の反射率を維持しつつ、耐蝕
性を一段と優れたものとすることができる。
【００２９】また、本発明の反射膜を照明器具用のある
いは標識用の反射膜として用いる場合、保護膜がＡｇに
１〜５原子％のＭｇを含有させたＡｇ−Ｍｇ合金からな
るものであることが望ましい。すなわち、反射率が９０
％以上であることが望ましいからである。
【００３０】図５は本発明に係る反射膜を使用した照明
器具の断面構造を示す。４１がＳＧ製の原板で、これに
粘着剤層４２、密着コート層４３を介して、厚さ５００
オングストローム以上のＡｇ膜とその上部に形成された
厚さ５０オングストローム以上のＡｇに１〜５原子％の
Ｍｇを含有させたＡｇ−Ｍｇ合金とから形成されてなる
反射層４４が積層されている。Ａｇ膜厚とＡｇ−Ｍｇ合
金膜厚の合計が１０００〜２０００オングストロームで
あることが望ましい。４５はトップコート層である。な
お、アクリル樹脂にこのようなＡｇ膜およびＡｇ−Ｍｇ
合金膜からなる反射層を被着してもよい。
【００３１】さらに、本発明の複合構造体を例えば化粧
品容器、アクセサリ等のプラスチック製品のメッキ膜と
して用いる場合には、保護膜がＡｇに１〜５原子％のＭ
ｇを含有させたＡｇ−Ｍｇ合金からなるものであること
が望ましい。すなわち、反射率が９０％以上であること
が望ましいからである。
【００３２】図６は家庭用プラスチック製品の一例とし
ての化粧品容器にメッキ膜として本発明に係る複合構造
物を適用した例を示している。容器本体５５および蓋５
４の各表面にメッキ膜５２を施している。その構造は、
円筒状のプラスチック製基体５１に、メッキ膜５２のコ
ーティングしたものである。このメッキ膜５２は透明な
樹脂層５３でサンドイッチ状にはさまれている。このメ
ッキ膜は厚さ５００オングストローム以上のＡｇ膜５２
ａとその外周側表面に形成された厚さ５０オングストロ
ーム以上のＡｇに１〜５原子％のＭｇを含有させたＡｇ
−Ｍｇ合金５２ｂとから形成されているものである。Ａ
ｇ膜厚とＡｇ−Ｍｇ合金膜厚の合計が１０００〜１００
００オングストロームであることが望ましい。
【００３３】次に、本発明に係るＡｇ−Ｍｇ合金からな
る保護膜の形成方法について説明する。前記したような
Ａｇ基体の上にＡｇ−Ｍｇ合金からなる保護膜を形成す
るには、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレー
ティング法などにより行うことが可能である。このうち
特にスパッタリング法、さらにはマグネトロンスパッタ
リング法が好適である。これは合金組成をスパッタリン
グの際にターゲットに印加される高周波電力値の増減、
被着体の位置の移動等によって容易に行ない得ること、
Ａｇ基体に対する膜の付着力が大きいこと、大面積の基
板に組成、厚さの均一な膜を形成しやすいことなどの特
色が、他の方法よりも優れているからである。例えば上
記光磁気ディスク、ＣＤ、照明器具用反射板等に適用さ
れる場合には、主としてこのマグネトロンスパッタリン
グで反射膜を作製する。なお、家庭用プラスチック製品
のメッキ膜、鏡の反射膜等については、真空蒸着法、イ
オンプレーティング法が用いられることもある。
【００３４】また、Ａｇ基体が膜状のものである態様に
おいては、Ａｇ基体とＡｇ−Ｍｇ保護膜を、スパッタリ
ング法によって途中で大気に曝すことなく連続して形成
することができる。スパッタリング法によるＡｇ−Ｍｇ
保護膜の形成は、ＡｇターゲットとＭｇターゲットとを
用いたコスパッタ、またはＡｇ−Ｍｇ合金ターゲットを
用いたスパッタのいずれによっても行なうことができ
る。
【００３５】以下、これらのスパッタリング法によるＡ
ｇ基体とＡｇ−Ｍｇ合金保護膜の形成の一例を説明す
る。ＡｇターゲットとＭｇターゲットとを用いたコスパ
ッタは次のようにして行なわれる。図１０に示すよう
に、直径５インチのＡｇターゲット６１と直径５インチ
のＭｇターゲット６２と直径４インチの基板ホルダ６３
とを、チャンバー中心からの距離１４０ｍｍに配置す
る。このとき、ターゲットに対する基板の高さは７０ｍ
ｍとなるように配置する。図で、角度ηは、１２０°で
ある。Ａｇターゲット、Ｍｇターゲットのいずれも、片
方のターゲットからスパッタされた粒子が横方向に飛散
して、もう片方のターゲット表面を汚染するのを防ぐた
め、図７に示すように高さ５０ｍｍの円筒状シールド６
４が施されている。
【００３６】スパッタリングパワーは、Ａｇターゲット
投入電力がＲＦ２００Ｗ、Ｍｇターゲット投入電力がＲ
Ｆ２００Ｗである。また、基板ホルダは、１０ｒｐｍで
回転させる。まず、図７のように、基板６５をＡｇター
ゲットの上部にセットする。このとき図１０におけるθ
＝０°となる。また、Ｍｇターゲットの上部には、ター
ゲットからの高さ６０ｍｍのところに、直径１６０ｍｍ
のシャッター６６がセットされている。
【００３７】到達真空度５×１０-7Ｔｏｒｒに達したと
ころで、Ａｒガスを導入し１×１０-3Ｔｏｒｒとし、ス
パッタリングを開始する。基板温度を室温２５℃±３℃
で、Ａｇを所定膜厚例えば１０００オングストロームだ
け成膜する。続いて図８のように基板をＡｇターゲット
とＭｇターゲットの間にセットし直す。このとき図１０
におけるθ＝０〜４０°である。同時にＭｇターゲット
上にあったシャッターも取除く。以上のように、基板位
置とシャッターの条件を同時に変更して、続けてＡｇ−
Ｍｇ膜を所定膜厚、例えば５０オングストロームだけ成
膜する。Ａｇ−Ｍｇ合金膜組成は例えばθ＝２０°で
２．４原子％Ｍｇである。なお、Ａｇ−Ｍｇ合金膜を形
成後酸化処理を施す場合には、形成後基板を放置するこ
となく直ちに高温高湿中か高温高圧高湿中に保持して行
なう、または成膜後、基板を大気に曝すことなく、スパ
ッタチャンバ内でのＯ2 中加熱によって行う。
【００３８】また、Ａｇ−Ｍｇ合金ターゲットを用いた
スパッタは、次のようにして行なわれる。図１１に示す
ように、直径５インチのＡｇターゲット６１と直径５イ
ンチのＡｇ−Ｍｇターゲット［Ｍｇ：２〜２０原子％］
６７と直径４インチの基板ホルダ６３とを、チャンバー
中心からの距離１４０ｍｍに配置する。このとき、ター
ゲットに対する基板の高さは７０ｍｍとなるように配置
する。図で、角度ηは、１２０°である。Ａｇターゲッ
ト、Ａｇ−Ｍｇターゲットのいずれも、片方のターゲッ
トからスパッタされた粒子が横方向に飛散して、もう片
方のターゲット表面を汚染するのを防ぐため、図７に示
すように高さ５０ｍｍの円筒状シールド６４が施されて
いる。
【００３９】スパッタリングパワーは、Ａｇターゲット
投入電力がＲＦ２００Ｗ、Ａｇ−Ｍｇターゲット投入電
力がＲＦ２００Ｗである。また、基板ホルダは、１０ｒ
ｐｍで回転させる。まず図７のように基板６５をＡｇタ
ーゲットの上部にセットする。このとき図１０における
θ＝０°となる。また、Ｍｇターゲットの上部には、タ
ーゲットからの高さ６０ｍｍのところに、直径１６０ｍ
ｍのシャッター６６がセットされている。
【００４０】到達真空度５×１０-7Ｔｏｒｒに達したと
ころで、Ａｒガスを導入し１×１０-3Ｔｏｒｒとし、ス
パッタリングを開始する。基板温度を室温２５℃±３
℃）で、Ａｇを所定膜厚例えば１０００オングストロー
ムだけ成膜する。続いて図９のように基板をＡｇ−Ｍｇ
ターゲットの上部にセットし直す。このとき図１０にお
けるθ＝１２０°である。同時にＡｇ−Ｍｇターゲット
上にあったシャッターを取除き、Ａｇターゲット上に移
動させる。以上のように、基板位置とシャッターの条件
を同時に変更して、続けてＡｇ−Ｍｇ膜を所定膜厚、例
えば５０オングストロームだけ成膜する。得られたＡｇ
−Ｍｇ合金膜組成は例えばターゲット組成が５．０原子
％Ｍｇで２．４原子％Ｍｇである。なお、Ａｇ−Ｍｇ合
金膜を形成後酸化処理を施す場合には、形成後基板を放
置することなく直ちに高温高湿中か高温高圧高湿中に保
持して行なう、または成膜後基板を大気に曝すことな
く、スパッタチャンバ内でのＯ2 中加熱によって行う。
【００４１】以上のようなスパッタリング法により、実
際にガラス基板（コーニング社製、７０５９Ｆ）上に、
順に膜厚１０００オングストロームのＡｇ膜、膜厚１０
００オングストロームまたは、５０オングストロームの
Ａｇ−Ｍｇ合金膜（Ｍｇ含有量１２．０原子％および
２．４原子％）を形成して試験片を作製し、耐蝕試験を
行なった。耐蝕試験は温度８０℃、湿度８５％ＲＨに保
たれた恒温恒湿容器中に１０時間保持し、時間の経過に
伴なう反射率の変化を調べた。反射率測定は分光光度計
により行なった。なお比較対照として同様の基板上に膜
厚１０００オングストロームのＡｇ膜のみを形成したも
の、基板上に膜厚１０００オングストロームのＡｇ−Ｍ
ｇ合金膜（Ｍｇ含有量２．４原子％）のみを形成したも
のを用意した。
【００４２】得られた結果を表１に示す。
【００４３】
【表１】
【００４４】表１に示すように、Ａｇ膜上に５０オング
ストロームのＭｇ含有量２．４原子％のＡｇ−Ｍｇ合金
膜形成してなる本発明に係る試験片は、耐蝕性が良好
で、苛酷な条件下においても反射率の低下がほとんど見
られなかった。さらに、ガラス基板上に、順に膜厚１ミ
クロンアンダーコート、膜厚５００オングストロームの
Ａｇ膜、膜厚５００オングストロームのＡｇ−Ｍｇ合金
膜（Ｍｇ含有量２．４原子％）、膜厚１ミクロンオーバ
ーコートを形成して試験片を作製し、塩水噴霧による促
進腐蝕試験を行なった。試験は４０ｇ／リットルの濃度
の塩化ナトリウム水溶液（ｐＨ６．５〜７．２）を試験
片に対し、３５℃±２℃にて、８時間噴霧し、１０時間
間隔を置いた後、再度噴霧を行なうというものを３サイ
クル繰り返し、全サイクル終了後に試験片の状態を目視
により観察した。
【００４５】その結果、上記試験片においては、試験前
とその光沢等の度合が何ら変化していないものであっ
た。これに対し、同様の基板上に順に膜厚１ミクロンア
ンダーコート、膜厚１０００オングストロームのＡｇ
膜、膜厚１ミクロンオーバーコートを形成してなる比較
対照においては、試験後においてＡｇ膜全体が白濁して
おり腐蝕されていることがあきらかであった。
【００４６】このことは、Ａｇ−Ｍｇ合金表面に形成さ
れる自然酸化膜は、オーバーコート材料との相性がよ
く、Ａｇ膜上にオーバーコートを形成する場合と比べ
て、ピンホール等の欠陥ができにくく、保護効果の高い
オーバーコートを形成することができる、すなわち耐蝕
性を向上させることができることを示唆する。従って、
Ａｇ−Ｍｇ合金表面を強制的に酸化させることも耐蝕性
を向上させる上から有効であると考えられる。
【００４７】
【発明の効果】以上述べたように、本発明は、Ｍｇ含有
量が１〜１０原子％であるＡｇ−Ｍｇ合金よりなる保護
膜であり、その表層部においてＭｇ酸化被膜が形成され
ることにより、大気中のオゾン、硫化物によるＡｇ基体
の腐蝕を阻止する有効な保護膜として働くこととなるも
のであり、またこの保護膜を形成することによるＡｇの
反射率の低下は実質的には生じない。さらに、Ａｇ基体
と前記したようなＡｇ−Ｍｇ合金よりなる保護膜との密
着性は高く、かつこのようにＡｇ基体とＡｇ−Ｍｇ合金
保護膜とで複合構造化することで、従来Ａｇ膜用の基板
ないし下地層として使用されている材料をそのまま利用
して、これらに対して密着性の良好なものとすることが
でき、例えば、光磁気記録媒体、光記録媒体、リフレク
タ、照明器具、標識用などの反射膜として、あるいはプ
ラスチック製品のメッキ膜として、このような複合構造
物を好適に使用することができるものである。
【００４８】さらに、この反射膜上にはさらに合成樹脂
などからなる透明保護層を設けた場合、このような透明
保護層は、Ａｇ等の金属上よりもＭｇＯのような酸化物
上の方が、ボイドや、ピンホール等の欠陥が少なく、よ
り高密度でかつ密着性の高い膜構造を形成し得るため
に、より保護効果の高いものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明の実施例に係る光磁気ディスクの
構造を示す斜視図である。
【図２】図２（Ａ），（Ｂ）は本発明の実施例に係る光
磁気ディスクの構造を示す断面図である。
【図３】図３は本発明の実施例に係るコンパクトディス
クの構造を示す斜視図である。
【図４】図４は本発明の実施例に係る鏡の構造を示す斜
視図である。
【図５】図５は本発明の実施例に係る照明器具の構造を
示す断面図である。
【図６】図６（Ａ），（Ｂ）は本発明の実施例に係る化
粧品容器の構造を示す斜視図および断面図である。
【図７】図７は本発明の実施例に係るスパッタ装置の使
用状態を示す模式図である。
【図８】図８は本発明の実施例に係るスパッタ装置の別
の使用状態を示す模式図である。
【図９】図９は本発明の実施例に係るスパッタ装置のさ
らに別の使用状態を示す模式図である。
【図１０】図１０（Ａ），（Ｂ）は本発明の実施例に係
るスパッタ装置の構成を示す模式図である。
【図１１】図１１（Ａ），（Ｂ）は本発明の実施例に係
るスパッタ装置の別の構成を示す模式図である。
【符号の説明】
１６ａ…Ａｇ膜、１６ｂ…Ａｇ−Ｍｇ合金膜、 １６…光磁気ディスクの反射層、 ２１…光ディスクの反射膜、 ３２…鏡の反射層、 ４４…照明器具の反射層、 ５２…化粧品容器のメッキ膜。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B32B 15/01 G11B 7/24 535 G11B 11/10 500

Claims (14)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 Ａｇ基体に対する保護膜であって、Ｍｇ
    の含有量が１〜１０原子％であるＡｇ−Ｍｇ合金からな
    ることを特徴とするＡｇ表面保護用耐蝕性膜。
  2. 【請求項２】 Ａｇ基体と、その表面に形成されたＭｇ
    の含有量が１〜１０原子％であるＡｇ−Ｍｇ合金からな
    る保護膜とよりなることを特徴とする耐蝕性複合構造
    体。
  3. 【請求項３】 Ａｇ−Ｍｇ合金からなる保護膜の表層部
    が酸化によりＭｇＯ層となっている請求項２に記載の耐
    蝕性複合構造体。
  4. 【請求項４】 Ａｇ基体が膜状体である請求項２または
    ３に記載の耐蝕性複合構造体。
  5. 【請求項５】 ５００オングストローム以上の膜厚を有
    するＡｇ基体上に５０オングストローム以上の膜厚を有
    する保護膜を形成してなることを特徴とする請求項４に
    記載の耐蝕性複合構造体。
  6. 【請求項６】 請求項３〜５のいずれかに記載の複合構
    造体より構成される反射膜。
  7. 【請求項７】 Ａｇ基体下部にアンダーコートを、およ
    び／または保護膜上部にオーバーコートを有する請求項
    ６に記載の反射膜。
  8. 【請求項８】 保護膜の膜厚が５０オングストローム以
    上である請求項６または７に記載の反射膜。
  9. 【請求項９】 保護膜がＡｇに１〜８原子％のＭｇを含
    有させたＡｇ−Ｍｇ合金からなる光磁気記録媒体用とし
    て用いられる請求項６〜８のいずれかに記載の反射膜。
  10. 【請求項１０】 保護膜がＡｇに１〜５原子％のＭｇを
    含有させたＡｇ−Ｍｇ合金からなるものである光記録媒
    体用として用いられる請求項６〜８のいずれかに記載の
    反射膜。
  11. 【請求項１１】 保護膜がＡｇに１〜５原子％のＭｇを
    含有させたＡｇ−Ｍｇ合金からなるリフレクタ用として
    用いられる請求項６〜８のいずれかに記載の反射膜。
  12. 【請求項１２】 保護膜がＡｇに１〜５原子％のＭｇを
    含有させたＡｇ−Ｍｇ合金からなる照明器具用として用
    いられる請求項６〜８のいずれかに記載の反射膜。
  13. 【請求項１３】 保護膜がＡｇに１〜５原子％のＭｇを
    含有させたＡｇ−Ｍｇ合金からなる標識用として用いら
    れる請求項６〜８のいずれかに記載の反射膜。
  14. 【請求項１４】 請求項３〜５のいずれかに記載の複合
    構造体より構成されるプラスチック製品のメッキ膜。
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US08/519,025 US5630886A (en) 1994-08-29 1995-08-24 Corrosion-resistant film for protecting surfaces of Ag and corrosion-resist composite structures
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110819846A (zh) * 2019-11-19 2020-02-21 湘潭大学 一种光电倍增极用高镁含量的银镁合金带材及其制备方法

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1123906B1 (de) * 2000-02-02 2004-08-18 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Herstellung eines wärmereflektierenden Schichtsystems für transparente Substrate und danach hergestelltes Schichtsystem
US6677104B2 (en) * 2000-02-10 2004-01-13 Tdk Corporation Optical information medium
EP1139340B1 (en) * 2000-03-29 2004-06-16 TDK Corporation Optical recording medium having an oriented silver reflecting layer
EP1273558A1 (de) * 2001-07-02 2003-01-08 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Herstellung eines wärmereflektierenden Schichtsystems für transparente Substrate und danach hergestelltes Schichtsystem
US6660136B2 (en) 2002-03-27 2003-12-09 Micron Technology, Inc. Method of forming a non-volatile resistance variable device and method of forming a metal layer comprising silver and tungsten
US7105220B2 (en) * 2003-01-29 2006-09-12 Ppg Industries Ohio, Inc. Coated article having a sealed layered edge to impede corrosion of a coating at the edge and method of making same
DE102004059876B4 (de) * 2004-12-10 2010-01-28 W.C. Heraeus Gmbh Verwendung eines Sputtertargets aus einer Silberlegierung sowie Glassubstrat mit Wärmedämmschicht
JP4575211B2 (ja) * 2005-03-31 2010-11-04 株式会社東芝 記憶媒体、再生方法及び記録方法
JP2006303069A (ja) * 2005-04-19 2006-11-02 Sumitomo Metal Electronics Devices Inc 発光素子搭載用パッケージ
JP2006303092A (ja) * 2005-04-19 2006-11-02 Sumitomo Metal Electronics Devices Inc 発光素子搭載用パッケージ
FR2893632B1 (fr) * 2005-11-18 2008-01-25 Commissariat Energie Atomique Revetement a base d'argent resistant a la sulfuration, procede de depot et utilisation
JP2011238819A (ja) * 2010-05-12 2011-11-24 Toyoda Gosei Co Ltd 発光装置及びパッケージ
US20160102841A1 (en) * 2014-10-09 2016-04-14 Ge Lighting Solutions Silver based reflector with hybrid protection layers
CN109321810B (zh) * 2018-10-30 2020-01-24 湖北文理学院 一种以球形结构Ag-Mg为固体润滑剂的20CrMnTi基自润滑复合材料及制备方法
CN111393036A (zh) * 2020-03-25 2020-07-10 四川猛犸半导体科技有限公司 一种薄膜器件

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB512516A (en) * 1938-02-09 1939-09-19 Wardens And Commonalty Of The Improved process for the protection of the surface of silver alloys from tarnishing
BE519545A (ja) * 1952-05-01
US3379566A (en) * 1960-05-19 1968-04-23 Gen Electric Method of making a polycrystalline dual layered aluminum oxide-magnesium oxide storage electrode
US5076663A (en) * 1989-10-04 1991-12-31 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Corrosion protection for silver reflectors
US5284527A (en) * 1992-01-21 1994-02-08 United Technologies Corporation Method of making silver-metal oxide materials and electrical contacts

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110819846A (zh) * 2019-11-19 2020-02-21 湘潭大学 一种光电倍增极用高镁含量的银镁合金带材及其制备方法
CN110819846B (zh) * 2019-11-19 2021-05-25 湘潭大学 一种光电倍增极用高镁含量的银镁合金带材及其制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
US5630886A (en) 1997-05-20
JPH0858014A (ja) 1996-03-05
DE19530997A1 (de) 1996-04-04
US5738947A (en) 1998-04-14

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