DE19530997A1

DE19530997A1 - Korrosionsbeständiger Film zum Schutz von Ag-Oberflächen und korrosionsbeständige Verbundstrukturen

Info

Publication number: DE19530997A1
Application number: DE19530997A
Authority: DE
Inventors: Kenichi Hijikata; Rie Mori
Original assignee: Mitsubishi Materials Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Corp
Priority date: 1994-08-29
Filing date: 1995-08-23
Publication date: 1996-04-04
Also published as: JPH0858014A; US5738947A; JP3129096B2; US5630886A

Description

Gebiet der Erfindung

Die vorliegende Erfindung betrifft korrosionsbestän dige Filme zum Schutz von Ag-Oberflächen, mit denen die Oberflächen von Ag der Korrosion durch Ozon-, Sulfidkompo nenten etc. in der Luft, geschützt werden, und weiter Ver bundstrukturen, die sich aus Ag-Substraten und den oben erwähnten korrosionsbeständigen Filmen zusammensetzen, und die als reflektierende Filme, z. B. für photomagnetische Aufzeichnungsmedien, optische Aufzeichnungsmedien, Reflek toren, Leuchtkörper, Zeichen, etc. und als Beschichtungs filme, zum Beispiel für Metallprodukte, Kunststoffprodukte etc. verwendet werden.

Hintergrund der Erfindung

Ag ist ein extrem nützliches Metall, welches einen schönen silberweißen Glanz und exzellente Duktilität und Verformbarkeit aufweist und über die größte elektrische Leitfähigkeit und thermische Leitfähigkeit in der Gruppe der Metalle verfügt. Insbesondere, weil Ag ein Reflexions vermögen von annähernd 100% gegenüber sichtbaren Strahlen in einem breiten Wellenlängenbereich besitzt, wird es als reflektierender Film für verschiedene Vorrichtungen ver wendet, die Spiegeloberflächen erfordern, wie das oben erwähnte optische Aufzeichnungsmedium, etc. Unter Aus nutzung dieser Eigenschaften des Ag erlangen z. B. westliche Eß-Utensilien, wenn sie mit Ag beschichtet werden, ver schiedene Vorteile, in dem ihre äußere Erscheinung ver bessert wird, und Mikroorganismen im Wasser, die sich an sie heften, getötet werden. Die Ag-beschichteten Utensilien vermitteln das Empfinden hoher Qualität und ihr kommer zieller Wert ist erhöht.

Wie oben erwähnt, ist Ag ein extrem nützliches Metall, das chemisch stabil ist, da es in Sauerstoff, selbst wenn es auf hohe Temperaturen erhitzt wird, nicht oxidiert wird. Ein Nachteil des Ag′s besteht jedoch darin, daß das Ag in braunes oder schwarzes Ag₂S in Gegenwart von Sulfidkompo nenten in der Luft oder in schwarzes AgO in Gegenwart von Ozon in der Luft überführt wird, obwohl der letztere Vor gang nicht so bedeutend ist wie das erstere Vorgang, mit dem Ergebnis, daß das Ag seinen Glanz verliert. Insbeson dere bindet sich das Ag direkt an den Schwefel und reagiert z. B. mit H₂S. Es wird dabei leicht in das Ag₂S überführt und verfärbt sich sogar bei Raumtemperatur. Im Gegensatz dazu sind Ag-Verzierungen mit antiquen Farben unter Ver wendung der Schwärzungsreaktion des Ag bekannt, aber unpopulär. Um zeitweilig diese Schwärzungsreaktion des Ag zu verhindern, ist ein Verfahren zur Behandlung des Ag mit Chromaten und ein Verfahren zur Beschichtung des Ag mit transparenten Harzen bekannt. Ein wirksameres Verfahren ist bekannt, worin Ag mit einem dünnen Rh-Film beschichtet wird.

Alle oben erwähnten Verfahren zum Schutz von Ag vor Verfärbung sind jedoch nicht befriedigend. Präziser ist der durch die Behandlung mit Chromaten auf dem Ag gebildete chemische Film extrem dünn und verliert seine Aktivität innerhalb eines relativ kurzen Zeitraums. Es ist weiterhin schwierig, Filmdefekte, wie kleine Löcher, etc. von dem auf dem Ag zu bildenden Harzfilm zu entfernen. Wenn der, auf dem Ag gebildete Harzfilm solche Defekte aufweist, korro diert das Ag durch diese Defekte. Das Rh-Beschichtungs verfahren ist unpopulär, da das Material Rh selbst sehr teuer ist. Zusätzlich ist, wenn ein Ag-Film als reflektie render Film für die oben erwähnten magnetischen Aufzeich nungsmedien, etc. verwendet wird, häufig die thermische Leitfähigkeit des Film problematisch.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Ein Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, korro sionsbeständige Filme zum Schutz von Ag-Oberflächen bereit zustellen, mit denen das Ag vor der Sulfidierung oder Oxi dation mit Sulfidkomponenten oder Ozon in der Luft unter Aufrechterhaltung des dem Ag eigenen Reflexionsvermögens und Glanzes geschützt ist. Ein weiteres Ziel der vorliegen den Erfindung ist es, Verbundstrukturen bereitzustellen, die sich aus Ag-Substraten und diesen korrosionsbeständigen Filmen zusammensetzen, die vorteilhaft als reflektierende Filme, z. B. für photomagnetische Aufzeichnungsmedien, optische Aufzeichnungsmedien, Reflektoren, Leuchtkörper, Zeichen, insbesondere Kennzeichen, etc., und als Beschich tungsfilme, z. B. für Metallprodukte, Kunststoffprodukte, etc. verwendet werden.

Die vorliegenden Erfinder untersuchten aufmerksam, wie man eine Hilfe zum Schutz des Ag vor Korrosion durch Sul fidkomponenten und Ozon in der Luft erhalten kann, und als Ergebnis fanden sie, daß die Korrosion des Ag wirksam verhindert werden kann, wenn ein Ag-Substrat mit einer Ag- Mg-Legierung beschichtet wird. Ein solcher Ag-Mg-Legie rungsfilm besitzt eine größere Restdruckspannung als ein Ag-Film und ist daher Härter als Letzterer. Wenn jedoch ein solcher Ag-Mg-Legierungsfilm auf einem Substrat oder einer Grundschicht gebildet wird, ist die Adhäsion zwischen dem Film und dem Substrat oder der Grundschicht so gering, daß sich die Erstere leicht von der Letzteren abschält. Falls dies eintritt, wird das Substrat oder die Grundschicht durch den Teil korrodiert, von dem sich der Legierungsfilm abgeschält hat. Daher kann eine ausreichende Schutzwirkung nicht erreicht werden, wenn ein Ag-Film einfach nur durch einen solchen Ag-Mg-Legierungsfilm ersetzt wird. Die vor liegenden Erfinder, untersuchten weiter, wie dieses Problem zu lösen ist, und kamen zu dem Ergebnis, daß, wenn ein Ag- Mg-Legierungsfilm auf einem Ag-Substrat als ein Schutzfilm gebildet wird, während eine integrierte Struktur des Ag- Substrates und des Ag-Mg-Legierungsfilms gebildet wird, daß dann eine Ag-Verbundstruktur mit extrem guter Korrosionsbe ständigkeit erhalten werden kann. Auf der Basis dieser Befunde vervollständigten die Erfinder die vorliegende Erfindung.

Genauer kann ein Ziel der vorliegenden Erfindung durch einen korrosionsbeständigen Film zum Schutz von Ag-Oberflä chen (im folgenden als Schutzfilm bezeichnet) erreicht wer den, der eine Ag-Mg-Legierung mit einem Mg-Gehalt von 1 bis 10 Atom-% umfaßt.

Der Mg-Gehalt des Schutzfilms bezeichnet hierin den Durchschnittswert des Mg-Gehaltes über die gesamte Dicke des Schutzfilms. Daher ist selbst ein Schutzfilm, der vari ierende Mg-Konzentrationen von der Grenzfläche, die an das Ag-Substrat gebunden ist, bis zur obersten Oberfläche auf weist, oder ein Schutzfilm mit partiell unterschiedlichen Mg-Konzentrationen, z. B. in der Grenzfläche, die an das Ag- Substrat gebunden ist, und in den Teilen der obersten Ober fläche etc., im Umfang der vorliegenden Erfindung enthal ten, insofern er einen Mg-Gehalt innerhalb des oben erwähn ten Bereiches, ausgedrückt als dessen Durchschnittswert, aufweist.

Das andere Ziel der vorliegenden Erfindung kann durch eine korrosionsbeständige Verbundstruktur erreicht werden, die sich aus einem Ag-Substrat und einem Schutzfilm, der auf der Oberfläche des Substrates gebildet ist, zusammen setzt, worin die Schutzschicht eine Ag-Mg-Legierung umfaßt, die einen Mg-Gehalt von 1 bis 10 Atom-% aufweist.

In der Verbundstruktur ist es bevorzugt, daß der Ober flächenteil des Schutzfilms, der eine solche Ag-Mg-Legie rung umfaßt, zu einer MgO-Schicht oxidiert ist. Der Grund dafür besteht darin, daß der Schutzfilm mit einer solchen MgO-Schicht auf seinem Oberflächenteil eine genügende Schutzwirkung zeigt.

KURZBESCHREIBUNG DER ABBILDUNGEN

Fig. 1 ist eine perspektivische Ansicht, die die Struktur einer photomagnetischen Scheibe einer Ausführungs form der vorliegenden Erfindung zeigt.

Fig. 2(A) und Fig. 2(B) sind jeweils Querschnittsan sichten, die die Struktur einer photomagnetischen Scheibe einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen.

Fig. 3 ist eine perspektivische Ansicht, die die Struktur einer Compact Disc zeigt, eine Art von optischer Scheibe einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

Fig. 4 ist eine perspektivische Ansicht, die die Struktur eines Spiegels einer Ausführungsform der vorlie genden Erfindung zeigt.

Fig. 5 ist eine Querschnittsansicht, die die Struktur eines Leuchtkörpers einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.

Fig. 6(A) ist eine perspektivische Ansicht, die die Struktur eines Kosmetikbehälters einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.

Fig. 6(B) ist eine Querschnittsansicht, die die Struktur des Kosmetikbehälters von Fig. 6(A) zeigt.

Fig 7 ist eine schematische Ansicht, die eine Be schaffenheit der Sputtervorrichtung zeigt, wie sie in den Beispielen der vorliegenden Erfindung verwendet wird.

Fig. 8 ist eine schematische Ansicht, die eine andere Beschaffenheit der Sputtervorrichtung zeigt, wie sie in den Beispielen der vorliegenden Erfindung verwendet wird.

Fig. 9 ist eine schematische Ansicht noch einer anderen Beschaffenheit der Sputtervorrichtung, wie sie in den Beispielen der vorliegenden Erfindung verwendet wird.

Fig. 10(A) und Fig. 10(B) sind schematische Ansichten, die den Mechanismus und die Konstitution der Sputtervor richtung zeigen, wie sie in den Beispielen der vorliegenden Erfindung verwendet wird.

Fig. 11(A) und Fig. 11(B) sind schematische Ansichten, die den Mechanismus und die Konstitution der Sputtervor richtung zeigen, wie sie in den Beispielen der vorliegenden Erfindung verwendet werden, und welche sich von denen in Fig. 10(A) und Fig. 10(B) unterscheiden.

In diesen Zeichnungen ist 16a ein Ag-Film; 16B ist ein Ag-Mg-Legierungsfilm; 16 ist eine reflektierende Schicht einer photomagnetischen Scheibe; 21 ist eine reflektierende Schicht einer optischen Scheibe; 32 ist eine reflektierende Schicht eines Spiegels; 44 ist eine reflektierende Schicht eines Leuchtkörpers; 52 ist ein beschichteter Film eines Kosmetikbehälters.

DETALIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG

In der Verbundstruktur der vorliegenden Erfindung liegt das Ag-Substrat typischerweise in Form eines Films vor. Die Form des Ag-Substrates ist jedoch nicht genau vorgeschrieben, und das Ag-Substrat kann auch die Form eines massiven Körpers, etc. vorliegen.

Es ist wünschenswert, daß ein Schutzfilm mit einer Dicke von 50 Å oder mehr auf dem Ag-Substrat mit einer Dicke von 500 Å oder mehr gebildet wird, um eine stabile Verbund struktur der vorliegenden Erfindung zu produzieren.

Die vorliegende Erfindung stellt auch einen reflek tierenden Film bereit, der die oben erwähnte Verbund struktur umfaßt. Ein solcher reflektierender Film wird zum Beispiel verwendet in photomagnetischen Aufzeichnungs medien, Reflektoren, Leuchtkörpern, unterschiedlichen Zeichen bzw. Kennzeichen, etc.

In dem reflektierenden Film der vorliegenden Erfindung ist es wünschenswert, daß das Ag-Substrat mit einer Grun dierungsschicht und/oder der Schutzfilm mit einer Deck schicht überzogen ist. Der reflektierende Film mit solch einer Grundierungsschicht und/oder Deckschicht(en) hat eine verbesserte Korrosionsbeständigkeit. Als Grundierungs- und Deckschichten sind dünne Filme synthetischer Harze, transparente Dielektrika, etc. verwendbar.

In einer Ausführungsform des reflektierenden Films der vorliegenden Erfindung für photomagnetische Aufzeichnungs medien, ist es wünschenswert, daß der Schutzfilm aus einer Ag-Mg-Legierung hergestellt ist, die 1 bis 8 Atom-% Mg enthält.

In einer weiteren Ausführungsform des reflektierenden Films der vorliegenden Erfindung für optische Aufzeich nungsmedien ist es wünschenswert, daß der Schutzfilm aus einer Ag-Mg-Legierung hergestellt ist, die 1 bis 5 Atom-% Mg enthält.

In einer weiteren Ausführungsform des reflektierenden Films der vorliegenden Erfindung für Reflektoren ist es wünschenswert, daß der Schutzfilm aus einer Ag-Mg-Legierung hergestellt ist, die 1 bis 5 Atom-% Mg enthält. Die hierin so bezeichneten Reflektoren schließen reflektierende Vor richtungen, reflektierende Spiegel, reflektierende Tafeln, etc. ein.

In einer weiteren Ausführungsform des reflektierenden Films der vorliegenden Erfindung für Leuchtkörper ist es wünschenswert, daß der Schutzfilm aus einer Ag-Mg-Legierung hergestellt ist, die 1 bis 5 Atom-% Mg enthält.

In einer weiteren Ausführungsform des reflektierenden Films der vorliegenden Erfindung für Zeichen ist es wün schenswert, daß der Schutzfilm aus einer Ag-Mg-Legierung hergestellt ist, die 1 bis 5 Atom-% Mg enthält.

Die vorliegende Erfindung stellt auch einen Beschich tungsfilm für Kunststoffprodukte bereit, welcher die oben erwähnte Verbundstruktur umfaßt. Kunststoffprodukte schlie ßen zum Beispiel verschiedene Kunststoff-Haushaltsgegen stände wie Kosmetikbehälter etc. ein.

Wie oben erwähnt, umfaßt der korrosionsbeständige Film der vorliegenden Erfindung für Schutzoberflächen des Ag′s eine Ag-Mg-Legierung mit einem Mg-Gehalt von 1 bis 10 Atom- %. Das in das Ag zur Bildung solch einer Ag-Mg-Legierung einzubauende Mg ist ein Metall mit einem silberweißen Glanz, ähnlich dem Glanz des Ag, und es besitzt eine gute Duktilität und Verformbarkeit und kann leicht zu Folien geformt werden, wie Silber. Aus diesen Gründen ist Mg ein Metall, welches sich mit Silber geeignet legieren läßt. Mg wird in der Luft bei Raumtemperatur leicht oxidiert, um ein stabiles Oxid zu bilden. Darum wird, wenn der eine solche Ag-Mg-Legierung umfassende Schutzfilm der Oxidation unter worfen oder der Luft ausgesetzt wird, das Mg selektiv oxidiert, um eine MgO-Schicht auf seiner Oberfläche zu bilden, während das Mg im Inneren des Films verbraucht wird, mit dem Ergebnis, daß sich die Mg-Konzentration im Inneren verringert. MgO ist transparent für sichtbare Strahlen und lichtdurchlässig, aber es blockiert Ozon und SO₂. Darum wirkt der Schutzfilm mit MgO auf seiner Ober fläche als ein wirksamer Schutzfilm für das Ag-Substrat. Weil die innere Zusammensetzung des Schutzfilms mit MgO auf seiner Oberfläche der des Ag ähnlicher ist als die Zusam mensetzung des Oberflächenteils des Films, sollte das Re flexionsvermögen des Films mehr dem des Ag-Substrates entsprechen.

Wenn der die oben erwähnte Ag-Mg-Legierung umfassende Schutzfilm auf einem Ag-Substrat gebildet wird, diffundiert das Mg in einem gewissen Ausmaß in das Ag-Substrat, mit dem Ergebnis, daß sich die Zusammensetzung des Films kontinu ierlich und allmählich verändert, und daher kann die Zusam mensetzung der Grenzfläche zwischen dem Film und dem Ag- Substrat unbestimmt werden. Als Ergebnis ist die Haftfes tigkeit zwischen dem Schutzfilm und dem Ag-Substrat gut. Im Vergleich zum Beispiel mit einer MgO-Schicht, die auf einem Ag-Substrat durch reaktives Sputtern oder ähnlichem gebil det wird, schält der die oben erwähnte Ag-Mg-Legierung um fassende auf dem Ag-Substrat gebildete Schutzfilm der vor liegenden Erfindung kaum von dem Ag-Substrat ab. Folglich zeigt der Schutzfilm der vorliegenden Erfindung eine hohe Schutzwirkung.

Die korrosionsbeständige Verbundstruktur der vorlie genden Erfindung setzt sich aus einem Ag-Substrat und einem Schutzfilm der oben erwähnten Ag-Mg-Legierung zusammen, der auf dem Ag-Substrat gebildet ist. In einer Ausführungsform der korrosionsbeständigen Verbundstruktur, worin das Ag- Substrat in Form eines Filmes vorliegt, wird der Ag-Film auf einer Substrattafel oder auf einer Grundschicht gebil det. In diesem Fall wird der Schutzfilm der oben erwähnten Ag-Mg-Legierung nicht direkt auf solch einer Substrattafel oder Grundschicht gebildet, sondern via einen Ag-Substrat film darauf gebildet. Es ist daher möglich, irgendeine konventionelle Substrattafel oder Grundierungsschicht für den Ag-Film mit einem Schutzfilm zu beschichten, um eine Verbundstruktur mit guter Haftfestigkeit zwischen der Substrattafel oder der Grundschicht und dem Schutzfilm her zustellen. Beispielsweise ist, verglichen mit dem Fall einer direkten Bildung eines Films einer Ag-Mg-Legierung auf einer Substrattafel oder einer Grundschicht in Ab wesenheit eines Ag-Substrats (Film), die Verbundstruktur der vorliegenden Erfindung stabiler.

In einer Ausführungsform der Verbundstruktur der vor liegenden Erfindung, die als reflektierender Film für photomagnetische Aufzeichnungsmedien verwendet wird, wird häufig eine transparente aus einem synthetischen Harz her gestellte Schutzschicht oder ähnlichem auf den reflektie renden Film aufgebracht. In dieser Ausführungsform, worin solch eine transparente Schutzschicht auf einer Schicht eines Oxyds, wie MgO, aber nicht auf einer Schicht eines Metalls, wie Ag oder ähnlichem, gebildet wird, weist die transparente Schutzschicht sehr viel weniger Defekte auf, wie Blasen, nadelfeine Löcher, etc., und besitzt eine Film struktur von höherer Dichte und höherem Adhäsionsvermögen zu der MgO-Schicht. Daher zeigt diese Ausführungsform mit einer solchen transparenten Schutzschicht eine viel höhere Schutzwirkung.

Die vorliegende Erfindung wird im Hinblick auf die nun folgenden Ausführungsformen detaillierter beschrieben.

Der korrosionsbeständige Film zum Schutz von Ober flächen des Ag′s der vorliegenden Erfindung umfaßt eine Ag- Mg-Legierung, mit einem Mg-Gehalt von 1 bis 10 Atom-%. Wenn die Legierung in Luft oder eine leicht oxidierenden Atmo sphäre, zum Beispiel eine Atmosphäre mit hoher Temperatur und hoher Feuchtigkeit, gebracht wird, wird das Mg, das leichter oxidierbar als das Ag ist, bevorzugt oxidiert, um einen Film des Oxids des Mg auf der Oberfläche der Legie rung zu bilden. Da der Mg-Oxid-Film transparent ist, beein trächtigt er nicht den silberweißen Glanz des Ag und wirkt zusätzlich als wirksamer Schutzfilm, wodurch Ag von Ozon- und Sulfidkomponenten in der Luft geschützt wird. Da das Mg, das in der Umgebung des Oberflächenteils der Legierung existiert, in den Mg-Oxid-Film aufgenommen wird, während sich der Film auf dem Oberflächenteil bildet, wird die Legierungszusammensetzung im Inneren der Legierung der des reinen Ag ähnlicher, als in dem Oberflächenteil davon. Daher erhöht sich das Reflexionsvermögen der filmbeschich teten Legierung auf 90-95%, nämlich sie nähert sich der des Reflexionsvermögens des reinen Ag von 98%, nachdem der Oxidfilm auf der Legierung gebildet wurde.

Der Grund, warum der Mg-Gehalt in der Legierung so definiert ist, daß er in der vorliegenden Erfindung im Bereich zwischen 1 Atom-% und 10 Atom-% liegt, besteht darin, daß wenn er kleiner als der definierte Bereich ist, sich das Mg nicht als Film seines Oxids bilden kann, um eine ausreichende schützende Wirkung zu besitzen; wenn er jedoch größer als der definierte Bereich ist, ist die Bil dung des Mg-Oxidfilms schwierig, weil das Mg im Oberflä chenteil der Legierung eine feste intermetallische Ag-Mg- Verbindung bilden wird.

In dem Schutzfilm der Ag-Mg-Legierung kann die Mg- Konzentration annähernd gleichförmig über die gesamte Dicke des Films sein, oder sie kann sich graduell in Richtung der Dicke des Films ändern, z. B. in der Weise, daß die Mg- Konzentration allmählich von der Grenzfläche zwischen dem Film und dem Ag-Substrat in Richtung der äußersten Ober fläche des Films steigt.

Der auf dem Oberflächenschichtanteil des Schutzfilms der Ag-Mg-Legierung zu bildende Mg-Oxidfilm kann entweder ein spontan gebildeter Oxidfilm sein, der sich durch Aus setzen des Schutzfilms der Luft bildet, oder ein erzwungen gebildeter Oxidfilm sein, der sich durch absichtliches Oxidieren des Schutzfilms bei hoher Temperatur und hoher Feuchtigkeit, z. B. bei 80°C und 85% RF für 10 Stunden oder so bildet.

Die Form des mit dem Schutzfilm einer solchen Ag-Mg- Legierung der vorliegenden Erfindung zu beschichtenden Ag- Substrates ist nicht genau vorgeschrieben, und das Ag- Substrat kann entweder in Form eines massiven Körpers oder in Form eines Films vorliegen. Typischerweise liegt das Ag- Substrat in der Form eines Filmes vor, wie einer der ver schiedenen reflektierenden Filme oder Beschichtungsfilme.

Die Verbundstruktur der vorliegenden Erfindung setzt sich zusammen aus einem Ag-Substrat und einem Schutzfilm einer Ag-Mg-Legierung, wie hierin oben erwähnt, der auf dem Substrat gebildet ist. Die Beispiele der erwähnten Verbund struktur sind reflektierende Filme für photomagnetische Aufzeichnungsmedien, optische Aufzeichnungsmedien, Reflek toren, Leuchtkörper, verschiedene Zeichen, etc., und Be schichtungsfilme für Kunststoffprodukte. In der Verbund struktur dieses Typs ist es allgemein wünschenswert, daß ein Schutzfilm mit einer Dicke von 50 Å oder mehr auf einem Ag-Substrat mit einer Dicke von 500 Å oder mehr, bevorzugt 1000 Å oder mehr, gebildet wird. Falls die Dicke des Ag- Substrates kleiner als 500 Å ist, besteht die Wahrschein lichkeit, daß die Verbundstruktur nicht den gewünschten Glanz und das gewünschte Reflexionsvermögen aufweisen kann. Der bevorzugte Bereich der Dicke des Schutzfilms variiert in einem gewissen Ausmaß, abhängig von der Verwendung des Films, wie es im nachfolgenden erwähnt werden wird.

Wenn der reflektierende Film der vorliegenden Erfin dung als reflektierender Film für photomagnetische Auf zeichnungsmedien, wie photomagnetische Scheiben eines Groß speichers, etc., verwendet wird, ist es wünschenswert, daß der aus einer Ag-Mg-Legierung hergestellte Schutzfilm, durch Aufnahme von 1 bis 8 Atom-% Mg in das Ag gebildet wird. Der Grund dafür, daß die Legierung den so definierten Zusammensetzungsbereich aufweisen muß, besteht darin, daß die thermische Leitfähigkeit des Legierungsfilms nicht mehr als 2/3 der des Ag sein soll, und daß das Reflexionsver mögen des Ersteren nicht kleiner als 80% des Letzteren sein soll.

Fig. 1, Fig. 2(A) und Fig. 2(B) zeigen Ausführungsfor men der vorliegenden Erfindung, worin die Verbundstruktur der Erfindung als reflektierender Film in einer photomagne tischen Scheibe verwendet wird. In diesen Abbildungen, ist 11 eine photomagnetische Scheibe, in welcher eine Aufnahme schicht 14 auf einer Polycarbonat(PC)-Substrattafel 12 via einer Schutzschicht 13 laminiert ist, und eine reflektie rende Schicht 16 auf einer Aufnahmeschicht 14 via einer Schutzschicht 15 laminiert ist. Die reflektierende Schicht 16 ist aus der Verbundstruktur der Erfindung hergestellt, die zusammengesetzt ist aus dem Ag-Film 16a und einem Ag- Mg-Legierungsfilm 16b, gebildet auf einem Ag-Film 16a. Der Ag-Mg-Legierungsfilm 16b ist hergestellt aus einer Ag-Mg- Legierung, die von 1 bis 8 Atom-% Mg umfaßt; und seine Dicke ist zweckmäßig 50 Å oder mehr. Die Dicke des Ag-Filmes 16a beträgt zweckmäßig 500 Å oder mehr. Es ist wünschens wert, daß die Summe der Dicke des Ag-Filmes und der Dicke des Ag-Mg-Filmes von 500 Å bis 1000 Å beträgt. Die Schutz schicht kann aus SiAlON, Si₃N₄ oder ähnlichem bestehen. Die Aufnahmeschicht kann aus TbFeCo, TbFeCoCr oder ähnlichem bestehen. Die Dicke der Aufnahmeschicht kann von 200 Å bis 250 Å sein. Fig. 2(A) zeigt die Struktur einer 3,5-Zoll-pho tomagnetischen Scheibe; und Fig. 2(B) zeigt die Struktur einer 5,25-Zoll-photomagnetischen Scheibe. Der reflektie rende Film der vorliegenden Erfindung kann in jeder von diesen verwendet werden.

Wenn der reflektierende Film der vorliegenden Erfin dung für optische Aufzeichnungsmedien, wie optische Disks (CD′s), optische Karten, etc., verwendet wird, ist es wün schenswert, daß der Schutzfilm aus einer Ag-Mg-Legierung hergestellt wird, die durch Einbau von 1 bis 5 Atom-% Mg in das Ag gebildet wird. Der Grund dafür besteht darin, daß das Reflexionsvermögen des Legierungsfilms 90% oder mehr betragen soll.

Fig. 3 zeigt eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, worin der reflektierende Film der Erfindung bei einer optischen Scheibe angewendet wurde. In dieser Abbil dung wurde ein reflektierender Film 21 auf einer transpa renten Kunststoffsubstrattafel 22 laminiert, und der Film 21 wurde mit dem Schutzfilm 23 beschichtet. Der reflek tierende Film 21 ist hergestellt aus der Verbundstruktur dieser Erfindung, die sich zusammensetzt aus einem Ag-Film und einem Ag-Mg-Legierungsfilm, der auf dem Ag-Film gebil det ist. Der Ag-Mg-Legierungsfilm ist hergestellt aus einer Ag-Mg-Legierung, die 1 bis 5 Atom-% Mg enthält, und seine Dicke ist zweckmäßig 50 Å oder mehr. Die Dicke des Ag-Filmes beträgt zweckmäßig 500 Å oder mehr. Der Schutzfilm kann aus SiAlON, Si₃N₄ oder ähnlichem hergestellt sein.

Wenn der reflektierende Film der vorliegenden Erfin dung als reflektierender Film für Reflektoren verwendet wird, ist es wünschenswert, daß der Schutzfilm aus einer Ag-Mg-Legierung hergestellt wird, die durch Einbau von 1 bis 5 Atom-% Mg in das Ag gebildet wird. Der Grund dafür besteht darin, daß das Reflexionsvermögen des Legierungs films bevorzugt 90% oder mehr beträgt

Fig. 4 zeigt eine Ausführungsform der vorliegenden Er findung, worin der reflektierende Film dieser Erfindung bei einem Spiegel angewendet wurde, (zur Verwendung im Haushalt oder für Autos, etc.) als ein Beispiel für Reflektoren. In dem dargestellten Spiegel wurde ein reflektierender Film 32 mit einer flachen Glasschicht 31 verbunden, und der Film 32 wurde mit einer Schutzharzüberzugsschicht 33 beschichtet. Der reflektierende Film 32 setzt sich zusammen aus einem Ag-Film mit einer Dicke von 500 Å oder mehr und einem Ag-Mg- Legierungsfilm, der auf dem Ag-Film gebildet ist. Die Ag- Mg-Legierung weist eine Dicke von 50 Å oder mehr auf und enthält 1 bis 5 Atom-% Mg. Es ist wünschenswert, daß die Summe der Dicke des Ag-Filmes und der Dicke des Ag-Mg- Legierungsfilmes von 500 Å bis 1000 Å beträgt. Wenn die Zusammensetzung innerhalb des definierten Bereiches liegt, kann der reflektierende Film einen sehr viel bessere Kor rosionsbeständigkeit aufweisen, während er ein Reflexions vermögen aufweist, das dem Reflexionsvermögen konventio neller Spiegel mit reflektierenden Filmen aus Al oder Cr vergleichbar ist.

Wenn der reflektierende Film der vorliegenden Erfin dung als reflektierender Film für Leuchtkörper oder für Zeichen verwendet wird, ist es wünschenswert, daß der Schutzfilm aus einer Ag-Mg-Legierung besteht, die durch Einbau von 1 bis 5 Atom-% Mg in das Ag zu bilden ist. Der Grund dafür besteht darin, daß das Reflexionsvermögen des Legierungsfilmes bevorzugt 90% oder mehr beträgt.

Fig. 5 zeigt eine Querschnittsansicht eines Leucht körpers, der einen reflektierenden Film der vorliegenden Erfindung aufweist, in welchem 41 eine Substrattafel ist, die aus SG besteht. Die Substrattafel 41 ist mit einem reflektierenden Film 44 via einer Adhäsionsschicht 42 und einer Adhäsionsüberzugsschicht 43 dazwischen, laminiert. Der reflektierende Film 44 setzt sich zusammen aus einem Ag-Film, der eine Dicke von 500 Å oder mehr aufweist, und einer Ag-Mg-Legierungsschicht, die auf dem Ag-Film gebildet ist. Die Ag-Mg-Legierungsschicht weist eine Dicke von 50 Å oder mehr auf und besteht aus einer Ag-Mg-Legierung, die von 1 bis 5 Atom-% Mg enthält. Es ist wünschenswert, daß die Summe der Dicke des Ag-Filmes und des Ag-Mg-Legierungs filmes von 1000 Å bis 2000 Å beträgt. In der Abbildung ist 45 eine Abschlußschicht. Falls gewünscht, kann der reflektie rende Film dieses Typs, der sich aus einem Ag-Film und einem Ag-Mg-Legierungsfilm zusammensetzt, mit einem Acryl harzsubstrat verbunden werden.

Wenn die Verbundstruktur der vorliegenden Erfindung als Beschichtungsfilm für Kunststoffprodukte, wie Kosmetik behälter, Accessoires, etc. verwendet wird, ist es wün schenswert, daß der Schutzfilm aus einer Ag-Mg-Legierung besteht, die von 1 bis 5 Atom-% Mg enthält. Der Grund dafür besteht darin, daß das Reflexionsvermögen des Legierungs filmes vorzugsweise 90% oder mehr beträgt.

Fig. 6(A) und Fig. 6(B) zeigen eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, worin die Verbundstruktur der Erfindung als Beschichtungsfilm für einen kosmetischen Behälter verwendet wird, als ein Beispiel von Kunststoff produkten für die Hausgebrauch. In dieser Ausführungsform wurde ein Beschichtungsfilm 52 auf den Oberflächen eines Behälterkörpers 55 und der Kappe 54 gebildet. Die Struktur des Behälters ist so, daß ein zylindrisches Kunststoff substrat 51 mit dem Beschichtungsfilm 52 beschichtet wird. Der Beschichtungsfilm 52 wurde wie ein Sandwich zwischen die transparenten Harzschichten 53 gebracht. Der Beschich tungsfilm setzt sich zusammen aus einem Ag-Film 52a, der eine Dicke von 500 Å oder mehr aufweist, und einem Ag-Mg- Legierungsfilm 52b, der auf der äußeren Oberfläche des Ag- Films 52a gebildet ist. Der Legierungsfilm 52b besitzt eine Dicke von 50 Å oder mehr und enthält 1 bis 5 Atom-% Mg. Es ist wünschenswert, daß die Summe der Dicke des Ag-Films und der Dicke des Ag-Mg-Legierungsfilmes von 1000 Å bis 10 000 Å beträgt.

Als nächstes wird ein Verfahren zur Bildung eines Schutzfilms der Ag-Mg-Legierung der vorliegenden Erfindung unten beschrieben.

Um den Schutzfilm der Ag-Mg-Legierung auf einem Ag- Substrat, wie dem hierin oben erwähnten, zu bilden, sind ein Sputterverfahren, ein Vakuumbeschichtungsverfahren, ein Ionenplattierungsverfahren, etc., anwendbar. Unter diesen ist das Sputterverfahren, insbesondere ein Magnetron- Sputterverfahren, bevorzugt. Das Sputterverfahren ist ge genüber den anderen bevorzugt, da sich die Zusammensetzung der Legierung, die auf dem Ag-Substrat gebildet wird, leicht durch bloßes Erhöhen oder Verringern der auf die Targets anzuwendenden Hochfrequenzenergie oder durch das Bewegen des zu beschichtenden Substrates verändern läßt, die Adhäsionskraft des Legierungsfilms zu dem Ag-Substrat groß ist und weil es leicht ist, einen ebenen Legierungs film, der eine gleichförmige Dicke und eine gleichförmige Zusammensetzung aufweist, auf einem Ag-Substrat mit einer großen Fläche zu bilden. Wenn z. B. die vorliegende Erfin dung zur Produktion der oben erwähnten reflektierenden Fil me für photomagnetische Scheiben, CD′s, Leuchtkörper, etc. verwendet wird, werden die reflektierenden Filme im wesent lichen durch das Magnetronsputtern gebildet. Um Beschich tungsfilme für Kunststoffhaushaltsgegenstände, reflektie rende Filme für Spiegel, etc. herzustellen, kann das Va kuumbeschichten oder das Ionenplattieren angewendet werden.

Wenn das mit dem Ag-Mg-Legierungsschutzfilm zu be schichtende Ag-Substrat in der Form eines Films vorliegt, ist es möglich, das Ag-Substrat und den Ag-Mg-Schutzfilm durch Sputtern kontinuierlich zu bilden, ohne das Substrat und den Film im Verlauf des Sputterns der Luft auszusetzen.

Um den Ag-Mg-Schutzfilm durch Sputtern zu bilden, ist es möglich ein Ag-Target und ein Mg-Target zum Co-Sputtern oder ein Ag-Mg-Legierungstarget zum Einzelsputtern zu ver wenden.

Beispiele der Bildung eines Ag-Mg-Legierungsschutz films auf einem Ag-Substrat durch dieses Sputtern werden nachfolgend erwähnt.

Das Co-Sputtern mit einem Ag-Target und einem Mg-Tar get kann in der unten erwähnten Weise durchgeführt werden. Wie in Fig. 10 gezeigt, werden ein Ag-Target 61 mit einem Durchmesser von 5 Zoll und ein Mg-Target 62 mit einem Durchmesser von 5 Zoll und ein Substrattafelhalter 63 mit einem Durchmesser von 4 Zoll, getrennt, jeweils mit einem Abstand von 140 mm zum Zentrum der Kammer angeordnet. Das Substrat wird oberhalb der Targets in einer Höhe von 70 mm über den Targets angeordnet. In der Abbildung beträgt der Winkel η 120°. Wie in Fig. 7 gezeigt, wird ein zylindri scher Schild 64 mit einer Höhe von 50 mm bei beiden, dem Ag-Target und dem Mg-Target, angebracht, um zu verhindern, daß die Oberfläche eines jeden Targets infolge von Parti keln, die durch das andere Target gesputtert und in seit licher Richtung gestreut werden, kontaminiert wird.

Hinsichtlich der Sputterenergie beträgt die Energie, die auf das Ag-Target angewendet wird RF 200 W und jene, die auf das Mg-Target angewendet wird RF 200 W. Der Substrattafelhalter rotiert mit 10 UpM.

Zunächst wird eine Substrattafel 65 über das Ag-Target gesetzt, wie in Fig. 7 gezeigt. In dieser Situation ist in Fig. 10 θ = 0°. Über dem Mg-Target befindet sich ein Ver schluß 66 mit einem Durchmesser von 160 mm in einer Höhe von 60 mm über dem Target.

Bei dem beabsichtigten endgültigen Vakuumgrad von 5× 10^-7 Torr, wird Ar-Gas in die Kammer eingeführt, wodurch der Vakuumgrad 1×10^-3 Torr wird, und es wird mit dem Sputtern begonnen. Die Temperatur der Substrattafel wird auf Raumtemperatur (25°C +/- 3°C) eingestellt, und ein Ag- Film wird auf der Substrattafel in einer vorbestimmten Dicke, z. B. 1000 Å, gebildet. Danach wird, wie in Fig. 8 gezeigt, die Substrattafel zwischen das Ag-Target und das Mg-Target zurückgesetzt. In dieser Situation ist θ von 0° bis 40° in Fig. 10. Während des Zurücksetzens der Substrat tafel wird der Schließer über dem Mg-Target entfernt. Auf diese Weise wird die Lage der Position der Substrattafel und des Schließers gleichzeitig verändert. Anschließend wird ein Ag-Mg-Film auf dem Ag-Film auf der Substrattafel in einer vorgegebenen Dicke, zum Beispiel 50 Å, gebildet. Die Zusammensetzung des so gebildeten Ag-Mg-Legierungsfilms enthält z. B. 2,4 Atom-% Mg, wenn θ = 20°. Wenn es gewünscht wird, den so aufgetragenen Ag-Mg-Legierungsfilm zu oxidie ren, wird die so beschichtete Substrattafel, ohne sie so zu lassen wie sie ist, unmittelbar auf eine hohe Temperatur und bei hoher Feuchtigkeit oder auf eine hohen Temperatur und bei hoher Feuchtigkeit unter hohem Druck erhitzt. Al ternativ wird die so beschichtete Substrattafel, ohne der Luft ausgesetzt zu werden, in Gegenwart von O₂ in der Sputterkammer erhitzt.

Das Sputtern mit einem Ag-Mg-Legierungstarget kann in der nachfolgend erwähnten Weise durchgeführt werden. Wie in Fig. 11 gezeigt, werden ein Ag-Target 61 mit einem Durch messer von 5 Zoll, ein Ag-Mg-Target 67 [mit von 2 bis 20 Atom-% Mg] mit einem Durchmesser von 5 Zoll und ein Subs trattafelhalter 63 mit einem Durchmesser von 4 Zoll, ge trennt, jeweils mit einem Abstand von 140 mm vom Zentrum der Kammer angeordnet. Das Substrat wird über den Targets in einer Höhe von 70 mm von den Targets angeordnet. In der Abbildung beträgt der Winkel η 120°C. Wie in Abbildung (Figur) 7 gezeigt, wurde ein zylindrischer Schild 64 mit einer Höhe von 50 mm an beiden, dem Ag-Target und dem Ag- Mg-Target, angebracht, was dazu dient, die Kontaminierung der Oberfläche jedes Targets zu verhindern durch Partikel, die durch das andere Target gesputtert und in seitlicher Richtung gestreut werden.

Hinsichtlich der Sputterenergie beträgt die, auf das Ag-Target angewendete Energie RF 200 W und die auf das Ag- Mg-Target angewendete Energie auch RF 200 W. Der Substrattafelhalter rotiert mit 10 UpM.

Zuerst wird eine Substrattafel 65 über das Ag-Target gesetzt, wie in Fig. 7 gezeigt. In dieser Situation beträgt θ = 0° in Fig. 11. Über dem Ag-Mg-Target wird ein Schließer 66 mit einem Durchmesser von 160 mm in einer Höhe von 60 mm von dem Target angebracht.

Bei dem beabsichtigten abschließenden Vakuumgrad von 5 ×10^-7 Torr, wird Ar-Gas in die Kammer eingeführt, wodurch sich ein Vakuumgrad von 1×10^-3 Torr einstellt, und mit dem Sputtern wird begonnen. Die Temperatur der Substrat tafel wird auf Raumtemperatur (25°C +/- 3°C) eingestellt, und ein Ag-Film wird auf der Substrattafel mit einer vor bestimmten Dicke gebildet, zum Beispiel 1000 Å. Danach wird, wie in Fig. 9 gezeigt, das Substrat über das Ag-Mg-Target zurückgesetzt. In dieser Situation beträgt θ = 120°C in Fig. 10. Während des Zurücksetzens des Substrates wird der Schließer oberhalb des Ag-Targets über das Ag-Target zurückgesetzt. Auf diese Weise wird die Lage der Position der Substrattafel des Schließers gleichzeitig variiert. Anschließend wird ein Ag-Mg-Film auf dem Ag-Film auf der Substrattafel mit einer vorgegebenen Dicke gebildet, z. B. 50 Å. Die Zusammensetzung des so gebildeten Ag-Mg- Legierungsfilmes enthält z. B. 2,4 Atom-% Mg, wenn das Ag- Mg-Target 5,0 Atom-% Mg enthält. Wenn es gewünscht wird, den so gebildeten Ag-Mg-Legierungsfilm zu oxidieren, wird die so beschichtete Substrattafel, ohne sie zu lassen wie sie ist, unmittelbar auf eine hohe Temperatur bei hoher Feuchtigkeit oder auf hohe Temperatur bei hoher Feuchtig keit unter hohem Druck erhitzt. Alternativ wird die so beschichtete Substrattafel, ohne sie der Luft auszusetzen, in Gegenwart von O₂ in der Sputterkammer erhitzt.

Gemäß dem oben erwähnten Sputterverfahren wurde ein Ag-Film mit einer Dicke von 1000 Å und ein Ag-Mg-Legie rungsfilm mit einem Mg-Gehalt von 12,0 Atom-% oder 2,4 Atom-% mit einer Dicke von 1000 Å oder 50 Å in dieser Reihen folge auf einer Glassubstrattafel (7059F, hergestellt von Corning Co.) gebildet, um Testproben herzustellen, die dann einem Korrosionsbeständigkeitstest unterworfen wurden. Der Korrosionsbeständigkeitstest wurde wie folgt durchgeführt: Die Testproben wurden für 10 Stunden in einen Thermostat- Behälter mit einer eingestellten Temperatur von 80°C und einer eingestellten Luftfeuchtigkeit von 85% RH gestellt, wonach die Änderung des Reflexionsvermögens jeder Probe mit dem Zeitablauf gemessen wurde. Um das Reflexionsvermögen jeder Probe zu messen, wurde ein Spektrophotometer verwendet. Als Vergleichsprobe wurde eine Probe herge stellt, die nur einen Ag-Film mit einer Dicke von 1000 Å auf der gleichen Substrattafel aufwies, und eine Probe, die nur einen Ag-Mg-Legierungsfilm (Mg-Gehalt: 2,4 Atom-%) mit einer Dicke von 1000 Å auf der gleichen Substrattafel aufwies.

Die Testergebnisse sind aus der Tabelle 1 unten ersichtlich.

Tabelle 1

Wie aus der obigen Tabelle 1 ersichtlich, hatten die Testproben der vorliegenden Erfindung mit einem Ag-Mg- Legierungsfilm (Mg-Gehalt: 2,4 Atom-%) und mit einer Dicke von 50 Å auf dem Ag-Film eine gute Korrosionsbeständigkeit und ihr Reflexionsvermögen verringerte sich praktisch nicht, selbst wenn sie unter schwierigen Bedingungen gehalten wurden.

Als nächstes wurden eine Grundierungsschicht eines transparenten Harzes mit einer Dicke von 1 µ, ein Ag-Film mit einer Dicke von 500 Å, ein Ag-Mg-Legierungsfilm (Mg- Gehalt: 2,4 Atom-%) mit einer Dicke von 500 Å und eine Überzugsschicht eines transparenten Harzes mit einer Dicke von 1 µ in dieser Reihenfolge auf einer Glassubstrattafel gebildet, um die Testprobe herzustellen. Diese wurde einem forcierten Korrosionstest durch Salzsprühen unterworfen. Der Test wurde wie folgt durchgeführt: eine wäßrige Lösung aus Natriumchlorid mit einer Konzentration von 40 g/Liter und einem pH von 6,5 bis 7,2 wurde bei 35°C +/- 2°C für 8 Stunden über die Testprobe gesprüht. Nach 10 Stunden wurde wurde dieselbe Besprühung auf die Testprobe angewendet. Dieser Zyklus wurde dreimal wiederholt. Nach dem Besprü hungszyklus wurde der Zustand der Testprobe mit bloßem Auge beobachtet.

Nach dem Test hatte sich die Probe hinsichtlich ihres Glanzes, etc. überhaupt nicht verändert. Auf der anderen Seite wurde eine Vergleichsprobe mit einer Grundierungs schicht eines transparenten Harzes mit einer Dicke von 1 µ, einem Ag-Film mit einer Dicke von 1000 Å und einer Überzugs schicht eines transparenten Harzes mit einer Dicke von 1 µ in dieser Reihenfolge auf derselben Substrattafel gebildet, und demselben forcierten Korrosionstest durch Salzbesprü hung unterworfen. Nach dem Test war der Ag-Film der Kon trollprobe gänzlich gebleicht. Es war offensichtlich, daß die Vergleichsprobe korrodiert war.

Die oben erwähnten Testergebnisse legen folgendes nahe: der spontane auf der Oberfläche der Ag-Mg-Legierung gebildete Oxidfilm ist mit dem Material der Überzugsschicht gut verträglich. Verglichen mit der Überzugsschicht, die direkt auf dem Ag-Film gebildet war, wies die Überzugs schicht, die auf dem Ag-Film via den Ag-Mg-Legierungsfilm gebildet war, weniger Defekte, wie nadelfeine Löcher, etc. auf, und besitzt daher eine gute Schutzwirkung. Mit anderen Worten, wurde die Korrosionsbeständigkeit der Testprobe der vorliegenden Erfindung mit dem Ag-Mg-Legierungsfilm zwi schen der Deckschicht und dem Ag-Film verbessert. Es wird daher angenommen, daß die forcierte Oxidation auf der Oberfläche des Ag-Mg-Legierungsfilms in der Probe der vorliegenden Erfindung wirksam zum Zwecke der weiteren Verbesserung der Korrosionsbeständigkeit der Probe ist.

Es wurde hierin oben detailliert beschrieben, daß die vorliegende Erfindung einen Schutzfilm einer Ag-Mg-Legie rung mit einem Mg-Gehalt von 1 bis 10 Atom-% bereitstellt, der zum Schutz eines Ag-Substrates verwendet wird. Die Oberfläche des Schutzfilms wird oxidiert, um darauf einen Mg-Oxidfilm zu bilden, und der Schutzfilm mit einem solchen Mg-Oxidfilm auf seiner Oberfläche wirkt effektiv zum Schutz des darunter liegenden Ag-Substrats vor Korrosion durch Ozon und Sulfide in der Luft. Das Reflexionsvermögen des mit dem Schutzfilm beschichteten Ag-Substrats wird nicht wesentlich verringert. Das Haftvermögen zwischen dem Ag- Substrat und dem Ag-Mg-Legierungsschutzfilm ist gut. Die Verbundstruktur, die sich aus dem Ag-Substrat und dem Ag- Mg-Legierungschutzfilm zusammensetzt, kann bei irgendeiner konventionellen Substrattafel oder Grundierungsschicht an gewendet werden, und das Haftvermögen zwischen der Verbund struktur und der Substrattafel oder der Grundierungsschicht ist gut. Die vorliegende Erfindung stellt daher auch eine solche Verbundstruktur bereit, die zum Beispiel nützlich ist als reflektierender Film für photomagnetische Aufzeich nungsmedien, optische Aufzeichnungsmedien, Reflektoren, Leuchtkörper, Zeichen, etc. oder als Beschichtungsfilm für Kunststoffprodukte, etc.

Der die Verbundstruktur der vorliegenden Erfindung umfassende reflektierende Film kann mit einer transparenten Schutzschicht überzogen werden. In diesem Fall ist das Haftvermögen zwischen der transparenten Schutzschicht und dem reflektierenden Film der vorliegenden Erfindung, der ein Oxid wie MgO auf seiner Oberfläche aufweist, höher als das zwischen solch einer transparenten Schutzschicht und einem Metall wie Ag. Darum weist der über dem reflektie render Film der vorliegenden Erfindung aufgebrachte trans parente Schutzfilm weniger Oberflächendefekte, wie Blasen, nadelfein Löcher, etc. auf als derjenige, der über ein Metall, wie Ag aufgebracht wird, und die Filmstruktur des Ersteren, worin ein transparenter Schutzfilm über den reflektierender Film der Erfindung aufgebracht wird, weist eine höhere Dichte und ein höheres Haftvermögen auf, und besitzt darum eine höhere Schutzwirkung als der Letztere, worin der transparente Schutzfilm über ein Metall, wie Ag aufgebracht wird.

Während die Erfindung detailliert und im Hinblick auf ihre spezifischen Ausführungsformen beschrieben wurde, wissen die Fachleute, daß verschiedene Änderungen und Veränderungen daran vorgenommen werden können, ohne ihren Sinn und Umfang zu verlassen.

Claims

1. Korrosionsbeständiger Film zum Schutz von Ag-Ober flächen, der eine Ag-Mg-Legierung umfaßt, die einen Mg- Gehalt von 1 bis 10 Atom-% aufweist, und der auf ein Ag- Substrat aufgebracht wird.

2. Korrosionsbeständige Verbundstruktur, die ein Ag- Substrat und einen Schutzfilm einer Ag-Mg-Legierung mit einem Mg-Gehalt von 1 bis 10 Atom-% umfaßt, der auf der Oberfläche des Ag-Substrates gebildet ist.

3. Korrosionsbeständige Verbundstruktur nach Anspruch 2, worin der Oberflächenanteil des Schutzfilms einer Ag-Mg- Legierung oxidiert wurde, um eine MgO-Schicht auf der Ober fläche des Schutzfilms zu bilden.

4. Korrosionsbeständige Verbundstruktur nach Anspruch 2 oder 3, worin das Ag-Substrat in Form eines Films vor liegt.

5. Korrosionsbeständige Verbundstruktur nach Anspruch 4, worin der Schutzfilm mit einer Dicke von 50 Å oder mehr auf dem Ag-Substrat mit einer Dicke von 500 Å oder mehr gebildet ist.

6. Reflektierender Film, der die Verbundstruktur nach irgendeinem der Ansprüche 3 bis 5 umfaßt.

7. Reflektierender Film nach Anspruch 6, der eine Grundbeschichtung unter dem Ag-Substrat und/oder eine Deckbeschichtung über dem Schutzfilm aufweist.

8. Reflektierender Film nach den Ansprüchen 6 oder 7, worin der Schutzfilm eine Dicke von 50 Å oder mehr aufweist.

9. Reflektierender Film nach irgendeinem der Ansprüche 6 bis 8, der für ein photomagnetisches Aufzeichnungsmedium ist, und worin der Schutzfilm eine Ag-Mg-Legierung umfaßt, die 1 bis 8 Atom-% Mg enthält.

10. Reflektierender Film nach irgendeinem der An sprüche 6 bis 8, der für ein optisches Aufzeichnungsmedium ist, und worin der Schutzfilm eine Ag-Mg-Legierung umfaßt, die 1 bis 5 Atom-% Mg enthält.

11. Reflektierender Film nach irgendeinem der An sprüche 6 bis 8, der für Reflektoren ist, und worin der Schutzfilm eine Ag-Mg-Legierung umfaßt, die 1 bis 5 Atom-% Mg enthält.

12. Reflektierender Film nach irgendeinem der An sprüche 6 bis 8, der für Leuchtkörper ist, und worin der Schutzfilm eine Ag-Mg-Legierung umfaßt, die 1 bis 5 Atom-% Mg enthält.

13. Reflektierender Film nach irgendeinem der An sprüche 6 bis 8, der für Zeichen ist, und worin der Schutz film eine Ag-Mg-Legierung umfaßt, die 1 bis 5 Atom-% Mg enthält.

14. Beschichtungsfilm für Kunststoffprodukte, worin der Beschichtungsfilm die Verbundstruktur nach irgendeinem der Ansprüche 3 bis 5 umfaßt.

15. Verwendung einer Ag-Mg-Legierung, die einen Mg- Gehalt von 1 bis 10 Atom-% aufweist, als korrosionsbestän diger Film.

16. Verwendung nach Anspruch 15, worin der korrosions beständige Film Ag-Oberflächen schützt.

17. Verwendung nach Anspruch 16, worin der Oberflä chenanteil des korrosionsbeständigen Films oxidiert wurde, um eine MgO-Schicht auf seiner Oberfläche zu bilden.

18. Verwendung nach Anspruch 17, worin der korrosions beständige Film für Reflektoren ist.