JP3120189B2 - スクリーン印刷用メタルマスク - Google Patents
スクリーン印刷用メタルマスクInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、たとえばＩＣやＬＳＩ
用プリント配線、もしくは各種表示用デバイス等に係る
パターン形成などのスクリーン印刷に好適に使用される
スクリーン印刷用メタルマスクに関する。
用プリント配線、もしくは各種表示用デバイス等に係る
パターン形成などのスクリーン印刷に好適に使用される
スクリーン印刷用メタルマスクに関する。
【０００２】
【従来の技術】この種のスクリーン印刷用メタルマスク
はＣ、Ａｕ、ＡｇやＣｕなどの導電性インキやクリーム
ハンダ用ペースト（以下インキ・ぺーストという）のた
めの通孔を有するが、その通孔の断面形状として、たと
えば実開平１−１２７８６９号公報に開示され、図９の
（Ａ）に示すようにマスク基板２にインキ・ぺースト通
孔３を断面台形に開口したものがある。また、特開平１
−２５９９９０号公報に開示され、図１０に示すように
インキ・ぺースト通孔３をマスク基板２の表裏両面から
エッチングすることにより中くびれの鼓形に形成したも
のがある。
はＣ、Ａｕ、ＡｇやＣｕなどの導電性インキやクリーム
ハンダ用ペースト（以下インキ・ぺーストという）のた
めの通孔を有するが、その通孔の断面形状として、たと
えば実開平１−１２７８６９号公報に開示され、図９の
（Ａ）に示すようにマスク基板２にインキ・ぺースト通
孔３を断面台形に開口したものがある。また、特開平１
−２５９９９０号公報に開示され、図１０に示すように
インキ・ぺースト通孔３をマスク基板２の表裏両面から
エッチングすることにより中くびれの鼓形に形成したも
のがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図９の（Ａ）
に示す断面台形のインキ・ぺースト通孔３を有するメタ
ルマスクでは、そのインキ・ぺースト通孔３がマスク基
板２のスキージかけ面２ａ側から印刷面２ｂ側の厚み方
向全長にわたって漸次拡大する形に形成されている。こ
のため、同図の（Ｂ）に示すようにインキ・ぺーストＰ
をスキージかけ面２ａにのせスキージＳをかけて印刷面
２ｂ側に吐出して被印刷物Ｔに転写付着させるとき、ス
キージＳの先端がインキ・ぺースト通孔３の鋭角の孔縁
９に引っ掛かって摩耗したり、その引っ掛かりによりス
キージＳの先端がおどって被印刷物Ｔ上のインキ・ぺー
ストＰ1 の高さｈにばらつきが生じやすい（同図の
（Ｃ）参照）。またスキージＳによる押し込み圧がイン
キ・ぺースト通孔３内の下部にまで加わりにくくいた
め、インキ・ぺースト通孔３内への充填不足が生じ、吐
出できる量が減少したり、同図の（Ｃ）で符号Ｆに示す
ごとくインキ・ぺーストＰ1 の被印刷物Ｔとの密着面側
において欠損が生じ、インキ・ぺーストにじみが生じや
すかった。その点、図１０に示す断面鼓形のインキ・ぺ
ースト通孔３を有するメタルマスクによれば、インキ・
ぺースト通孔３のスキージかけ面２ａに臨む側が漏斗状
に拡大しているので、インキ・ぺースト通孔３の孔縁９
は鈍角となり、これにスキージＳの先端が引っ掛かるよ
うな問題がなく、スキージＳをスムーズに動かすことが
できる。しかし、インキ・ぺースト通孔３の中くびれ部
１３の傾斜上面側１３ａがマスク厚の半分近くにまで深
くあるため、印刷時、その傾斜上面側１３ａの上にイン
キ・ぺーストＰ1 が残留しやすく、このためブリッジ発
生の原因となり、またマスク洗浄をひんぱんに行う必要
がある。また、その中くびれ部１３が鋭い角度で存在す
るため、スキージＳによる押し込み圧がインキ・ぺース
ト通孔３内の下部にまで加わりにくく、符号Ｆに示すご
とくインキ・ぺーストＰ1 の被印刷物Ｔとの密着面側に
おいて欠損が生じやすい。
に示す断面台形のインキ・ぺースト通孔３を有するメタ
ルマスクでは、そのインキ・ぺースト通孔３がマスク基
板２のスキージかけ面２ａ側から印刷面２ｂ側の厚み方
向全長にわたって漸次拡大する形に形成されている。こ
のため、同図の（Ｂ）に示すようにインキ・ぺーストＰ
をスキージかけ面２ａにのせスキージＳをかけて印刷面
２ｂ側に吐出して被印刷物Ｔに転写付着させるとき、ス
キージＳの先端がインキ・ぺースト通孔３の鋭角の孔縁
９に引っ掛かって摩耗したり、その引っ掛かりによりス
キージＳの先端がおどって被印刷物Ｔ上のインキ・ぺー
ストＰ1 の高さｈにばらつきが生じやすい（同図の
（Ｃ）参照）。またスキージＳによる押し込み圧がイン
キ・ぺースト通孔３内の下部にまで加わりにくくいた
め、インキ・ぺースト通孔３内への充填不足が生じ、吐
出できる量が減少したり、同図の（Ｃ）で符号Ｆに示す
ごとくインキ・ぺーストＰ1 の被印刷物Ｔとの密着面側
において欠損が生じ、インキ・ぺーストにじみが生じや
すかった。その点、図１０に示す断面鼓形のインキ・ぺ
ースト通孔３を有するメタルマスクによれば、インキ・
ぺースト通孔３のスキージかけ面２ａに臨む側が漏斗状
に拡大しているので、インキ・ぺースト通孔３の孔縁９
は鈍角となり、これにスキージＳの先端が引っ掛かるよ
うな問題がなく、スキージＳをスムーズに動かすことが
できる。しかし、インキ・ぺースト通孔３の中くびれ部
１３の傾斜上面側１３ａがマスク厚の半分近くにまで深
くあるため、印刷時、その傾斜上面側１３ａの上にイン
キ・ぺーストＰ1 が残留しやすく、このためブリッジ発
生の原因となり、またマスク洗浄をひんぱんに行う必要
がある。また、その中くびれ部１３が鋭い角度で存在す
るため、スキージＳによる押し込み圧がインキ・ぺース
ト通孔３内の下部にまで加わりにくく、符号Ｆに示すご
とくインキ・ぺーストＰ1 の被印刷物Ｔとの密着面側に
おいて欠損が生じやすい。
【０００４】本発明の目的はこうした問題を解消し、イ
ンキ・ぺースト通孔の断面形状を更に発展改良すること
によりインキ・ぺーストの抜け性の向上、被印刷物上に
付着するインキ・ぺーストの高さ（印刷の厚み）の安定
化を図る点にある。
ンキ・ぺースト通孔の断面形状を更に発展改良すること
によりインキ・ぺーストの抜け性の向上、被印刷物上に
付着するインキ・ぺーストの高さ（印刷の厚み）の安定
化を図る点にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のスクリーン印刷
用メタルマスクは、図１に示すように、マスク基板２に
インキ・ぺースト通孔３を開口したスクリーン印刷用メ
タルマスクにおいて、インキ・ぺースト通孔３が、マス
ク基板２の厚み方向の中間部に形成された筒状孔部４
と、マスク基板２のスキージかけ面２ａ側に筒状孔部４
と連通するよう形成された漏斗状孔部５と、マスク基板
２の印刷面２ｂ側に筒状孔部４と連通するよう形成され
た逆漏斗状孔部６とからなり、筒状孔部４の内周面が、
マスク基板２の厚み方向と平行か、または４５°以下の
テーパ角θ 3 で印刷面２ｂ側に向かって先拡がりのテー
パ面に形成されており、漏斗状孔部５は、これの内周面
が筒状孔部４の内周面のスキージかけ面２ａ側の一端に
連続状につながって、スキージかけ面２ａ側に向かって
先拡がりのテーパ面に形成されており、逆漏斗状孔部６
は、これの内周面が筒状孔部４の内周面の印刷面２ｂ側
の他端に連続状につながって、印刷面２ｂ側に向かって
先拡がりのテーパ面に形成されたものである。
用メタルマスクは、図１に示すように、マスク基板２に
インキ・ぺースト通孔３を開口したスクリーン印刷用メ
タルマスクにおいて、インキ・ぺースト通孔３が、マス
ク基板２の厚み方向の中間部に形成された筒状孔部４
と、マスク基板２のスキージかけ面２ａ側に筒状孔部４
と連通するよう形成された漏斗状孔部５と、マスク基板
２の印刷面２ｂ側に筒状孔部４と連通するよう形成され
た逆漏斗状孔部６とからなり、筒状孔部４の内周面が、
マスク基板２の厚み方向と平行か、または４５°以下の
テーパ角θ 3 で印刷面２ｂ側に向かって先拡がりのテー
パ面に形成されており、漏斗状孔部５は、これの内周面
が筒状孔部４の内周面のスキージかけ面２ａ側の一端に
連続状につながって、スキージかけ面２ａ側に向かって
先拡がりのテーパ面に形成されており、逆漏斗状孔部６
は、これの内周面が筒状孔部４の内周面の印刷面２ｂ側
の他端に連続状につながって、印刷面２ｂ側に向かって
先拡がりのテーパ面に形成されたものである。
【０００６】
【作用】インキ・ぺースト通孔３の漏斗状孔部５は、マ
スク基板２のスキージかけ面２ａ側に向かって漏斗状に
拡大するので、インキ・ぺーストをそのスキージかけ面
２ａにのせてスキージをかけることによりインキ・ぺー
スト通孔３内へのインキ・ぺーストの誘い込みを容易に
し、またスキージの先端の引っ掛かりを防止してスムー
ズな摺動を可能とし、またその摺動抵抗を減少する。
スク基板２のスキージかけ面２ａ側に向かって漏斗状に
拡大するので、インキ・ぺーストをそのスキージかけ面
２ａにのせてスキージをかけることによりインキ・ぺー
スト通孔３内へのインキ・ぺーストの誘い込みを容易に
し、またスキージの先端の引っ掛かりを防止してスムー
ズな摺動を可能とし、またその摺動抵抗を減少する。
【０００７】筒状孔部４は、マスク厚方向にほぼ垂直に
形成されているので、スキージによる押し込み圧をその
ままインキ・ぺースト通孔３内の下部にまで加えること
ができ、インキ・ぺーストをインキ・ぺースト通孔３内
に残すようなことなく印刷面２ｂ側に一様な流れでスム
ーズに通すことなる。
形成されているので、スキージによる押し込み圧をその
ままインキ・ぺースト通孔３内の下部にまで加えること
ができ、インキ・ぺーストをインキ・ぺースト通孔３内
に残すようなことなく印刷面２ｂ側に一様な流れでスム
ーズに通すことなる。
【０００８】そのように筒状孔部４の存在によりスキー
ジによる押し込み圧をインキ・ぺースト通孔３内の下部
にまで加えられることと、印刷面２ａ側に臨む逆漏斗状
孔部６は、筒状孔部４の端からマスク基板２の印刷面２
ｂ側に向かって漏斗状に拡大していることとが相まっ
て、インキ・ぺーストの被印刷物との密着面側の形状を
安定した台形とし、その欠損、形崩れを減少する。
ジによる押し込み圧をインキ・ぺースト通孔３内の下部
にまで加えられることと、印刷面２ａ側に臨む逆漏斗状
孔部６は、筒状孔部４の端からマスク基板２の印刷面２
ｂ側に向かって漏斗状に拡大していることとが相まっ
て、インキ・ぺーストの被印刷物との密着面側の形状を
安定した台形とし、その欠損、形崩れを減少する。
【０００９】
【発明の効果】本発明によれば、インキ・ぺーストをイ
ンキ・ぺースト通孔３内に誘い込み易くするとともに残
すようなこともなく、また欠損が少ないため、抜け性に
優れ、インキ・ぺーストの高さ（印刷の厚み）や形状が
変化することなく、安定した印刷が可能になり、またブ
リッジ発生を防止できるとともに、洗浄回数を減らすこ
ともできて量産印刷を可能にするに至った。
ンキ・ぺースト通孔３内に誘い込み易くするとともに残
すようなこともなく、また欠損が少ないため、抜け性に
優れ、インキ・ぺーストの高さ（印刷の厚み）や形状が
変化することなく、安定した印刷が可能になり、またブ
リッジ発生を防止できるとともに、洗浄回数を減らすこ
ともできて量産印刷を可能にするに至った。
【００１０】
【実施例】本発明に係るメタルマスクの実施例を図１な
いし図８に基づき説明する。図１において、メタルマス
ク１はマスク基板２にインキ・ぺースト通孔３を所望の
印刷パターンにパターンニング形成している。そのイン
キ・ぺースト通孔３は、マスク基板２の厚み方向の中間
部に形成された筒状孔部４と、マスク基板２のスキージ
かけ面２ａ側に筒状孔部４と連通するよう形成された漏
斗状孔部５と、マスク基板２の印刷面２ｂ側に筒状孔部
４と連通するよう形成された逆漏斗状孔部６とからな
る。 筒状孔部４の内周面は、マスク基板２の厚み方向と
平行か、または４５°以下のテーパ角θ 3 で印刷面２ｂ
側に向かって先拡がりのテーパ面に形成されている。 漏
斗状孔部５は、これの内周面が筒状孔部４の内周面のス
キージかけ面２ａ側の一端に連続状につながって、スキ
ージかけ面２ａ側に向かって先拡がりのテーパ面に形成
されている。 逆漏斗状孔部６は、これの内周面が筒状孔
部４の内周面の印刷面２ｂ側の他端に連続状につながっ
て、印刷面２ｂ側に向かって先拡がりのテーパ面に形成
されている。
いし図８に基づき説明する。図１において、メタルマス
ク１はマスク基板２にインキ・ぺースト通孔３を所望の
印刷パターンにパターンニング形成している。そのイン
キ・ぺースト通孔３は、マスク基板２の厚み方向の中間
部に形成された筒状孔部４と、マスク基板２のスキージ
かけ面２ａ側に筒状孔部４と連通するよう形成された漏
斗状孔部５と、マスク基板２の印刷面２ｂ側に筒状孔部
４と連通するよう形成された逆漏斗状孔部６とからな
る。 筒状孔部４の内周面は、マスク基板２の厚み方向と
平行か、または４５°以下のテーパ角θ 3 で印刷面２ｂ
側に向かって先拡がりのテーパ面に形成されている。 漏
斗状孔部５は、これの内周面が筒状孔部４の内周面のス
キージかけ面２ａ側の一端に連続状につながって、スキ
ージかけ面２ａ側に向かって先拡がりのテーパ面に形成
されている。 逆漏斗状孔部６は、これの内周面が筒状孔
部４の内周面の印刷面２ｂ側の他端に連続状につながっ
て、印刷面２ｂ側に向かって先拡がりのテーパ面に形成
されている。
【００１１】ここで、漏斗状孔部５および逆漏斗状孔部
６の内周面のテーパ角θ1 、θ2 はそれぞれマスク厚方
向に対し１０〜４５°、好ましくは３０°に設定し、筒
状孔部４の内周面はマスク厚方向と平行にするか、また
はテーパをつけるとしてもその角度θ3 は最大４５°、
好ましくは５°に設定する。漏斗状孔部５の内周面のテ
ーパ角θ1 が４５°より大きいと、一旦押し込まれたイ
ンキ・ペーストをスキージの先端で掻き出しやすく、ま
たこの通孔３内に誘い込みにくくする。この角度は、使
用するインキ・ペースト中の成分、特にハンダ粉末の形
状とスキージの形状により設定されるのが好ましい。ハ
ンダ粉末の形状には球形粉、不定形粉およびこれらの混
合粉がある。一方、スキージは弾性のあるゴム製で、一
般的にはポリウレタンゴムが広く使われており、そのゴ
ム硬度はショア６０〜８０°の範囲のものが選ばれる。
そしてスキージかけ面２ａとスキージとのなす角度（ス
キージ角度）は先端平形、剣形スキージでは６０°に設
定され、角スキージでは４５°に設定される。このた
め、孔縁９付近のハンダ粉末、殊に球形粉末を含むもの
では、スキージ角の４５°以上の角度で押され、上記テ
ーパ角θ1 が４５°を越えると、逆漏斗形状に沿って外
に押し出されることになるからである。この傾向は不定
形粉でもほぼ同様である。また、上記テーパ角θ1 が１
０°より小さいと、スキージの先端が孔縁９に引っ掛か
りやすくなるとともに、孔縁９付近のハンダ粉末をスキ
ージ印圧以上に押し込むことになり、通孔３内のペース
ト圧が上昇し、版離れ時にペーストの版裏へ回り込みが
生じ易く、にじみ、ブリッジの発生原因となる。
６の内周面のテーパ角θ1 、θ2 はそれぞれマスク厚方
向に対し１０〜４５°、好ましくは３０°に設定し、筒
状孔部４の内周面はマスク厚方向と平行にするか、また
はテーパをつけるとしてもその角度θ3 は最大４５°、
好ましくは５°に設定する。漏斗状孔部５の内周面のテ
ーパ角θ1 が４５°より大きいと、一旦押し込まれたイ
ンキ・ペーストをスキージの先端で掻き出しやすく、ま
たこの通孔３内に誘い込みにくくする。この角度は、使
用するインキ・ペースト中の成分、特にハンダ粉末の形
状とスキージの形状により設定されるのが好ましい。ハ
ンダ粉末の形状には球形粉、不定形粉およびこれらの混
合粉がある。一方、スキージは弾性のあるゴム製で、一
般的にはポリウレタンゴムが広く使われており、そのゴ
ム硬度はショア６０〜８０°の範囲のものが選ばれる。
そしてスキージかけ面２ａとスキージとのなす角度（ス
キージ角度）は先端平形、剣形スキージでは６０°に設
定され、角スキージでは４５°に設定される。このた
め、孔縁９付近のハンダ粉末、殊に球形粉末を含むもの
では、スキージ角の４５°以上の角度で押され、上記テ
ーパ角θ1 が４５°を越えると、逆漏斗形状に沿って外
に押し出されることになるからである。この傾向は不定
形粉でもほぼ同様である。また、上記テーパ角θ1 が１
０°より小さいと、スキージの先端が孔縁９に引っ掛か
りやすくなるとともに、孔縁９付近のハンダ粉末をスキ
ージ印圧以上に押し込むことになり、通孔３内のペース
ト圧が上昇し、版離れ時にペーストの版裏へ回り込みが
生じ易く、にじみ、ブリッジの発生原因となる。
【００１２】逆漏斗状孔部６の内周面のテーパ角θ2 が
１０°より小さいと、インキ・ぺーストの被印刷物への
密着が不安定になりやすく、またにじみが発生する。こ
れは、ペースト粘度にもよるが、版離れ時にペースト自
体は凝集力で縮もうとし、しかもマスクと被印刷物間に
負圧が発生するのに対し、通孔３内のペーストは大気圧
により被印刷物面へずり落ち、このときテーパ角θ2 が
１０°より小さいと通孔３内のペーストがずり落ちやす
くて版の裏へ回り込み、にじみが発生する。またテーパ
角θ2 が４５°を越えると、スキージ圧が充分加えられ
なくなり、先端すき間までペーストが回れず欠損が生じ
る。
１０°より小さいと、インキ・ぺーストの被印刷物への
密着が不安定になりやすく、またにじみが発生する。こ
れは、ペースト粘度にもよるが、版離れ時にペースト自
体は凝集力で縮もうとし、しかもマスクと被印刷物間に
負圧が発生するのに対し、通孔３内のペーストは大気圧
により被印刷物面へずり落ち、このときテーパ角θ2 が
１０°より小さいと通孔３内のペーストがずり落ちやす
くて版の裏へ回り込み、にじみが発生する。またテーパ
角θ2 が４５°を越えると、スキージ圧が充分加えられ
なくなり、先端すき間までペーストが回れず欠損が生じ
る。
【００１３】筒状孔部４、漏斗状孔部５および逆漏斗状
孔部６のそれぞれの高さｈ1 、ｈ2 、ｈ3 は、ｈ1 ＞ｈ
3 ≧ｈ2 とする。好ましくは、メタルマスク１の全厚を
ｔとした場合筒状孔部４の高さｈ1 は６2.５／１００
ｔ、逆漏斗状孔部６の高さｈ3 は２５／１００ｔ、漏斗
状孔部５の高さｈ2 は１2.５／１００ｔとする。具体的
には、メタルマスク１の全厚ｔが２００μである場合、
漏斗状孔部５の高さｈ2 は５０〜１０μ、筒状孔部４の
高さｈ1 は８０〜１４０μ、逆漏斗状孔部６の高さｈ3
は６０〜５０μの範囲から選定される。リードピッチ0.
５mm以上のメタルマスクの板厚ｔは２００μであるが、
この場合は最適にはｈ2 は２５μ、ｈ1 は１５０μ、ｈ
3 は５０μとする。特に漏斗状孔部５の高さｈ2 はハン
ダ粉末のサイズにより設定されるのが好ましく、更に狭
いピッチ0.３mmのようなファインパターンでは板厚ｔは
１００〜１３０μ程度であり、粉末サイズは最大粉径が
２５〜４０μ程度であり、これを越えない前記サイズ比
とすることにより、この漏斗状孔部５に充填されたハン
ダ粉末がスキージで掻き出されたとき大きな欠損箇所が
生じるようなことがない。
孔部６のそれぞれの高さｈ1 、ｈ2 、ｈ3 は、ｈ1 ＞ｈ
3 ≧ｈ2 とする。好ましくは、メタルマスク１の全厚を
ｔとした場合筒状孔部４の高さｈ1 は６2.５／１００
ｔ、逆漏斗状孔部６の高さｈ3 は２５／１００ｔ、漏斗
状孔部５の高さｈ2 は１2.５／１００ｔとする。具体的
には、メタルマスク１の全厚ｔが２００μである場合、
漏斗状孔部５の高さｈ2 は５０〜１０μ、筒状孔部４の
高さｈ1 は８０〜１４０μ、逆漏斗状孔部６の高さｈ3
は６０〜５０μの範囲から選定される。リードピッチ0.
５mm以上のメタルマスクの板厚ｔは２００μであるが、
この場合は最適にはｈ2 は２５μ、ｈ1 は１５０μ、ｈ
3 は５０μとする。特に漏斗状孔部５の高さｈ2 はハン
ダ粉末のサイズにより設定されるのが好ましく、更に狭
いピッチ0.３mmのようなファインパターンでは板厚ｔは
１００〜１３０μ程度であり、粉末サイズは最大粉径が
２５〜４０μ程度であり、これを越えない前記サイズ比
とすることにより、この漏斗状孔部５に充填されたハン
ダ粉末がスキージで掻き出されたとき大きな欠損箇所が
生じるようなことがない。
【００１４】スキージかけ面２ａに臨む漏斗状孔部５
は、図２に示すようにその角Ｃを直角にするよりも、図
３に示すようにアールＲをつけることがインキ・ぺース
トの誘い込みを更に良くし、スキージの引っ掛かりをよ
り確実に防止するうえで好ましい。また、図４に示すよ
うにその漏斗状孔部５の勾配面７は電解研磨などにより
凸曲面に形成しておくことの方がスキージに対し一層優
しくなるとともに孔縁ハンダ残りも少なくてすむ。勿
論、逆漏斗状孔部６側も研磨することができる。この研
磨としては、電解研磨や砥粉による研磨など一般的研磨
を用いる。特に逆漏斗状孔部６周縁の被印刷物との当接
面を粒度４００〜８００番で平面研磨することにより、
微細な凹凸を形成して空気の移動を滑らかにし、版離れ
時の負圧発生を抑制し、ペーストの版裏への回り込みに
よる形くずれやにじみを防止できる。このため、ペース
トの裏回りの発生を抑え、版裏清掃回数を少なくし、連
続印刷回数を多くすることができるとともに版離れ速度
を速めて印刷効率を高めることができる。
は、図２に示すようにその角Ｃを直角にするよりも、図
３に示すようにアールＲをつけることがインキ・ぺース
トの誘い込みを更に良くし、スキージの引っ掛かりをよ
り確実に防止するうえで好ましい。また、図４に示すよ
うにその漏斗状孔部５の勾配面７は電解研磨などにより
凸曲面に形成しておくことの方がスキージに対し一層優
しくなるとともに孔縁ハンダ残りも少なくてすむ。勿
論、逆漏斗状孔部６側も研磨することができる。この研
磨としては、電解研磨や砥粉による研磨など一般的研磨
を用いる。特に逆漏斗状孔部６周縁の被印刷物との当接
面を粒度４００〜８００番で平面研磨することにより、
微細な凹凸を形成して空気の移動を滑らかにし、版離れ
時の負圧発生を抑制し、ペーストの版裏への回り込みに
よる形くずれやにじみを防止できる。このため、ペース
トの裏回りの発生を抑え、版裏清掃回数を少なくし、連
続印刷回数を多くすることができるとともに版離れ速度
を速めて印刷効率を高めることができる。
【００１５】さらに、図５の（Ａ）にその漏斗状孔部５
の平面形状を示すように、漏斗状孔部５のスキージかけ
方向Ａと直交する孔縁９はその長さ方向中央部９ａがそ
の長さ方向両端９ｂ・９ｃよりも内方に向かって突出す
る中凸状に形成することができる。そのように孔縁９を
中凸状に形成することにより、図６に示すように漏斗状
孔部５の勾配面７がその両端９ｂ・９ｃの図７に示す勾
配面７よりも急勾配にすることができるため、インキ・
ぺーストをその長さ方向中央部９ａから長さ方向両端９
ｂ・９ｃの隅部の方向ｍ・ｎ（図５の（Ａ）参照）に流
し易くなってその隅部への充填が良好になるからであ
る。中凸状の孔縁９は、図５の（Ａ）に示すごとくその
長さ方向全長にわたってアール状にするに代えて、図８
に示すようにその長さ方向中央部９ａのみをアール状に
し、この中央部９ａから長さ方向両端９ｂ・９ｃにわた
って直線状にすることにより中凸状に形成することもで
きる。また、図５の（Ｂ）に示すように中凸状の孔縁９
をスキージかけ方向Ａと並行方向に形成すれば、インキ
・ペーストの誘込み間口ａを広げ充填効率の高いものに
することができ、スキージの通孔３への落ち込み量を少
なくすることができ、更に、排出間口ｂが広くなり、排
出側付近のスキージ印圧を所定値以上高めてしまうこと
もない。この中凸状の孔縁９はＱＦＰパターンのように
通孔３がスキージかけ方向Ａと直交並びに並行方向の両
方向に配置されているとき特に有効である。
の平面形状を示すように、漏斗状孔部５のスキージかけ
方向Ａと直交する孔縁９はその長さ方向中央部９ａがそ
の長さ方向両端９ｂ・９ｃよりも内方に向かって突出す
る中凸状に形成することができる。そのように孔縁９を
中凸状に形成することにより、図６に示すように漏斗状
孔部５の勾配面７がその両端９ｂ・９ｃの図７に示す勾
配面７よりも急勾配にすることができるため、インキ・
ぺーストをその長さ方向中央部９ａから長さ方向両端９
ｂ・９ｃの隅部の方向ｍ・ｎ（図５の（Ａ）参照）に流
し易くなってその隅部への充填が良好になるからであ
る。中凸状の孔縁９は、図５の（Ａ）に示すごとくその
長さ方向全長にわたってアール状にするに代えて、図８
に示すようにその長さ方向中央部９ａのみをアール状に
し、この中央部９ａから長さ方向両端９ｂ・９ｃにわた
って直線状にすることにより中凸状に形成することもで
きる。また、図５の（Ｂ）に示すように中凸状の孔縁９
をスキージかけ方向Ａと並行方向に形成すれば、インキ
・ペーストの誘込み間口ａを広げ充填効率の高いものに
することができ、スキージの通孔３への落ち込み量を少
なくすることができ、更に、排出間口ｂが広くなり、排
出側付近のスキージ印圧を所定値以上高めてしまうこと
もない。この中凸状の孔縁９はＱＦＰパターンのように
通孔３がスキージかけ方向Ａと直交並びに並行方向の両
方向に配置されているとき特に有効である。
【００１６】なお筒状孔部４の内壁面は図２に上下方向
に示すように、ひだ状の凹凸を設けている。この凹凸の
ピッチは１〜１０μ程度とし、ハンダ粉末の球径２０±
１０μより小さく設定しておけば、版離れ時の筒状孔部
４の壁面からのずり落ちが滑らかになり、ハンダ小やハ
ンダ欠けなどの形くずれを抑制できる。更に漏斗状孔部
５の内壁面には、電子線硬化性樹脂や紫外線硬化性樹脂
のような放射線硬化性樹脂、あるいはフッ素系樹脂など
で最大１０μ程度のコート層を設けることができる。こ
の場合は、インキ・ペーストとコート層とのなじみが良
く粘着性が低いため、スキージによる余剰ペーストの回
収性が高くなる。したがって、スキージ印圧を低く設定
でき、スキージ速度を速くし印刷効率を向上させ、更に
スキージ先端が通孔３で弾性変形する量を少なくでき、
通孔３上での弾性復元による瞬間加圧に起因する粘度低
下およびこれによるダレを防止し、またえぐれを抑制で
きる。このようなコート層は、メタルマスク製造後別工
程で形成することの他、メタルマスクを電鋳法で製造す
るものではフォトレジストをメタルマスクにそのまま付
着させて残すようにすれば簡単な工程で得られる。
に示すように、ひだ状の凹凸を設けている。この凹凸の
ピッチは１〜１０μ程度とし、ハンダ粉末の球径２０±
１０μより小さく設定しておけば、版離れ時の筒状孔部
４の壁面からのずり落ちが滑らかになり、ハンダ小やハ
ンダ欠けなどの形くずれを抑制できる。更に漏斗状孔部
５の内壁面には、電子線硬化性樹脂や紫外線硬化性樹脂
のような放射線硬化性樹脂、あるいはフッ素系樹脂など
で最大１０μ程度のコート層を設けることができる。こ
の場合は、インキ・ペーストとコート層とのなじみが良
く粘着性が低いため、スキージによる余剰ペーストの回
収性が高くなる。したがって、スキージ印圧を低く設定
でき、スキージ速度を速くし印刷効率を向上させ、更に
スキージ先端が通孔３で弾性変形する量を少なくでき、
通孔３上での弾性復元による瞬間加圧に起因する粘度低
下およびこれによるダレを防止し、またえぐれを抑制で
きる。このようなコート層は、メタルマスク製造後別工
程で形成することの他、メタルマスクを電鋳法で製造す
るものではフォトレジストをメタルマスクにそのまま付
着させて残すようにすれば簡単な工程で得られる。
【図１】スクリーン印刷用メタルマスクのインキ・ぺー
スト通孔の断面図である。
スト通孔の断面図である。
【図２】スクリーン印刷用メタルマスクのインキ・ぺー
スト通孔の斜視図である。
スト通孔の斜視図である。
【図３】他の実施例を示すインキ・ぺースト通孔の斜視
図である。
図である。
【図４】更に他の実施例を示すインキ・ぺースト通孔の
断面図である。
断面図である。
【図５】更に又、他の実施例を示すインキ・ぺースト通
孔の平面図である。
孔の平面図である。
【図６】図５の（Ａ）におけるＸ−Ｘ線断面図である。
【図７】図５の（Ａ）におけるＹ−Ｙ線断面図である。
【図８】他の実施例を示すインキ・ぺースト通孔の平面
図である。
図である。
【図９】従来例のスクリーン印刷用メタルマスクのイン
キ・ぺースト通孔の断面図である。
キ・ぺースト通孔の断面図である。
【図１０】他の従来例のスクリーン印刷用メタルマスク
のインキ・ぺースト通孔の断面図である。
のインキ・ぺースト通孔の断面図である。
１ メタルマスク ２ マスク基板 ２ａ スキージかけ面 ２ｂ 印刷面 ３ インキ・ぺースト通孔 ４ 筒状孔部 ５ 漏斗状孔部 ６ 逆漏斗状孔部
フロントページの続き (72)発明者 小林 良弘 福岡県田川郡方城町大字伊方4680番地 九州日立マクセル株式会社内 (56)参考文献 特開 昭56−140352（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−142992（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41N 1/24 B41C 1/14
Claims (1)
- 【請求項１】 マスク基板２にインキ・ぺースト通孔３
を開口したスクリーン印刷用メタルマスクにおいて、 インキ・ぺースト通孔３が、マスク基板２の厚み方向の
中間部に形成された筒状孔部４と、マスク基板２のスキ
ージかけ面２ａ側に筒状孔部４と連通するよう形成され
た漏斗状孔部５と、マスク基板２の印刷面２ｂ側に筒状
孔部４と連通するよう形成された逆漏斗状孔部６とから
なり、 筒状孔部４の内周面が、マスク基板２の厚み方向と平行
か、または４５°以下のテーパ角θ 3 で印刷面２ｂ側に
向かって先拡がりのテーパ面に形成されており、 漏斗状孔部５は、これの内周面が筒状孔部４の内周面の
スキージかけ面２ａ側の一端に連続状につながって、ス
キージかけ面２ａ側に向かって先拡がりのテーパ面に形
成されており、 逆漏斗状孔部６は、これの内周面が筒状孔部４の内周面
の印刷面２ｂ側の他端に連続状につながって、印刷面２
ｂ側に向かって先拡がりのテーパ面 に形成されているこ
とを特徴とするスクリーン印刷用メタルマスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03302377A JP3120189B2 (ja) | 1991-10-21 | 1991-10-21 | スクリーン印刷用メタルマスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03302377A JP3120189B2 (ja) | 1991-10-21 | 1991-10-21 | スクリーン印刷用メタルマスク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05112082A JPH05112082A (ja) | 1993-05-07 |
| JP3120189B2 true JP3120189B2 (ja) | 2000-12-25 |
Family
ID=17908171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03302377A Expired - Fee Related JP3120189B2 (ja) | 1991-10-21 | 1991-10-21 | スクリーン印刷用メタルマスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3120189B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010017887A (ja) * | 2008-07-08 | 2010-01-28 | Fuchigami Micro:Kk | メッシュシート及びメッシュシートの製造方法 |
| JP5141631B2 (ja) * | 2009-04-17 | 2013-02-13 | 株式会社デンソー | 印刷基板の製造方法 |
| JP5584530B2 (ja) * | 2010-06-29 | 2014-09-03 | 株式会社コベルコ科研 | スクリーン印刷用メッシュ部材 |
-
1991
- 1991-10-21 JP JP03302377A patent/JP3120189B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05112082A (ja) | 1993-05-07 |
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