JP2000202981A - 印刷用マスクの製造方法及び該方法により製造した印刷用マスク - Google Patents
印刷用マスクの製造方法及び該方法により製造した印刷用マスクInfo
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- JP2000202981A JP2000202981A JP11005212A JP521299A JP2000202981A JP 2000202981 A JP2000202981 A JP 2000202981A JP 11005212 A JP11005212 A JP 11005212A JP 521299 A JP521299 A JP 521299A JP 2000202981 A JP2000202981 A JP 2000202981A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ハーフエッチング加工を行う場合の、貫通開
口部の内壁保護用樹脂のスキージング過剰に起因する該
開口部の変形を防止し、かつ、スキージング不足に起因
するエッチングムラを防止することのできる印刷用マス
クの製造方法及び該方法により製造した印刷用マスクを
提供する。 【解決手段】 マスク材１のＡ面に表面保護用のラミネ
ートフィルム２を貼付し、次いで、該Ａ面と反対側のＢ
面を上にしてマスク材開口部５及び６に内壁保護用の樹
脂３を充填し、次いで、該Ｂ面にラミネートフィルム２
ａを貼付し、次いで、該Ａ面より該フィルム２ａを除去
し、次いで、該第Ａ面を加工面としてハーフエッチング
加工を行う。
口部の内壁保護用樹脂のスキージング過剰に起因する該
開口部の変形を防止し、かつ、スキージング不足に起因
するエッチングムラを防止することのできる印刷用マス
クの製造方法及び該方法により製造した印刷用マスクを
提供する。 【解決手段】 マスク材１のＡ面に表面保護用のラミネ
ートフィルム２を貼付し、次いで、該Ａ面と反対側のＢ
面を上にしてマスク材開口部５及び６に内壁保護用の樹
脂３を充填し、次いで、該Ｂ面にラミネートフィルム２
ａを貼付し、次いで、該Ａ面より該フィルム２ａを除去
し、次いで、該第Ａ面を加工面としてハーフエッチング
加工を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、印刷用マスクの製
造方法に関し、詳しくは、マスク材に所定パターンの貫
通開口部を形成し、該開口部に該開口部内壁保護用樹脂
を充填したのち、ハーフエッチング加工を行う印刷マス
クの製造方法に関するものである。
造方法に関し、詳しくは、マスク材に所定パターンの貫
通開口部を形成し、該開口部に該開口部内壁保護用樹脂
を充填したのち、ハーフエッチング加工を行う印刷マス
クの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】クリーム半田、インク、接着剤、ペース
ト状の樹脂などのペーストをプリント基板などの被印刷
体上に印刷するための印刷用マスクとしては、金属板に
パンチプレスにより印刷パターンの貫通開口部を形成し
たパンチプレスマスク、金属板にＹＡＧレーザにより印
刷パターンの貫通開口部を形成したＹＡＧレーザマス
ク、感光性樹脂を金属板両面に塗布してレジスト層を形
成し、開口部のパターンを描いたフォトマスクを介して
露光し、次いでレジスト層を現像することにより、開口
部パターンに対応する部分のレジスト層を除去し、それ
をエッチングして金属板に印刷パターンの貫通開口部を
形成したエッチングマスク、メッキ母材上にやや厚めの
感光性樹脂層を形成し、開口部パターンを描いたフォト
マスクを介して露光し、次いで感光性樹脂層を現像する
ことにより、開口部パターンに対応する部分以外の感光
性樹脂層を除去し、開口部パターンに対応する部分の感
光性樹脂層を残して雌型を作製し、この雌型周囲の面に
マスクとして必要な厚さにメッキ（主にニッケル）を行
い、印刷パターンの貫通開口部を金属板に形成したアデ
ィティブマスクなどのメタルマスクが知られている。ま
た、メタルマスクの欠点を改良し高精細な微少ピッチの
貫通開口部を形成することができ、被印刷体上に微細な
ピッチの印刷を行うことができる印刷用マスクとして
は、マスク材としてプラスチック板を用い、該プラスチ
ック板にエキシマレーザやその他の方法により印刷パタ
ーンの貫通開口部を形成したプラスチックマスクが知ら
れている（特開平７−８１０２７号公報）。
ト状の樹脂などのペーストをプリント基板などの被印刷
体上に印刷するための印刷用マスクとしては、金属板に
パンチプレスにより印刷パターンの貫通開口部を形成し
たパンチプレスマスク、金属板にＹＡＧレーザにより印
刷パターンの貫通開口部を形成したＹＡＧレーザマス
ク、感光性樹脂を金属板両面に塗布してレジスト層を形
成し、開口部のパターンを描いたフォトマスクを介して
露光し、次いでレジスト層を現像することにより、開口
部パターンに対応する部分のレジスト層を除去し、それ
をエッチングして金属板に印刷パターンの貫通開口部を
形成したエッチングマスク、メッキ母材上にやや厚めの
感光性樹脂層を形成し、開口部パターンを描いたフォト
マスクを介して露光し、次いで感光性樹脂層を現像する
ことにより、開口部パターンに対応する部分以外の感光
性樹脂層を除去し、開口部パターンに対応する部分の感
光性樹脂層を残して雌型を作製し、この雌型周囲の面に
マスクとして必要な厚さにメッキ（主にニッケル）を行
い、印刷パターンの貫通開口部を金属板に形成したアデ
ィティブマスクなどのメタルマスクが知られている。ま
た、メタルマスクの欠点を改良し高精細な微少ピッチの
貫通開口部を形成することができ、被印刷体上に微細な
ピッチの印刷を行うことができる印刷用マスクとして
は、マスク材としてプラスチック板を用い、該プラスチ
ック板にエキシマレーザやその他の方法により印刷パタ
ーンの貫通開口部を形成したプラスチックマスクが知ら
れている（特開平７−８１０２７号公報）。
【０００３】また、特に、微細な開口が穿孔される印刷
用マスクでは、ハーフエッチング加工が施されることが
ある。このハーフエッチング加工は、比較的厚手のマス
ク材の表面を一定の深さに掘り下げる加工方法であっ
て、例えば、印刷用マスクに形成される周辺の開口部と
比べさらにファインな微細孔のクリーム半田やインキな
どのペーストの抜け性を向上させる目的で、該印刷用マ
スクの微細孔形成部の板厚を薄くする際の加工方法とし
て利用されている。
用マスクでは、ハーフエッチング加工が施されることが
ある。このハーフエッチング加工は、比較的厚手のマス
ク材の表面を一定の深さに掘り下げる加工方法であっ
て、例えば、印刷用マスクに形成される周辺の開口部と
比べさらにファインな微細孔のクリーム半田やインキな
どのペーストの抜け性を向上させる目的で、該印刷用マ
スクの微細孔形成部の板厚を薄くする際の加工方法とし
て利用されている。
【０００４】上記ハーフエッチング加工は、従来、印刷
パターンの貫通開口部が形成された印刷用マスクの片面
に表面保護用のプラスチックフィルムを貼付け、該面の
反対側の面である加工面を上にして、該貫通開口部の内
壁を保護するための樹脂を該貫通開口部に充填したの
ち、マスキングを行い、次いで、表面を一定の深さに掘
り下げるように、エッチング液によりエッチングする方
法が採られている。
パターンの貫通開口部が形成された印刷用マスクの片面
に表面保護用のプラスチックフィルムを貼付け、該面の
反対側の面である加工面を上にして、該貫通開口部の内
壁を保護するための樹脂を該貫通開口部に充填したの
ち、マスキングを行い、次いで、表面を一定の深さに掘
り下げるように、エッチング液によりエッチングする方
法が採られている。
【０００５】ここで、上記貫通開口部に樹脂を充填する
際には、図２（ａ）に示すように、該貫通開口部以外の
加工面に余剰な樹脂が残らないように、該樹脂をスキー
ジで加工面に擦り付けるようにして展延して該開口部に
樹脂を充填していた。ところが、スキージを該加工面に
擦り付けるため、スキージングが過剰となった場合に
は、該貫通開口部に充填された樹脂の上部がスキージに
よってえぐり取られてしまうことがあった。この様子を
図２（ｂ）に示す。また、図２（ｃ）に示すように、ハ
ーフエッチングによるエッチング深さを３０μｍとした
場合、スキージによってえぐり取られた樹脂の深さが３
０μｍを超えると、加工面にエッジ部Ａが発生する。そ
して、エッジ部Ａが発生した状態でエッチングが進む
と、エッジ部Ａでは、上方向及び横方向からエッチング
液の影響を受けるため、図２（ｄ）に示すように他の加
工面よりもエッチングが進んでしまい、その結果、貫通
開口部の形状を良好に保てなくなるという不具合が発生
する。
際には、図２（ａ）に示すように、該貫通開口部以外の
加工面に余剰な樹脂が残らないように、該樹脂をスキー
ジで加工面に擦り付けるようにして展延して該開口部に
樹脂を充填していた。ところが、スキージを該加工面に
擦り付けるため、スキージングが過剰となった場合に
は、該貫通開口部に充填された樹脂の上部がスキージに
よってえぐり取られてしまうことがあった。この様子を
図２（ｂ）に示す。また、図２（ｃ）に示すように、ハ
ーフエッチングによるエッチング深さを３０μｍとした
場合、スキージによってえぐり取られた樹脂の深さが３
０μｍを超えると、加工面にエッジ部Ａが発生する。そ
して、エッジ部Ａが発生した状態でエッチングが進む
と、エッジ部Ａでは、上方向及び横方向からエッチング
液の影響を受けるため、図２（ｄ）に示すように他の加
工面よりもエッチングが進んでしまい、その結果、貫通
開口部の形状を良好に保てなくなるという不具合が発生
する。
【０００６】一方、樹脂のスキージングが不足した場合
には、図２（ｂ）のＢで示すような、加工面上に樹脂が
残ってしまうおそれがある。エッチング液に対して耐性
を持つ樹脂が加工面上に残ると、図２（ｃ）に示すよう
に、ハーフエッチングの際に均一なエッチングがなされ
ず、エッチングムラが発生するという問題がある。
には、図２（ｂ）のＢで示すような、加工面上に樹脂が
残ってしまうおそれがある。エッチング液に対して耐性
を持つ樹脂が加工面上に残ると、図２（ｃ）に示すよう
に、ハーフエッチングの際に均一なエッチングがなされ
ず、エッチングムラが発生するという問題がある。
【０００７】このように、ハーフエッチング加工におい
ては、加工面上に樹脂が残ることなく、かつ、貫通開口
部に充填された樹脂のスキージングによって削り取られ
る深さが、ハーフエッチング加工による所望のエッチン
グ深さを超えないように、スキージングの制御を行う必
要があるが、数十ミクロン程度の正確な一定のスキージ
ングは非常に困難なものであった。
ては、加工面上に樹脂が残ることなく、かつ、貫通開口
部に充填された樹脂のスキージングによって削り取られ
る深さが、ハーフエッチング加工による所望のエッチン
グ深さを超えないように、スキージングの制御を行う必
要があるが、数十ミクロン程度の正確な一定のスキージ
ングは非常に困難なものであった。
【０００８】なお、上述したような問題点は、ハーフエ
ッチング加工にエッチング液を用いる場合において生じ
るものであるが、図２（ｃ）で示したような樹脂残Ｂに
よるエッチングムラの問題については、他のハーフエッ
チング加工方法、例えば、エキシマレーザによる加工に
おいても、同様に発生するものである。
ッチング加工にエッチング液を用いる場合において生じ
るものであるが、図２（ｃ）で示したような樹脂残Ｂに
よるエッチングムラの問題については、他のハーフエッ
チング加工方法、例えば、エキシマレーザによる加工に
おいても、同様に発生するものである。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明は以上の問題点
に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、
ハーフエッチング加工を行う場合の、貫通開口部の内壁
保護用樹脂のスキージング過剰に起因する該開口部の変
形を防止し、かつ、スキージング不足に起因するエッチ
ングムラを防止することのできる印刷用マスクの製造方
法及び該方法により製造した印刷用マスクを提供するこ
とである。
に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、
ハーフエッチング加工を行う場合の、貫通開口部の内壁
保護用樹脂のスキージング過剰に起因する該開口部の変
形を防止し、かつ、スキージング不足に起因するエッチ
ングムラを防止することのできる印刷用マスクの製造方
法及び該方法により製造した印刷用マスクを提供するこ
とである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１の発明は、マスク材に所定パターンの貫通
開口部を形成し、該開口部に該開口部内壁保護用樹脂を
充填したのち、ハーフエッチング加工を行う印刷用マス
クの製造方法において、該マスク材の第１の面に表面保
護用プラスチックフィルムを貼付する工程と、次いで、
該第１の面と反対側の第２の面を上にして該開口部に該
樹脂を充填する工程と、次いで、該第２の面に該フィル
ムを貼付する工程と、次いで、該第１の面より該フィル
ムを除去する工程と、次いで、該第１の面を加工面とし
てハーフエッチング加工を行う工程とを含むことを特徴
とするものである。
に、請求項１の発明は、マスク材に所定パターンの貫通
開口部を形成し、該開口部に該開口部内壁保護用樹脂を
充填したのち、ハーフエッチング加工を行う印刷用マス
クの製造方法において、該マスク材の第１の面に表面保
護用プラスチックフィルムを貼付する工程と、次いで、
該第１の面と反対側の第２の面を上にして該開口部に該
樹脂を充填する工程と、次いで、該第２の面に該フィル
ムを貼付する工程と、次いで、該第１の面より該フィル
ムを除去する工程と、次いで、該第１の面を加工面とし
てハーフエッチング加工を行う工程とを含むことを特徴
とするものである。
【００１１】請求項２の発明は、請求項１の印刷用マス
クの製造方法によって製造されたことを特徴とする印刷
用マスクである。
クの製造方法によって製造されたことを特徴とする印刷
用マスクである。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
参照して説明する。図１（ａ）乃至（ｅ）は、本発明の
実施形態に即した印刷用マスクの製造方法を示す図であ
る。図示例は、主にメタルマスク、または、エッチング
液によるエッチングが可能なプラスチックマスクのハー
フエッチング加工品の製造方法に適用することができ
る。本実施形態においては、マスク材としてステンレス
を用いた。本実施形態では、まず、図１（ａ）に示すよ
うに、マスク材１に所定のパターンからなる大小の貫通
開口部５及び６を穿孔する。この貫通開口部５及び６
は、メタルマスクにおいては、パンチプレス、ＹＡＧレ
ーザ、エッチング、メッキなど、プラスチックマスクに
おいては、エキシマレーザなどによって形成することが
できる。そして、貫通開口部５及び６形成後には、マス
ク材１の片面であるＡ面に、表面保護用のプラスチック
フィルムとしてのラミネートフィルム２を接着剤で貼り
付ける。
参照して説明する。図１（ａ）乃至（ｅ）は、本発明の
実施形態に即した印刷用マスクの製造方法を示す図であ
る。図示例は、主にメタルマスク、または、エッチング
液によるエッチングが可能なプラスチックマスクのハー
フエッチング加工品の製造方法に適用することができ
る。本実施形態においては、マスク材としてステンレス
を用いた。本実施形態では、まず、図１（ａ）に示すよ
うに、マスク材１に所定のパターンからなる大小の貫通
開口部５及び６を穿孔する。この貫通開口部５及び６
は、メタルマスクにおいては、パンチプレス、ＹＡＧレ
ーザ、エッチング、メッキなど、プラスチックマスクに
おいては、エキシマレーザなどによって形成することが
できる。そして、貫通開口部５及び６形成後には、マス
ク材１の片面であるＡ面に、表面保護用のプラスチック
フィルムとしてのラミネートフィルム２を接着剤で貼り
付ける。
【００１３】次に、図１（ｂ）に示すように、ラミネー
トフィルム２を貼り付けたＡ面とは逆の面であるＢ面か
ら、貫通開口部５及び６に該開口部５及び６の内壁保護
用の樹脂３を充填する。ここで、樹脂３は、貫通開口部
５及び６に完全に充填できさえすればよく、該開口部５
及び６の上部から溢れてマスク材１の上面に広がっても
構わない。なお、樹脂充填時には、マスク材１のＡ面か
らのラミネートフィルム２の剥離を防止するために、ラ
ミネートフィルム２の下に平坦な下支え部材を配置する
ことが望ましい。そして、樹脂３の乾燥後に、マスク材
１のＢ面にラミネートフィルム２ａを貼り付ける。
トフィルム２を貼り付けたＡ面とは逆の面であるＢ面か
ら、貫通開口部５及び６に該開口部５及び６の内壁保護
用の樹脂３を充填する。ここで、樹脂３は、貫通開口部
５及び６に完全に充填できさえすればよく、該開口部５
及び６の上部から溢れてマスク材１の上面に広がっても
構わない。なお、樹脂充填時には、マスク材１のＡ面か
らのラミネートフィルム２の剥離を防止するために、ラ
ミネートフィルム２の下に平坦な下支え部材を配置する
ことが望ましい。そして、樹脂３の乾燥後に、マスク材
１のＢ面にラミネートフィルム２ａを貼り付ける。
【００１４】次に、図１（ｃ）に示すように、マスク材
１を上下反転して、マスク材１のＡ面からラミネートフ
ィルム２を除去する。ラミネートフィルム２が除去され
たＡ面は樹脂３の充填時にはラミネートフィルム２で覆
われていたため、貫通開口部５及び６内にはＡ面と同じ
高さまで樹脂３が充填されているとともに、面上に樹脂
３が存在することはない。その後、ハーフエッチング加
工部７以外の部分のマスキングを行い、塩化第二鉄等の
エッチング液を用いて、図１（ｄ）で示すようなＢ面か
ら一定の深さに掘り下げられたハーフエッチング加工部
７を形成する。そして、マスク材１より樹脂３及びラミ
ネートフィルム２ａを除去することにより、図１（ｅ）
に示すような、ハーフエッチング加工部７を有するマス
ク材１を得ることができる。
１を上下反転して、マスク材１のＡ面からラミネートフ
ィルム２を除去する。ラミネートフィルム２が除去され
たＡ面は樹脂３の充填時にはラミネートフィルム２で覆
われていたため、貫通開口部５及び６内にはＡ面と同じ
高さまで樹脂３が充填されているとともに、面上に樹脂
３が存在することはない。その後、ハーフエッチング加
工部７以外の部分のマスキングを行い、塩化第二鉄等の
エッチング液を用いて、図１（ｄ）で示すようなＢ面か
ら一定の深さに掘り下げられたハーフエッチング加工部
７を形成する。そして、マスク材１より樹脂３及びラミ
ネートフィルム２ａを除去することにより、図１（ｅ）
に示すような、ハーフエッチング加工部７を有するマス
ク材１を得ることができる。
【００１５】このように、本実施形態においては、樹脂
３を充填する面とは逆の面よりハーフエッチング加工を
行うため、樹脂充填の際には貫通開口部５及び６内に樹
脂３を充填しさえすればよく、従来のような樹脂のスキ
ージングが不要となる。よって、スキージング過剰に起
因する貫通開口部の変形や、スキージング不足に起因す
るエッチングムラのない、良好なハーフエッチング加工
が可能となる。
３を充填する面とは逆の面よりハーフエッチング加工を
行うため、樹脂充填の際には貫通開口部５及び６内に樹
脂３を充填しさえすればよく、従来のような樹脂のスキ
ージングが不要となる。よって、スキージング過剰に起
因する貫通開口部の変形や、スキージング不足に起因す
るエッチングムラのない、良好なハーフエッチング加工
が可能となる。
【００１６】なお、本実施形態においては、エッチング
液によるハーフエッチング加工を例に説明したが、本発
明を、他のハーフエッチング加工方法に適用することも
できる。例えば、エキシマレーザによるハーフエッチン
グ加工を行う場合には、上述したような樹脂残によるエ
ッチングムラの問題を解決することができる。
液によるハーフエッチング加工を例に説明したが、本発
明を、他のハーフエッチング加工方法に適用することも
できる。例えば、エキシマレーザによるハーフエッチン
グ加工を行う場合には、上述したような樹脂残によるエ
ッチングムラの問題を解決することができる。
【００１７】
【発明の効果】請求項１の発明によれば、ラミネートフ
ィルムを貼付された第１の面を底面にして第２の面から
貫通開口部に樹脂を充填するので、該貫通開口部には該
第１の面と同じ位置まで該樹脂が充填されるとともに、
該第１の面上に該樹脂が存在することがない。そして、
該第１の面よりハーフエッチング加工を行うので、該樹
脂のスキージングが不要となり、スキージング過剰に起
因する貫通開口部の変形や、スキージング不足に起因す
るエッチングムラのない、良好なハーフエッチング加工
を行うことができるという優れた効果がある。
ィルムを貼付された第１の面を底面にして第２の面から
貫通開口部に樹脂を充填するので、該貫通開口部には該
第１の面と同じ位置まで該樹脂が充填されるとともに、
該第１の面上に該樹脂が存在することがない。そして、
該第１の面よりハーフエッチング加工を行うので、該樹
脂のスキージングが不要となり、スキージング過剰に起
因する貫通開口部の変形や、スキージング不足に起因す
るエッチングムラのない、良好なハーフエッチング加工
を行うことができるという優れた効果がある。
【００１８】請求項２の発明によれば、請求項１の製造
方法により製造されるので、スキージング過剰に起因す
る貫通開口部の変形やスキージング不足に起因するエッ
チングムラのないハーフエッチング加工部を有するマス
ク材を得られるという優れた効果がある。
方法により製造されるので、スキージング過剰に起因す
る貫通開口部の変形やスキージング不足に起因するエッ
チングムラのないハーフエッチング加工部を有するマス
ク材を得られるという優れた効果がある。
【図１】（ａ）乃至（ｅ）は、本実施形態に係る印刷用
マスクの製造方法を説明するための概略断面図。
マスクの製造方法を説明するための概略断面図。
【図２】（ａ）乃至（ｄ）は、従来技術の不具合を説明
するための印刷用マスクの概略断面図。
するための印刷用マスクの概略断面図。
【符号の説明】 １ マスク材 ２，２ａ ラミネートフィルム ３ 樹脂 ４ スキージ ５ 貫通開口部（大） ６ 貫通開口部（小） ７ ハーフエッチング加工部
Claims (2)
- 【請求項１】マスク材に所定パターンの貫通開口部を形
成し、該開口部に該開口部内壁保護用樹脂を充填したの
ち、ハーフエッチング加工を行う印刷用マスクの製造方
法において、 上記マスク材の第１の面に表面保護用プラスチックフィ
ルムを貼付する工程と、次いで、該第１の面と反対側の
第２の面を上にして上記開口部に上記樹脂を充填する工
程と、次いで、該第２の面に該フィルムを貼付する工程
と、次いで、該第１の面より該フィルムを除去する工程
と、次いで、該第１の面を加工面としてハーフエッチン
グ加工を行う工程とを含むことを特徴とする印刷用マス
クの製造方法。 - 【請求項２】請求項１の印刷用マスクの製造方法によっ
て製造されたことを特徴とする印刷用マスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00521299A JP4297538B2 (ja) | 1999-01-12 | 1999-01-12 | 印刷用マスクの製造方法及び該方法により製造した印刷用マスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00521299A JP4297538B2 (ja) | 1999-01-12 | 1999-01-12 | 印刷用マスクの製造方法及び該方法により製造した印刷用マスク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000202981A true JP2000202981A (ja) | 2000-07-25 |
| JP4297538B2 JP4297538B2 (ja) | 2009-07-15 |
Family
ID=11604900
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00521299A Expired - Fee Related JP4297538B2 (ja) | 1999-01-12 | 1999-01-12 | 印刷用マスクの製造方法及び該方法により製造した印刷用マスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4297538B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005262692A (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Ricoh Microelectronics Co Ltd | 印刷マスク製造方法 |
| KR101125198B1 (ko) * | 2009-12-14 | 2012-03-19 | 한국조폐공사 | 에칭을 이용한 스크린 인쇄판 및 이의 제조방법 |
| US10196732B2 (en) | 2014-11-24 | 2019-02-05 | Samsung Display Co., Ltd. | Mask assembly for thin film deposition that includes a partially etched area and method of manufacturing the mask assembly |
-
1999
- 1999-01-12 JP JP00521299A patent/JP4297538B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005262692A (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Ricoh Microelectronics Co Ltd | 印刷マスク製造方法 |
| JP4563704B2 (ja) * | 2004-03-19 | 2010-10-13 | リコーマイクロエレクトロニクス株式会社 | 印刷マスク製造方法 |
| KR101125198B1 (ko) * | 2009-12-14 | 2012-03-19 | 한국조폐공사 | 에칭을 이용한 스크린 인쇄판 및 이의 제조방법 |
| US10196732B2 (en) | 2014-11-24 | 2019-02-05 | Samsung Display Co., Ltd. | Mask assembly for thin film deposition that includes a partially etched area and method of manufacturing the mask assembly |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4297538B2 (ja) | 2009-07-15 |
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