JPH09232720A - 印刷用マスク及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】印刷品質の向上、マスク寿命の増加、製作所要
工数の減少等を可能としたプラスチック板を備えた印刷
用マスク及びその製造方法を提供する。 【解決手段】マスク版材料としてプラスチック板を用い
た印刷用マスクに関する。プラスチック板にパターン状
の貫通開口部が形成されたマスク版４′がマスク枠１に
直接貼り合わされていることを特徴とする。マスク版
４′がマスク枠１に直接貼り合わされているので、印刷
品質の向上、マスクの長寿命化、製造工数の減少等を達
成することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、マスク版材料とし
てプラスチック板を用いた印刷用マスク及びその製造方
法に関し、特にクリーム半田、インク、接着剤、ペース
ト状の樹脂などのペーストをプリント基板などの被印刷
体上に印刷するのに適した印刷用マスク及びその製造方
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】クリーム半田、インク、接着剤、ペース
ト状の樹脂などのペーストをプリント基板などの被印刷
体上に印刷するためのマスク版としては、金属板にパン
チプレスによりパターン状の貫通開口部を形成したパン
チプレスマスク、金属板にＹＡＧレーザによりパターン
状の貫通開口部を形成したＹＡＧレーザマスク、感光性
樹脂を金属板両面に塗布してレジスト層を形成し、開口
部のパターンを描いたフォトマスクを介して露光し、次
いでレジスト層を現像することにより、開口部パターン
に対応する部分のレジスト層を除去し、それをエッチン
グして金属板にパターン状の貫通開口部を形成したエッ
チングマスク、メッキ母材上にやや厚めの感光性樹脂層
を形成し、開口部パターンを描いたフォトマスクを介し
て露光し、次いで感光性樹脂層を現像することにより、
開口部パターンに対応する部分以外の感光性樹脂層を除
去し、開口部パターンに対応する部分の感光性樹脂層を
残して雌型を作製し、この雌型周囲の面にマスクとして
必要な厚さにメッキ（主にニッケル）を行い、パターン
状の貫通開口部を金属版に形成したアディティブマスク
などのメタルマスクが知られている。また、メタルマス
クの欠点を改良し高精細な微少ピッチの貫通開口部を形
成することができ、被印刷体上に微細なピッチの印刷を
行うことができるマスク版としては、マスク版材料とし
てプラスチック板を用い、プラスチック板にエキシマレ
ーザによりパターン状の貫通開口部を形成したプラスチ
ックマスクが、特開平７−８１０２７号公報により知ら
れている。

【０００３】これらのメタルマスクやプラスチックマス
クは、マスク枠に紗膜を介して貼り合わされて印刷用マ
スクとして用いられる。以下に、このような従来の印刷
用マスクの製法を図１０及び図１２基づいて説明する。

【０００４】図１２（ａ）において、符号１０１はマス
ク枠を示す。マスク枠１０１には一般的にアルミ製の角
パイプが用いられる。このアルミ製のマスク枠１０１の
紗膜が貼り合わされる部分にはアルミとの接着力が強い
塗布剤を塗布しアルミとの接着力が強い被膜１０２を形
成する（図１０（Ｂ）中の工程ａ）。塗布剤としては一
般的にはゴム系接着剤を希釈剤で希釈したものを用い
る。なお、マスク枠１０１の紗膜が貼り合わされる部分
に表面荒らし加工を施し、その上にアルミとの接着力が
強い被膜１０２を形成してもよい。

【０００５】一方、マスク枠１０１に貼り合わされる紗
膜としては、１８０〜２２５メッシュ程度のポリエステ
ル製あるいはナイロン製の紗膜が使用される。そして、
紗膜におけるマスク枠と貼り合わされる部分に、例えば
ポリエステルとの接着力が強い塗布剤を塗布しポリエス
テルとの接着力が強い被膜を形成する。

【０００６】図１２（ｂ）はマスク枠１０１と紗膜１０
３との接着工程を示しており、アルミとの接着力が強い
被膜１０２が形成されたマスク枠１０１とポリエステル
との接着力が強い被膜が形成された紗膜１０３との一方
の接着面又は両方の接着面に、それら双方の被膜に対し
て良好な接着性を示す接着剤、例えばエポキシ系接着剤
を塗布し、紗膜１０３に図中矢印のようにテンションを
かけながらマスク枠１０１に紗膜１０３を貼り付ける。
（図１０（Ｂ）中の工程ｂ）

【０００７】このようにしてマスク枠１０１に紗膜１０
３を貼り付けると、図１２（ｃ）に示すように、マスク
枠１０１の外側に紗膜１０３をテンションをかけるため
に用いた引っ張りしろ部分１０３ａを生じるので、その
引っ張りしろ部分１０３ａをマスク枠１０１の外周に沿
って切除する（図１０（Ｂ）中の工程ｃ）。

【０００８】次に、上記のようにしてマスク枠１０１に
貼り付けられた紗膜１０３にマスク版１０４を貼り付け
る工程を示す。

【０００９】図１２（ｄ）に示すように、印刷用のパタ
ーン状の貫通開口部１０４ａが形成されたマスク版１０
４と紗膜１０３を接着剤を介して貼り合わせた際に、そ
れらの間の接着力を上げるため、先ず、マスク版１０４
の紗膜１０３との接着面にマスク版１０４との接着力が
強い塗布剤を塗布しマスク版１０４との接着力が強い被
膜１０４ｂを形成する（図１０（Ｂ）中の工程ｄ）。塗
布剤としては、例えばゴム系接着剤を希釈剤で希釈した
ものを用いることができる。

【００１０】また、紗膜におけるマスク版１０４との接
着面に、例えばポリエステルとの接着力が強い塗布剤を
塗布しポリエステルとの接着力が強い被膜を形成しても
よい。なお、マスク版１０４と紗膜１０３との接着力を
更に上げるためには、マスク版１０４の紗膜１０３との
接着面に表面荒らし加工を施し、或いは無数の微細穴を
形成し、その上にマスク版１０４との接着力が強い被膜
１０４ｂを形成してもよい。

【００１１】一方、マスク枠１０１に貼った紗膜１０３
には、図１２（ｅ）に示すように、マスク版１０４を貼
り合わせる際の位置合わせ用の中心線１０３ｂを先の尖
った鉛筆で薄く見える程度に書いておく（図１０（Ｂ）
中の工程ｅ）。

【００１２】図１２（ｆ）は、マスク枠１０１に貼った
紗膜１０３にマスク版１０４を貼り合わせる工程を示し
ており、先ず、マーキング工程で付けた中心線１０３ｂ
と紗膜１０３上に置いたマスク版１０４の４辺中央部に
開けられた位置合わせ用穴１０４ｃとを、手作業で位置
合わせを行いテープで仮止めする。

【００１３】次いで、上下を反転させて、マスク版１０
４と紗膜１０３の接着しろ内側に接着剤のはみ出しを防
止するマスキングテープを貼る。そして、マスク版１０
４に重ねた紗膜１０３の上側から接着剤、例えばエポキ
シ系の接着剤を塗布し接着剤が硬化した後にマスキング
テープを剥がす（図１０（Ｂ）中の工程ｆ）。

【００１４】次に、図１２（ｇ）に示すように、マスク
版１０４と紗膜１０３との接着しろ１０５の内側の紗膜
をカットして取り除き開口１０３ｃを形成する（図１０
（Ｂ）中の工程ｇ）。このようにして作製された印刷用
マスクは、図１２（ｇ）および図１１に示すように、マ
スク枠１０１とマスク版１０４との間に紗膜１０３が介
在しており、マスク枠１０１とマスク版１０４とが間接
的に貼り合わされている

【００１５】そして、マスク枠１０１と紗膜１０３との
貼り合わせ部の端部、及びマスク版１０４と紗膜１０３
との貼り合わせ部の端部の境目に剥離防止用の保護テー
プを貼り付けて印刷用マスクが得られる（図１０（Ｂ）
中の工程ｇ）。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うにして作製された印刷用マスクにおいては、紗膜をマ
スク枠に貼り付ける際、紗膜に貼り合わされたマスク版
の平面度を向上させるために、紗膜に外方向の強いテン
ションをかけて紗膜をマスク枠に貼り付けるので、マス
ク版としてプラスチックマスクを用いた場合には、プラ
スチックマスクが伸びて、貫通開口部の被印刷体に対す
る位置精度が悪化しやすいという問題があった。

【００１７】また、従来の印刷用マスクは、貼り合わせ
箇所がマスク枠と紗膜との間、及び紗膜とマスク版との
間の２箇所であるので、マスク版の貫通開口部の目詰ま
りをふせぐため印刷用マスクを繰り返し洗浄すると貼り
合わせ箇所が剥離しやすく、剥離した場合には、マスク
版のゆるみにより貫通開口部の被印刷体に対する位置ズ
レが発生し、印刷品質が悪化したり、印刷用マスクを長
時間にわたって繰り返し使用することができず、印刷用
マスクの寿命が短縮するという問題があった。

【００１８】また、従来の印刷用マスク及びその製造方
法では、マスク版と紗膜との貼り合わせにおいて、接着
剤のはみ出し防止用のマスキングをする作業や、マスク
版と重なった紗膜の切除作業が必要となる。したがって
制作所要工数が増加するという問題があった。

【００１９】また、従来の印刷用マスクの製造において
は、マスク枠と紗膜との貼り合わせ作業及び紗膜とパタ
ーン状の貫通開口部が形成されたマスク版との貼り合わ
せ作業を行うため、マスク版のマスク枠に対する位置ズ
レが発生しやすく、この位置ズレにより貫通開口部の被
印刷体に対する位置ズレが発生し、印刷品質が悪化する
虞があった。さらに、この位置ズレを補正するため、印
刷機で印刷マスクを使用する際の取り付け位置の微調整
が必要となり、印刷段取り工数が増加するという問題が
あった。

【００２０】そこで、本発明の目的は、貫通開口部の被
印刷体に対する位置精度が良好であり、印刷品質の優れ
た印刷を行うことのできる印刷用マスクおよびその製造
方法を提供することにある。また、本発明の目的は、長
期間にわたって繰り返し使用することができる寿命の長
い印刷用マスク及びその製造方法を提供することにあ
る。また、本発明の目的は、製作所要工数の少ない印刷
用マスクおよびその製造方法を提供することにある。ま
た、本発明の目的は、印刷段取り工数が少ない印刷用マ
スクおよびその製造方法を提供することにある。

【００２１】

【課題を解決するための手段】上記目的は、下記の発明
によって達成される。すなわち、第１の発明は、マスク
版材料としてプラスチック板を用いた印刷用マスクにお
いて、前記プラスチック板にパターン状の貫通開口部が
形成されたマスク版がマスク枠に直接貼り合わされてい
ることを特徴とする印刷用マスクである。

【００２２】第２の発明は、第１の発明の印刷用マスク
において、前記マスク版がマスク枠に接着剤により貼り
合わされていることを特徴とする印刷用マスクである。

【００２３】第３の発明は、第２の発明の印刷用マスク
において、前記接着剤がマスク枠の接着に適するマスク
枠側の第１接着剤層、マスク版の接着に適するマスク版
側の第２接着剤層及びこれら第１接着剤層と第２接着剤
層との接着に適する第３接着剤層の３層構造を有してい
ることを特徴とする印刷用マスクである。

【００２４】第４の発明は、第１の発明の印刷用マスク
において、前記マスク枠のマスク版が貼り合わされる部
分に形成されたマスク枠との接着力がマスク版との接着
力より強い被膜、マスク版におけるマスク枠が貼り合わ
される部分に形成されたマスク版との接着力がマスク枠
との接着力より強い被膜、およびそれら双方の被膜に対
してマスク枠とマスク版とを直接貼り合わせる場合と比
べて良好な接着性を示す接着剤によりマスク版がマスク
枠に貼り合わされていることを特徴とする印刷用マスク
である。

【００２５】第５の発明は、第１、２、３または４の発
明の印刷用マスクにおいて、前記マスク版は、エキシマ
レーザによりパターン状の貫通開口部が形成されてなる
マスク版であることを特徴とする印刷用マスクである。

【００２６】第６の発明は、マスク版材料としてプラス
チック板を用いた印刷用マスクの製造方法において、プ
ラスチック板にパターン状の貫通開口部が形成されたマ
スク版をマスク枠に直接貼り合わせることを特徴とする
印刷用マスクの製造方法である。

【００２７】第７の発明は、第６の発明の印刷用マスク
の製造方法において、前記マスク枠側にマスク枠の接着
に適する接着剤を塗布し、マスク版側にマスク版の接着
に適する接着剤を塗布した後、これらの接着剤間にこれ
らの接着剤の接着に適する接着剤を介在させマスク版を
マスク枠に貼り合わせることを特徴とする印刷用マスク
の製造方法である。

【００２８】第８の発明は、第６の発明の印刷用マスク
の製造方法において、前記マスク枠のマスク版が貼り合
わされる部分にマスク枠との接着力がマスク版との接着
力より強い被膜を形成し、マスク版におけるマスク枠が
貼り合わされる部分にマスク版との接着力がマスク枠と
の接着力より強い被膜を形成し、ついでそれら双方の被
膜に対してマスク枠とマスク版とを直接貼り合わせる場
合と比べて良好な接着性を示す接着剤によりマスク版を
マスク枠に貼り合わせることを特徴とする印刷用マスク
の製造方法である。

【００２９】第９の発明は、マスク版材料としてプラス
チック板を用いた印刷用マスクの製造方法において、プ
ラスチック板をマスク枠に直接貼り合わせて印刷用マス
ク作製用部材を作製した後、その部材のプラスチック板
にパターン状の貫通開口部を形成することを特徴とする
印刷用マスクの製造方法である。

【００３０】第１０の発明は、第９の発明の印刷用マス
クの製造方法において、前記マスク枠側にマスク枠の接
着に適する接着剤を塗布し、プラスチック板側にプラス
チックの接着に適する接着剤を塗布した後、これらの接
着剤間にこれらの接着剤の接着に適する接着剤を介在さ
せプラスチック板をマスク枠に貼り合わせることを特徴
とする印刷用マスクの製造方法である。

【００３１】第１１の発明は、第９の発明の印刷用マス
クの製造方法において、前記マスク枠のプラスチック板
が貼り合わされる部分にマスク枠との接着力がマスク版
との接着力より強い被膜を形成し、プラスチック板にお
けるマスク枠が貼り合わされる部分にプラスチック板と
の接着力がマスク枠との接着力より強い被膜を形成し、
ついでそれらの双方の被膜に対してマスク枠とマスク版
とを直接貼り合わせる場合と比べて良好な接着性を示す
接着剤によりプラスチック板をマスク枠に貼り合わせる
ことを特徴とする印刷用マスクの製造方法である。

【００３２】第１２の発明は、第６、７、８、９、１０
または１１の発明の印刷用マスクの製造方法において、
前記パターン状の貫通開口部をエキシマレーザにより形
成することを特徴とする印刷用マスクの製造方法であ
る。

【００３３】第１３の発明は、プラスチック板がマスク
枠に直接貼り合わされていることを特徴とする印刷用マ
スクの作製に用いる部材である。

【００３４】第１４の発明は、第１３の発明の印刷用マ
スクの作製に用いる部材において、前記プラスチック板
がマスク枠に接着剤により直接貼り合わされていること
を特徴とする印刷用マスクの作製に用いる部材である。

【００３５】第１５の発明は、第１４の発明の印刷用マ
スクの作製に用いる部材において、前記接着剤がマスク
枠の接着に適するマスク枠側の第１接着剤層、プラスチ
ック板の接着に適するプラスチック板側の第２接着剤層
およびこれら第１接着剤層と第２接着剤層との接着に適
する第３接着剤層の３層構造を有していることを特徴と
する印刷用マスクの作製に用いる部材である。

【００３６】第１６の発明は、第１３の発明の印刷用マ
スクの作製に用いる部材において、前記マスク枠のマス
ク版が貼り合わされる部分に形成されたマスク枠との接
着力がマスク版との接着力より強い被膜、プラスチック
板におけるマスク枠が貼り合わされる部分に形成された
プラスチック板との接着力がマスク枠との接着力より強
い被膜、およびそれら双方の被膜に対してマスク枠とマ
スク版とを直接貼り合わせる場合と比べて良好な接着性
を示す接着剤によりプラスチック板がマスク枠に貼り合
わされていることを特徴とする印刷用マスクの作製に用
いる部材である。

【００３７】本発明の印刷用マスクは、紗膜を使用せ
ず、プラスチック板にパターン状の貫通開口部が形成さ
れたマスク版がマスク枠に直接貼り合わされているの
で、プラスチック板自身のもつ弾性力でマスク版の平面
度が充分に維持され、マスク版にかかるテンションは紗
膜を使用する場合に比較して小さくてよい。そのため、
マスク版の伸びが軽減され、貫通開口部の被印刷体に対
する位置精度が良好となり、印刷品質のよい印刷を行う
ことができる。また、マスク版にかかるテンションが小
さいので、マスク版の被印刷体に対する密着が良好とな
り、にじみのないペーストなどの印刷パターンが被印刷
体上に形成されるため、ショート、半田ボールなどの発
生が減少し印刷品質のよい印刷を行うことができる。

【００３８】また、本発明の印刷用マスクは、貼り合わ
せ部分がマスク版とマスク枠との間の１箇所であること
により、マスク版の貫通開口部の目詰まりを防ぐため印
刷用マスクを繰り返し洗浄しても、従来の印刷用マスク
に比較して貼り合わせ部の剥離が発生し難くなる。しか
も、従来の印刷用マスクにおける紗膜とマスク版との貼
り合わせしろ（例えば１０〜１５ｍｍ）に比較して、本
発明の印刷用マスクにおいてはマスク版とマスク枠との
貼り合わせしろ（例えば４０ｍｍ）を広く取れ、これに
よっても貼り合わせ部の剥離が発生し難くなる。そのた
め、マスク版のゆるみによる貫通開口部の被印刷体に対
する位置ズレが発生せず、被印刷体に対する位置精度が
良好となり、印刷品質のよい印刷を行うことができる。
また、貼り合わせ箇所が剥離しないことから、印刷用マ
スクを長期間にわたって繰り返し使用することができ、
印刷用マスクの寿命を長くすることができる。

【００３９】本発明の印刷用マスクの製造方法では、紗
膜を使用せずマスク版をマスク枠に直接貼り合わせるの
で、従来の印刷用マスクの製造方法において必要なマス
ク枠と紗膜との接着工程、紗膜とマスク版との接着工
程、紗膜の中央部を除去する工程及び紗膜とマスク版と
の貼り合わせ部への保護テープを貼り合わせる工程が不
要となり、印刷用マスクの製作所要工数を減らすことが
できる。また、紗膜、接着剤などの使用材料の削減によ
り印刷用マスクの製造コストの低減を図ることができ
る。

【００４０】マスク版をマスク枠に直接貼り合わせる方
法としては、マスク版およびマスク枠の双方の材料に対
する接着性に優れた接着剤を用いて貼り合わせる方法、
マスク枠側にマスク枠の材料に対する接着性に優れた接
着剤を塗布し、マスク版側にマスク版の材料に対する接
着性に優れた接着剤を塗布した後、これらの接着剤間に
これらの接着剤の接着に適する接着剤を介在させマスク
枠とマスク版とを貼り合わせる方法、マスク枠のマスク
版が貼り合わされる部分にマスク枠との接着力が強い被
膜を形成し、マスク版におけるマスク枠と貼り合わされ
る部分にマスク版との接着力が強い被膜を形成し、つい
でそれら双方の被膜に対して良好な接着性を示す接着剤
によりマスク枠とマスク版とを貼り合わせる方法などが
好ましい。

【００４１】マスク版とマスク枠との接着強度を上げる
ために、マスク枠の貼り合わせ面を粗面化し、或いはマ
スク版の貼り合わせ面を粗面化し、またはマスク版の貼
り合わせ面に微細穴を形成することができる。

【００４２】更に、本発明の印刷用マスクの製造方法で
は、プラスチック板をマスク枠に直接貼り合わせて印刷
用マスクの作製に用いる部材を作製した後、その部材の
プラスチック板にパターン状の貫通開口部を形成するの
で、従来の印刷用マスクの製造方法におけるような紗膜
とマスク版との貼り合わせによる位置ズレが発生しな
い。従って、貫通開口部の被印刷体に対する位置ズレの
発生がなく、印刷品質の優れた印刷を行うことができ
る。さらに、印刷機で印刷用マスクを使用する際に、位
置ズレを補正するための印刷用マスクの取付位置の微調
整も必要なくなり、印刷段取り工数を少なくすることが
できる。

【００４３】プラスチック板をマスク枠に直接貼り合わ
せる方法としては、プラスチック板およびマスク枠の双
方の材料に対する接着性に優れた接着剤を用いて貼り合
わせる方法、マスク枠側にマスク枠の材料に対する接着
性に優れた接着剤を塗布し、プラスチック板側にプラス
チック板の材料に対する接着性に優れた接着剤を塗布し
た後、これらの接着剤間にこれらの接着剤の接着に適す
る接着剤を介在させマスク枠とプラスチック板とを貼り
合わせる方法、マスク枠のプラスチック板が貼り合わさ
れる部分にマスク枠との接着力が強い被膜を形成し、プ
ラスチック板におけるマスク枠と貼り合わされる部分に
プラスチック板との接着力が強い被膜を形成し、ついで
それら双方の被膜に対して良好な接着性を示す接着剤に
よりマスク枠とプラスチック板とを貼り合わせる方法な
どが好ましい。

【００４４】プラスチック板とマスク枠との接着強度を
上げるために、マスク枠の貼り合わせ面を粗面化し、或
いはプラスチック板の貼り合わせ面を粗面化し、または
プラスチック板の貼り合わせ面に微細穴を形成すること
ができる。

【００４５】また、プラスチック板にパターン状の貫通
開口部を形成する方法としては、エキシマレーザによる
方法が好ましく、それによりプラスチック板に高精細な
微少ピッチの貫通開口部を形成することができ、被印刷
体上に微細なピッチの印刷品質に優れた印刷を行うこと
ができる。

【００４６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は、プラスチック板にパター
ン状の貫通開口部が形成されたマスク版がマスク枠に直
接貼り合わされている印刷用マスクの断面図である。

【００４７】この印刷用マスクは、接着剤２を介してマ
スク版４′がマスク枠１に直接接着されている。接着剤
２は３層構造を有し、マスク枠１側に接着される第１接
着剤２１と、マスク版４′側に接着される第２接着剤２
２と、第１接着剤２１及び第２接着剤２２間を接着する
第３接着剤２３とからなっている。マスク枠１は、マス
ク版４′の上面４ｏ′側に貼り合わされている。なお、
４ｕ′はマスク版４′の下面を示す。

【００４８】このような印刷用マスクを製造するには、
先ず、図２に示すように、アルミ角パイプからなるマス
ク枠１におけるプラスチック板４の貼り合わせ部にゴム
系接着剤をメチルエチルケトンで希釈してハケで塗布し
たのち乾燥させて第１接着剤２１の被膜を形成する（図
１０（Ａ）の工程Ｓ１）。この被膜は、マスク枠１との
接着力がマスク版４′との接着力より強い被膜である。

【００４９】また、プラスチック板４におけるマスク枠
１との貼り合わせ部にゴム系接着剤をメリルエチルケト
ンで希釈してハケで塗布したのち乾燥させて第２接着剤
２２の被膜を形成する（図１０（Ａ）の工程Ｓ２）。こ
の被膜は、マスク版４′との接着力がマスク枠１との接
着力より強い被膜である。さらに、マスク枠１における
第１接着剤２１の被膜面上、及びプラスチック板４にお
ける第２接着剤２２の被膜面上に第３接着剤であるエポ
キシ系接着剤２３を塗布する。この第３接着剤は、前記
双方の被膜に対してマスク枠１とマスク版４′とを直接
貼り合わせる場合と比べて良好な接着性を示す接着剤で
ある。

【００５０】なお、この実施の形態では、アルミ角パイ
プのマスク枠１及びプラスチック板４の接着に適する接
着剤としてゴム系接着剤を使用し、これら接着剤間の接
着に適する接着剤としてエポキシ系接着剤を介在させた
が、その他のマスク枠の接着に適する接着剤、その他の
プラスチック板の接着に適する接着剤、及びその他のこ
れら接着剤間の接着に適する接着剤を適宜用いることが
できる。

【００５１】次に、図３に示すように、プラスチック板
４にテンショナ５でテンションをかけながらプラスチッ
ク板４とマスク枠１とを接着する。接着剤２が硬化した
後、テンショナ５を解除し、マスク枠１の外周からはみ
出したプラスチック板４ｂをカットして除去する（図１
０（Ａ）の工程Ｓ３）。

【００５２】マスク枠１とプラスチック板４との貼り合
わせた部分には、図４及び図５に示すように、保護用の
テープを貼り、貼り合わせ部分を補強してもよい（図１
０（Ａ）の工程Ｓ４）。図４は保護用のテープを貼り合
わせた状態を示す平面図であり、図５はその要部の断面
図である。図４及び図５において、マスク枠１とプラス
チック板４との貼り合わせ部分に保護テープ６を、プラ
スチック板４の下面４ｕのマスク枠１内方からプラスチ
ック板４の端部４ａ、接着剤端部２ｂ、マスク枠１の外
面１ｃ、上面１ｄ、内周面１ｅ、プラスチック板４の上
面４ｏ周縁部の順に貼り付ける。この貼りつける順序は
プラスチック板４の上面周縁部４ｏから上記と逆の順序
で貼りつけてもよい。

【００５３】ついで、マスク枠１に直接貼り合わされた
プラスチック板４にエキシマレーザにより印刷用の貫通
開口部７を形成することによって、図６に示す本発明の
印刷用マスクが得られる。

【００５４】なお、接着剤２による貼り合わせ部分の接
着力が不足する場合には、マスク枠１の貼り合わせ面や
プラスチック板４の貼り合わせ面を粗面化し、或いはプ
ラスチック板４貼り合わせ面に微細穴を形成することが
好ましい。

【００５５】次に本発明の他の実施の形態を説明する。
図７及び図８は、他の実施の形態を示す図であり、マス
ク版４′に折り曲げ加工を施した印刷用マスクの例を示
している。この印刷用マスクでは、マスク枠１とマスク
版４′との接着力を上げるため、テンショナ５での引っ
張りしろ４ｂ′をマスク枠１の外面に沿って折り曲げ、
引っ張りしろ４ｂ′をマスク枠１の外面１ｃに貼り合わ
せることにより、マスク枠１とマスク版４′との接着部
の強度を上げることができる。

【００５６】印刷用マスクはクランパによって印刷機械
に取り付けられ、印刷が行われるが、マスク版４′の引
っ張りしろ４ｂ′をマスク枠１の外面１ｃに貼り合わせ
た印刷用マスクを用いた場合には、図８のようにクラン
パ１０の保持部１１が当接するマスク版４′の引っ張り
しろ４ｂ′部分が多数回の印刷を繰り返し行う間に磨耗
してクランプ精度が低下し貫通開口部の被印刷体に対す
る位置ズレが発生することがある。これを避けるため
に、図９に示すように、クランパ保持部１１が当接する
部分のマスク版４′の引っ張りしろ４ｂ′のみを切り欠
いて切欠き部１２を設けてもよい。このように、切欠き
部１２を設けることにより、マスク版４′の引っ張りし
ろ４ｂ′にクランパ１０が直接接触することがなく、マ
スク版４′の引っ張りしろ４ｂ′部分の磨耗を避けるこ
とができるため、印刷用マスクのクランプ精度が低下す
ることがなく、従って貫通開口部の被印刷体に対する位
置ズレが発生することがない。

【００５７】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の印刷用マスク及びその製造方法によれば、マスク版に
従来ほど強いテンションが加わらないのでマスク版の伸
びの発生を防止することができ、そのため、貫通開口部
の被印刷体に対する位置精度が良好となり、印刷品質の
よい印刷を行うことができる。また、マスク版にかかる
テンションが従来と比べて小さいので、マスク版の被印
刷体に対する密着が良好となり、にじみのないペースト
などの印刷パターンが被印刷体上に形成されるため、シ
ョート、半田ボールなどの発生が減少し印刷品質のよい
印刷を行うことができる。

【００５８】また、本発明の印刷用マスク及びその製造
方法によれば、貼り合わせ部の剥離の発生を従来の印刷
用マスクよりも少なくすることができ、マスク版のゆる
みによる貫通開口部の被印刷体に対する位置ズレの発生
を防止することができる。それにより、被印刷体に対す
る貫通開口部の位置精度が良好となり、印刷品質のよい
印刷を行うことができる。また、貼り合わせ箇所が剥離
しないことから、印刷用マスクを長期間にわたって繰り
返し使用することができ、印刷用マスクの寿命を長くす
ることができる。

【００５９】また、本発明の印刷用マスク及びその製造
方法によれば、従来人手で精度を維持していた工程及び
紗膜に関する工程を共に不要としたので、各工程とも作
業の単純化を図ることができ、印刷用マスクの製作所要
工数を減らすことができる。更には、印刷用マスクを製
造するための材料を削減することができ、印刷用マスク
の製造原価の低減を図ることができる。また、製造工数
の減少によって、新機種立ち上げ期間の短縮を図ること
ができる。

【００６０】また、本発明の印刷用マスク及びその製造
方法によれば、プラスチック板をマスク枠に直接貼り合
わせて印刷用マスクの作製に用いる部材を作製した後、
その部材のプラスチック板にパターン状の貫通開口部を
形成することができるので、従来の印刷用マスクの製造
方法におけるような紗膜とマスク版との貼り合わせによ
る位置ズレが発生しない。従って、貫通開口部の被印刷
体に対する位置ズレの発生がなく、印刷品質の優れた印
刷を行うことができる。さらに、印刷機で印刷用マスク
を使用する際に、位置ズレを補正するための印刷用マス
クの取付位置の微調整も必要なくなり、印刷段取り工数
を少なくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の印刷用マスクの一例を示す概略断面図
である。

【図２】マスク枠にプラスチック板を貼り合わせる様子
を示す分解断面図である。

【図３】マスク枠とプラスチック板とを貼り合わせる様
子を示す断面図である。

【図４】マスク枠とプラスチック板との貼り合わせ部分
に保護テープを貼り合わせた様子を示す平面図である。

【図５】マスク枠とプラスチック板との貼り合わせ部分
に保護テープを貼り合わせた様子を示す断面図である。

【図６】マスク枠に直接貼り合わされたプラスチック板
に印刷用の貫通開口部が形成された本発明の印刷用マス
クを示す平面図である。

【図７】本発明の印刷用マスクの他の例を示す概略断面
図である。

【図８】図７の印刷用マスクをクランパによって保持す
る様子を示す拡大断面図である。

【図９】印刷用マスクをクランパによって保持する他の
形態の様子を示す斜視図である。

【図１０】印刷用マスクの製造工程を示す図であり、
（Ａ）は本発明に係わる印刷マスクの製造工程を示し、
（Ｂ）は従来例の印刷用マスクの製造工程を示す。

【図１１】従来の製法によって作られた印刷用マスクを
示す断面図である。

【図１２】従来の印刷用マスクの製造方法を示す説明図
である。

【符号の説明】

１ マスク枠 ２ 接着剤 ４ プラスチック板 ４′ マスク版 ５ テンショナ ６ 保護テープ ７ 印刷用の貫通開口部

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 マスク版材料としてプラスチック板を用
   いた印刷用マスクにおいて、前記プラスチック板にパタ
   ーン状の貫通開口部が形成されたマスク版がマスク枠に
   直接貼り合わされていることを特徴とする印刷用マス
   ク。
2. 【請求項２】 前記マスク版がマスク枠に接着剤により
   貼り合わされていることを特徴とする請求項１記載の印
   刷用マスク。
3. 【請求項３】 前記接着剤がマスク枠の接着に適するマ
   スク枠側の第１接着剤層、マスク版の接着に適するマス
   ク版側の第２接着剤層及びこれら第１接着剤層と第２接
   着剤層との接着に適する第３接着剤層の３層構造を有し
   ていることを特徴とする請求項２記載の印刷用マスク。
4. 【請求項４】 前記マスク枠のマスク版が貼り合わされ
   る部分に形成されたマスク枠との接着力がマスク版との
   接着力より強い被膜、マスク版におけるマスク枠が貼り
   合わされる部分に形成されたマスク版との接着力がマス
   ク枠との接着力より強い被膜、およびそれら双方の被膜
   に対してマスク枠とマスク版とを直接貼り合わせる場合
   と比べて良好な接着性を示す接着剤によりマスク版がマ
   スク枠に貼り合わされていることを特徴とする請求項１
   記載の印刷用マスク。
5. 【請求項５】 前記マスク版は、エキシマレーザにより
   パターン状の貫通開口部が形成されてなるマスク版であ
   ることを特徴とする請求項１、２、３または４記載の印
   刷用マスク。
6. 【請求項６】 マスク版材料としてプラスチック板を用
   いた印刷用マスクの製造方法において、プラスチック板
   にパターン状の貫通開口部が形成されたマスク版をマス
   ク枠に直接貼り合わせることを特徴とする印刷用マスク
   の製造方法。
7. 【請求項７】 前記マスク枠側にマスク枠の接着に適す
   る接着剤を塗布し、マスク版側にマスク版の接着に適す
   る接着剤を塗布した後、これらの接着剤間にこれらの接
   着剤の接着に適する接着剤を介在させマスク版をマスク
   枠に貼り合わせることを特徴とする請求項６記載の印刷
   用マスクの製造方法。
8. 【請求項８】 前記マスク枠のマスク版が貼り合わされ
   る部分にマスク枠との接着力がマスク版との接着力より
   強い被膜を形成し、マスク版におけるマスク枠が貼り合
   わされる部分にマスク版との接着力がマスク枠との接着
   力より強い被膜を形成し、ついでそれら双方の被膜に対
   してマスク枠とマスク版とを直接貼り合わせる場合と比
   べて良好な接着性を示す接着剤によりマスク版をマスク
   枠に貼り合わせることを特徴とする請求項６記載の印刷
   用マスクの製造方法。
9. 【請求項９】 マスク版材料としてプラスチック板を用
   いた印刷用マスクの製造方法において、プラスチック板
   をマスク枠に直接貼り合わせて印刷用マスク作製用部材
   を作製した後、その部材のプラスチック板にパターン状
   の貫通開口部を形成することを特徴とする印刷用マスク
   の製造方法。
10. 【請求項１０】 前記マスク枠側にマスク枠の接着に適
    する接着剤を塗布し、プラスチック板側にプラスチック
    の接着に適する接着剤を塗布した後、これらの接着剤間
    にこれらの接着剤の接着に適する接着剤を介在させプラ
    スチック板をマスク枠に貼り合わせることを特徴とする
    請求項９記載の印刷用マスクの製造方法。
11. 【請求項１１】 前記マスク枠のプラスチック板が貼り
    合わされる部分にマスク枠との接着力がマスク版との接
    着力より強い被膜を形成し、プラスチック板におけるマ
    スク枠が貼り合わされる部分にプラスチック板との接着
    力がマスク枠との接着力より強い被膜を形成し、ついで
    それらの双方の被膜に対してマスク枠とマスク版とを直
    接貼り合わせる場合と比べて良好な接着性を示す接着剤
    によりプラスチック板をマスク枠に貼り合わせることを
    特徴とする請求項９記載の印刷用マスクの製造方法。
12. 【請求項１２】 パターン状の貫通開口部をエキシマレ
    ーザにより形成することを特徴とする請求項６、７、
    ８、９、１０または１１記載の印刷用マスクの製造方
    法。
13. 【請求項１３】 プラスチック板がマスク枠に直接貼り
    合わされていることを特徴とする印刷用マスクの作製に
    用いる部材。
14. 【請求項１４】 前記プラスチック板がマスク枠に接着
    剤により直接貼り合わされていることを特徴とする請求
    項１３記載の印刷用マスクの作製に用いる部材。
15. 【請求項１５】 前記接着剤がマスク枠の接着に適する
    マスク枠側の第１接着剤層、プラスチック板の接着に適
    するプラスチック板側の第２接着剤層およびこれら第１
    接着剤層と第２接着剤層との接着に適する第３接着剤層
    の３層構造を有していることを特徴とする請求項１４記
    載の印刷用マスクの作製に用いる部材。
16. 【請求項１６】 前記マスク枠のマスク版が貼り合わさ
    れる部分に形成されたマスク枠との接着力がマスク版と
    の接着力より強い被膜、プラスチック板におけるマスク
    枠が貼り合わされる部分に形成されたプラスチック板と
    の接着力がマスク枠との接着力より強い被膜、およびそ
    れら双方の被膜に対してマスク枠とマスク版とを直接貼
    り合わせる場合と比べて良好な接着性を示す接着剤によ
    りプラスチック板がマスク枠に貼り合わされていること
    を特徴とする請求項１３記載の印刷用マスクの作製に用
    いる部材。