JP2000158618A - マスク版製造方法及び版用部材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 マスク枠に固定され、ドリル又はパンチプレ
スにより形成された貫通開口部を有するメタルマスク又
はプラスチックマスクにおける、該貫通開口部の変形
や、該貫通開口部の被印刷体に対する位置ずれを低減す
ることができるマスク版製造方法を提供する。 【解決手段】 直接あるいは薄膜を介してマスク枠１に
マスク材４を固定して版部材１０を作製した後に、この
版部材１０に固定されるマスク材４に対して、パンチプ
レスの各ポンチ１０１を貫通させて複数の貫通開口部か
らなるマスク版を製造するようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、印刷用マスクとし
てメタルマスク又はプラスチックマスクを有するマスク
版を製造するためのマスク版製造方法に係り、詳しく
は、クリーム半田、インク、接着剤、ペースト状樹脂な
どのペーストをプリント基板などの被印刷体上に印刷す
る際に用いるマスク版を製造するためのマスク版製造方
法及び版用部材に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、クリーム半田、インク、接着剤、
ペースト状の樹脂などのペーストをプリント基板などの
被印刷体上に印刷するための印刷用マスクとして、ドリ
ルマスク、パンチプレスマスク、ＹＡＧレーザマスク、
エッチングマスク、アディティブマスクなどのメタルマ
スクが知られている。ドリルマスク、パンチプレスマス
ク、ＹＡＧレーザマスク、エッチングマスクは、それぞ
れ印刷パターン用の複数の貫通開口部がドリル、パンチ
プレス、ＹＡＧレーザ、エッチングによってマスク材と
しての金属板に形成されたものである。アディティブマ
スクは、メッキ母材上に形成された感光性樹脂層が、フ
ォトマスクの開口部パターンに対応して露光・現像され
て雌型となり、この雌型の周囲面に必要な厚さのメッキ
（主にニッケル）が施されて、印刷パターン用の貫通開
口部が形成されたものである。

【０００３】また、近年、メタルマスクの欠点を改良し
高精細な微少ピッチの印刷を行い得る印刷用マスクとし
て、先に本発明者により提案された特開平７−８１０２
７号のプラスチックマスクが公知となっている。このプ
ラスチックマスクは、エキシマレーザによるアブレーシ
ョン等の加工により、マスク材としてのプラスチック板
に印刷パターン用の貫通開口部が形成されたものであ
る。このプラスチックマスクによれば、貫通開口部内壁
と貫通開口部内のペーストとのズリ応力が平坦な内壁性
により低減され、且つ、貫通開口部内壁が撥水性に優れ
ているので、高品質の印刷を行うことができる。

【０００４】従来、これらの印刷用マスクは、ポリエス
テルやナイロン等からなる薄膜を介して、アルミ製の角
パイプ等からなるマスク枠に間接的に固定されて使用さ
れてきた。具体的には、印刷用マスクは、接着剤等によ
ってマスク枠に張架・固定された薄膜と重ね合わされ、
印刷用マスク周縁部と該薄膜との重ね合わせ部分が接着
等により固定され、この重ね合わせ部分よりも内側で該
薄膜が部分的に切除されてマスク版となる。

【０００５】しかしながら、マスク枠とプラスチックマ
スクとの間に薄膜が介在するマスク版においては、該薄
膜のマスク枠方向へのテンション力により、剛性の低い
プラスチックマスクが伸び易い。そして、この伸びによ
り、プラスチックマスクの貫通開口部において、被印刷
体に対する位置ずれ（以下、穴ずれという）や変形を生
じ易くなるという不具合があった。また、薄膜とプラス
チックマスクとの間における固定箇所がマスク版洗浄の
際に剥離し易く、マスク版の寿命が短縮するという不具
合があった。また、プラスチックマスクの固定の際に、
該プラスチックマスクの薄膜に対する位置ずれが生じ易
く、この位置ずれによっても上記穴ずれを生じ易いとい
う不具合があった。更に、印刷工程において上記穴ずれ
を補正するための微調整が必要となり、印刷作業を煩雑
化させるという不具合があった。

【０００６】また、この種のマスク版を製造する工程に
おいては、プラスチックマスクの固定の際に、上記重ね
合わせ部分からの接着剤等のはみ出しを防止するための
マスキング作業や、薄膜の部分的な切除作業が必要にな
ったりして、製造工程数が増加するという不具合があっ
た。

【０００７】そこで、本発明者は、先に特開平９−２３
２７２０号において、印刷パターン用の貫通開口部を有
するプラスチックマスクをマスク枠に直接固定した構成
のマスク版を提案した。このマスク版によれば、マスク
枠とプラスチックマスクとの間に薄膜を設けていないの
で、該薄膜のテンション力により生ずる上記穴ずれや貫
通開口部の変形を解消することができる。更に、薄膜を
設けることによるマスク版の寿命の短縮化や、印刷作業
の煩雑化を解消することができる。

【０００８】また、本発明者は、上記特開平９−２３２
７２０号において、マスク材であるプラスチック板をマ
スク枠に直接固定した後、エキシマレーザにより該プラ
スチック板に印刷パターン用の貫通開口部を形成するマ
スク版製造方法を提案した。このマスク版製造方法によ
れば、プラスチックマスクを薄膜に固定するために必要
となるマスキング作業や該薄膜の切除作業を省略するこ
とができるので、マスク版の製造工程数を低減すること
ができる。また、薄膜を備えないマスク版を製造するの
で、該薄膜のテンション力により生ずる上記穴ずれやプ
ラスチックマスクの貫通開口部の変形を解消することが
できる。また、マスク枠に固定したプラスチック板に対
して印刷パターン用の貫通開口部を形成するので、該貫
通開口部が既に形成されているプラスチックマスクをマ
スク枠に固定する際に生ずる上記穴ずれや貫通開口部の
変形をも解消することができる。更に、プラスチック板
をマスク枠に直接貼り合わせて得た版用部材を大量生産
しておくことで、接着剤の塗布・乾燥工程などの長時間
を要する工程を予め済ませておけるので、発注から納品
までのリードタイムを短縮して生産性を向上させること
がきる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、印刷用マス
クがマスク枠に直接あるいは上記薄膜を介して固定され
る際に伸びたり固定位置ずれしたりするという不具合
は、該印刷用マスクがプラスチックマスクである場合に
限らず、メタルマスクである場合にも生じ得る。また、
エキシマレーザにより印刷パターン用の貫通開口部が形
成されたプラスチックマスクに限らず、パンチプレス等
の他の穴加工手段により該貫通開口部が形成されたプラ
スチックマスクにおいても同様に生じ得る。

【００１０】本発明は、以上の背景に鑑みなされたもの
であり、その目的とするところは、直接あるいは薄膜を
介してマスク枠に固定され、ドリル又はパンチプレスに
より形成された貫通開口部を有するメタルマスク又はプ
ラスチックマスクにおける、該貫通開口部の変形や、該
貫通開口部の被印刷体に対する位置ずれを低減すること
ができるマスク版製造方法及びこの方法に用いられる版
用部材を提供することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１の発明は、印刷用マスクとして印刷パター
ン用の貫通開口部が形成されたメタルマスク又はプラス
チックマスクを有するマスク版を製造するためのマスク
版製造方法において、金属板又はプラスチック板からな
るマスク材を、直接あるいは薄膜を介してマスク枠に固
定した後に、ドリル又はパンチプレスにより該マスク材
に印刷パターン用の貫通開口部を形成することを特徴と
するものである。

【００１２】このマスク版製造方法においては、マスク
材を、直接あるいは薄膜を介してマスク枠に固定してか
ら、ドリル又はパンチプレスにより、該マスク材に印刷
パターン用の貫通開口部を形成する。このため、既に貫
通開口部が形成されているメタルマスク又はプラスチッ
クマスクを、直接あるいは薄膜を介してマスク枠に固定
することにより生ずる該貫通開口部の変形や位置ずれを
解消することができる。また、マスク枠と、該マスク枠
に直接あるいは薄膜を介して固定されたマスク材とから
なる版用部材を大量生産しておくことで、接着剤の塗布
・乾燥工程などの長時間を要する工程を予め済ませてお
くことができる。

【００１３】請求項２の発明は、請求項１のマスク版製
造方法であって、上記マスク材がプラスチック板である
ことを特徴とするものである。

【００１４】このマスク版製造方法においては、既に貫
通開口部が形成されている低剛性のプラスチックマスク
を、直接あるいは薄膜を介してマスク枠に固定する際の
テンション力により生ずる該貫通開口部の変形や、マス
ク固定時に生ずる該貫通開口部の位置ずれを解消するこ
とができる。

【００１５】請求項３の発明は、請求項１又は２のマス
ク版製造方法において、上記マスク材を上記マスク枠に
直接固定することを特徴とするものである。

【００１６】このマスク版製造方法においては、マスク
材とマスク枠との間に薄膜を介在させず、該マスク材を
該マスク枠に直接固定する。

【００１７】請求項４の発明は、複数のドリルを有する
ドリル機構を用意しておき、ドリル軸線方向と直交する
方向における上記マスク材と任意のドリルとの相対位置
を変化させて、該任意のドリルの該マスク材に対する貫
通位置を調整しながら、該任意のドリルにより上記貫通
開口部を形成する請求項１、２又は３のマスク版製造方
法において、各ドリルの先端と、該ドリル機構に装着し
た該マスク材との最大離間距離を、該マスク材が固定さ
れている上記マスク枠の高さよりも大きく変化させ得る
ように、ドリル軸線方向における各ドリル、該マスク材
又は両者の移動範囲を設定することを特徴とするもので
ある。

【００１８】このマスク版製造方法においては、マスク
材に対するドリルの貫通位置を調整することができなか
ったり、マスク材の周縁部に貫通開口部を形成すること
ができなかったりするという不具合を解消することがで
きる。例えば、各ドリルの先端とドリル機構に装着した
マスク材とを、マスク枠の高さよりも大きく離間させる
ことができないと、上記貫通位置を調整する際に、ドリ
ルをマスク枠に引っかけてしまうおそれがある。具体的
な一例としては、マスク枠を水平移動させて該マスク枠
に固定されるマスク材の上記貫通位置を調整する場合に
おいて、ドリル先端の下方を通過させるようにマスク枠
を水平移動させると、該ドリル先端をマスク枠に引っか
けてしまう。このため、水平方向において、任意のドリ
ルをマスク枠の外側に位置させている場合には、該ドリ
ルをマスク枠の内側に位置させることができず、上記貫
通位置を調整することができなくなる。また、全てのド
リルをマスク枠の内側に位置させており、且つ、マスク
枠に直接固定したマスク材の周縁部に貫通開口部を形成
する場合には、マスク枠の水平移動時に、任意のドリル
の周囲にあるドリルをマスク枠に引っかけてしまうおそ
れがある。そして、このようにドリルを引っかけると、
任意のドリルを上記貫通位置の上方に位置させることが
できず、マスク材の周縁部に貫通開口部を形成すること
ができなくなる。このような場合には、マスク材及びマ
スク枠の寸法を大きくして、マスク材の周縁部に貫通開
口部を形成しないようにする必要がある。そこで、この
マスク版製造方法においては、各ドリルの先端と、ドリ
ル機構に装着したマスク材との最大離間距離を、マスク
枠の高さよりも大きく変化させ得るように、ドリル軸線
方向における各ドリル、マスク材又は両者の移動範囲を
設定する。

【００１９】請求項５の発明は、複数のポンチを有する
パンチプレス機構を用意しておき、ポンチ軸線方向と直
交する方向における上記マスク材と任意のポンチとの相
対位置を変化させて、該任意のポンチの該マスク材に対
する貫通位置を調整しながら、該任意のポンチにより上
記貫通開口部を形成する請求項１、２又は３のマスク版
製造方法において、各ポンチの先端と、該パンチプレス
機構に装着した該マスク材との最大離間距離を、該マス
ク材が固定されている上記マスク枠の高さよりも大きく
変化させ得るように、ポンチ軸線方向における各ポン
チ、該マスク材又は両者の移動範囲を設定することを特
徴とするものである。

【００２０】このマスク版製造方法においては、マスク
材に対するポンチの貫通位置を調整することができなか
ったり、マスク材の周縁部に貫通開口部を形成すること
ができなかったりするという不具合を解消することがで
きる。

【００２１】請求項６の発明は、請求項５又は請求項６
のマスク版製造方法において、上記最大離間距離に応じ
て、各ドリル又は各ポンチの軸線方向におけるストロー
ク範囲を調整することを特徴とするものである。

【００２２】このマスク版製造方法においては、各ドリ
ル又は各ポンチをマスク材に対して確実に貫通させるこ
とができる。例えば、マスク載置台、ドリル機構本体、
ポンチ保持部などの設置位置を調整して上記最大離間距
離を変化させた場合、この変化に応じて各ドリルや各ポ
ンチのストローク範囲を変化させないと、各ドリルや各
ポンチの先端をマスク材に到達させることができなくな
るおそれがある。そこで、このマスク版製造方法におい
ては、各ドリル又は各ポンチの先端と、マスク材との最
大離間距離に応じて、各ドリル又は各ポンチの軸線方向
におけるストローク範囲を調整することで、上記先端を
マスク材に確実に到達させるようにしている。

【００２３】請求項７の発明は、マスク版を製造するた
めの版用部材であって、マスク枠と、該マスク枠に直接
あるいは薄膜を介し固定されたマスク材とを備えること
を特徴とするものである。

【００２４】この版用部材は、マスク枠と、該マスク枠
に直接あるいは薄膜を介し固定されたマスク材とを備え
ており、該マスク材に対して印刷パターン用の貫通開口
部形成工程が施されるだけでマスク版となる。このた
め、貫通開口部形成工程の後にマスク材固定工程が施さ
れる必要はなく、マスク材固定時に生ずる貫通開口部の
変形や位置ずれが解消される。また、貫通開口部形成工
程に先立ち、接着剤の塗布・乾燥工程などの長時間を要
する工程が予め施されている。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した印刷用マ
スク版製造方法（以下、マスク版製造方法という）の一
実施形態について説明する。

【００２６】まず、印刷用マスク版（以下、マスク版と
いう）を製造するための版用部材（以下、版部材とい
う）の製法として、間接固定方式の版部材の製法につい
て説明する。図１の各図は間接固定方式の版部材の作製
方法を説明する模式図である。図１（ａ）において、符
号１はマスク枠を示す。マスク枠１には一般的にアルミ
製の角パイプを用いる。このアルミ製のマスク枠１に対
し、薄膜としての紗膜を貼り合わせる部分にはアルミと
の接着力の強い塗布剤を塗布し、この塗布剤によりアル
ミと良好な接着性を発揮させ得る被膜２を形成してお
く。塗布剤には、例えば、ゴム系接着剤を希釈剤で希釈
したものなどを用いる。なお、マスク枠１の紗膜を貼り
合わせる部分に対して、表面荒らし加工を施し、その上
にアルミと良好な接着性を発揮させ得る被膜２を形成し
てもよい。

【００２７】一方、マスク枠１に貼り合わせる紗膜とし
ては、例えば、１８０〜２２５メッシュ程度のポリエス
テル製あるいはナイロン製の紗膜を使用する。そして、
紗膜におけるマスク枠１との貼り合わせ部分に、紗膜の
材質（ポリエステルやナイロン）との接着力の強い塗布
剤を塗布し、該材質と良好な接着性を発揮させ得る被膜
を形成しておく。

【００２８】次いで、マスク枠１と紗膜３とにおける一
方又は両方の被膜に、両被膜に対して良好な接着性を発
揮し得る接着剤、例えばエポキシ系接着剤を塗布し、紗
膜３に図中矢印のようにテンションをかけながら、マス
ク枠１に紗膜３を貼り付ける（図１（ｂ））。

【００２９】このようにしてマスク枠１に紗膜３を貼り
付けると、図１（ｃ）に示すように、紗膜３にテンショ
ンを印加するために用いた引っ張りしろ部分３ａがマス
ク枠１の外側に生じるので、この引っ張りしろ部分３ａ
をマスク枠１の外周に沿って切除する。

【００３０】また一方、図１（ｄ）に示すように、マス
ク材としての金属薄板４ａを用意しておき、この金属薄
板４ａにおける紗膜３との接着面に、金属薄板４ａと良
好な接着性を発揮させ得る塗布剤を塗布し、金属薄板４
ａと良好な接着性を発揮させ得る被膜４ｃを形成してお
く。塗布剤としては、例えばゴム系接着剤を希釈剤で希
釈したものなどを用いる。なお、金属薄板４ａと紗膜３
との接着力を向上させるべく、金属薄板４ａにおける紗
膜３との接着面に表面荒らし加工を施したり、無数の微
細穴を形成したりしてもよい。

【００３１】そして、図１（ｅ）に示すように、金属薄
板４ａと紗膜３とをテープなどで仮止めした後に両者の
上下を反転させ、金属薄板４ａに重ねた紗膜３の上側か
ら例えばエポキシ系の接着剤５などを塗布し、該接着剤
を硬化させて両者を貼り合わせる。

【００３２】最後に、図１（ｆ）に示すように、金属薄
板４ａと紗膜３との接着しろ５の内側の紗膜部分をカッ
トして取り除き、紗膜３に開口部３ｃを形成する。

【００３３】このようにして作製された版部材１０ａ
は、図１（ｆ）に示すように、マスク枠１と金属薄板４
ａとの間に紗膜３が介在しており、マスク枠１に対して
金属薄板４ａが間接的に固定されている。

【００３４】なお、マスク材として金属薄板４ａに代え
て、プラスチック板を使用してもよい。

【００３５】次に、直接固定方式の版部材の製法につい
て説明する。図２は、マスク材としてのプラスチック板
４ｂがマスク枠１に直接固定されている直接固定方式の
版部材１０ｂの概略構成を示す断面図である。図２にお
いて、プラスチック板４ｂは、接着剤６によりマスク枠
１に直接接着されている。接着剤６は３層構造で構成さ
れ、マスク枠１側に接着される第１接着剤６１と、プラ
スチック板４ｂ側に接着される第２接着剤６２と、第１
接着剤６１と第２接着剤６２との間を接着する第３接着
剤６３とからなっている。プラスチック板４ｂの材質と
しては、例えば、ポリイミド、ポリエステル、エポキ
シ、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリエチレンテ
レフタレート（ＰＥＴ）、ポリプロピレン、ポリアセタ
ール、テフロン（登録商標）、ポリフェニレンスルファ
イド（ＰＰＳ）、等が挙げられる。

【００３６】このような直接固定方式の版部材を製造す
るには、先ず、図３に示すように、アルミ角パイプから
なるマスク枠１におけるプラスチック板４ｂの貼り合わ
せ部に対して、例えば、メチルエチルケトンで希釈した
ゴム系接着剤を塗布した後、これを乾燥させて第１接着
剤６１の被膜を形成する。この被膜は、マスク枠１との
接着力がプラスチック板４ｂとの接着力より強い被膜で
ある。

【００３７】そして、プラスチック板４ｂにおけるマス
ク枠１との貼り合わせ部に対して、メリルエチルケトン
で希釈したゴム系接着剤を塗布した後、これを乾燥させ
て第２接着剤６２の被膜を形成する。この被膜は、プラ
スチック板４ｂとの接着力がマスク枠１との接着力より
強い被膜である。

【００３８】次いで、マスク枠１における第１接着剤６
１の被膜面上と、プラスチック板４ｂにおける第２接着
剤６２の被膜面上とに第３接着剤であるエポキシ系接着
剤６３を塗布する。

【００３９】そして、図４に示すように、テンショナー
７によりプラスチック板４ｂにテンションを印加しなが
ら、プラスチック板４ｂとマスク枠１とを貼り合わせ、
接着剤６を硬化させた後、テンショナ５を解除し、マス
ク枠１の外周からはみ出したプラスチック板４ｂをカッ
トして除去する。

【００４０】なお、接着剤６による貼り合わせ部分の接
着力が不足する場合には、マスク枠１の貼り合わせ面や
プラスチック板４ｂの貼り合わせ面を粗面化したり、プ
ラスチック板４ｂの貼り合わせ面に微細穴を形成したり
することが好ましい。

【００４１】本実施形態のマスク版製造方法において
は、以上のようにして作製した、間接固定方式版部材１
０ａや直接固定方式版部材１０ｂのマスク材４に対し
て、ドリル又はパンチプレスにより、印刷パターン用の
貫通開口部を形成する。即ち、マスク材４を、直接ある
いは紗膜３を介してマスク枠１に固定してから、ドリル
又はパンチプレスにより、該マスク材４に印刷パターン
用の貫通開口部を形成する。このため、既に貫通開口部
が形成されているメタルマスク又はプラスチックマスク
を、直接あるいは紗膜４を介してマスク枠１に固定する
ことにより生ずる該貫通開口部の変形や位置ずれを解消
することができる。

【００４２】以上、本実施形態のマスク版製造方法によ
れば、既に印刷パターン用の貫通開口部が形成されてい
るメタルマスク又はプラスチックマスクをマスク枠に固
定することにより生ずる該貫通開口部の変形や位置ずれ
を解消し得るので、製造後のマスク版におけるマスクの
貫通開口部の変形や位置ずれを低減することができる。

【００４３】なお、直接固定方式版部材１０ｂを使用し
た場合には、マスク材４とマスク枠１との間に紗膜３を
設けていないので、紗膜３のテンション力により生ずる
上記貫通開口部の変形や位置ずれを解消することができ
る。また、紗膜３を設けることによるマスク版の寿命の
短縮化や、印刷作業の煩雑化を解消することができる。

【００４４】［実施例］次に、上記実施形態のマスク版
製造方法のより詳細な一例として、実施例のマスク版製
造方法について説明する。図５（ａ）は従来のマスク版
製造装置であるパンチプレスの要部を示す断面図であ
る。図５（ａ）に示すように、このパンチプレスは、そ
れぞれ異なる径に形成された複数のポンチ１０１ａ、１
０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄと、これらポンチに対応す
る複数のダイ部１０２ａ，１０２ｂ、１０２ｃ、１０２
ｄが形成されたダイス１０２とを備えている。また、ワ
ークであるマスク材４をＸ軸方向及びＹ軸方向（図中左
右方向及び前後方向）に平行移動させるワーク移動機構
（図示せず）を備えている。

【００４５】このような構成の従来のパンチプレスで
は、マスク材４に対する穿孔位置や、穿孔に適したポン
チ径、などのデータが支援端末機（図示せず）のソフト
により作成される。そして、このデータに基づいて、ワ
ークとしてのマスク材４をＸＹ方向に動かして任意のポ
ンチ１０１におけるマスク材４に対する穿孔位置を正確
に決めながら、該任意のポンチ１０１を下方に移動させ
るように駆動する。この駆動により、図５（ｂ）に示し
たように、マスク材４にポンチ１０１を貫通させて、マ
スク材４の任意の位置に任意の径の貫通開口部を形成し
た後、該ポンチ１０１を上方に移動させるように駆動し
て元の位置に戻す。

【００４６】以上の動作を繰り返し実施することで、マ
スク材４に複数の貫通開口からなる印刷パターンを短時
間で形成することができる。

【００４７】ところが、本発明に係るマスク版製造方法
のように、マスク枠１に固定されているマスク材４に対
して、上記従来のパンチプレスを用いて印刷パターンを
形成する場合においては、次のような不具合を生ずるお
それがある。即ち、マスク材４に対するポンチ１０１の
穿孔位置を調整することができなかったり、マスク材４
の周縁部に貫通開口部を形成することができなかったり
するおそれがある。例えば、各ポンチ１０１の先端とパ
ンチプレスに搭載したマスク材４とを、マスク枠１の高
さよりも大きく離間させることができないと、図６
（ａ）の断面図に示したように、マスク枠１をポンチ１
０１の先端に引っかけてしまう。このため、マスク枠１
に対してポンチ１０１とダイス１０２との間を通過させ
ることができず、マスク材４に対するポンチ１０１の穿
孔位置を調整することができなくなる。また、仮にマス
ク材４とマスク枠１とを有する版部材１０を搭載してか
らパンチプレスにポンチ１０１を取り付けるなどして、
マスク枠１の枠構造の内側に全てのポンチ１０１を位置
させても、マスク材４の周縁部に対する任意のポンチ１
０１の穿孔位置を調整することはできない。具体的に
は、例えば図６（ｂ）の断面図において、ポンチ１０１
ｄによってマスク材４の周縁部に貫通開口部を形成すべ
く、版部材１０を右方向に移動させると、ポンチ１０１
ａとマスク枠１とを引っかけてしまう。このような引っ
掛かりを回避するためには、マスク材４とマスク枠１と
からなる版部材の寸法を大きくして、マスク材４の周縁
部に貫通開口部を形成しないようにする必要がある。し
かしながら、このように版部材の寸法を大きくすると、
コスト上昇をもたらすばかりでなく、該版部材を印刷装
置のワーク寸法規格に対応させることができなくなるお
それがある。

【００４８】そこで、本実施例のマスク版製造方法にお
いては、次のような構成のパンチプレスを用いること
で、上記不具合の発生を回避している。

【００４９】このパンチプレスは、各ポンチ１０１の駆
動開始位置を上下方向に移動させて、各ポンチ１０１の
先端とダイス１０２との離間距離を調整することができ
る。このため、図７（ａ）から（ｃ）に示すように、こ
の離間距離をマスク枠１の高さよりも大きくするように
調整することで、マスク枠１に対して各ポンチ１０１の
直下を通過させることができる。

【００５０】また、調整した上記離間距離に応じて、各
ポンチ１０１のストローク範囲Ｒを調整することができ
る。これにより、各ポンチ１０１をマスク材４に対して
確実に貫通させることができる。例えば、図７（ｂ）に
示すように上記離間距離を大きくするように変化させた
にも拘わらず、ストローク範囲Ｒを変化させないでいる
と、各ポンチ１０１の先端をマスク材４に到達させるこ
とができなくなる。そこで、本マスク版製造方法におい
ては、各パンチ１０１のストローク範囲Ｒを調整し得る
ようにパンチプレスを構成し、上記離間距離に応じて、
各ポンチ１０１のストローク範囲Ｒを調整することで、
各ポンチ１０１の先端をマスク材４に確実に到達させる
ようにしている。

【００５１】以上、本実施例のマスク版製造方法によれ
ば、マスク材４に対する各ポンチ１０１の穿孔位置を調
整することができなかったり、マスク材４の周縁部に貫
通開口部を形成することができなかったりするという不
具合を解消することができるので、該貫通位置を確実に
調整し、且つ、版部材１０の寸法拡大化を回避すること
ができる。また、各ポンチ１０１をマスク材４に対して
確実に貫通させ得るので、マスク材４に対して印刷パタ
ーンを確実に形成することができる。

【００５２】なお、本実施例において、各ポンチ１０１
がそれぞれ異なる位置で駆動される構成のパンチプレス
を用いるマスク版製造方法について説明したが、各ポン
チ１０１が同一の駆動位置に移動された後に駆動される
ターレット式あるいはリボルバ式のパンチプレスを用い
るマスク版製造方法についても、本発明の適用が可能で
ある。

【００５３】また、各ポンチ１０１の駆動開始位置を上
下方向に移動させて上記離間距離を調整する構成のパン
チプレスについて説明したが、例えば、ダイス１０２や
これを支持する台などを上下方向に移動させて該離間距
離を調整する構成のパンチプレスを用いてもよい。

【００５４】また、複数のポンチを有するパンチプレス
を用いるマスク版製造方法について説明したが、複数の
ドリルを有するドリル機構を用いるマスク版製造方法に
ついても、本発明の適用が可能である。

【００５５】また、マスク枠１に対してポンチやドリル
の直下を通過させる必要が生じたときにのみ、上記離間
距離や上記ストローク範囲を調整させるようにパンチプ
レスやドリル機構を構成してもよい。

【００５６】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、既に貫通開口
部が形成されているメタルマスク又はプラスチックマス
クをマスク枠に固定することにより生ずる該貫通開口部
の変形や位置ずれを解消し得るので、製造後のマスク版
におけるメタルマスク又はプラスチックマスクの貫通開
口部の変形や位置ずれを低減することができるという優
れた効果がある。また、接着剤の塗布・乾燥工程などの
長時間を要する工程を予め済ませておくことができるの
で、発注から納品までのリードタイムを短縮して生産性
を向上させることがきるという優れた効果がある。

【００５７】請求項２の発明によれば、既に貫通開口部
が形成されている低剛性のプラスチックマスクをマスク
枠に固定する際のテンション力により生ずる該貫通開口
部の変形や、マスク固定時に生ずる該貫通開口部の位置
ずれを解消し得るので、製造後のマスク版におけるプラ
スチックマスクの貫通開口部の変形や位置ずれを低減す
ることができるという優れた効果がある。

【００５８】請求項３の発明によれば、マスク材とマス
ク枠との間に薄膜を設けていないので、該薄膜のテンシ
ョン力により生ずる上記貫通開口部の変形や位置ずれを
解消することができるという優れた効果がある。また、
薄膜を設けることによるマスク版の寿命の短縮化や、印
刷作業の煩雑化を解消することができるという優れた効
果がある。

【００５９】請求項４又は５の発明によれば、マスク材
に対するドリル又はポンチの貫通位置を調整し得なかっ
たり、マスク材の周縁部に貫通開口部を形成し得なかっ
たりという不具合を解消することができるので、該貫通
位置を確実に調整し、且つ、マスク枠及びマスク材の寸
法の拡大化を回避することができるという優れた効果が
ある。また、マスク枠及びマスク材の寸法の拡大化を回
避することができるので、版用部材を印刷装置のワーク
寸法規格に対応させることができるという優れた効果が
ある。

【００６０】請求項６の発明によれば、各ドリル又は各
ポンチをマスク材に対して確実に貫通させ得るので、マ
スク材に対して印刷パターンを確実に形成することがで
きるという優れた効果がある。

【００６１】請求項７の発明によれば、マスク材固定時
に生ずる貫通開口部の変形や位置ずれを解消し得るの
で、製造後のマスク版における印刷用マスクの貫通開口
部の変形や位置ずれを低減することができるという優れ
た効果がある。また、接着剤の塗布・乾燥工程などの長
時間を要する工程を予め済ませておくことができるの
で、マスク版の発注から納品までにおけるリードタイム
を短縮して生産性を向上させることがきるという優れた
効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）から（ｆ）はそれぞれ、間接固定方式の
版部材の作製方法を説明する模式図。

【図２】直接固定方式の版部材１０ｂの概略構成を示す
断面図。

【図３】同版部材１０ｂの作製方法を示す断面図。

【図４】同版部材１０ｂの作製方法を示す断面図。

【図５】（ａ）は従来のパンチプレスの要部を示す断面
図。（ｂ）は同パンチプレスのマスク材４に対する穿孔
動作を説明する断面図。

【図６】（ａ）及び（ｂ）は、それぞれポンチ１０１と
マスク枠１との引っ掛かりを説明する断面図。

【図７】図７（ａ）から（ｃ）は、それぞれ実施例に用
いたパンチプレスの要部を版部材１０とともに示す断面
図。

【符号の説明】

１ マスク枠 ２ 被膜 ３ 紗膜 ３ａ 引っ張りしろ ３ｃ 開口部 ４ マスク材 ４ａ 金属薄板 ４ｂ プラスチック板 ５、６ 接着剤 ７ テンショナー １０ 版部材 １０ａ 間接固定方式版部材 １０ｂ 直接固定方式版部材 ６１ 第１接着剤 ６２ 第２接着剤 ６３ 第３接着剤 １００ パンチプレス １０１ ポンチ １０２ ダイス

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ４１Ｎ 1/12 Ｂ４１Ｎ 1/12 1/24 1/24 Ｈ０５Ｋ 3/12 ６１０ Ｈ０５Ｋ 3/12 ６１０Ｐ 3/34 ５０５ 3/34 ５０５Ｄ Ｆターム(参考） 2C035 AA06 FF02 FF17 FF22 FF24 FF25 FF26 2H084 AA00 BB02 BB04 BB08 BB10 BB13 CC10 2H114 AB03 AB04 AB11 AB14 AB17 BA00 DA04 DA55 DA56 DA57 EA02 EA04 EA06 GA11 5E319 BB05 CD29 5E343 AA01 DD03 FF12

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】印刷用マスクとして印刷パターン用の貫通
   開口部が形成されたメタルマスク又はプラスチックマス
   クを有するマスク版を製造するためのマスク版製造方法
   において、金属板又はプラスチック板からなるマスク材
   を、直接あるいは薄膜を介してマスク枠に固定した後
   に、ドリル又はパンチプレスにより該マスク材に印刷パ
   ターン用の貫通開口部を形成することを特徴とするマス
   ク版製造方法。
2. 【請求項２】請求項１のマスク版製造方法であって、上
   記マスク材がプラスチック板であることを特徴とするマ
   スク版製造方法。
3. 【請求項３】請求項１又は２のマスク版製造方法におい
   て、上記マスク材を上記マスク枠に直接固定することを
   特徴とするマスク版製造方法。
4. 【請求項４】互いに径が異なる複数のドリルを有するド
   リル機構を用意しておき、ドリル軸線方向と直交する方
   向における上記マスク材と任意のドリルとの相対位置を
   変化させて、該任意のドリルの該マスク材に対する貫通
   位置を調整しながら、該任意のドリルにより上記貫通開
   口部を形成する請求項１、２又は３のマスク版製造方法
   において、各ドリルの先端と、該ドリル機構に装着した
   該マスク材との最大離間距離を、該マスク材が固定され
   ている上記マスク枠の高さよりも大きく変化させ得るよ
   うに、ドリル軸線方向における各ドリル、該マスク材又
   は両者の移動範囲を設定することを特徴とするマスク版
   製造方法。
5. 【請求項５】互いに径が異なる複数のポンチとダイスと
   を有するパンチプレス機構を用意しておき、ポンチ軸線
   方向と直交する方向における上記マスク材と任意のポン
   チとの相対位置を変化させて、該任意のポンチの該マス
   ク材に対する貫通位置を調整しながら、該任意のポンチ
   により上記貫通開口部を形成する請求項１、２又は３の
   マスク版製造方法において、各ポンチの先端と、該パン
   チプレス機構に装着した該マスク材との最大離間距離
   を、該マスク材が固定されている上記マスク枠の高さよ
   りも大きく変化させ得るように、ポンチ軸線方向におけ
   る各ポンチ、該マスク材又は両者の移動範囲を設定する
   ことを特徴とするマスク版製造方法。
6. 【請求項６】請求項５又は請求項６のマスク版製造方法
   において、上記最大離間距離に応じて、各ドリル又は各
   ポンチの軸線方向におけるストローク範囲を調整するこ
   とを特徴とするマスク版製造方法。
7. 【請求項７】マスク版を製造するための版用部材であっ
   て、マスク枠と、該マスク枠に直接あるいは薄膜を介し
   固定されたマスク材とを備えることを特徴とする版用部
   材。