JP7194491B2 - コンビネーションメタルマスク版及びその製造方法 - Google Patents
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Description
いずれの技術分野においても、メタルマスクには適宜のテンションを付与することが必要となる。しかしながら、直貼りメタルマスク版はメタルマスクを版枠に直接貼り付けるため、メタルマスクに適宜のテンションを付与することが難しい。
これに対して、紗張り枠にメタルマスクをコンビネーションしてメタルマスクにテンションを付与した状態で本枠にメタルマスク自体を貼り付けて不要な部分を切除するという、いわゆる転写法で作製する直貼りメタルマスク版(例えば特許文献1を参照)が存在する。しかしながら、前記転写法は一度コンビネーションメタルマスクを作製してから枠に転写する方法なので、作業工程が煩雑になるという問題がある。よって現在は、適宜のテンションを付与し易いコンビネーションメタルマスク版が主流となっている。
そこで、従来技術として、特許文献2(特開2009-56706)や特許文献3(特開2011-143649)等が存在する。
いずれの先行技術も全長寸法の経時変化の抑制が可能となっている。
しかしながら、特許文献2では、使用するメタルマスクが内部応力が引っ張り応力であるメタルマスクに限定されているので、それ以外のメタルマスク、例えば内部応力がゼロのメタルマスクや、内部応力が圧縮応力であるメタルマスクでは効果が得られないという問題があった。
また、特許文献3では、メタルマスクの板厚が30μm~50μmといった薄物のメタルマスクに限定される技術である。
さらに特許文献2、及び特許文献3のいずれにおいても、全長寸法精度の向上に関する記載がない。前述したように、コンビネーションメタルマスク版は、適宜のテンションを付与しやすいという特徴があるが、その反面、メタルマスクにテンションを付与した際のいわゆる初期伸びにおいて、部分的に異なる寸法変化が発生しやすく、従来技術では寸法変化を抑制して全長寸法精度を向上させることは困難であった。
本発明は、上述のような課題を解決することを目的としたコンビネーションメタルマスク版を提供するものである。
開口部を有する版枠の内寸よりも大きいメタルマスクと、前記メタルマスク外周部と重なるように接合される支持体スクリーンと、前記支持体スクリーンを張設する版枠とから構成されるコンビネーションメタルマスク版において、前記支持体スクリーンの全てのスクリーン幅領域は前記メタルマスクとの接着部であり、前記メタルマスクに覆われるように前記支持体スクリーンの全てのスクリーン幅領域が前記メタルマスクと接着されると共に前記支持体スクリーンを間に挟むよう前記メタルマスクと前記版枠が間接的に貼り付けられている構成である。
請求項1に記載の発明に加えて、前記メタルマスクの外寸が、前記版枠の内寸+10mm以下の構成である。
請求項1、または請求項2に記載の発明に加えて、前記メタルマスクと前記支持体スクリーンの接着部の接着幅が略同一である構成である。
請求項1、または請求項2に記載の発明に加えて、前記メタルマスクと前記支持体スクリーンの接着部の接着幅が部分的に異なる構成である。
開口部を有する版枠の内寸よりも大きいメタルマスクと、前記メタルマスク外周部と重なるように接合される支持体スクリーンと、前記支持体スクリーンを張設する版枠とから構成されるコンビネーションメタルマスク版において、前記メタルマスクを支持体スクリーンに貼り付ける際に、前記支持体スクリーンの全てのスクリーン幅領域が、前記メタルマスクの接着部となって前記メタルマスクに覆われるように前記メタルマスクを貼り付けると同時に、前記支持体スクリーンを間に挟むように前記メタルマスクと前記版枠を間接的に貼り付ける工程を具備する構成である。
(1)支持体スクリーンのスクリーン幅領域を接着部のみとし、実質的にスクリーン紗の幅領域を無くし、さらにメタルマスクを版枠に貼り付けられているコンビネーションメタルマスク版としたので、実用上十分なテンションを得つつ、初期伸びによる寸法変化が少なく、且つ、寸法の経時変化が少ないメタルマスク版を得ることができる。
(2)メタルマスクの材質、厚み、硬度等を問わないため、あらゆるメタルマスク材料を使用することができる。
(3)公知のコンビネーション技術で容易に作製することができる。
(4)スクリーンの幅領域が実質無いので、印刷時にペーストが漏れることがない。また、ペースト漏れを防止するためにスクリーンの部分を感光性樹脂等で目止めする必要がないので、目止め作業という作業工程がなくなり、作業工程の削減に繋がる。
(5)メタルマスクの外寸が版枠の内寸+10mm以下とすることで、支持体スクリーンとメタルマスクを接着する際に、支持体スクリーンとメタルマスクを接着すると同時にメタルマスクと版枠を接着することができる。
(6)接着部の幅を部分的に変えることで、仕上がりテンションを適宜のテンションに調整することができる。
図1は、本発明の一実施例を示す概略平面図、図2は概略断面図である。
先ず、図3、図4で示す従来のコンビネーションメタルマスク版の構造を簡単に説明する。
版枠1に設けられた張設部4、幅領域5、接着部6からなる支持体スクリーン3の接着部6で開口部7を有するメタルマスク2を接着形成したもので、支持体スクリーン3の張設部4と接着部6との間の支持体スクリーン3の幅領域5が存在したものである。
これに対して、本発明に係るコンビネーションメタルマスク版は、メタルマスク2と、前記メタルマスク2外周部と重なるように接合される支持体スクリーン3をコンビネーションする際に、支持体スクリーン3の全てのスクリーン幅領域5が接着部6のみとなるように製造したものである。
また、接着部6の幅に関しては、適宜の幅でよく、特に限定はない。接着部6の幅を部分的に変えることで、仕上がりテンションを適宜のテンションに調整することもできる。
なお、本発明は支持体スクリーン3の全てのスクリーン幅領域5が接着部6のみとならなければ効果が得られないものである。例えば、版枠1が四角形版枠の場合、四辺全ての支持体スクリーン3の幅領域5が接着部6のみとならなければならない。すなわち、四辺のうち一辺が、四辺のうち二辺が、四辺のうち三辺がスクリーン幅領域5が接着部6のみでは本発明の効果は得られないものである。
本発明においては、コンビネーションの製造方法は特に限定されない。よって、作製の際は、公知の様々なコンビネーション方法を使用することができる。換言すれば、本発明は公知のコンビネーション方法を用いて容易に作製することが可能なコンビネーションメタルマスク版である。本発明により、従来のコンビネーション作製方法を使用し、実用上十分なテンションを得つつ、従来の支持体スクリーン3のスクリーン紗の幅領域5を有するコンビネーションメタルマスク版よりも初期伸びによる寸法変化が少なく、且つ、経時的な寸法変化を抑制することが可能なコンビネーションメタルマスク版を提供することが可能となる。
また、メタルマスク2の外寸が版枠1の内寸+10mmよりも大きい場合は、別途メタルマスク2と版枠1を接着材等で固定するのが好ましいが、接着材等で固定することなしに、メタルマスク2と版枠1をテープ等で覆って固定しても良い。
なお、メタルマスク2と版枠1を接着材等で固定してから、さらにテープで覆って固定すればメタルマスク2と版枠1をさらに強固に固定できるので好ましいものである。
枠体は外寸450mm×450mm、内寸390mm×390mmのアルミ鋳物製の版枠を使用し、スクリーンは♯230-45のポリエステルスクリーンを使用した。メタルマスク2は板厚25μmの電鋳法で作製したニッケル製を使用した。メタルマスク2の大きさは従来のコンビネーションメタルマスク版には290mm×290mmを使用し、本発明によるコンビネーションメタルマスク版には395mm×395mmを使用した。接着部6の幅は20mmとした。よって、従来のコンビネーションメタルマスク版のスクリーン幅領域5は50mmとした。また、本発明によるコンビネーションメタルマスク版のメタルマスク2は版枠1の内寸よりも5mm大きいものを使用した。
先ず、従来のコンビネーションメタルマスク版のコンビネーション後の初期寸法変化を述べる。図5は、設計値からの中心原点座標値の変化を示している。パターン中心を原点として、25点測定した結果が示されている。点線で示した大小2つの正方形のうち、小さな正方形の一辺が20μm、大きな正方形の一辺が40μmを示している。測定した結果、いずれのポイントにおいても、設計値に対して大幅に伸びが生じており、最外郭ではいずれも40μm以上の伸びが発生している。また、パターン中心部の延長線上の伸びが最も大きく、いわゆる樽型形状となっている。例えば、初期の寸法伸びを予想してパターン作成時にCAMシステム等で一律の補正値を入れることで、初期寸法精度を向上させるという方法があるが、このような樽型形状であると、一律の補正値では初期寸法精度を向上させることは難しい。
図6はコンビネーション後の図5に示すようなパターン中心部の延長線上のX方向、Y方向の最外郭部間のコンビネーション後からの伸びを示す図である。図のX軸はコンビネーション後からの経過日数を示し、図のY軸はその時の伸び量(%)を示す。測定点は中心座標の延長上の最外郭部である。コンビネーション後、X方向は6日目から、Y方向は8日目から0.005%を超えており、さらに伸び続け、X方向は22日目に0.010%を超え、Y方向は50日目に0.010%近くまで伸びている。
図7は、設計値からの中心原点座標値の変化を示している。パターン中心を原点として、25点測定した結果が記されている。点線で示した大小2つの正方形のうち、小さな正方形の一辺が20μm、大きな正方形の一辺が40μmを示している。測定した結果、いずれのポイントにおいても設計値に対して伸びが抑えられており、最外郭でも20μm以内の伸びで収まっている。また、樽型形状が抑えられているため、パターン作成時にCAMシステム等で一律の補正値を入れれば、さらに初期寸法精度を向上させることが可能である。
次に、本発明によるコンビネーションメタルマスク版の経時の寸法変化を述べる。図8はコンビネーション後の図7に示すようなパターン中心部の延長線上のX方向、Y方向の最外郭部間のコンビネーション後からの伸びを示す図である。図のX軸はコンビネーション後からの経過日数を示し、図のY軸はその時の伸び量(%)を示す。測定点は中心座標の延長上の最外郭部である。コンビネーション後X方向、Y方向共にほとんど伸びが発生しておらず、53日後でも0.006%以下に収まっている。
以上により、本発明によるコンビネーションメタルマスク版によれば、初期伸びによる寸法変化が少なく、且つ、寸法の経時変化が少ないメタルマスク版を提供することができる。
また、コンビネーションサスペンドメタルマスクやコンビネーションスクリーンマスクにも利用することができる。
2・・・・メタルマスク
3・・・・支持体スクリーン
4・・・・張設部
5・・・・幅領域
6・・・・接着部
7・・・・開口部
Claims (5)
- 開口部を有する版枠の内寸よりも大きいメタルマスクと、前記メタルマスク外周部と重なるように接合される支持体スクリーンと、前記支持体スクリーンを張設する版枠とから構成されるコンビネーションメタルマスク版において、前記支持体スクリーンの全てのスクリーン幅領域は前記メタルマスクとの接着部であり、前記メタルマスクに覆われるように前記支持体スクリーンの全てのスクリーン幅領域が前記メタルマスクと接着されると共に前記支持体スクリーンを間に挟むよう前記メタルマスクと前記版枠が間接的に貼り付けられていることを特徴とするコンビネーションメタルマスク版
- 前記メタルマスクの外寸が、前記版枠の内寸+10mm以下であることを特徴とする請求項1に記載のコンビネーションメタルマスク版
- 前記メタルマスクと前記支持体スクリーンの接着部の接着幅が略同一であることを特徴とする請求項1、または請求項2に記載のコンビネーションメタルマスク版
- 前記メタルマスクと前記支持体スクリーンの接着部の接着幅が部分的に異なることを特徴とする請求項1、または請求項2に記載のコンビネーションメタルマスク版
- 開口部を有する版枠の内寸よりも大きいメタルマスクと、前記メタルマスク外周部と重なるように接合される支持体スクリーンと、前記支持体スクリーンを張設する版枠とから構成されるコンビネーションメタルマスク版において、前記メタルマスクを支持体スクリーンに貼り付ける際に、前記支持体スクリーンの全てのスクリーン幅領域が、前記メタルマスクの接着部となって前記メタルマスクに覆われるように前記メタルマスクを貼り付けると同時に、前記支持体スクリーンを間に挟むように前記メタルマスクと前記版枠を間接的に貼り付ける工程を具備することを特徴とするコンビネーションメタルマスク版の製造方法
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