JP3064990B2 - テストバーイン装置およびテストバーイン方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、テストバーイン装
置およびテストバーイン方法に関し、例えば、被検査集
積回路の寿命加速試験を行うＢＴ処理(Bias Temperatur
e)に、被検査集積回路の動作をモニタできるテストバー
インを加えた、テストバーイン装置およびテストバーイ
ン方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、テストバーイン装置およびテスト
バーイン方法は一般に、長時間にわたり、常温／高温な
どの周囲温度条件と電源電圧・ドライブ電圧波形などの
電気的条件とを繰り返し変化させて加え劣化を加速化す
る一方で、被検査集積回路に検査データ列を入力し応答
するデータを定期的に検査して行う。この検査するデー
タは、例えば、被検査集積回路のゲート容量とゲート印
加電圧との関係（Ｃ−Ｖｇ特性ともいう）の不安定性に
関する出力データ列である。なおこの不安定性は、Ｓｉ
Ｏ2 膜中のイオンの移動またはＳｉＯ2 膜中の何らかの
物質の分極などにより、印加電圧の効果が残る状態を表
している。このような特性変化のデータを定期的に検査
して、初期故障を監視しながら被検査集積回路の信頼性
を保証している。

【０００３】図３は、従来例の形態を示すタイミングダ
イアグラムである。以下、本図３を用いて従来例のテス
トバーイン動作の概要を説明する。ここで、説明の便宜
上、被検査集積回路が随時書き込み読み出し記憶回路で
ある場合の例について説明する。

【０００４】図３に於いて、高温槽の温度は常温Ｔａ、
高温テスト時の温度Ｔ１、高温保管時の温度Ｔ２であ
る。例えば、それぞれの温度を２５℃、８５℃、１２５
℃とする。バーイン実施区間１０は、最初のバーイン作
業ロットの作業開始時刻ｔ０で始まり、その作業ロット
の作業終了時刻ｔ１で終了する。また、温度昇降区間Ｋ
０、…、Ｋ３の内、Ｋ０，Ｋ１は例えば温度勾配が２．
４〜２．６℃／分の昇温時間であり、ＴａからＴ１への
昇温時間は約２５分を要する。一方、Ｋ２，Ｋ３は例え
ば温度勾配が−０．７〜−１．５℃／分の降温時間であ
り、Ｔ１からＴａへの降温時間は約４０分を要する。

【０００５】尚、これら昇温時間と降温時間に於いて、
被検査集積回路に印加する電源電圧やドライブ電圧波形
など電気条件は、温度を変化させる前の静止状態（スタ
テイック波形）を維持する。

【０００６】バーイン実施区間１０とバーイン実施区間
１２とは作業ロットが異なり、実行内容はテストバーイ
ン・プログラムにより規定される。バーイン実施区間１
０とバーイン実施区間１２との間はバーイン停止区間１
１であり、バーイン条件を変更したりする段取り作業時
間である。

【０００７】次に、テストバーイン・プログラムによる
実行シーケンスについて概要を説明する。最初のバーイ
ン作業ロットの作業開始時刻ｔ０の直後、テストバーイ
ン装置は、バーインボードに搭載された被検査集積回路
に書き込みと読み出しを行って、テストバーインを実施
するための装置資源と被検査集積回路との接続状態や基
本機能について検査する。

【０００８】次に高温テスト時の温度Ｔ１で被検査集積
回路を電気検査するシーケンスと、更に高温保管時の温
度Ｔ２に於いて、電源のみ印加するかクロック信号（ダ
イナミック波形）を印加して、被検査集積回路の故障を
加速するシーケンスとを一組のシーケンスとして実行す
る。この後、この一組のシーケンスを最大ｎ回繰り返す
か、途中ｎ回に達する前に被検査集積回路の故障収束が
確認された場合は、高温保管時の温度Ｔ２に於ける故障
を加速するシーケンスを省略して、一連のテストバーイ
ン動作を終了する。このとき、被検査集積回路を電気検
査するシーケンスの一回あたりの時間が数十分、被検査
集積回路の故障を加速するシーケンスの一回あたりの時
間が数時間、繰り返し回数が数回から十数回である場合
を考慮する。本条件下では、バーイン実施区間１０の総
時間は数十時間から百数十時間に達することがある。

【０００９】次に、図４を用いてテストバーイン装置の
電気検査を行う動作概要について説明する。図４は、従
来例のテストバーインの構成例を示すブロック図であ
る。なお、図中の文字「省略」は、同一形態の装置の連
続した構成が省略されている旨を表している。中央演算
処理装置１は、テストバーイン・プログラムに沿ってタ
イミング発生装置２とパタン発生装置３とを駆動し、さ
らに、ドライバ装置４、ドライバ・コンパレータ装置
５、バイアス電源装置６を介してバーインボード９に被
検査集積回路を電気検査する信号を送り出す。バーイン
ボード９に実装された被検査集積回路はこの電気検査の
信号によって検査され、また、読み出しを行うシーケン
スはこの検査結果を読み出し読み出したデータを出力す
る。読み出した検査結果のデータは、ドライバ・コンパ
レータ装置５のコンパレータ機能において、期待値デー
タと比較される。

【００１０】このような動作により被検査集積回路の故
障収束を確認しながら一連のテストバーインを終了す
る。ここで、テストバーイン装置は、バーインボード９
に数百個の被検査集積回路を搭載し、更には、数十枚の
バーインボード９を搭載して一括処理することも出来
る。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来例に於いて、テストバーイン装置の故障診断方法
は、テストバーイン中にバイアス電源装置６の電圧値と
過電流状態を監視するのみである。したがって、タイミ
ング発生装置２、パタン発生装置３、ドライバ装置４、
ドライバ・コンパレータ装置５の機能・性能の保証が出
来ず、別途特別な追加の故障診断が必要である。そのた
めにテストバーイン装置の稼働時間を３時間／回以上低
下させる。その理由は、バーイン停止区間１１の時間帯
に於いて特殊なバーインボード、即ち故障診断専用のバ
ーインボード（バーインボード９に故障診断用の特殊な
電気回路を搭載）を用いて故障診断しなければならな
い。したがって、バーイン停止区間１１の時間は、通常
の段取り作業の他に特別な故障診断のために長時間の停
止を強いられる、第１の問題を伴う。

【００１２】また、上記の従来例に於いて、テストバー
イン装置の故障診断で装置の故障が発見されたとき、再
テストバーインを実施するために装置稼働の低下と製品
への過剰なストレスが発生する懸念がある第２の問題を
伴う。その理由は、テストバーインの一回の実行時間
が、数十時間から百数十時間にもおよび装置故障の分析
結果によっては、再テストバーインを実施する必要があ
るからである。

【００１３】さらに、上記の従来例に於いて、テストバ
ーイン装置の故障診断方法は、数十時間から百数十時間
毎に実施したので、装置故障を早期に発見することがで
きない第３の問題を伴う。その理由は、テストバーイン
実行中に装置の故障診断を割り込んで実施すると、テス
トバーイン装置自身と被検査集積回路とが接続状態のま
まである。このために、被検査集積回路に過大な電圧を
印加したりして検査装置自身に破壊を生じさせたり、不
必要なテストパタンなどによって検査装置自身を誤動作
させたりする懸念があるからである。

【００１４】なお、上記の従来例に於いて、テストバー
イン装置の故障診断方法は、テストバーイン装置の装置
自身をバーインボードから切り離すことができない第４
の問題を伴う。その理由は、テストバーイン途中で被検
査集積回路への電圧印加を中断することになり、例え
ば、故障加速によって生じた分極状態が短時間の内に回
復してしまう懸念があるからである。

【００１５】本発明は、検査装置自身の故障診断を効果
的に行って機能、性能の完全な保証を行い、被検査製品
の信頼性、および、故障診断時間を短縮して生産性を向
上した、テストバーイン装置およびテストバーイン方法
を提供することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、本発明のテストバーイン装置は、動作のタイミング
信号を発生するタイミング発生装置（２）と、所定のテ
ストパタンを発生するパタン発生装置（３）と、試験電
圧を出力するドライバ装置（４）と、インピーダンス変
換およびサンプル＆ホールド機能付きの電圧発生器であ
る補助電源装置（７）とを有し、ドライバ装置が出力す
る試験電圧と補助電源装置がサンプル＆ホールドする電
圧とを選択的に印加し、試験を中断することなくテスト
バーイン装置自身の故障の有無を検査可能としたことを
特徴としている。

【００１７】さらに、上記のテストバーイン装置は、試
験電圧が印加された被試験集積回路からの出力電圧と所
定の期待値データとを比較するドライバ・コンパレータ
装置（５）と、所定のテストバーイン・プログラムに沿
ってテストの実行動作を駆動する中央演算処理装置
（１）とを有するとよい。

【００１８】また、テストバーイン装置は、さらに、所
定のバイアス電圧を発生するバイアス電源装置（６）を
有し、このバイアス電圧と試験電圧とを被試験集積回路
が実装されたバーインボード（９）へ印加し、上記のテ
ストを実行するとよい。

【００１９】本発明のテストバーイン方法は、所定のテ
ストパタンに沿って試験電圧を出力する試験電圧印加工
程と、試験殿圧をインピーダンス変換およびサンプル＆
ホールドした補助電源を発生し試験電圧と選択的に切り
替える補助電源印加工程とを有し、テストバーイン実施
区間の温度昇降中に装置の故障診断の実行を可能とした
ことを特徴としている。

【００２０】さらに、上記のテストバーイン方法は、試
験電圧が印加された被試験集積回路からの出力電圧と所
定の期待値データとを比較するドライバ・コンパレータ
工程と、所定のテストバーイン・プログラムに沿ってテ
ストの実行動作を駆動する中央演算処理工程とを有する
とよい。

【００２１】また、テストバーイン方法は、さらに、故
障診断をテストバーイン実施区間の複数の温度昇降中に
時分割で行う時分割故障診断実行工程を有するとよい。

【００２２】なお、上記の補助電源印加工程は、この工
程を実行するテストバーイン装置の一部をバーインボー
ドから切り離すと共に、テストバーイン時にバーインボ
ードに印加していた電圧値と同じ電圧値を補助電源装置
からバーインボードに印加して、故障診断を実行すると
よい。

【００２３】

【発明の実施の形態】次に添付図面を参照して、本発明
によるテストバーイン装置およびテストバーイン方法の
実施の形態を詳細に説明する。図１を参照すると、本発
明のテストバーイン装置およびテストバーイン方法の一
実施形態が示されている。本実施形態のテストバーイン
装置は、被検査集積回路の寿命加速試験を行うＭＯＳ構
造のゲート部分に、電圧を加えながら加熱して強制劣化
させる従来のＢＴ処理に加えて、被検査集積回路の動作
をモニタできる構成を採る。

【００２４】先ず、図１のブロック図を用いて本実施形
態の構成例を説明する。なお、図中の文字「省略」は、
同一形態の連続構成を表している。本実施形態のテスト
バーイン装置は、中央演算処理装置１、タイミング発生
装置２、パタン発生装置３、ドライバ装置４、ドライバ
・コンパレータ装置５、バイアス電源装置６、補助電源
装置７、切替装置８、バーインボード９の各部により構
成される。

【００２５】中央演算処理装置１は、予め設定された所
定のテストバーイン・プログラムに沿って、テストの実
行動作を駆動する中央演算処理装置である。タイミング
発生装置２は、動作のタイミング信号を発生するタイミ
ング発生器である。パタン発生装置３は、予めプログラ
ムされた所定のテストパタンを発生するパターン発生器
である。ドライバ装置４は、被検査集積回路へ印加する
ための試験電圧を発生して出力する装置である。ドライ
バ・コンパレータ装置５は、ドライバ装置４が出力する
試験電圧が印加された被試験集積回路からの出力電圧
と、所定の期待値データとを比較する比較器である。

【００２６】バイアス電源装置６は、所定のバイアス電
圧を発生して出力するバイアス電源装置として構成され
る。補助電源装置７は、インピーダンス変換およびサン
プル＆ホールド機能付きの電圧発生装置であり、例え
ば、ドライバ装置の出力する試験電圧をサンプル＆ホー
ルドして模擬的な試験電圧を出力する補助電源装置であ
る。切替装置８は、被試験集積回路へ印加する電源ライ
ンの接続形態を切り替え変更する切替装置である。本切
替装置の構成は、より詳細な構成例が図２に示されてい
る。バーインボード９は、被試験集積回路を実装した被
試験ボードであり、バイアス電圧と試験電圧とが印加さ
れ、テストが実行される。

【００２７】上記構成部の中央演算処理装置１は、テス
トバーイン・プログラムに沿ってタイミング発生装置２
とパタン発生装置３を駆動し、ドライバ装置４、ドライ
バ・コンパレータ装置５、バイアス電源装置６、補助電
源装置７、切替装置８を介して、バーインボード９に被
検査集積回路を電気検査する信号を送り出す。なお、補
助電源装置７は、既述の通り、インピーダンス変換およ
びサンプル＆ホールド機能付きの電圧発生装置であり、
増幅率は１倍である。

【００２８】バーインボード９に実装された被検査集積
回路は、切替装置８を介して出力された電気検査の信号
により、状態の読み出しが行われる。シーケンスでは、
所定の条件下での連続した読み出しデータが出力され、
取得される。この読み出しデータは、切替装置８を介し
て、ドライバ・コンパレータ装置５のコンパレータ機能
により期待値データと比較される。この動作により、被
検査集積回路の故障収束を確認しながら一連のテストバ
ーインを終了する。

【００２９】図２は、切替装置８のより具体的な構成例
を示すブロック図である。本具体例の切替装置８は、４
個のスイッチ８１、８２、８３、８４により構成され
る。本構成の切替装置８の入力端子はドライバ装置４又
はドライバ・コンパレータ装置５へ接続される。入力端
子は、さらに並列に、スイッチ８４を介して基準コンパ
レータへ接続される。入力端子と出力端子間にはスイッ
チ８１が直列に接続され、出力端子はバーインボード９
へ接続される。スイッチ８１には、両端間にスイッチ８
２、８３を介した補助電源装置７が、並列に接続され
る。

【００３０】次に、本発明の実施の形態の構成例を図２
のブロック図および図３を用いて詳細に説明する。図２
および図３に於いて、最初のバーイン作業ロットの作業
開始時刻ｔ０の直後は、スイッチ８１は接続状態（以
降、ＯＮともいう）、スイッチ８２、スイッチ８３、ス
イッチ８４は解放状態（以降、ＯＦＦともいう）であ
る。テストバーイン装置は、バーインボードに搭載され
た被検査集積回路に書き込みと読み出しとを行って、テ
ストバーインを実施する。このための装置資源と被検査
集積回路との接続状態や基本機能について検査する。

【００３１】次に高温テスト時の温度で被検査集積回路
を電気検査するシーケンスと、更に高温保管時の温度Ｔ
２に於いて、電源のみ印加するかクロック信号を印加し
て、被検査集積回路の故障を加速するシーケンスとを、
一組のシーケンスとして実行する。このため、昇温時間
Ｋ０とＫ１と降温時間Ｋ３とＫ４に於いて、ドライバ装
置の故障診断を割り込み実施する。以下、その実施の手
順を詳細に説明する。

【００３２】例えば、複数のドライバ装置４の内の一つ
のドライバ装置はスイッチ８１がＯＮであるので、これ
を故障診断するためにバーインボード９から引き離した
い。しかし、電圧印加を中断すると故障加速によって生
じた被検査集積回路の分極状態が回復する可能性があ
る。このため、被検査集積回路への電圧印加を中断でき
ない。ここで中央演算処理装置１は、テストバーイン・
プログラムの処理を一時中断したまま、故障診断プログ
ラムを起動する。補助電源装置７は、インピーダンス変
換およびサンプル＆ホールド機能付きの、増幅率１倍の
電圧発生装置である。この条件において、スイッチ８
２、スイッチ８３をＯＮすると、バーインボード９には
スイッチ８１とスイッチ８３とから同電位の電圧が印加
される。続いてスイッチ８１、スイッチ８２をＯＦＦ
し、スイッチ８４をＯＮする。

【００３３】この状態で、ドライバ装置４からの被検査
集積回路への直接の電圧印加は中断されるが、補助電源
装置７が被検査集積回路に継続して電圧を印加し続け
る。

【００３４】一方、スイッチ８４をＯＮしたので、ドラ
イバ装置４と図示しない基準コンパレータとは接続状態
になる。ここで中央演算処理装置１は、故障診断プログ
ラムのシーケンスにしたがって点検を実施する。該当す
るドライバ装置４の故障診断が終わった場合に、バーイ
ンボード９から補助電源装置７を引き離して、バーイン
ボード９にドライバ装置４を再接続する手順は以下の通
りである。先ず、中央演算処理装置１は、該当するドラ
イバ装置４の出力状態を故障診断前の状態に戻した（状
態復帰）あと、スイッチ８４をＯＦＦ、続いてスイッチ
８１をＯＮ、さらにスイッチ８３をＯＦＦする。この状
態までに該当するドライバ装置４の故障診断は完了す
る。

【００３５】このように、複数のドライバ装置４の内の
一つのドライバ装置の故障診断は数十秒で完了する。し
たがって、例えば、ＴａからＴ１への昇温時間に約２５
分を要するので、シリアルの手続きで自己診断した場合
には、数十個のドライバ装置の故障診断が可能である。
こうして被検査集積回路のテストバーインを実施しなが
ら、昇温時間Ｋ０とＫ１と降温時間Ｋ３とＫ４に於い
て、装置の故障診断を時分割で割り込んで、さらに故障
診断する対象の装置資源をスイッチで切り替えて時分割
で実施する。

【００３６】次に、本発明の実施形態の具体例について
図面を参照して詳細に説明する。 ＜第１の具体例＞図２に於ける切替装置８の各スイッチ
８１、８２、８３、８４を、リードスイッチもしくはア
ナログスイッチで構成する。

【００３７】＜第２の具体例＞補助電源装置７を、演算
増幅器によるインピーダンス変換回路（ボルテージフォ
ロワ）とサンプル＆ホールド回路を用いて構成する。も
しくは、アナログ／デジタル変換器とデジタル／アナロ
グ変換器を用いて構成する。

【００３８】＜第３の具体例＞基準コンパレータを、そ
れ自身専用に設けるか、あるいはドライバ・コンパレー
タ装置５のコンパレータ装置を代用する。

【００３９】＜第４の具体例＞中央演算処理装置１を、
マルチ・タスクの機能を有して構成し、被検査集積回路
のテストバーインを実行するテストバーイン・プログラ
ムと装置の故障診断を実行する故障診断プログラムと
を、同時もしくは時分割に実行する。且つ、昇温時間Ｋ
０とＫ１と降温時間Ｋ２とＫ３に於いて、テストバーイ
ン・プログラムを実行するか故障診断プログラムを実行
するか選択できる構成とする。

【００４０】＜第５の具体例＞故障診断後の状態復帰に
於いて、前回実行したテストパタンを故障診断の被検査
集積回路に対して再度実行する。

【００４１】上記の実施形態によれば、装置の故障診断
を効果的に行って機能、性能の完全な保証を行い、テス
トバーイン装置によって製造・検査された製品の信頼性
を向上させる。さらに、故障診断時間を短縮して装置の
生産性を向上させることができる。

【００４２】尚、上述の実施形態は本発明の好適な実施
の一例である。但し、これに限定されるものではなく、
本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変形実施
が可能である。

【００４３】

【発明の効果】以上の説明より明かなように、本発明の
テストバーイン装置およびテストバーイン方法は、動作
のタイミング信号と所定のテストパタンを発生し、試験
電圧を出力し、インピーダンス変換およびサンプル＆ホ
ールド機能により試験電圧に代わる補助電源を発生させ
る。本構成により下記の効果が得られる。

【００４４】第１の効果は、バーイン停止区間１１の時
間帯に於いて故障診断専用のバーインボードを用いて故
障診断する必要がなくなり、段取り作業時間を短縮でき
るので装置の稼働時間を向上して、生産性を向上するこ
とが出来ることである。その理由はテストバーイン実施
区間の温度昇降中に装置の故障診断を行うことが出来る
からである。

【００４５】第２の効果は、装置不稼働時間を低減する
と共に製品へのストレスを未然に防止することが出来る
ことである。その理由は、故障診断をテストバーイン実
施区間の複数の温度昇降中に時分割で行って故障の早期
発見ができるからである。

【００４６】第３の効果は、故障診断中に被検査集積回
路を破壊させたり、誤動作させたりすることを未然に防
止することが出来ることである。その理由は故障診断時
に、テストバーイン装置の装置資源の一部（故障診断の
対象の装置資源）をバーインボードから切り離すことが
できるからである。

【００４７】第４の効果は、故障診断中テストバーイン
途中に被検査集積回路への電圧印加を中断することが無
くなり、故障加速状態を維持できることである。その理
由はテストバーイン時にバーインボードに印加していた
電圧値と同じ電圧値を補助電源装置から前記バーインボ
ードに印加することが出来るからである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のテストバーイン装置およびテストバー
イン方法の実施形態を示すブロック図である。

【図２】切替装置の構成例を示すブロック図である。

【図３】従来の実施の形態を示すタイミングダイアグラ
ムである。

【図４】従来のテストバーインの構成例を示すブロック
図である。

【符号の説明】

１ 中央演算処理装置 ２ タイミング発生装置 ３ パタン発生装置 ４ ドライバ装置 ５ ドライバ・コンパレータ装置 ６ バイアス電源装置 ７ 補助電源装置 ８ 切替装置 ９ バーインボード ８１、８２、８３、８４ スイッチ １０、１２ バーイン実施区間 １１ バーイン停止区間 ｔ０、ｔ１、ｔ２、ｔ３ 時刻 Ｋ０、Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３ 温度昇降区間 Ｔａ、Ｔ１、Ｔ２ 設定温度

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 動作のタイミング信号を発生するタイミ
   ング発生装置（２）と、 所定のテストパタンを発生するパタン発生装置（３）
   と、 試験電圧を出力するドライバ装置（４）と、 インピーダンス変換およびサンプル＆ホールド機能付き
   の電圧発生器である補助電源装置（７）とを有し、 前記ドライバ装置が出力する試験電圧と前記補助電源装
   置がサンプル＆ホールドする電圧とを選択的に印加し、
   試験を中断することなくテストバーイン装置自身の故障
   の有無を検査可能としたことを特徴とするテストバーイ
   ン装置。
2. 【請求項２】 前記テストバーイン装置は、さらに、前
   記試験電圧が印加された被試験集積回路からの出力電圧
   と所定の期待値データとを比較するドライバ・コンパレ
   ータ装置（５）と、所定のテストバーイン・プログラム
   に沿ってテストの実行動作を駆動する中央演算処理装置
   （１）とを有することを特徴とする請求項１記載のテス
   トバーイン装置。
3. 【請求項３】 前記テストバーイン装置は、さらに、前
   記所定のバイアス電圧を発生するバイアス電源装置
   （６）を有し、該バイアス電圧と前記試験電圧とが前記
   被試験集積回路が実装されたバーインボード（９）へ印
   加され、前記テストが実行されることを特徴とする請求
   項２記載のテストバーイン装置。
4. 【請求項４】 所定のテストパタンに沿って試験電圧を
   出力する試験電圧印加工程と、 前記試験殿圧をインピーダンス変換およびサンプル＆ホ
   ールドした補助電源を発生し前記試験電圧と選択的に切
   り替える補助電源印加工程とを有し、 テストバーイン実施区間の温度昇降中に装置の故障診断
   の実行を可能としたことを特徴とするテストバーイン方
   法。
5. 【請求項５】 前記テストバーイン方法は、さらに、前
   記試験電圧が印加された被試験集積回路からの出力電圧
   と所定の期待値データとを比較するドライバ・コンパレ
   ータ工程と、所定のテストバーイン・プログラムに沿っ
   てテストの実行動作を駆動する中央演算処理工程とを有
   することを特徴とする請求項４記載のテストバーイン方
   法。
6. 【請求項６】 前記テストバーイン方法は、さらに、前
   記故障診断を前記テストバーイン実施区間の複数の温度
   昇降中に時分割で行う時分割故障診断実行工程を有する
   ことを特徴とする請求項４または５記載のテストバーイ
   ン方法。
7. 【請求項７】 前記補助電源印加工程は、該工程を実行
   するテストバーイン装置の一部をバーインボードから切
   り離すと共に、テストバーイン時にバーインボードに印
   加していた電圧値と同じ電圧値を補助電源装置から前記
   バーインボードに印加して、前記故障診断を実行するこ
   とを特徴とする請求項４から６の何れか１項に記載のテ
   ストバーイン方法。