JPH02196970A - 半導体集積回路の試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は半導体集積回路の試験装置に関し、特に半導体
集積回路の入力端子に対して電圧を印加するドライバ回
路の自己診断方式に関する。

［従来の技術］ 近年、半導体集積回路は、性能向上もさる事ながら、生
産量も飛躍的に増大してきている。これにともなって、
製造設備の一つである半導体集積回路の試験装置（以下
、ＩＣテスターと称す）の使用も増大しているが、高価
であるが故に簡単に増強はできない。

一般にこの種のＩＣテスターは、その性能を維持するた
めに、ある一定期間経過にて装置の自己診断を実施して
おり、本発明では半導体集積回路の入力端子に対して電
圧を印加するドライバ回路の自己診断を効率よく行う方
式に関する。

第６図は、従来のドライバ回路の出力電圧値を自己診断
する場合の方式を示すブロック図であり、１１〜１４は
ドライバ回路、２０は第１ドライバ電圧リファレンス電
Ｒ（以下、第１リファレンス電源と称す）、２１〜２４
は第１ドライバ電圧リファレンス電源を接続するスイッ
チ（以下、第１リファレンス電源スイツチと称す）、３
０は第２ドライバ電圧リファレンス電源（以下、第２リ
ファレンス電源と称す）、３１〜３４は第２ドライバ電
圧リファレンス電源を接続するスイッチ（以下、第２リ
ファレンス電源スイツチと称す）、４１〜４４はドライ
バを出力端子へ接続するスイッチ（以下、ドライバスイ
ッチと称す）、４５〜４８はドライバを出力端子へ接続
するスイッチのドライバ（以下、スイッチドライバと称
す）、５１〜５４はＤＣ計測器を出力端子へ接続するス
イッチ（以下、ＤＣ計測スイッチと称す）、５５〜５８
はＤＣ計測器を出力端子へ接続するスイッチのドライバ
（以下、スイッチドライバと称す）、６１〜６４は試料
であるところの半導体集積回路の端子に接続される出力
端子（以下、出力端子と称すが　７０はＤＣ計測器、８
０はドライバ電圧リファレンス電源選択器（以下、リフ
ァレンス選択器と称す）、９５は出力端子への接続スイ
ッチと制御器（以下、スイッチ制御器と称す）とを表す
。

尚、本発明では説明の便宜上、ドライバ回路のチャネル
数を４回路、ＤＣ計測器のチャネル数を１回路、ドライ
バ電圧リファレンス電源のチャネル数を２回路とする。

従来、ドライバ回路１１〜１４の出力電圧を自己診断す
る場合、例えば、第１チヤネルのドライバ回路１１では
、予めスイッチ制御器９５によりスイッチドライバ４５
を動作させドライバ回路１１の出力が出力端子６１に対
し導通状態にしておき、第１リファレンス電源２０に一
定電圧を印加し、リファレンス選択器８０により第１リ
ファレンス電源スイツチ２１を導通状態に選択し、これ
によりドライバ回路１１はリファレンス電源２０の設定
値に準じた電圧が出力されることにより、出力端子６１
にドライバ回路１１の出力電圧が通電される。

さらにスイッチ制御器９５によりスイッチドライバ５５
を動作させることにより、同様にドライバ回路１１の電
圧がＤＣ計測器７０に通電され、ここでＤＣ計測器７０
により電圧計測を行えば、ドライバ回路１１の発生電圧
値を自己診断でき、残りのドライバ回路１２〜１４につ
いては、ドライバ回路１１の自己診断に継続して、スイ
ッチ制御器９５によりスイッチドライバ５６〜５８をシ
ーケンシャルに動作させる事により、同様にドライバ回
路１２〜１４の電圧がＤＣ計測器７０に通電され、ここ
でＤＣ計測器７０によりシーケンシャルに電圧計測を行
えば、ドライバ回路１２〜１４０発生電圧値を自己診断
てきる。以上のドライバ回路１１〜１４の出力電圧の自
己診断では、ＤＣ計測器７０に各々のドライバを接続す
る手段は、スイッチ制御器９５よりスイッチドライバ５
５〜５８をシーケンシャルに切り換えて実行している。

。 このシーケンシャル切り換え動作は、ＩＣテスターのフ
ァームウェア上の機能であり、−度電源オンした後は、
計測するチャネルを１チヤネルずつスキャンし、全ての
チャネルの試験が終了した後に電源オフしており（以下
、チャネル自動スキャン試験と称す）、試験時間の短縮
に貢献している。

第２図はドライバ回路１１〜１４の自己診断をシーケン
シャルに実施、即ちチャネル自動スキャン試験を利用し
た自己診断の実行状態を示すタイムチャートであり、１
０１はＤＣ計測器７０を出力端子６１に接続している期
間（以下、第１出力端子接続期間と称す）、１０２はＤ
Ｃ計測器７０を出力端子６２に接続している期間（以下
、第２出力端子接続期間と称す）、１０３はＤＣ計測器
７０を出力端子６３に接続している期間（以下、第３出
力端子接続期間と称す）、１０４はＤＣ計測器７０を出
力端子６４に接続している期間（以下、第４出力端子接
続期間と称す）、１０５はＤＣ計測器７０が電圧測定を
実行している期間（以下、ＤＣ計測期間と称す）を示す
。

第２図のタイミング図によれば、スイッチドライバ５５
〜５８を第２図の第１〜第４出力端子接続期間１０１〜
１０４のように動作させ、この時、論理１１　ＨＩＩを
スイッチドライバ５５〜５８各々のドライブ動作期間と
すれは、ドライバ回路ＩＩ〜１４はＤＣ計測器７０にシ
ーケンシャルに１チヤネルずつ接続することとなり、さ
らに、ＤＣ計測器７０にてＤＣ計測期間１０５の論理“
′Ｈ″である期間に電圧計測することにより、ドライバ
回路の自己診断を行っていた。

［発明が解決しようとする問題点］ 上述した従来のＩＣテスター゛　ドライバ回路自己診断
では、例えばＤＣ計測スイッチ５１が短絡していた場合
、ドライバ回路１１の診断では問題ないが、ドライバ回
路１２の診断ではドライバ回路１１と並列に接続となり
、正常な測定ができない。

ＩＣテスターの自己診断では、ドライバ回路１１〜１４
の出力電圧はもとより、スイッチの状態、即ちスイッチ
の短絡や開放についても検出しなければならないが、上
記理由によりできないことになる。

スイッチ状態を検出しようとするならば、ドライバ回路
１１を計測中は、その他のドライバ回路１２〜１４では
、その出力電圧をドライバ回路ｌｌとは異なる電圧にす
ればよく、スイッチ異常時、異なる電圧が低めに設定さ
れていれば、その電圧方向に正常な電圧が引っ張られ低
下するので異常検出が容易に実現できる。しかし、これ
を実現するためには、従来のＩＣテスターでは、自己診
断プログラムを工夫して実行しなければならず、ドライ
バリファレンス電源チャネル選択表に示すように１チヤ
ネルのドライバ回路に対して、１つの試験を行うように
プログラムされる。

（以下、余白） ドラ　バリファレンス チ・ヤ　ル 第７図はドライバ回路出力電圧値自己診断プログラムで
工夫した場合の動作を示すタイムチャート図であり、１
５０は第１出力端子接続期間、１５１はＤＣ計測電源パ
ワーオン時間、１５２はＤＣ計測実行時間、１５３はＤ
Ｃ計測電源パワーオフ時間、】５４は次の出力端子計測
を示す、このタイムチャートによれば、ある一つのドラ
イバ回路出力計測の両側にはＤＣ計測電源パワーオン時
間１５１、およびＤＣ計測電源パワーオフ時間１５３の
動作が入り、ＤＣ計測実行時間１５２、第２図のＤＣ計
測期間１０５のある一つの論理“Ｈ”と同一期間とすれ
ば、ある１チヤネルのドライバ回路を計測する場合、Ｄ
Ｃ計測電源パワーオン時間１５１、ＤＣ計測電源パワー
オフ時間１δ３の期間分、余分に実行時間を要すること
となる。

第６図中ではドライバ回路は４チヤネル分しか図示して
いないが、実際今日のＩＣテスターでは、２５６回路、
あるいは５１２回路と大量に搭載しており、今後更に増
加することが見込まれる。従ってスイッチ状態の検出を
加味した自己診断ては、大幅に時間を要する。例えばＤ
Ｃ計測電源パワーオン時間１５１、およびＤＣ計測電源
パワーオフ時間１５３を各々２ミリ秒と仮定すると、ド
ライバ回路が２５６回路の場合、１回のＤＣスキャンで
約１秒間も無駄となり、計測する電圧値の試験条件を複
数実行するならば、無駄となる時間が１秒の何倍にもな
る。従って、これらの試験を毎日実施し、高価なＩＣテ
スターを多数設置していることから、トータルでの診断
時間が大きくなることは明白である。

上述したように、ドライバ回路の自己診断に於て、診断
時間の短縮を行う、即ちチャネル自動スキャン試験を用
いた自己診断だと、スイッチ状態の不良検出ができず、
従って、きめ細やかな診断とはならず、逆にきめ細やか
な診断を行うと、診断時間の増大となる欠点がある。

［発明の従来技術に対する相違点コ 上述した従来のＩＣテスターのドライバ回路の自己診断
方式に対し、本発明はＩＣテスターのファームウェア上
で実行されるチャネル自動スキャン試験のチャネルを選
択する信号、即ちスイッチドライバの信号によりドライ
バ回路のりファレンス電源を切り換えるドライバ電圧リ
ファレンス電源選択信号反転器（以下、リファレンス反
転器と称す）により、試験実行中のドライバ回路と、非
実行中のドライバ回路にてリファレンス電源を違えると
いう相違点を有する。

［問題点を解決するための手段］ 本発明の要旨は複数のドライバ回路と、該ドライバ回路
のリファレンス電源とを有する半導体集積回路の試験装
置において、自己診断を実行時に、試験実行中のドライ
バ回路のリファレンス電源を、非実行中ドライバ回路の
リファレンス電源に切り換える手段を有することである
。

［実施例コ 第１図は本発明によるドライバ回路の出力電圧値を自己
診断する場合の方式を示すブロック図であり、１〜４は
ドライバ回路リファレンス電源を非実行中のそれと違え
る反転器（以下、リファレンス反転器と称す）、５は通
常の試料測定と自己診断を選択する入力端子（以下、・
モート選択と称す）、１１〜１４はドライバ回路、２０
は第１リファレンス電源、２１〜２４は第１リファレン
ス電源スイツチ、３０は第２リファレンス電源、３１〜
３４は第２リファレンス電源スイツチ、４１〜４４はド
ライバスイッチ、４５〜４８と５５〜５８はスイッチド
ライバ、５１〜５４はＤＣ計測スイッチ、６１〜６４は
出力端子、７０はＤＣ計測器、８０はリファレンス選択
器、９０はスイッチ及びリファレンス反転制御器を表す
。

本発明によるドライバ回路】】〜】４の出力電圧を自己
診断する場合、予めスイッチ及びリファレンス反転制御
器９０によりスイッチドライバ４５〜４８を動作させ、
ドライバスイッチ４１〜４４が接続状態になることによ
り、ドライバ回路１１〜１４の出力がそれぞれ出力端子
６１〜６４に対し導通状態にしておき、第１リファレン
ス電源２０を被計測電圧と異なる値に、第２リファレン
ス電源３０をドライバ回路出力電圧として計測したい値
になるよう印加し、リファレンス選択器８０を第１リフ
ァレンス電源２０が選択されるように設定し、モード選
択５により自己診断モートとなる信号を入力しておく。

またスイッチ及びリファレンス反転制御器９０によりス
イッチドライバ５６〜５８を昇順となるよう１ドライバ
回路ずつシーケンシャルに動作させ、ＤＣ計測スイッチ
５１〜５４を制御すれば、ＤＣ計測器７０にはドライバ
回路１１〜１４が昇順でシーケンシャルに接続される。

さらに、スイッチ及びリファレンス反転制御器９０によ
り、スイッチドライバ５５〜５８を制御する信号に同期
したドライバ回路選択信号をリファレンス反転器にそれ
ぞれシーケンシャルに入力すれば、ドライバ回路出力電
圧を試験時はドライバ回路出力型つとして計測したい値
を印加している第２リファレンス電源が選択され、これ
によりＤＣ計測器７０で計測される電圧値が決定される
。尚、出力電圧を試験していない、その他のドライバ回
路のリファレンス電源は被計測電圧と異なる値を印加し
ている第１リファレンス電源が選択されている。

第２図は自己診断の実行状態を示すタイムチャートであ
り、１０１は第１出力端子接続期間、１０２は第２出力
端子接続期間、１０３は第３出力端子接続期間、１０４
は第４出力端子接続期間、１０５はＤＣ計測期間、１０
６はＤＣ計測器７０の電源がオンされている期間、１０
７は第１リファレンス電源スイツチ２１０制御信号（以
下、スイッチ２１制御と称す）、１０８は第２リファレ
ンス電源スイツチ３１の制御信号（以下、スイッチ３１
制御と称す）、１０９は第１リファレンス電源スイツチ
２２の制御信号（以下、スイッチ２２制御と称す）、１
１０は第２リファレンス電源スイツチ３２の制御信号（
以下、スイッチ３２制御と称す）、１１１は第１リファ
レンス電源スイツチ２３の制御信号（以下、スイッチ２
３制御と称す）、１１２は第２リファレンス電源スイツ
チ３の制御信号（以下、スイッチ３３制御と称す）、１
１３は第１リファレンス電源スイツチ２４の制御信号（
以下、スイッチ２４制御と称す）、１１４は第２リファ
レンス電源スイツチ３４の制御信号（以下、スイッチ３
４制御と称す）、ａはドライバ回路１１！！択期間、ｂ
はドライバ回路１２選択期間、Ｃはドライバ回路１３選
択期間、ｄはドライバ回路１４選択期間、ｅとｇは第１
リファレンス電Ｒ２０がドライバ回路１１に印加されて
いる期間、ｌは第２リファレンス電源３０がドライバ回
路１１に印加されている期間、ｆとｈとＪは第１リファ
レンス電源２０及び第２リファレンス電源３０とドライ
バ回路１１が切断されている期間、ｋ　＝　ｒｘはドラ
イバ回路１１〜１４にそれぞれ対応したＤＣ計測期間を
示す。

第２図により、第１図の動作の詳細を説明するとドライ
バ回路１１〜１４はａ−４ｂ−４ｃ→ｄの準で昇順に選
択される。ドライバ回路１１が選択されるとき、ＤＣ計
測はに期間実行されるが、ドライバ回路１１のリファレ
ンス電源はスイッチ２１制御１０７の論理“ＨＩｔで示
される期間ｅｐｇでは、第１リファレンス電源２ｏが選
択され、スイッチ３１制御１０８の論理“ＨＨて示され
る期間１では、第２リファレンス電源３０が選択される
。

この時、ＤＣ計測期間にと、ドライバ回路１１の第２リ
ファレンス電源選択期間ｌとは、同一のタイミングとな
っている。これらのタイミングにより、シーケンシャル
にドライバ選択期間ａ→ｂ→Ｃ→ｄ自己診断試験を実行
すると、ドライバ回路１２〜１４もドライバ回路１１と
同様に選択された期間のうちＤＣ計測を実行する期間に
おいて、第１リファレンス電源２０と第２リファレンス
電源３０の選択が入れ換わることとなる。

第３図はドライバ回路リファレンス電源チャネル反転器
の回路図であり、２０１はドライバ回路選択信号、２０
２は通常の試料測定と自己診断選択信号（以下、モード
選択信号と称す）、２０３は第１リファレンス電源選択
信号、２０４は第２リファレンス電源選択信号、２０５
は第１リファレンス電源ドライブ信号、２０６は第２リ
ファレンス電源ドライブ信号、３０１〜３０４はインバ
ータ回路、３０５〜３０６はデイレイライン回路、３０
７〜３０８はＳ−Ｒフリップフロップ回路、３０９〜３
１４はアンド回路、３１５〜３１６はオア回路を示す。

第４図は、第３図の回路図に基ずくドライバリファレン
ス電源チャネル反転器の動作を示すタイムチャート図で
あり、２０１はドライバ回路選択信号、４０１はＳ−Ｒ
フリップフロップ３０７のＱ出力、４０２はＳ−Ｒフリ
ップフロップ３０８のＱ出力、２０２はモード選択信号
、２０５は第１リファレンス電源ドライブ信号、２０６
は第２リファレンス電源ドライブ信号、４０３は第１リ
ファレンス電源反転出力期間、４０４は第２リファレン
ス電源反転出力期間を示す。

第３図、第４図によれば、ドライバ回路選択信号２０１
より与えられる論理データの正極性なＳ−Ｒフリツブフ
ロ９プ回路３０７０セット側に、デイレイライン３０６
て遅延させた信号をＳ−Ｒフリップフロップ回路３０８
のセット側に、またインバータ回路３０１で逆極性とし
た信号をＳ−Ｒフリップフロップ回路３０８のリセット
側に、逆極性信号をデイレイライン３０５で遅延させた
信号をＳ−Ｒフリップフロップ回路３０７のりセット側
にそれぞれ入力し、ドライバ回路にリファレンス電源を
印加するための基本タイミング信号４０１及び４０２を
作る。

モード選択信号２０２は通常の試料測定時は論理“Ｌ　
ＩＴ　　自己診断時は論理１（ＨＩＴで与えられ、第１
リファレンス電源選択信号２０３、第２リファレンス電
源選択信号２０４も選択時は論理“Ｈパ　被選択時は論
理“Ｌ゛′で与えられる。ここで、モード選択信号２０
２で与えられる論理データの正極性をアンド回路３０９
，３１０，３１２及び３１３のそれぞれの入力端子に、
インバータ回路３０２で逆極性とした信号をアンド回路
３１１゜３１４のそれぞれの入力端子に与え、第１リフ
ァレンス電源選択信号２０３で与えられる論理データの
正極性をアンド回路３０９，３１１のそれぞれ入力端子
にインバータ回路３０３て逆極性とした信号をアンド回
路３１０の入力端子に与え、第２リファレンス電源選択
信号２０４て与えられる論理データの正極性をアンド回
路３１２，３１４のそれぞれの入力端子に、インバータ
回路３０４で連間極性とした信号をアンド回路３１３の
入力端子に与え、さらにドライバ回路にリファレンス電
源を印加するための基本タイミング信号４０１であるＳ
−Ｒフリップフロップ回路３０７のＱ出力をアンド回路
３１０，３１２に同４０２であるＳ−Ｒフリップフロッ
プ回路３０８のＱ出力をアンド回路３０９，３１３にそ
れぞれ与え論理積を求め、第１アンド回路群３０９〜３
１１のそれぞれの出力をオア回路３１５で論理和を取る
と、第１リファレンス電源反転出力期間４０３が得られ
る第１リファレンス電源ドライバ信号２０５が出力され
、第２アンド回路群３１２〜３１４のそれぞれの出力を
オア回路３１６で論理和を取ると、第２リファレンス電
源反転出力期間４０４が得られる第２リファレンス電源
ドライバ信号２０３が出力される。

従来、本発明による回路は第３図による回路を各ドライ
バチャネル毎に搭載しなくてはならず、従ってこれらを
ＳＳＩ、ＭＳＴの集積回路で構成する制御基板が多数増
加することになり、即ち装置の大型化となり、実現に適
さなかった。近年、ゲートアレイ技術の向上により、前
述の論理波形成生成回路は簡単に構成でき、且つその他
の制御回路共々集積可能となり、従ってＩＣデータを構
成する制御基板の搭載数を削減可能であるため実現でき
る。

第５図は本発明による第２実施例を説明するブロック図
であり、１０はＩＣテスターの制御装置（以下、ＣＰＵ
と称す）、１１〜１４はドライバ回路、１５はＣＰＵ　
　Ｂｕｓ、２０は第１リファレンス電源、２１〜２４は
第１リファレンス電源スイツチ、３０は第２リファレン
ス電源、３１〜３４は第２リファレンス電源スイツチ、
６５〜６８はドライバ出力、８５はリファレンス選択器
を表す。

一般にこの種のＩＣテスターは、コンピュータにより制
御されており、ソフトウェアにより第２図の第１リファ
レンス電源スイツチ２１の制御１０７〜第２リファレン
ス電源スイツチ３４の制御１１４を実行する。

第５図によればＣＰＵｌ０からＣＰＵ　　ＢＵＳ１５に
より、第１リファレンス電源２０と第２リファレンス電
Ｒ３０とリファレンス選択器８５が接続されており、Ｃ
ＰＵｌ０からソフトウェアによるロジカルな処理信号が
ＣＰＵ　　ＢＵＳ１５を経てリファレンス選択器８５に
伝達され、第２図の１０７〜１１４の論理波形生成を実
行することにより、前述の自己診断を実施中のドライバ
回路と、それ以外のドライバ回路では異なる電圧値を印
加して計測する方式が実現する。

［発明の効果コ 以上説明したように、ドライバ回路の自己診断において
、ドライバ回路をＤＣ計測器７０にシーケンシャルに１
チヤネルずつ接続し、出力電圧測定を昇順に実施でき、
且つ計測中のドライバ回路と、非計測中のドライバ回路
では、そのリファレンス電源をそれぞれ違うユニットに
接続可能であり、従って、診断を実施中のドライバ回路
とそれ以外のドライバ回路では、異なる電圧値を印加し
て計測する方式が可能となり、従来の試験時間を維持し
たまま、従来の問題点であるところのドライバ回路周辺
の不具合、例えばドライバスイッチの開放や短絡状態等
が検出できる。

従って、ＩＣテスターの自己診断時間が大幅に短縮され
設備の効率的運用が実現し、半導体集積回路の生産性向
上につながる効果が期待できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるドライバ回路出力電圧値自己診断
方式の第１実施例を示すブロック図、第２図はドライバ
回路出力電圧値自己診断の動作を示すタイムチャート図
、第３図は本発明によるドライバ回路リファレンス電源
チャネル反転器を示す回路図、第４図はドライバリファ
レンス電源チャネル反転器の動作を示すタイムチャート
図、第５図は本発明によるドライバ回路出力電圧値自己
診断方式の第２実施例を示すブロック図、第６図は従来
のドライバ回路出力電圧値自己診断方式を示すブロック
図、第７図はドライバ回路出力電圧値自己診断プログラ
ムで工夫した場合の動作を示すタイムチャート図である
。 １・・・・・・・・第１リファレンス電源反転器、２・
・・・・・・・第２リファレンス電源反転器、３・・・
・・・・・第３リファレンス電源反転器、４・・・・・
・・・第４リファレンス電源反転器、５・・　・・・　
・・・モード選択、 １０・・・・・・・ＣＰＵ、 １１・・・・・・第１ドライバ回路、 １２・・・・・・第２ドライバ回路、 １３・・・・・・第３ドライバ回路、 １４・・・・・・第４ドライバ回路、 １５・・・・・・ＣＰＵ　　ＢＵＳ、 ２０・・・・・・第１リファレンス電源、２１・・・・
第１リファレンス電源第１スイツチ、２２・・・・第１
リファレンス電源第２スイツチ、２３・・・・第１リフ
ァレンス電源第３スイツチ、２４・・・・第１リファレ
ンス電源第４スイツチ、３０・・・・第２リファレンス
電源、 ３１・・・・第２リファレンス電源第１スイツチ、３２
　・　・　・ ３３　φ　・　− ３４・　嗜　・ ４１　・　・　・ ４２　・　・　・ ４３　・　・　φ ４４　・　・　・ ４５　・　・　・ ４６　φ　・　・ ４７　・　壷　φ ４８　・　・　・ ５１　　争　　・　　・ ５２・　・　・ ５３　・　・　・ ５４　・　・　・ ５６　・　・　・ ５６　・　・　・ ５７　・　・　・ ５８　・　・　・ ６１　・　・　・ ・第２リファレンス電源代にスイッチ、・第２リファレ
ンス電源第３スイツチ、・第２リファレンス電源第４ス
イツチ、・第１ドライバスイツチ、 ・第２ドライバスイツチ、 ・第３ドライバスイツチ、 ・第４ドライバスイツチ、 ・第１ドライバ回路スイッチドライバ、・第２ドライバ
回路スイッチドライバ、・第３ドライバ回路スイッチド
ライバ、・第４ドライバ回路スイッチドライバ、・第１
ＤＣ計測スイツチ、 ・第２ＤＣ計測スイツチ、 ・第３ＤＣ計測スイツチ、 ・第４ＤＣ計測スイツチ、 ・第１Ｄｃ計測スイツチドライバ、 ・第２ＤＣ計測スイツチドライバ、 ・第３ＤＣ計測スイツチドライバ、 ・第４ＤＣ計測スイツチドライバ、 ・第１出力端子、 ６２・・・・第２出力端子、 ６３・・・・第３出力端子、 ６４・・・・第４出力端子、 ６５・・・・第１ドライバ出力、 ６６・・・・第２ドライバ出力、 ６７・・・・第３ドライバ出力、 ６８・・・・第４ドライバ出力、 ７０・・・・・・・ＤＣ計測器、 ８０．８５・・・・リファレンス選択器、９０・・・ス
イッチ及びリファレンス反転制御器、９５・・・・スイ
ッチ制御器、 １０１・・・第１出力端子接続期間、 １０２・・・第２出力端子接続期間、 １０３・・・第３出力端子接続期間、 １０４・・・第４出力端子接続期間、 １０５・・・ＤＣ計測期間、 １０６・・・ＤＣ計測器の電源がオンされている期間、 １０７・・・第１リファレンス電源スイツチ２１の制御
、 １０８　φ １０９　・ １１０　・ １１１　　・ １１２　・ 】　１３１ １１４　・ ２０１　　・ ２０２　・ ２０３　◆ ２０４　・ ２０５　・ ２０６　・ ・・第２リファレンス電源スイツチ３１の制御、 ・・第１リファレンス電源スイツチ２２の制御、 ・・第２リファレンス電源スイツチ３２の制御、 ・・第１リファレンス電源スイツチ２３の制御、 ・・第２リファレンス電源スイツチ３３の制御、 ・・第１リファレンス電源スイツチ２４の制御、 ・・第２リファレンス電源スイツチ３４の制御、 ・ドライバ回路選択信号、 ・モード選択信号、 ・第１リファレンス電源選択信号、 ・第２リファレンス電源選択信号、 ・第１リファレンス電源ドライブ信号、・第２リファレ
ンス電源ドライブ信号、３０１〜３０４・・・・・イン
バータ回路、３０５〜３０６・・・・・デイレイライン
回路、３０７・・・・・・・・第１フリップフロップ、
３０８・・・・・・・・第２フリップフロップ、３０９
〜３１１・・・・第１アンド回路群、３１２〜３１４・
φΦφ第２アンド回路群、３１５・・・φ・◆・・第１
オア回路、３１６・・・・・・・・第２オア回路、４０
１・・・・・・・・Ｓ−Ｒフリップフロップ３０７のＱ
出力、 ４０２・・・・・・・・Ｓ−Ｒフリップフロップ３０８
のＱ出力、 ４０３・・・第１リファレンス電源反転出力期間、４０
４・・・第２リファレンス電源反転出力期間、１５０・
・・第１出力端子接続期間、 １５１・・・ＤＣ計測電源パワーオン時間、１５２・・
・ＤＣ計測実行時間、 １５３・・・ＤＣ計測電源パワーオフ時間、１５４・・
・次の出力端子計測、 ａ・・・・・ドライバ回路１１選択期間、ｂ・・・・・
ドライバ回路１２選択朋間、Ｃ・・・・・ドライバ回路
１３選択期間、ｄ・・・・・ドライバ回路１４選択期間
、０９ｇ・・・第１リファレンス電源２０がドライバ回
路１１に印加されている期間、 ｌ・・・・・第２リファレンス電源３０がドライバ回路
１１に印加されている期間、 ｆ、　　ｈ、　　ｊ・・・第１及び第２リファレンス電
源２０．３０とドライバ回路１１ が切断されている期間、 ｋ−ｎ・・・ドライバ回路１１〜１４にそれぞれ対応し
たＤＣ計測期間。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数のドライバ回路と、該ドライバ回路のリファ
   レンス電源とを有する半導体集積回路の試験装置におい
   て、自己診断を実行時に、試験実行中のドライバ回路の
   リファレンス電源を、非実行中ドライバ回路のリファレ
   ンス電源に切り換える手段を有することを特徴とする半
   導体集積回路の試験装置。
2. （２）前記、試験実行中のドライバ回路のリファレンス
   電源を、非実行中のドライバ回路リファレンス電源に切
   り換える手段は、リファレンス反転器をリファレンス選
   択器とリファレンス電源接続スイッチとの間に有する特
   許請求の範囲第１項記載の半導体集積回路の試験装置。
3. （３）前記リファレンス反転器は、ドライバ回路を選択
   する論理データの正極性、逆極性およびそれらの遅延さ
   れた信号を入力とし、リファレンス電源を反転する期間
   を作る第１フリップフロップおよび、第２フリップフロ
   ップを有し、リファレンス電源反転、非反転を選択する
   論理データの正極性、逆極性信号と、第１リファレンス
   電源を選択する論理データの正極性、逆極性信号と、第
   ２リファレンス電源を選択する論理データの正極性、逆
   極性信号と、前記第１フリップフロップ、第２フリップ
   フロップの出力の論理積を作る第１アンド回路群と、第
   ２アンド回路群を有し、第１アンド回路群の論理和によ
   る第１リファレンス電源ドライブ信号を作る第１オア回
   路および、第２アンド回路群の論理和による第２リファ
   レンス電源ドライブ信号を作る第２オア回路を有してな
   る論理波形生成回路を含む特許請求の範囲第２項記載の
   半導体集積回路の試験装置。