JPH07117573B2 - 半導体集積回路の試験装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は半導体集積回路の試験装置に関し、特に半導体
集積回路の入力端子に対して電圧を印加するドライバ回
路の自己診断方式に関する。

［従来の技術］ 近年、半導体集積回路は、性能向上もさる事ながら、生
産量も飛躍的に増大してきている。これにともなって、
製造設備の一つである半導体集積回路の試験装置（以
下、ICテスターと称す）の使用も増大しているが、高価
であるが故に簡単に増強はできない。

一般にこの種のICテスターは、その性能を維持するため
に、ある一定期間経過にて装置の自己診断を実施してお
り、本発明では半導体集積回路の入力端子に対して電圧
を印加するドライバ回路の自己診断を効率よく行う方式
に関する。

第６図は、従来のドライバ回路の出力電圧値を自己判断
する場合の方式を示すブロック図であり、11〜14はドラ
イバ回路、20は第１ドライバ電圧リファレンス電源（以
下、第１リファレンス電源と称す）、21〜24は第１ドラ
イバ電圧リファレンス電源を接続するスイッチ（以下、
第１リファレンス電源スイッチと称す）、30は第２ドラ
イバ電圧リファレンス電源（以下、第２リファレンス電
源と称す）、31〜34は第２ドライバ電圧リファレンス電
源を接続するスイッチ（以下、第２リファレンス電源ス
イッチと称す）、41〜44はドライバを出力端子へ接続す
るスイッチ（以下、ドライバスイッチと称す）、45〜48
はドライバを出力端子へ接続するスイッチのドライバ
（以下、スイッチドライバと称す）、51〜54はDC計測器
を出力端子へ接続するスイッチ（以下、DC計測スイッチ
と称す）、55〜58はDC計測器を出力端子へ接続するスイ
ッチのドライバ（以下、スイッチドライバと称す）、61
〜64は試料であるところの半導体集積回路の端子に接続
される出力端子（以下、出力端子と称す）、70はDC計測
器、80はドライバ電圧リファレンス電源選択器（以下、
リファレンス選択器と称す）、95は出力端子への接続ス
イッチと制御器（以下、スイッチ制御器と称す）とを表
す。

尚、本発明では説明の便宜上、ドライバ回路のチャネル
数を４回路、DC計測器のチャネル数を１回路、ドライバ
電圧リファレンス電源のチャネル数を２回路とする。

従来、ドライバ回路11〜14の出力電圧を自己診断する場
合、例えば、第１チャネルのドライバ回路11では、予め
スイッチ制御器95によりスイッチドライバ45を動作させ
ドライバ回路11の出力が出力端子61に対し導通状態にし
ておき、第１リファレンス電源20に一定電圧を印加し、
リファレンス選択器80により第１リファレンス電源スイ
ッチ21を導通状態に選択し、これによりドライバ回路11
はリファレンス電源20の制定値に準じた電圧が出力され
ることにより、出力端子61にドライバ回路11の出力電圧
が通電される。

さらにスイッチ制御器95によりスイッチドライバ55を動
作させることにより、同様にドライバ回路11の電圧がDC
計測器70の通電され、ここでDC計測器70により電圧計測
を行えば、ドライバ回路11の発生電圧値を自己判断で
き、残りのドライバ回路12〜14については、ドライバ回
路11の自己診断に継続して、スイッチ制御器95によりス
イッチドライバ56〜58をシーケンシャルに動作させる事
により、同様にドライバ回路12〜14の電圧がDC計測器70
に通電され、ここでDC計測器70によりシーケンシャルに
電圧計測を行えば、ドライバ回路12〜14の発生電圧値を
自己診断できる。以上のドライバ回路11〜14の出力電圧
の自己診断では、DC計測器70に各々のドライバを接続す
る手段は、スイッチ制御器95よりスイッチドライバ55〜
58をシーケンシャルに切り換えて実行している。このシ
ーケンシャル切り換え動作は、ICテスターのファームウ
ェア上の機能であり、一度電源オンした後は、計測する
チャネルを１チャネルずつスキャンし、全てのチャネル
の試験が終了した後に電源オフしており（以下、チャネ
ル自動スキャン試験と称す）、試験時間の短縮に貢献し
ている。

第２図はドライバ回路11〜14の自己診断をシーケンシャ
ルに実施、即ちチャネル自動スキャン試験を利用した自
己診断の実行状態を示すタイムチャートであり、101はD
C計測器70を出力端子61に接続している期間（以下、第
１出力端子接続期間と称す）、102はDC計測器70を出力
端子62に接続している期間（以下、第２出力端子接続期
間と称す）、103はDC計測器70を出力端子63に接続して
いる期間（以下、第３出力端子接続期間と称す）、104
はDC計測器70を出力端子64に接続している期間（以下、
第４出力端子接続期間と称す）、105はDC計測器70が電
圧測定を実行している期間（以下、DC計測期間と称す）
を示す。

第２図のタイミング図によれば、スイッチドライバ55〜
58を第２図の第１〜第４出力端子接続期間101〜104のよ
うに動作させ、この時、論理“H"をスイッチドライバ55
〜58各々のドライブ動作期間とすれば、ドライバ回路11
〜14はDC計測器70にシーケンシャルに１チャネルずつ接
続することとなり、さらに、DC計測器70にてDC計測期間
105の論理“H"である期間に電圧計測することにより、
ドライバ回路の自己診断を行っていた。

［発明が解決しようとする問題点］ 上述した従来のICテスター，ドライバ回路自己診断で
は、例えばDC計測スイッチ51が短絡していた場合、ドラ
イバ回路11の診断では問題ないが、ドライバ回路12の診
断ではドライバ回路11と並列に接続となり、正常な測定
ができない。

ICテスターの自己診断では、ドライバ回路11〜14の出力
電圧はもとより、スイッチの状態、即ちスイッチの短絡
や開放についても検出しなければならないが、上記理由
によりできないことになる。

スイッチ状態を検出しようとするならば、ドライバ回路
11を計測中は、その他のドライバ回路12〜14では、その
出力電圧をドライバ回路11とは異なる電圧にすればよ
く、スイッチ異常時、異なる電圧が低めに設定されてい
れば、その電圧方向に正常な電圧が引っ張られ低下する
ので異常検出が容易に実現できる。しかし、これを実現
するためには、従来のICテスターでは、自己診断プログ
ラムを工夫して実行しなければならず、ドライバリファ
レンス電源チャネル選択表に示すように１チャネルのド
ライバ回路に対して、１つの試験を行うようにプログラ
ムされる。

第７図はドライバ回路出力電圧値自己診断プログラムで
工夫した場合の動作を示すタイムチャート図であり、15
0は第１出力端子接続期間、151はDC計測電源パワーオン
時間、152はDC計測実行時間、153はDC計測電源パワーオ
フ時間、154は次の出力端子計測を示す、このタイムチ
ャートによれば、ある一つのドライバ回路出力計測の両
側にはDC計測電源パワーオン時間151、およびDC計測電
源パワーオフ時間153の動作が入り、DC計測実行時間15
2、第２図のDC計測期間105のある一つの論理“H"と同一
期間とすれば、ある１チャネルのドライバ回路を計測す
る場合、DC計測電源パワーオン時間151、DC計測電源パ
ワーオフ時間153の期間分、余分に実行時間を要するこ
ととなる。第６図中ではドライバ回路は４チャネル分し
か図示していないが、実際今日のICテスターでは、256
回路、あるいは512回路と大量に搭載しており、今後更
に増加することが見込まれる。従ってスイッチ状態の検
出を加味した自己診断では、大幅に時間を要する。例え
ばDC計測電源パワーオン時間151、およびDC計測電源パ
ワーオフ時間153を各々２ミリ秒と仮定すると、ドライ
バ回路が256回路の場合、１回のDCスキャンで約１秒間
も無駄となり、計測する電圧値の試験条件を複数実行す
るならば、無駄となる時間が１秒の何倍にもなる。従っ
て、これらの試験を毎日実施し、高価なICテスターを多
数設置していることから、トータルでの診断時間が大き
くなることは明白である。

上述したように、ドライバ回路の自己診断に於て、診断
時間の短縮を行う、即ちチャネル自動スキャン試験を用
いた自己診断だと、スイッチ状態の不良検出ができず、
従って、きめ細やかな診断とはならず、逆にきめ細やか
な診断を行うと、診断時間の増大となる欠点がある。

［発明の従来技術に対する相違点］ 上述した従来のICテスターのドライバ回路の自己診断方
式に対し、本発明はICテスターのファームウェア上で実
行されるチャネル自動スキャン試験のチャネルを選択す
る信号、即ちスイッチドライバの信号によりドライバ回
路のリファレンス電源を切り換えるドライバ電圧リファ
レンス電源選択信号反転器（以下、リファレンス反転器
と称す）により、試験実行中のドライバ回路と、非実行
中のドライバ回路にてリファレンス電源を違えるという
相違点を有する。

［問題点を解決するための手段］ 本発明の要旨は、複数のドライバ回路と、該ドライバ回
路のリファレンス電源とを有する半導体集積回路の試験
装置において、自己診断を実行時に、試験実行中のドラ
イバ回路に接続される第１のリファレンス電源を、非実
行中ドライバ回路に接続される第２のリファレンス電源
に切り換える手段を有し、該手段はリファレンス選択器
からの信号を受け、かつ、リファレンス電源とドライバ
回路の接続の切り換えのためのタイミング信号を発する
リファレンス反転器を、ドライバ回路に第１のリファレ
ンス電源及び第２のリファレンス電源のいずれを接続す
るかを設定する信号を発生するリファレンス選択器とリ
ファレンス電源接続スイッチとの間に有することであ
る。

［実施例］ 第１図は本発明によるドライバ回路の出力電圧値を自己
診断する場合の方式を示すブロック図であり、１〜４は
ドライバ回路リファレンス電源を非実行中のそれと違え
る反転器（以下、リファレンス反転器と称す）、５は通
常の試料測定と自己診断を選択する入力端子（以下、モ
ード選択と称す）、11〜14はドライバ回路、20は第１リ
ファレンス電源、21〜24は第１リファレンス電源スイッ
チ、30は第２リファレンス電源、31〜34は第２リファレ
ンス電源スイッチ、41〜44はドライバスイッチ、45〜48
と55〜58はスイッチドライバ、51〜54はDC計測スイッ
チ、61〜64は出力端子、70はDC計測器、80はリファレン
ス選択器、90はスイッチ及びリファレンス反転制御器を
表す。

本発明によるドライバ回路11〜14の出力電圧を自己診断
する場合、予めスイッチ及びリファレンス反転制御器90
によりスイッチドライバ45〜48を動作させ、ドライバス
イッチ41〜44が接続状態になることにより、ドライバ回
路11〜14の出力がそれぞれ出力端子61〜64に対し導通状
態にしておき、第１リファレンス電源20を被計測電圧と
異なる値に、第２リファレンス電源30をドライバ回路出
力電圧として計測したい値になるよう印加し、リファレ
ンス選択器80を第１リファレンス電源20が選択されるよ
うに設定し、モード選択５により自己診断モードとなる
信号を入力しておく。

またスイッチ及びリファレンス反転制御器90によりスイ
ッチドライバ55〜58を昇順となるよう１ドライバ回路ず
つシーケンシャルに動作させ、DC計測スイッチ51〜54を
制御すれば、DC計測器70にはドライバ回路11〜14が昇順
でシーケンシャルに接続される。さらに、スイッチ及び
リファレンス反転制御器90により、スイッチドライバ55
〜58を制御する信号に同期したドライバ回路選択信号を
リファレンス反転器にそれぞれシーケンシャルに入力す
れば、ドライバ回路出力電圧を試験時はドライバ回路出
力電つとして計測したい値を印加している第２リファレ
ンス電源が選択され、これによりDC計測器70で計測され
る電圧値が決定される。尚、出力電圧を試験していな
い、その他のドライバ回路のリファレンス電源は被計測
電圧と異なる値を印加している第１リファレンス電源が
選択されている。

第２図は自己診断の実行状態を示すタイムチャートであ
り、101は第１出力端子接続期間、102は第２出力端子接
続期間、103は第３出力端子接続期間、104は第４出力端
子接続期間、105はDC計測期間、106はDC計測器70の電源
がオンされている期間、107は第１リファレンス電源ス
イッチ21の制御信号（以下、スイッチ21制御と称す）、
108は第２リファレンス電源スイッチ31の制御信号（以
下、スイッチ31制御と称す）、109は第１リファレンス
電源スイッチ22の制御信号（以下、スイッチ22制御と称
す）、110は第２リファレンス電源スイッチ32の制御信
号（以下、スイッチ32制御と称す）、111は第１リファ
レンス電源スイッチ23の制御信号（以下、スイッチ23制
御と称す）、112は第２リファレンス電源スイッチ３の
制御信号（以下、スイッチ33制御と称す）、113は第１
リファレンス電源スイッチ24の制御信号（以下、スイッ
チ24制御と称す）、114は第２リファレンス電源スイッ
チ34の制御信号（以下、スイッチ34制御と称す）、ａは
ドライバ回路11選択期間、ｂはドライバ回路12選択期
間、ｃはドライバ回路13選択期間、ｄはドライバ回路14
選択期間、ｅとｇは第１リファレンス電源20がドライバ
回路11に印加されている期間、ｉは第２リファレンス電
源30がドライバ回路11に印加されている期間、ｆとｈと
ｊは第１リファレンス電源20及び第２リファレンス電源
30とドライバ回路11が切断されている期間、ｋ〜ｎはド
ライバ回路11〜14にそれぞれ対応したDC計測期間を示
す。

第２図により、第１図の動作の詳細を説明するとドライ
バ回路11〜14はａ→ｂ→ｃ→ｄの準で昇順に選択され
る。ドライバ回路11が選択されるとき、DC計測はｋ期間
実行されるが、ドライバ回路11のリファレンス電源はス
イッチ21制御107の論理“H"で示される期間e,gでは、第
１リファレンス電源20が選択され、スイッチ31制御108
の論理“H"で示られる期間ｉでは、第２リファレンス電
源30が選択される。この時、DC計測期間ｋと、ドライバ
回路11の第２リファレンス電源選択期間ｉとは、同一の
タイミングとなっている。これらのタイミングにより、
シーケンシャルにドライバ選択期間ａ→ｂ→ｃ→ｄ自己
診断試験を実行すると、ドライバ回路12〜14もドライバ
回路11と同様に選択された期間のうちDC計測を実行する
期間において、第１リファレンス電源20と第２リファレ
ンス電源30の選択が入れ換わることとなる。

第３図はリファレンス反転器の回路図であり、201はド
ライバ回路選択信号、202は通常の試料測定と自己診断
選択信号（以下、モード選択信号と称す）、203は第１
リファレンス電源選択信号、204は第２リファレンス電
源選択信号、205は第１リファレンス電源ドライブ信
号、206は第２リファレンス電源ドライブ信号、301〜30
4はインバータ回路、305〜306はディレイライン回路、3
07〜308はＳ−Ｒフリップフロップ回路、309〜314はア
ンド回路、315〜316はオア回路を示す。

第４図は、第３図の回路図に基ずくリファレンス反転器
の動作を示すタイミングチャート図であり、201はドラ
イバ回路選択信号、401はＳ−Ｒフリップフロップ307の
Ｑ出力、402はＳ−Ｒフリップフロップ308のＱ出力、20
2はモード選択信号、205は第１リファレンス電源ドライ
ブ信号、206は第２リファレンス電源ドライブ信号、403
は第１リファレンス電源反転出力期間、404は第２リフ
ァレンス電源反転出力期間を示す。

第３図，第４図によれば、ドライバ回路選択信号201よ
り与えられる論理データの正極性をＳ−Ｒフリップフロ
ップ回路307のセット側に、ディレイライン306で遅延さ
せた信号をＳ−Ｒフリップフロップ回路308のセット側
に、またインバータ回路301で逆極性とした信号をＳ−
Ｒフリップフロップ回路308のリセット側に、逆極性信
号をディレイライン305で遅延させた信号をＳ−Ｒフリ
ップフロップ回路307のリセット側にそれぞれ入力し、
ドライバ回路にリファレンス電源を印加するための基本
タイミング信号401及び402を作る。

モード選択信号202は通常の試料測定時は論理“L"、自
己診断時は論理“H"で与えられ、第１リファレンス電源
選択信号203、第２リファレンス電源選択信号204も選択
時は論理“H",被選択時は論理“L"で与えられる。ここ
で、モード選択信号202で与えられる論理データの正極
性をアンド回路309,310,312及び313のそれぞれの入力端
子に、インバータ回路302で逆極性とした信号をアンド
回路311,314のそれぞれの入力端子に与え、第１リファ
レンス電源選択信号203で与えられる論理データの正極
性をアンド回路309,311のそれぞれ入力端子にインバー
タ回路303で逆極性とした信号をアンド回路310の入力端
子に与え、第２リファレンス電源選択信号204で与えら
れる論理データの正極性をアンド回路312,314のそれぞ
れの入力端子に、インバータ回路304で逆間極性とした
信号をアンド回路313の入力端子に与え、さらにドライ
バ回路にリファレンス電源を印加するための基本タイミ
ング信号401であるＳ−Ｒフリップフロップ回路307のＱ
出力をアンド回路310,312に同402であるＳ−Ｒフリップ
フロップ回路308のＱ出力をアンド回路309,313にそれぞ
れ与え論理積を求め、第１アンド回路群309〜311のそれ
ぞれの出力をオア回路315で論理和を取ると、第１リフ
ァレンス電源反転出力期間403が得られる第１リファレ
ンス電源ドライバ信号205が出力され、第２アンド回路
群312〜314のそれぞれの出力をオア回路316で論理和を
取ると、第２リファレンス電源反転出力期間404が得ら
れる第２リファレンス電源ドライバ信号206が出力され
る。

従来、本発明による回路は第３図による回路を各ドライ
バチャネル毎に搭載しなくてはならず、従ってこれらを
SSI,MSIの集積回路で構成する制御基板が多数増加する
ことになり、即ち装置の大型化となり、実現に適さなか
った。近年、ゲートアレイ技術の向上により、前述の論
理波形成生成回路は簡単に構成でき、且つその他の制御
回路共々集積可能となり、従ってICデータを構成する制
御基板の搭載数を削減可能であるため実現できる。

第５図は本発明による第２実施例を説明するブロック図
であり、10はICテスターの制御装置（以下、CPUと称
す）、11〜14はドライバ回路、15はCPU BUS、20は第１
リファレンス電源、21〜24は第１リファレンス電源スイ
ッチ、30は第２リファレンス電源、31〜34は第２リファ
レンス電源スイッチ、65〜68はドライバ出力、85はリフ
ァレンス選択器を表す。

一般にこの種のICテスターは、コンピュータにより制御
されており、ソフトウェアにより第２図の第１リファレ
ンス電源スイッチ21の制御107〜第２リファレンス電源
スイッチ34の制御114を実行する。

第５図によればCPU10からCPU BUS15により、第１リフ
ァレンス電源20と第２リファレンス電源30とリファレン
ス選択器85が接続されており、CPU10からソフトウェア
によるロジカルな処理信号がCPU BUS15を経てリファレ
ンス選択器85が伝達され、第２図の107〜114の論理波形
生成を実行することにより、前述の自己診断を実施中の
ドライバ回路と、それ以外のドライバ回路では異なる電
圧値を印加して計測する方式が実現する。

［発明の効果］ 以上説明したように、ドライバ回路の自己診断におい
て、ドライバ回路をDC計測器70にシーケンシャルに１チ
ャネルずつ接続し、出力電圧測定を昇順に実施でき、且
つ計測中のドライバ回路と、非計測中のドライバ回路で
は、そのリファレンス電源をそれぞれ違うユニットに接
続可能であり、従って、診断を実施中のドライバ回路と
それ以外のドライバ回路では、異なる電圧値を印加して
計測する方式が可能となり、従来の試験時間を維持した
まま、従来の問題点であるところのドライバ回路周辺の
不具合、例えばドライバスイッチの開放や短絡状態等が
検出できる。

従って、ICテスターの自己診断時間が大幅に短縮され設
備の効率的運用が実現し、半導体集積回路の生産性向上
につながる効果が期待できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるドライバ回路出力電圧値自己診断
方式の第１実施例を示すブロック図、第２図はドライバ
回路出力電圧値自己診断の動作を示すタイムチャート
図、第３図は本発明によるドライバ回路リファレンス電
源チャネル反転器を示す回路図、第４図はドライバリフ
ァレンス電源チャネル反転器の動作を示すタイムチャー
ト図、第５図は本発明によるドライバ回路出力電圧値自
己診断方式の第２実施例を示すブロック図、第６図は従
来のドライバ回路出力電圧値自己診断方式を示すブロッ
ク図、第７図はドライバ回路出力電圧値自己診断プログ
ラムで工夫した場合の動作を示すタイムチャート図であ
る。 １……第１リファレンス電源反転器、 ２……第２リファレンス電源反転器、 ３……第３リファレンス電源反転器、 ４……第４リファレンス電源反転器、 ５……モード選択、 10……CPU、 11……第１ドライバ回路、 12……第２ドライバ回路、 13……第３ドライバ回路、 14……第４ドライバ回路、 15……CPU BUS、 20……第１リファレンス電源、 21……第１リファレンス電源第１スイッチ、 22……第１リファレンス電源第２スイッチ、 23……第１リファレンス電源第３スイッチ、 24……第１リファレンス電源第４スイッチ、 30……第２リファレンス電源、 31……第２リファレンス電源第１スイッチ、 32……第２リファレンス電源代にスイッチ、 33……第２リファレンス電源第３スイッチ、 34……第２リファレンス電源第４スイッチ、 41……第１ドライバスイッチ、 42……第２ドライバスイッチ、 43……第３ドライバスイッチ、 44……第４ドライバスイッチ、 45……第１ドライバ回路スイッチドライバ、 46……第２ドライバ回路スイッチドライバ、 47……第３ドライバ回路スイッチドライバ、 48……第４ドライバ回路スイッチドライバ、 51……第1DC計測スイッチ、 52……第2DC計測スイッチ、 53……第3DC計測スイッチ、 54……第4DC計測スイッチ、 55……第1DC計測スイッチドライバ、 56……第2DC計測スイッチドライバ、 57……第3DC計測スイッチドライバ、 58……第4DC計測スイッチドライバ、 61……第１出力端子、 62……第２出力端子、 63……第３出力端子、 64……第４出力端子、 65……第１ドライバ出力、 66……第２ドライバ出力、 67……第３ドライバ出力、 68……第４ドライバ出力、 70……DC計測器、 80,85……リファレンス選択器、 90……スイッチ及びリファレンス反転制御器、 95……スイッチ制御器、 101……第１出力端子接続期間、 102……第２出力端子接続期間、 103……第３出力端子接続期間、 104……第４出力端子接続期間、 105……DC計測期間、 106……DC計測期器の電源がオンされている期間、 107……第１リファレンス電源スイッチ21の制御、 108……第２リファレンス電源スイッチ31の制御、 109……第１リファレンス電源スイッチ22の制御、 110……第２リファレンス電源スイッチ32の制御、 111……第１リファレンス電源スイッチ23の制御、 112……第２リファレンス電源スイッチ33の制御、 113……第１リファレンス電源スイッチ24の制御、 114……第２リファレンス電源スイッチ34の制御、 201……ドライバ回路選択信号、 202……モード選択信号、 203……第１リファレンス電源選択信号、 204……第２リファレンス電源選択信号、 205……第１リファレンス電源ドライブ信号、 206……第２リファレンス電源ドライブ信号、 301〜304……インバータ回路、 305〜306……ディレイライン回路、 307……第１フリップフロップ、 308……第２フリップフロップ、 309〜311……第１アンド回路群、 312〜314……第２アンド回路群、 315……第１オア回路、 316……第２オア回路、 401……Ｓ−Ｒフリップフロップ307のＱ出力、 402……Ｓ−Ｒフリップフロップ308のＱ出力、 403……第１リファレンス電源反転出力期間、 404……第２リファレンス電源反転出力期間、 150……第１出力端子接続期間、 151……DC計測電源パワーオン時間、 152……DC計測実行時間、 153……DC計測電源パワーオフ時間、 154……次の出力端子計測、 ａ……ドライバ回路11選択期間、 ｂ……ドライバ回路12選択期間、 ｃ……ドライバ回路13選択期間、 ｄ……ドライバ回路14選択期間、 e,g……第１リファレンス電源20がドライバ回路11に印
加されている期間、 ｉ……第２リファレンス電源30がドライバ回路11に印加
されている期間、 f,h,j……第１及び第２リファレンス電源20,30とドライ
バ回路11が切断されている期間、 ｋ〜ｎ……ドライバ回路11〜14にそれぞれ対応したDC計
測期間。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数のドライバ回路と、該ドライバ回路の
   リファレンス電源とを有する半導体集積回路の試験装置
   において、 自己診断を実行時に、試験実行中のドライバ回路に接続
   される第１のリファレンス電源を、非実行中ドライバ回
   路に接続される第２のリファレンス電源に切り換える手
   段を有し、該手段はリファレンス選択器からの信号を受
   け、かつ、リファレンス電源とドライバ回路の接続の切
   り換えのためのタイミング信号を発するリファレンス反
   転器を、ドライバ回路に第１のリファレンス電源及び第
   ２のリファレンス電源のいずれを接続するかを設定する
   信号を発生するリファレンス選択器とリファレンス電源
   接続スイッチとの間に有することを特徴とする半導体集
   積回路の試験装置。