JP2982864B2 - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JP2982864B2 JP2982864B2 JP8270943A JP27094396A JP2982864B2 JP 2982864 B2 JP2982864 B2 JP 2982864B2 JP 8270943 A JP8270943 A JP 8270943A JP 27094396 A JP27094396 A JP 27094396A JP 2982864 B2 JP2982864 B2 JP 2982864B2
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- acoustic wave
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14517—Means for weighting
- H03H9/1452—Means for weighting by finger overlap length, apodisation
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/6436—Coupled resonator filters having one acoustic track only
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、交叉指状電極を備
えている弾性表面波装置に属し、特に、圧電基板上に形
成されたＶＨＦ・ＵＨＦで動作する弾性表面波装置に属
する。
えている弾性表面波装置に属し、特に、圧電基板上に形
成されたＶＨＦ・ＵＨＦで動作する弾性表面波装置に属
する。
【０００２】
【従来の技術】従来の共振器型の弾性表面波装置では、
弾性表面波の伝搬方向に対し垂直方向にエネルギが分布
するモード（以下横モード）の基本モードが主伝搬モー
ドになるのに対して、高次モードはスプリアスとなる場
合がある。
弾性表面波の伝搬方向に対し垂直方向にエネルギが分布
するモード（以下横モード）の基本モードが主伝搬モー
ドになるのに対して、高次モードはスプリアスとなる場
合がある。
【０００３】このようなスプリアスを抑圧するために従
来技術として特公平６−８５４９２公報には、交叉指状
電極の形状は電極指の開口長に対する電極指の交差幅の
比が６５〜７５％の比率であり、この交差幅が交叉指状
電極内において一定である弾性表面波振動子が開示され
ている。
来技術として特公平６−８５４９２公報には、交叉指状
電極の形状は電極指の開口長に対する電極指の交差幅の
比が６５〜７５％の比率であり、この交差幅が交叉指状
電極内において一定である弾性表面波振動子が開示され
ている。
【０００４】この弾性表面波振動子では、図８のよう
に、交叉指状電極７１、７２の開口長Ｗｏに対する交叉
幅Ｗの比Ｗ／Ｗｏを６５〜７５％とすることによって、
高次横モードの＋／−領域に存在するポテンシャルを実
効的にキャンセルさせて高次横モードの抑圧を図ってい
る。
に、交叉指状電極７１、７２の開口長Ｗｏに対する交叉
幅Ｗの比Ｗ／Ｗｏを６５〜７５％とすることによって、
高次横モードの＋／−領域に存在するポテンシャルを実
効的にキャンセルさせて高次横モードの抑圧を図ってい
る。
【０００５】また、他の従来技術として特願平８−６２
４６８号公報には、圧電基板として水晶を用いた場合に
は、横モード分布の導波路内部への集中度が弱まる点に
着目して、Ｗ／Ｗｏの値を７５〜８５％とすることによ
り高次横モードを抑圧しているものがある。
４６８号公報には、圧電基板として水晶を用いた場合に
は、横モード分布の導波路内部への集中度が弱まる点に
着目して、Ｗ／Ｗｏの値を７５〜８５％とすることによ
り高次横モードを抑圧しているものがある。
【０００６】なお、上記２つの従来技術では、弾性表面
波装置内に存在する交叉指状電極の開口長に対する交差
幅の比が、すべての交叉指状電極で等しいことを特徴と
している。
波装置内に存在する交叉指状電極の開口長に対する交差
幅の比が、すべての交叉指状電極で等しいことを特徴と
している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術のどちらを用いた場合でも、複数の高次モードが
存在する場合には、抑圧を図ったモードとは異なる次数
のモードによるスプリアスが、デバイス特性を劣化させ
る場合があることである。
来技術のどちらを用いた場合でも、複数の高次モードが
存在する場合には、抑圧を図ったモードとは異なる次数
のモードによるスプリアスが、デバイス特性を劣化させ
る場合があることである。
【０００８】その理由として弾性表面波装置では、図８
で示したように、１個以上の交叉指状電極を有してお
り、その交叉指状電極の交差幅の比Ｗ／Ｗｏの値は弾性
表面波装置内で全て等しい。このため、高次横モードス
プリアスが１つだけ存在する場合に限れば、その高次横
モードの抑圧が可能である。
で示したように、１個以上の交叉指状電極を有してお
り、その交叉指状電極の交差幅の比Ｗ／Ｗｏの値は弾性
表面波装置内で全て等しい。このため、高次横モードス
プリアスが１つだけ存在する場合に限れば、その高次横
モードの抑圧が可能である。
【０００９】しかし、開口長Ｗｏを広くした場合或いは
交叉指状電極を形成する金属薄膜の膜厚を厚くした場合
等に相当する複数の高次横モードが存在する場合には、
全ての次数の高次横モードを同時に抑圧することは出来
ない。
交叉指状電極を形成する金属薄膜の膜厚を厚くした場合
等に相当する複数の高次横モードが存在する場合には、
全ての次数の高次横モードを同時に抑圧することは出来
ない。
【００１０】それ故に発明の課題は、特性・性能向上
（スプリアス抑圧）を目的とし、圧電基板上の弾性表面
波装置において、高次横モードスプリアスが抑圧された
弾性表面波装置を提供することにある。
（スプリアス抑圧）を目的とし、圧電基板上の弾性表面
波装置において、高次横モードスプリアスが抑圧された
弾性表面波装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、圧電基
板上に少なくとも２つの交叉指状電極を有する弾性表面
波装置において、入力あるいは出力の一方の電極で横２
次モード、他方の電極で横４次モードスプリアスを抑圧
するように、入力側の交叉指状電極及び出力側の交叉指
状電極の開口長に対する交差幅の比を相異なる値とした
ことを特徴とする弾性表面波装置が得られる。
板上に少なくとも２つの交叉指状電極を有する弾性表面
波装置において、入力あるいは出力の一方の電極で横２
次モード、他方の電極で横４次モードスプリアスを抑圧
するように、入力側の交叉指状電極及び出力側の交叉指
状電極の開口長に対する交差幅の比を相異なる値とした
ことを特徴とする弾性表面波装置が得られる。
【００１２】また、本発明によれば、圧電基板上に少な
くとも２つの交叉指状電極と、弾性表面波のエネルギー
を閉じこめるためのグレーティング反射器を有する弾性
表面波装置において、入力あるいは出力の一方の電極で
横２次モード、他方の電極で横４次モードスプリアスを
抑圧するように、入力側の交叉指状電極及び出力側の交
叉指状電極の開口長に対する交差幅の比を相異なる値と
したことを特徴とする弾性表面波装置が得られる。
くとも２つの交叉指状電極と、弾性表面波のエネルギー
を閉じこめるためのグレーティング反射器を有する弾性
表面波装置において、入力あるいは出力の一方の電極で
横２次モード、他方の電極で横４次モードスプリアスを
抑圧するように、入力側の交叉指状電極及び出力側の交
叉指状電極の開口長に対する交差幅の比を相異なる値と
したことを特徴とする弾性表面波装置が得られる。
【００１３】
【００１４】
【作用】本発明の交叉指状電極を有する弾性表面波装置
は、入出力電極指の開口長に対する交差幅の比を変える
ことにより、横２次と４次の高次横モードスプリアスを
同時に抑圧する。
は、入出力電極指の開口長に対する交差幅の比を変える
ことにより、横２次と４次の高次横モードスプリアスを
同時に抑圧する。
【００１５】弾性表面波装置の横モードスプリアスで問
題となるのは、主たる共振モードである横基本モードに
対する高次横モードである。基本モードの分布はすべて
正領域にあるのに対し、スプリアスである高次横モード
の分布には正と負の両方の領域が存在する。このため、
高次モード分布において、＋と−との領域の面積がほぼ
等しくなるように交叉指状電極指の交叉幅を適当に選ぶ
ことで、高次モードの発生エネルギーはほぼ相殺され
る。
題となるのは、主たる共振モードである横基本モードに
対する高次横モードである。基本モードの分布はすべて
正領域にあるのに対し、スプリアスである高次横モード
の分布には正と負の両方の領域が存在する。このため、
高次モード分布において、＋と−との領域の面積がほぼ
等しくなるように交叉指状電極指の交叉幅を適当に選ぶ
ことで、高次モードの発生エネルギーはほぼ相殺され
る。
【００１６】本発明では、交叉指状電極の開口長に対す
る交差幅Ｗの比を、一方の電極では横２次モードがキャ
ンセルされる様に選び、かつもう一方の電極では横４次
モードがキャンセルされる様に選ぶことで、２個の高次
スプリアスモードが同時に抑圧可能である。
る交差幅Ｗの比を、一方の電極では横２次モードがキャ
ンセルされる様に選び、かつもう一方の電極では横４次
モードがキャンセルされる様に選ぶことで、２個の高次
スプリアスモードが同時に抑圧可能である。
【００１７】
【発明の実施の形態】次に、本発明の弾性表面波装置の
実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００１８】図１は本発明の第１の実施の形態である共
振器型の弾性表面波装置として弾性表面波フィルタを示
している。
振器型の弾性表面波装置として弾性表面波フィルタを示
している。
【００１９】図１を参照して、弾性表面波フィルタは、
圧電基板１１と、この圧電基板１１上に設けられている
金属薄膜による２つの入力ＩＮ用の交叉指状電極１２
と、出力ＯＵＴ用の交叉指状電極１３と、これらの交叉
指状電極１２，１３の両側にそれぞれ設けられている弾
性表面波のエネルギーを閉じこめるための２つのグレー
ティング反射器１４、１５とをを有している。
圧電基板１１と、この圧電基板１１上に設けられている
金属薄膜による２つの入力ＩＮ用の交叉指状電極１２
と、出力ＯＵＴ用の交叉指状電極１３と、これらの交叉
指状電極１２，１３の両側にそれぞれ設けられている弾
性表面波のエネルギーを閉じこめるための２つのグレー
ティング反射器１４、１５とをを有している。
【００２０】この弾性表面波装置においては、２つの交
叉指状電極１２、１３の電極指交差幅Ｗｉｎ、Ｗｏｕｔ
の開口長Ｗｏに対する比率を異ならせることで、一方の
電極で横２次モードスプリアスＳ２を抑圧し、もう一方
で横４次モードスプリアスＳ４の抑圧を図っている。
叉指状電極１２、１３の電極指交差幅Ｗｉｎ、Ｗｏｕｔ
の開口長Ｗｏに対する比率を異ならせることで、一方の
電極で横２次モードスプリアスＳ２を抑圧し、もう一方
で横４次モードスプリアスＳ４の抑圧を図っている。
【００２１】この弾性表面波フィルタは、入力もしくは
出力の一方の電極で横２次モードスプリアスＳ２、他方
の電極で横４次モードスプリアスＳ４を抑圧するよう
に、交叉指状電極１２、１３の開口長Ｗｏに対する交差
幅Ｗｉｎ、Ｗｏｕｔの比Ｗ／Ｗｏを相異なる値としてい
る。
出力の一方の電極で横２次モードスプリアスＳ２、他方
の電極で横４次モードスプリアスＳ４を抑圧するよう
に、交叉指状電極１２、１３の開口長Ｗｏに対する交差
幅Ｗｉｎ、Ｗｏｕｔの比Ｗ／Ｗｏを相異なる値としてい
る。
【００２２】交叉指状電極１２、１３のそれぞれは、交
叉指部分が向かい合うように形成されている。そして、
これらの交叉指状電極１２，１３の開口長Ｗｏに対する
交差幅Ｗｉｎ、Ｗｏｕｔの比はそれぞれ異なっている。
叉指部分が向かい合うように形成されている。そして、
これらの交叉指状電極１２，１３の開口長Ｗｏに対する
交差幅Ｗｉｎ、Ｗｏｕｔの比はそれぞれ異なっている。
【００２３】本発明の特徴とするところは、交叉指状電
極１２，１３の開口長Ｗｏに対する交差幅Ｗｉｎ、Ｗｏ
ｕｔの比Ｗ／Ｗｏを入出力電極で異ならせ、一方の電極
で横２次（Ｓ２）モード、もう一方の電極で横４次（Ｓ
４）モードを抑圧している点にある。
極１２，１３の開口長Ｗｏに対する交差幅Ｗｉｎ、Ｗｏ
ｕｔの比Ｗ／Ｗｏを入出力電極で異ならせ、一方の電極
で横２次（Ｓ２）モード、もう一方の電極で横４次（Ｓ
４）モードを抑圧している点にある。
【００２４】次に本発明の弾性表面波装置の動作につい
て図２をも用いて詳細に説明する。
て図２をも用いて詳細に説明する。
【００２５】図２において、横基本モード分布２１のエ
ネルギ分布は全て正領域にあり、このモードが一般に主
伝搬モードとなる。横２次モードスプリアスＳ２の横２
次モード分布２２、横４次モードスプリアスＳ４の横４
次モード分布２３には正負の領域が存在し、ちょうどこ
の＋と−領域の面積がほぼ等しくなるようＷ／Ｗｏの値
を選べば横２次モード分布２２，横４次モード分布２３
の励振は抑圧される。
ネルギ分布は全て正領域にあり、このモードが一般に主
伝搬モードとなる。横２次モードスプリアスＳ２の横２
次モード分布２２、横４次モードスプリアスＳ４の横４
次モード分布２３には正負の領域が存在し、ちょうどこ
の＋と−領域の面積がほぼ等しくなるようＷ／Ｗｏの値
を選べば横２次モード分布２２，横４次モード分布２３
の励振は抑圧される。
【００２６】なお、図２は入力電極で横２次モード分布
２２が、出力側で横４次モード分布２３が抑圧されるよ
うにＷ／Ｗｏの値を選んだ場合の例である。
２２が、出力側で横４次モード分布２３が抑圧されるよ
うにＷ／Ｗｏの値を選んだ場合の例である。
【００２７】図３に高次横モードの励振効率［ｄＢ］の
Ｗ／Ｗｏ依存性の計算結果を示す。計算ではＳＴカット
水晶を基板として仮定し、開口長Ｗｏを４０λ、交叉指
状電極指を形成する金属膜の膜厚Ｈを０．９８μｍとし
ている。ただし、λはＳＡＷの波長である。図中の４
１，４２，４３は高次横モードの励振効率を示してい
る。
Ｗ／Ｗｏ依存性の計算結果を示す。計算ではＳＴカット
水晶を基板として仮定し、開口長Ｗｏを４０λ、交叉指
状電極指を形成する金属膜の膜厚Ｈを０．９８μｍとし
ている。ただし、λはＳＡＷの波長である。図中の４
１，４２，４３は高次横モードの励振効率を示してい
る。
【００２８】図３から明らかなように、各モードによっ
て励振強度が最も弱くなるＷ／Ｗｏの値は異なっている
のが判る。この計算例においては、交叉指状電極のそれ
ぞれのＷ／Ｗｏを約０．７１，０．８６とすれば、横２
次モードスプリアスＳ２と横４次モードスプリアスの励
振効率は横基本モードＳ０のそれに比較して５０ｄＢ以
上抑圧されることが判る。
て励振強度が最も弱くなるＷ／Ｗｏの値は異なっている
のが判る。この計算例においては、交叉指状電極のそれ
ぞれのＷ／Ｗｏを約０．７１，０．８６とすれば、横２
次モードスプリアスＳ２と横４次モードスプリアスの励
振効率は横基本モードＳ０のそれに比較して５０ｄＢ以
上抑圧されることが判る。
【００２９】次に本発明の弾性表面波装置の第２の実施
の形態例について図４乃至図６を参照して詳細に説明す
る。
の形態例について図４乃至図６を参照して詳細に説明す
る。
【００３０】図４はＳＴカット水晶基板上に形成した共
振器型弾性表面波フィルタを示しており、図５及び図６
はその振幅特性である。図４において、２５，２６は交
叉指状電極である。
振器型弾性表面波フィルタを示しており、図５及び図６
はその振幅特性である。図４において、２５，２６は交
叉指状電極である。
【００３１】この共振器型の弾性表面波フィルタにおけ
る中心周波数は約９０ＭＨｚとし、交叉指状電極２５、
２６を形成する材料にはアルミニウム用いた（膜厚：
０．９８μｍ）。図６は本発明の弾性表面波フィルタを
用いない場合の特性であり、電極指交差幅Ｗｉｎ，Ｗｏ
ｕｔと開口長Ｗを共に４０λとしたものである。
る中心周波数は約９０ＭＨｚとし、交叉指状電極２５、
２６を形成する材料にはアルミニウム用いた（膜厚：
０．９８μｍ）。図６は本発明の弾性表面波フィルタを
用いない場合の特性であり、電極指交差幅Ｗｉｎ，Ｗｏ
ｕｔと開口長Ｗを共に４０λとしたものである。
【００３２】また、図５の特性は本発明の弾性表面波フ
ィルタにおけるを用いた場合であり、開口長は４０λの
まま入力側の交叉指状電極２５の交差幅Ｗｉｎを２８
λ、出力側の交叉指状電極２６の交差幅Ｗｏｕｔを３４
λとしている。この場合、Ｗｉｎ／Ｗｏ＝０．７、Ｗｏ
ｕｔ／Ｗｏ＝０．８６である。この図から、本発明を用
いてない場合には主伝搬モードの高域側に横２次モード
スプリアスＳ２，横４次モードスプリアスＳ４が強く発
生しているのに対し、本発明を用いたの場合には抑圧を
図った横２次モードスプリアスＳ２，横４次モードスプ
リアスＳ４の振幅が１０ｄＢ以上低下しているのが判
る。
ィルタにおけるを用いた場合であり、開口長は４０λの
まま入力側の交叉指状電極２５の交差幅Ｗｉｎを２８
λ、出力側の交叉指状電極２６の交差幅Ｗｏｕｔを３４
λとしている。この場合、Ｗｉｎ／Ｗｏ＝０．７、Ｗｏ
ｕｔ／Ｗｏ＝０．８６である。この図から、本発明を用
いてない場合には主伝搬モードの高域側に横２次モード
スプリアスＳ２，横４次モードスプリアスＳ４が強く発
生しているのに対し、本発明を用いたの場合には抑圧を
図った横２次モードスプリアスＳ２，横４次モードスプ
リアスＳ４の振幅が１０ｄＢ以上低下しているのが判
る。
【００３３】また、本発明を用いた弾性表面波フィルタ
では入出力電極それぞれの対数は同じとする必要はない
ので、入出力インピーダンスが等しくなるよう、対数を
選ぶことも可能である。
では入出力電極それぞれの対数は同じとする必要はない
ので、入出力インピーダンスが等しくなるよう、対数を
選ぶことも可能である。
【００３４】次に、本発明の第３の実施の形態について
図７を参照して説明する。図７は、電極型の弾性表面波
共振器型フィルタである。このフィルタは３つの交叉指
状電極３１、３２、３３を有している。交叉指状電極３
１、３２、３３の両側には、それぞれ金属のグレーティ
ング反射器３４，３５が設けられている。
図７を参照して説明する。図７は、電極型の弾性表面波
共振器型フィルタである。このフィルタは３つの交叉指
状電極３１、３２、３３を有している。交叉指状電極３
１、３２、３３の両側には、それぞれ金属のグレーティ
ング反射器３４，３５が設けられている。
【００３５】出力側の電極指交差幅Ｗ1 ，Ｗ3 はともに
等しいが、入力側の電極指交差幅Ｗ2 は異ならせてい
る。この様な構造においても、入力側と出力側とでそれ
ぞれ１個づつの高次横モードを抑圧することが出来る。
等しいが、入力側の電極指交差幅Ｗ2 は異ならせてい
る。この様な構造においても、入力側と出力側とでそれ
ぞれ１個づつの高次横モードを抑圧することが出来る。
【００３６】
【発明の効果】以上、実施の形態例によって説明したよ
うに、２つ以上の交叉指状電極指を有する弾性表面波装
置においては、入出力交差指状電極のうちの片側だけで
１つの高次横モードの抑圧ができ、モードスプリアスが
同時に抑圧可能である。
うに、２つ以上の交叉指状電極指を有する弾性表面波装
置においては、入出力交差指状電極のうちの片側だけで
１つの高次横モードの抑圧ができ、モードスプリアスが
同時に抑圧可能である。
【図１】本発明の一実施例を示す弾性表面波装置を説明
する平面図である。
する平面図である。
【図２】図１の弾性表面波装置において発生する横モー
ドを説明する説明図である。
ドを説明する説明図である。
【図３】本発明の効果を説明する高次横モードの励振効
率の理論計算を示すグラフである。
率の理論計算を示すグラフである。
【図４】本発明の実施の形態の一つである弾性表面波フ
ィルタを説明する平面図である。
ィルタを説明する平面図である。
【図５】本発明を適用した弾性表面波フィルタの振幅特
性を示すグラフである。
性を示すグラフである。
【図６】本発明を適用しない弾性表面波フィルタの振幅
特性を示すグラフである。
特性を示すグラフである。
【図７】本発明の他の実施の形態を示す弾性表面波装置
の平面図である。
の平面図である。
【図８】従来の構造の弾性表面波装置の平面図である。
１１ 圧電基板 １２，１３，２５，２６，３１，３２，３３，７１，７
２ 交叉指状電極 １４，１５，３４，３５ グレーティング反射器 ２１ 横基本モード分布 ２２ 横２次モード分布 ２３ 横４次モード分布 Ｓ０ 横基本モード Ｓ２ 横２次モードスプリアス Ｓ４ 横４次モードスプリアス ４１，４２，４３ 高次横モードの励振効率
２ 交叉指状電極 １４，１５，３４，３５ グレーティング反射器 ２１ 横基本モード分布 ２２ 横２次モード分布 ２３ 横４次モード分布 Ｓ０ 横基本モード Ｓ２ 横２次モードスプリアス Ｓ４ 横４次モードスプリアス ４１，４２，４３ 高次横モードの励振効率
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H03H 9/145,9/25,9/64
Claims (2)
- 【請求項１】 圧電基板上に少なくとも２つの交叉指状
電極を有する弾性表面波装置において、入力あるいは出
力の一方の電極で横２次モード、他方の電極で横４次モ
ードスプリアスを抑圧するように、入力側の交叉指状電
極及び出力側の交叉指状電極の開口長に対する交差幅の
比を相異なる値としたことを特徴とする弾性表面波装
置。 - 【請求項２】 圧電基板上に少なくとも２つの交叉指状
電極と、弾性表面波のエネルギーを閉じこめるためのグ
レーティング反射器を有する弾性表面波装置において、
入力あるいは出力の一方の電極で横２次モード、他方の
電極で横４次モードスプリアスを抑圧するように、入力
側の交叉指状電極及び出力側の交叉指状電極の開口長に
対する交差幅の比を相異なる値としたことを特徴とする
弾性表面波装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8270943A JP2982864B2 (ja) | 1996-10-14 | 1996-10-14 | 弾性表面波装置 |
| US08/948,060 US6005326A (en) | 1996-10-14 | 1997-10-09 | Surface acoustic wave device |
| DE69733237T DE69733237T2 (de) | 1996-10-14 | 1997-10-13 | Akustische Oberflächenwellenanordnung |
| EP97117692A EP0836279B1 (en) | 1996-10-14 | 1997-10-13 | Surface acoustic wave device |
| US09/359,114 US6040651A (en) | 1996-10-14 | 1999-07-23 | Surface acoustic wave device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8270943A JP2982864B2 (ja) | 1996-10-14 | 1996-10-14 | 弾性表面波装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10126211A JPH10126211A (ja) | 1998-05-15 |
| JP2982864B2 true JP2982864B2 (ja) | 1999-11-29 |
Family
ID=17493178
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8270943A Expired - Fee Related JP2982864B2 (ja) | 1996-10-14 | 1996-10-14 | 弾性表面波装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
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