JPS61144910A - Ｉｄｔ励振エネルギ閉込め型圧電デバイスの電極構造 - Google Patents
Ｉｄｔ励振エネルギ閉込め型圧電デバイスの電極構造Info
- Publication number
- JPS61144910A JPS61144910A JP26775384A JP26775384A JPS61144910A JP S61144910 A JPS61144910 A JP S61144910A JP 26775384 A JP26775384 A JP 26775384A JP 26775384 A JP26775384 A JP 26775384A JP S61144910 A JPS61144910 A JP S61144910A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- idt
- piezoelectric device
- reflector
- gap
- saw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/644—Coupled resonator filters having two acoustic tracks
- H03H9/6456—Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled
- H03H9/6459—Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled via one connecting electrode
- H03H9/6463—Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled via one connecting electrode the tracks being electrically cascaded
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は圧電基板表面に形成したＩＤＴ電極によって励
振する弾性表面波（ＳＡＷ）、ラブ波或はＨ８波等を利
用した共振器、フィルタ等圧電デバイスの電極構造に関
する。
振する弾性表面波（ＳＡＷ）、ラブ波或はＨ８波等を利
用した共振器、フィルタ等圧電デバイスの電極構造に関
する。
（従来技術）
従来インタディジタルトランスジューサ（ＩＤＴ）
電極によって励起する波動を利用する弾性表面波（ＳＡ
Ｗ）共振器等では第２図に示す如く圧電基板１表面にＩ
Ｄ’Ｌ’電極２全付着すると共にその両側に周期的金属
ストリップ等による反射器３．３を配置することによっ
て前記ＩＤＴ２によって励起した５ＡＷｉ前記反射器３
，３によって反射しその振動エネルギを前記ＩＤＴ２内
に閉込め高いＱｔ−実現することが多い。
電極によって励起する波動を利用する弾性表面波（ＳＡ
Ｗ）共振器等では第２図に示す如く圧電基板１表面にＩ
Ｄ’Ｌ’電極２全付着すると共にその両側に周期的金属
ストリップ等による反射器３．３を配置することによっ
て前記ＩＤＴ２によって励起した５ＡＷｉ前記反射器３
，３によって反射しその振動エネルギを前記ＩＤＴ２内
に閉込め高いＱｔ−実現することが多い。
間隙ｌはデバイスの小型化の為もあって励振波長λに対
して３／８λ乃至１λとするのが一般的であった。
して３／８λ乃至１λとするのが一般的であった。
この場合前記反射器３，３間には基本（−次）共振モー
ドのみならず二次以上の高次共振モードの振動エネルギ
閉込めが生じており偶数次モードの振動エネルギによっ
て励起する電荷は前記ＩＤＴ ２内で相殺されるも奇
数次モードによるそれは相殺されることがなく、殊に三
次共振モードの感動エネルギに起因するスプリアス応答
が顕著に現れるという欠陥があった。
ドのみならず二次以上の高次共振モードの振動エネルギ
閉込めが生じており偶数次モードの振動エネルギによっ
て励起する電荷は前記ＩＤＴ ２内で相殺されるも奇
数次モードによるそれは相殺されることがなく、殊に三
次共振モードの感動エネルギに起因するスプリアス応答
が顕著に現れるという欠陥があった。
（発明の目的）
本発明は上述し念如き従来のＩＤＴ励撮型圧電デバイス
の欠陥を除去すべくなされたものであって高次共振モー
ドの振動によって励起する電荷６ＩＤＴ内で相殺しスプ
リアス応答を低減した圧電デバイスを提供することを目
的とする。
の欠陥を除去すべくなされたものであって高次共振モー
ドの振動によって励起する電荷６ＩＤＴ内で相殺しスプ
リアス応答を低減した圧電デバイスを提供することを目
的とする。
（発明の概要）
上述の目的を達成する為１本発明に於いてはＩＤＴ両端
部と反射器内１．１１端部の間隙全前記両反射器内側端
間隔の１／１２乃至３／１２の幅員を有するＩＤＴ又は
反射器の存在しない領域とするものである。
部と反射器内１．１１端部の間隙全前記両反射器内側端
間隔の１／１２乃至３／１２の幅員を有するＩＤＴ又は
反射器の存在しない領域とするものである。
（発明の実施例）
以下本発明をその理論と実験結果を示す図によって詳細
に説明する。
に説明する。
第１図は本発明の基本的発想含水す為の説明図である。
即ち１反射器３．３を備えた一般的なＳＡＷ共振器に於
いて反射器内側端を完全な反射面と仮定したとき奇数次
共振モードを考えると変位、即ちその振動エネルギはＩ
ＤＴ ２の中心を基準ニすればコサイン・カーブとな
り前記ＩＤＴｚを含む反射器３，３の内側端間に閉込も
る。
いて反射器内側端を完全な反射面と仮定したとき奇数次
共振モードを考えると変位、即ちその振動エネルギはＩ
ＤＴ ２の中心を基準ニすればコサイン・カーブとな
り前記ＩＤＴｚを含む反射器３，３の内側端間に閉込も
る。
又、ＩＤＴ２に励起する電荷も前記変位に比例すること
はいうまでもない。
はいうまでもない。
而して高次奇数次共振モードの振動によるスプリアス応
答の発生は例えば本図に示す３次モードの振動により発
生する電荷が相殺される斜線部を除いた両端の空白部分
に残留する電荷に起因すると考えられるので該空白部に
対応する共振器の基板部分からＩＤＴｉ削除し電荷を収
集せしめないようにすればよいことが理解されよう。
答の発生は例えば本図に示す３次モードの振動により発
生する電荷が相殺される斜線部を除いた両端の空白部分
に残留する電荷に起因すると考えられるので該空白部に
対応する共振器の基板部分からＩＤＴｉ削除し電荷を収
集せしめないようにすればよいことが理解されよう。
従って上述した仮定の下では前記ＩＤＴ ２の両性側端
と前記反射器３，３の内側端との間隙ノを両反射器内側
端間隔りの１／６とし核部にＩＤＴを配置しないように
すればよい。
と前記反射器３，３の内側端との間隙ノを両反射器内側
端間隔りの１／６とし核部にＩＤＴを配置しないように
すればよい。
第３図はこのことを実験的に確認した結果を示すもので
あって、従来のｌ＝１／２λの共振器に比して三次共振
モードの振動に起因するスプリアスは充分に抑圧される
ことが判明した。
あって、従来のｌ＝１／２λの共振器に比して三次共振
モードの振動に起因するスプリアスは充分に抑圧される
ことが判明した。
もっとも以上は純理論的考察であって実際には振動エネ
ルギが前記両反射器３．３間に完全に閉込められること
はなく反射器の内側端からその内部に向けて指数関数的
に減衰することは周知であるから前記間隙ｌの実用的な
値は実験によって決定すべきである。
ルギが前記両反射器３．３間に完全に閉込められること
はなく反射器の内側端からその内部に向けて指数関数的
に減衰することは周知であるから前記間隙ｌの実用的な
値は実験によって決定すべきである。
そこで試料としてはスプリアス応答が顕著に出現する出
出二重モードＳＡＷフィルタを選択し前記間隙ｌを１／
２λから７／２４Ｌまで段階的に変化せしめ夫々のスプ
リアス応答を調べることとした。
出二重モードＳＡＷフィルタを選択し前記間隙ｌを１／
２λから７／２４Ｌまで段階的に変化せしめ夫々のスプ
リアス応答を調べることとした。
伺、二重モードＳＡＷフィルタとは！４図に示す如く圧
電基板１上にＩＤＴ２．２ｅ並列に近接配置しこれら両
ＩＤＴ２，２間に於ける音響的結合によって生ずる異っ
た二つの共振モード（夫々対称モード及び反対称モード
と称する）の共振周波数の差を利用するフィルタのこと
である。
電基板１上にＩＤＴ２．２ｅ並列に近接配置しこれら両
ＩＤＴ２，２間に於ける音響的結合によって生ずる異っ
た二つの共振モード（夫々対称モード及び反対称モード
と称する）の共振周波数の差を利用するフィルタのこと
である。
さて、上述の如きフィルタを用いて行った実験の結果は
第５図に示す如くでありて三次対称モードによるスプリ
アス（低周波側）も反対称モードのそれ（高周波側）も
共に１＝１７６Ｌの場合は殆んどスプリアスが削減し理
論の正当性るｌ＝１／２λの場合に比して約１０ｄＢ低
下し充分実用に耐え得るものであることが判明した。
第５図に示す如くでありて三次対称モードによるスプリ
アス（低周波側）も反対称モードのそれ（高周波側）も
共に１＝１７６Ｌの場合は殆んどスプリアスが削減し理
論の正当性るｌ＝１／２λの場合に比して約１０ｄＢ低
下し充分実用に耐え得るものであることが判明した。
本
このことはＳＡＷ共振傘等の小型化への要求が極めて厳
しい今日前記ｌを理想的な１／６Ｌにすることは困難な
場合が少なくないから要求のスペックに応じてｌの値ｋ
ｌ／１２Ｌから３／１２Ｌの間で自由に選択し得ること
を意味するものである。
しい今日前記ｌを理想的な１／６Ｌにすることは困難な
場合が少なくないから要求のスペックに応じてｌの値ｋ
ｌ／１２Ｌから３／１２Ｌの間で自由に選択し得ること
を意味するものである。
尚、前記ＩＤＴ ２の外側端と前記反射器３，３の内
側端との間隙ｌにはＳＡＷ等の波動の伝搬を妨げない限
りいかなる工作を施しても格別の問題は生じない。例え
ば第６Ｎに示す如く核部に電極リード・パターン４を設
は基板１の一側にリード線ボンディング・バット５を集
中するようにしてもよい。
側端との間隙ｌにはＳＡＷ等の波動の伝搬を妨げない限
りいかなる工作を施しても格別の問題は生じない。例え
ば第６Ｎに示す如く核部に電極リード・パターン４を設
は基板１の一側にリード線ボンディング・バット５を集
中するようにしてもよい。
以上弾性表面ｆｆＩＬ（ＳｋＷ）′ｆ！：利用したデバ
イスについて説明したが本発明はこれにのみ限定される
必然性はな（ＳＡＷと全く同様に取扱うことが可能な他
のＩＤＴ励掻型のデバイス、例えばラブ波、ＳＨ波等を
利用するデバイスにも適用し得ることはいうまでもある
まい。
イスについて説明したが本発明はこれにのみ限定される
必然性はな（ＳＡＷと全く同様に取扱うことが可能な他
のＩＤＴ励掻型のデバイス、例えばラブ波、ＳＨ波等を
利用するデバイスにも適用し得ることはいうまでもある
まい。
（発明の効果）
本発明は以上説明した如く構成するので三次共振モード
によって励起する電荷−ｉ ＩＤＴ内で相殺しこのモー
ドの撮動に基因するスプリアス応答全抑圧することがで
きるから反射器金偏えたＩＤＴ励振型圧電デバイスのス
プリアス特性を向上する上で著しい効果を発揮する。
によって励起する電荷−ｉ ＩＤＴ内で相殺しこのモー
ドの撮動に基因するスプリアス応答全抑圧することがで
きるから反射器金偏えたＩＤＴ励振型圧電デバイスのス
プリアス特性を向上する上で著しい効果を発揮する。
第１図は本発明の基本的発想を示す説明、第２図は従来
のＳＡＷ共憑器の構造を示す平面図１Ｅａ図は本発明の
理論’１８ＡＷ共振器によって立証する為の実験結果を
示す図、第４図は本発明を適用すべき二重モードＳＡＷ
フィルタの構成及びその振動モードを示す説明図、第５
図は本発明を適用した二重モードＳＡ’Ｗフィルタのス
プリアス発生状況と従来のそれとの比較実験結果を示す
図、第６図は本発明に係るＳＡＷ共振器の他の実施例を
示す平面図である。 ｌ・・・・・・・・・圧電基板、 ２・・・・・・・
・・ＩＤＴ電極。 ３・・・・・・・・・反射器、 ｌ・・・・・・・・
・ＩＤＴ外側端と反射器内側端との間隙、 Ｌ・・・
・・・・・・反射器内側間の間隔。 特許出願人 東洋通信機株式会社 手続補正書 昭和５９年１２月２４日 昭和５９年１２月１９日提出の特許願 ２、発明の名称 ＩＤＴ励振エネルギ閉込め型圧電デバ
イスのｔ極構造 ３、補正をする者 事件との関係 出願人 郵便番号 ２５３−０１ 電話 ０４６７−７４
−１１３１ （代表）５、補正により増加する発明の数
なし６、補正の対象 発明の詳細な説明及び図面補
正の内容 （１）発明の詳細な説明を以下の如く補正する。 ａ） ｐ−２／１−１Ｏｒ或はＨ８ｉ等ｔＪ’ｌＪ用
ｔ、＊共振器、フィルタ等圧」ヲ「或はＳＨ波等を利用
した共振器、共振器フィルタ等圧」と補正する。 ｂ）ｐ−３／１−１３ 「モードの振動エネルギに起
因・−・・・・」ヲ「モードの振動に起因・・・・・・
」 と補正する。 ｃ）ｐ ５／ｌ １９ ｒその内部に向けて・・
・・・・Ｊｆｉ−「その外側端に向けて・・・−・・」
と補正する。 ｄ）ｐ−７／ｌ−１〜２ 「・・・・・・ｄＢ低下し充
分実用に耐え得るものである・・・・・・」ヲ「・・・
・・・ｄＢ低下し実用上充分効果のあるものである・曲
・」と補正する。 （２）図面を添付訂正図面の如く補正する。 以上
のＳＡＷ共憑器の構造を示す平面図１Ｅａ図は本発明の
理論’１８ＡＷ共振器によって立証する為の実験結果を
示す図、第４図は本発明を適用すべき二重モードＳＡＷ
フィルタの構成及びその振動モードを示す説明図、第５
図は本発明を適用した二重モードＳＡ’Ｗフィルタのス
プリアス発生状況と従来のそれとの比較実験結果を示す
図、第６図は本発明に係るＳＡＷ共振器の他の実施例を
示す平面図である。 ｌ・・・・・・・・・圧電基板、 ２・・・・・・・
・・ＩＤＴ電極。 ３・・・・・・・・・反射器、 ｌ・・・・・・・・
・ＩＤＴ外側端と反射器内側端との間隙、 Ｌ・・・
・・・・・・反射器内側間の間隔。 特許出願人 東洋通信機株式会社 手続補正書 昭和５９年１２月２４日 昭和５９年１２月１９日提出の特許願 ２、発明の名称 ＩＤＴ励振エネルギ閉込め型圧電デバ
イスのｔ極構造 ３、補正をする者 事件との関係 出願人 郵便番号 ２５３−０１ 電話 ０４６７−７４
−１１３１ （代表）５、補正により増加する発明の数
なし６、補正の対象 発明の詳細な説明及び図面補
正の内容 （１）発明の詳細な説明を以下の如く補正する。 ａ） ｐ−２／１−１Ｏｒ或はＨ８ｉ等ｔＪ’ｌＪ用
ｔ、＊共振器、フィルタ等圧」ヲ「或はＳＨ波等を利用
した共振器、共振器フィルタ等圧」と補正する。 ｂ）ｐ−３／１−１３ 「モードの振動エネルギに起
因・−・・・・」ヲ「モードの振動に起因・・・・・・
」 と補正する。 ｃ）ｐ ５／ｌ １９ ｒその内部に向けて・・
・・・・Ｊｆｉ−「その外側端に向けて・・・−・・」
と補正する。 ｄ）ｐ−７／ｌ−１〜２ 「・・・・・・ｄＢ低下し充
分実用に耐え得るものである・・・・・・」ヲ「・・・
・・・ｄＢ低下し実用上充分効果のあるものである・曲
・」と補正する。 （２）図面を添付訂正図面の如く補正する。 以上
Claims (3)
- （１）圧電基板表面に形成したインタデジタルトランス
ジューサ（ＩＤＴ）電極とこれによって励起される弾性
表面波（ＳＡＷ）の進行方向に沿って前記ＩＤＴ両側に
配置する反射器との間隙に前記両反射器内側端間隙の１
／１２乃至３／１２の幅員を有するＩＤＴ或は反射器の
存在しない領域を設けたことを特徴とするＩＤＴ励振エ
ネルギ閉込め型圧電デバイスの電極構造。 - （２）前記圧電デバイスがＳＡＷ共振器或はこれを利用
したフィルタであることを特徴とする特許請求の範囲１
記載のＩＤＴ励振エネルギ閉込め型圧電デバイスの電極
構造。 - （３）前記圧電デバイスが単一圧電基板上にＳＡＷ共振
器を２個以上並列近接配置し、前記各共振器相互の音響
結合によって生ずる周波数の異なった振動モードを利用
する多重モード ＳＡＷフィルタであることを特徴とする特許請求の範囲
１記載のＩＤＴ励振エネルギ閉込め型圧電デバイスの電
極構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26775384A JPS61144910A (ja) | 1984-12-19 | 1984-12-19 | Ｉｄｔ励振エネルギ閉込め型圧電デバイスの電極構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26775384A JPS61144910A (ja) | 1984-12-19 | 1984-12-19 | Ｉｄｔ励振エネルギ閉込め型圧電デバイスの電極構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61144910A true JPS61144910A (ja) | 1986-07-02 |
| JPH033413B2 JPH033413B2 (ja) | 1991-01-18 |
Family
ID=17449098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26775384A Granted JPS61144910A (ja) | 1984-12-19 | 1984-12-19 | Ｉｄｔ励振エネルギ閉込め型圧電デバイスの電極構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61144910A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01231417A (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-14 | Kokusai Electric Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
| JPH01321714A (ja) * | 1988-06-23 | 1989-12-27 | Toko Inc | 表面弾性波共振器および多重モードフィルタ |
| JPH02213212A (ja) * | 1989-02-14 | 1990-08-24 | Kokusai Electric Co Ltd | ２端子対弾性表面波共振子 |
| US6172581B1 (en) * | 1998-05-13 | 2001-01-09 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Surface acoustic wave filters with cascaded transversely coupled mode resonator filters |
-
1984
- 1984-12-19 JP JP26775384A patent/JPS61144910A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01231417A (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-14 | Kokusai Electric Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
| JPH01321714A (ja) * | 1988-06-23 | 1989-12-27 | Toko Inc | 表面弾性波共振器および多重モードフィルタ |
| JPH02213212A (ja) * | 1989-02-14 | 1990-08-24 | Kokusai Electric Co Ltd | ２端子対弾性表面波共振子 |
| US6172581B1 (en) * | 1998-05-13 | 2001-01-09 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Surface acoustic wave filters with cascaded transversely coupled mode resonator filters |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH033413B2 (ja) | 1991-01-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100290204B1 (ko) | 탄성표면파다중모드필터 | |
| JP4727322B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPH10145173A (ja) | インターディジタルトランスデューサ及び弾性表面波多重モードフィルタ | |
| JPS61144910A (ja) | Ｉｄｔ励振エネルギ閉込め型圧電デバイスの電極構造 | |
| JP3001349B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP2982864B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPH11261370A (ja) | 弾性表面波デバイス | |
| JP2817380B2 (ja) | 縦型２重モード弾性表面波フィルタ | |
| JPS6231860B2 (ja) | ||
| JP3904932B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP3393945B2 (ja) | 縦結合２重モードｓａｗフィルタ | |
| JPH0714133B2 (ja) | Ｉｄｔ励振型２ポート共振器 | |
| JP3203796B2 (ja) | 多重モード弾性表面波フィルタ | |
| JPH0569326B2 (ja) | ||
| JP3291860B2 (ja) | 縦型二重モード弾性表面波フィルタ | |
| US5856720A (en) | Surface acoustic wave device | |
| JP4339970B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP3201088B2 (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| EP0881762B1 (en) | Surface acoustic wave device | |
| JP3431332B2 (ja) | 弾性表面波デバイス | |
| JP3480785B2 (ja) | 縦モード共振器弾性表面波フィルタ | |
| JP2005198020A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP3931880B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP2753352B2 (ja) | 弾性表面波二重モードフィルタとそれを用いた通信装置 | |
| JP2000224003A (ja) | 縦結合二重モードｓａｗフィルタ |