JP2952967B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JP2952967B2 JP2952967B2 JP14725190A JP14725190A JP2952967B2 JP 2952967 B2 JP2952967 B2 JP 2952967B2 JP 14725190 A JP14725190 A JP 14725190A JP 14725190 A JP14725190 A JP 14725190A JP 2952967 B2 JP2952967 B2 JP 2952967B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic recording
- recording medium
- protective layer
- magnetic
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は磁気記録媒体に関するものであり、例えばコ
ンピュータ等の外部記憶装置（磁気ディスク装置）にお
ける磁気記憶体などに用いることのできる磁気記録媒体
に関するものである。
ンピュータ等の外部記憶装置（磁気ディスク装置）にお
ける磁気記憶体などに用いることのできる磁気記録媒体
に関するものである。
（従来の技術） コンピュータなどの記憶媒体として磁気記録媒体が用
いられており、従来磁性粉を塗布したテープなどが広く
用いられていたが、この記憶テープは記憶密度が小さ
く、アクセス時間が長いなどの欠点があるため、テープ
にかわりランダムアクセスが可能な円板状の磁気ディス
クが用いられてきている。なかでもアルミニウムなどの
堅い基板上に、厚さ１μｍ程度の磁気記録層を形成して
構成された磁気ディスクが磁気記録媒体として使用され
はじめている。このような磁気記録媒体の磁気記録層
は、酸化鉄などの磁性粉末をバインダと混合し、これを
基板上にスピンコートなどの手法で塗布することにより
得られていたが、この磁気記録層には飽和磁化の大きさ
に限界があるため、記録密度に限界があった。そこで最
近では、高記録密度の磁気記録媒体を得るために、より
大きい飽和磁化を有する金属薄膜を磁気記録層として用
いた磁気記録媒体が開発されており、このような磁気記
録層はコバルトあるいはコバルト系合金からなる薄膜を
真空蒸着法、スパッタリング法などの真空成膜技術によ
り形成したり、コバルト−リン、コバルト−ニッケル−
リンなどの合金薄膜を無電解メッキなどの湿式法により
形成することにより得られている。
いられており、従来磁性粉を塗布したテープなどが広く
用いられていたが、この記憶テープは記憶密度が小さ
く、アクセス時間が長いなどの欠点があるため、テープ
にかわりランダムアクセスが可能な円板状の磁気ディス
クが用いられてきている。なかでもアルミニウムなどの
堅い基板上に、厚さ１μｍ程度の磁気記録層を形成して
構成された磁気ディスクが磁気記録媒体として使用され
はじめている。このような磁気記録媒体の磁気記録層
は、酸化鉄などの磁性粉末をバインダと混合し、これを
基板上にスピンコートなどの手法で塗布することにより
得られていたが、この磁気記録層には飽和磁化の大きさ
に限界があるため、記録密度に限界があった。そこで最
近では、高記録密度の磁気記録媒体を得るために、より
大きい飽和磁化を有する金属薄膜を磁気記録層として用
いた磁気記録媒体が開発されており、このような磁気記
録層はコバルトあるいはコバルト系合金からなる薄膜を
真空蒸着法、スパッタリング法などの真空成膜技術によ
り形成したり、コバルト−リン、コバルト−ニッケル−
リンなどの合金薄膜を無電解メッキなどの湿式法により
形成することにより得られている。
ところで、現在一般に使用されている磁気記録媒体の
ドライブ装置には、ドライブ装置の停止、駆動に伴ない
ドライブ装置のヘッドが磁気記録媒体に接触、擦れ合
う、コンタクト・スタート・ストップ（CSS）方式が採
用されているため、磁気記録媒体には上記のドライブ装
置におけるCSSに対する耐久性（CSS耐久性）が要求され
る。そこで磁気記録媒体にはその磁気記録層上に保護層
が設けられており、この保護層によって磁気記録媒体に
CSS耐久性を付与している。通常この保護層としては厚
み300Å以上の炭素膜が用いられているが、その一方で
より高い記録密度を達成するためにこの保護層の厚みを
薄くし、磁気記録媒体の使用の際にドライブ装置のヘッ
ドと磁気記録層のスペーシングロスを小さくすることに
より磁気記録媒体の記録密度を向上させることが提案さ
れている。しかしながら、保護層として厚みの薄い炭素
膜を有する磁気記録媒体は、CSS耐久性が十分ではない
という問題がある。従って、薄い炭素膜を保護層として
有する磁気記録媒体は、記録密度が向上するものの、そ
の保護層は使用に伴ないヘッドとの接触、擦れ合いによ
り摩耗し、更にこのような保護層の摩耗はヘッドと磁気
記録層とが衝突するヘッド・クラッシュを引き起こし、
磁気記録媒体あるいはドライブ装置のヘッドの損傷を招
いてしまうこととなる。
ドライブ装置には、ドライブ装置の停止、駆動に伴ない
ドライブ装置のヘッドが磁気記録媒体に接触、擦れ合
う、コンタクト・スタート・ストップ（CSS）方式が採
用されているため、磁気記録媒体には上記のドライブ装
置におけるCSSに対する耐久性（CSS耐久性）が要求され
る。そこで磁気記録媒体にはその磁気記録層上に保護層
が設けられており、この保護層によって磁気記録媒体に
CSS耐久性を付与している。通常この保護層としては厚
み300Å以上の炭素膜が用いられているが、その一方で
より高い記録密度を達成するためにこの保護層の厚みを
薄くし、磁気記録媒体の使用の際にドライブ装置のヘッ
ドと磁気記録層のスペーシングロスを小さくすることに
より磁気記録媒体の記録密度を向上させることが提案さ
れている。しかしながら、保護層として厚みの薄い炭素
膜を有する磁気記録媒体は、CSS耐久性が十分ではない
という問題がある。従って、薄い炭素膜を保護層として
有する磁気記録媒体は、記録密度が向上するものの、そ
の保護層は使用に伴ないヘッドとの接触、擦れ合いによ
り摩耗し、更にこのような保護層の摩耗はヘッドと磁気
記録層とが衝突するヘッド・クラッシュを引き起こし、
磁気記録媒体あるいはドライブ装置のヘッドの損傷を招
いてしまうこととなる。
（発明が解決しようとする課題） 本発明の目的は、CSS耐久性に優れ、かつ高記録密度
を達成し得る磁気記録媒体を提供することにある。
を達成し得る磁気記録媒体を提供することにある。
（課題を解決するための手段） 本発明者らは上記課題を解決するために鋭意検討を行
った結果、珪素元素及び炭素元素を含んでなる保護層を
有する磁気記録媒体はCSS耐久性に優れたものとなるこ
とを見出だし本発明を完成するに至った。すなわち本発
明は、非磁性下地層を被覆した基板、その上に設けた磁
性金属薄膜からなる磁気記録層及び該磁気記録層を保護
するための保護層を含んでなる磁気記録媒体において、
保護層が珪素元素及び炭素元素を含んでなり、かつ炭素
元素の濃度が保護層の前記磁気記録層側から表面への厚
み方向に向かって増加することを特徴とする磁気記録媒
体である。本発明の磁気記録媒体は、特に保護層が珪素
元素及び炭素元素を含んでなり、かつ炭素元素の濃度が
保護層の厚み方向に伴なって変化するところに特徴を有
するものであるが、このことにより磁気記録媒体のCSS
耐久性は向上し、また保護層の厚みを薄くしても十分な
CSS耐久性を有するものとなる。その理由は明らかでは
ないが、珪素元素の濃度が高い磁気記録層側の保護層は
硬いという特性を示し、炭素元素の濃度が増加する保護
層の表面は潤滑性を示すことに起因するものと考えられ
る。
った結果、珪素元素及び炭素元素を含んでなる保護層を
有する磁気記録媒体はCSS耐久性に優れたものとなるこ
とを見出だし本発明を完成するに至った。すなわち本発
明は、非磁性下地層を被覆した基板、その上に設けた磁
性金属薄膜からなる磁気記録層及び該磁気記録層を保護
するための保護層を含んでなる磁気記録媒体において、
保護層が珪素元素及び炭素元素を含んでなり、かつ炭素
元素の濃度が保護層の前記磁気記録層側から表面への厚
み方向に向かって増加することを特徴とする磁気記録媒
体である。本発明の磁気記録媒体は、特に保護層が珪素
元素及び炭素元素を含んでなり、かつ炭素元素の濃度が
保護層の厚み方向に伴なって変化するところに特徴を有
するものであるが、このことにより磁気記録媒体のCSS
耐久性は向上し、また保護層の厚みを薄くしても十分な
CSS耐久性を有するものとなる。その理由は明らかでは
ないが、珪素元素の濃度が高い磁気記録層側の保護層は
硬いという特性を示し、炭素元素の濃度が増加する保護
層の表面は潤滑性を示すことに起因するものと考えられ
る。
以下、図面を参照して本発明を詳細に説明する。第１
図は本発明の磁気記録媒体の一例の部分断面図である。
本発明の磁気記録媒体は第１図に示すように非磁性下地
層２を被覆した基板１上に磁気記録層３及び保護層４を
形成して構成される。この基板１としてニッケル−リン
メッキ膜、陽極酸化アルマイト膜などを被覆したアルミ
ニウム合金、窒化珪素焼結体、酸化アルミニウム焼結体
などのセラミックスやステンレス、チタン合金などの金
属、ガラスあるいは樹脂などが用いられる。また、基板
１は磁気記録媒体の磁気特性を向上させる目的で、厚み
500〜5000Å程度のクロムなどの非磁性金属膜からなる
非磁性下地層２により被覆される。次に非磁性下地層２
の上には磁気記録層３が形成される。この磁気記録層３
を構成する材料としては、例えばコバルト、コバルトニ
ッケル合金からなる磁性金属あるいはこれら磁性金属に
プラチナ、ロジウム、クラム、サマリウム、タンタル、
レニウム及びタングステンから選ばれる少なくとも一種
以上の金属を添加したものなどが用いられ、その厚みは
300〜1000Å程度に形成される。更に、この磁気記録層
３上には保護層４が形成され、保護層４は珪素元素及び
炭素元素を含んでなり、かつ保護層４中の炭素元素の濃
度は保護層の磁気記録層３側から表面への厚み方向に向
かって増加している。炭素の濃度増加は特に限定されな
いが、例えば第２図あるいは第３図に示すように増加さ
せることなどが考えられる。なお保護層４の厚みは、厚
い場合スペーシングロスが大きくなり、磁気記録媒体の
高記録密度領域での特性が悪くなるおそれがあり、一方
薄い場合は得られる磁気記録媒体のCSS耐久性が向上し
ないことあるので、20〜500Åとすることが好ましい。
また本発明の磁気記録媒体の使用にあたっては、必要に
応じて液体潤滑剤、固体潤滑剤あるいはこれらの複合潤
滑剤を塗布し、潤滑層５を形成して使用することができ
る。
図は本発明の磁気記録媒体の一例の部分断面図である。
本発明の磁気記録媒体は第１図に示すように非磁性下地
層２を被覆した基板１上に磁気記録層３及び保護層４を
形成して構成される。この基板１としてニッケル−リン
メッキ膜、陽極酸化アルマイト膜などを被覆したアルミ
ニウム合金、窒化珪素焼結体、酸化アルミニウム焼結体
などのセラミックスやステンレス、チタン合金などの金
属、ガラスあるいは樹脂などが用いられる。また、基板
１は磁気記録媒体の磁気特性を向上させる目的で、厚み
500〜5000Å程度のクロムなどの非磁性金属膜からなる
非磁性下地層２により被覆される。次に非磁性下地層２
の上には磁気記録層３が形成される。この磁気記録層３
を構成する材料としては、例えばコバルト、コバルトニ
ッケル合金からなる磁性金属あるいはこれら磁性金属に
プラチナ、ロジウム、クラム、サマリウム、タンタル、
レニウム及びタングステンから選ばれる少なくとも一種
以上の金属を添加したものなどが用いられ、その厚みは
300〜1000Å程度に形成される。更に、この磁気記録層
３上には保護層４が形成され、保護層４は珪素元素及び
炭素元素を含んでなり、かつ保護層４中の炭素元素の濃
度は保護層の磁気記録層３側から表面への厚み方向に向
かって増加している。炭素の濃度増加は特に限定されな
いが、例えば第２図あるいは第３図に示すように増加さ
せることなどが考えられる。なお保護層４の厚みは、厚
い場合スペーシングロスが大きくなり、磁気記録媒体の
高記録密度領域での特性が悪くなるおそれがあり、一方
薄い場合は得られる磁気記録媒体のCSS耐久性が向上し
ないことあるので、20〜500Åとすることが好ましい。
また本発明の磁気記録媒体の使用にあたっては、必要に
応じて液体潤滑剤、固体潤滑剤あるいはこれらの複合潤
滑剤を塗布し、潤滑層５を形成して使用することができ
る。
以上、非磁性下地層２から保護層４までの金属または
無機物質の薄膜の形成にあたってはDC、RFスパッタリン
グ法あるいは真空蒸着法などの真空成膜技術が有効に用
いられる。また、保護層４は珪素ターゲットと炭素ター
ゲットあるいは炭化珪素ターゲットと炭素ターゲットに
よる同時スパッタリングなどの方法によって厚み方向で
炭素元素の濃度を変化させることによって形成すること
ができる。
無機物質の薄膜の形成にあたってはDC、RFスパッタリン
グ法あるいは真空蒸着法などの真空成膜技術が有効に用
いられる。また、保護層４は珪素ターゲットと炭素ター
ゲットあるいは炭化珪素ターゲットと炭素ターゲットに
よる同時スパッタリングなどの方法によって厚み方向で
炭素元素の濃度を変化させることによって形成すること
ができる。
（実施例） 以下、本発明を実施例に基づき説明するが、本発明は
これら実施例に限定されるものではない。
これら実施例に限定されるものではない。
実施例１ 第１図に示す構造の磁気記録媒体を作製した。基板１
としてニッケル−リンメッキ膜を被覆した円板状アルミ
ニウム合金を用い、この基板１の上にDCスパッタリング
法により3000Åのクロム膜からなる非磁性下地層２を形
成した。次にこの上に磁気記録層３としてニッケル20原
子％、クロム10原子％を含むコバルト合金膜をDCスパッ
タリング法により600Åの厚みに形成した。更に、この
上に珪素元素及び炭素元素を含んでなる保護層４を珪素
ターゲットと炭素ターゲットを用いた同時スパッタリン
グ法により、それぞれの印加電力を調整し、厚み方向で
炭素元素の濃度を第２図のように増加させるようにして
厚み200Å形成し、その上に潤滑層５として液体潤滑剤
をディッピング法により形成し、磁気記録媒体を作製し
た。
としてニッケル−リンメッキ膜を被覆した円板状アルミ
ニウム合金を用い、この基板１の上にDCスパッタリング
法により3000Åのクロム膜からなる非磁性下地層２を形
成した。次にこの上に磁気記録層３としてニッケル20原
子％、クロム10原子％を含むコバルト合金膜をDCスパッ
タリング法により600Åの厚みに形成した。更に、この
上に珪素元素及び炭素元素を含んでなる保護層４を珪素
ターゲットと炭素ターゲットを用いた同時スパッタリン
グ法により、それぞれの印加電力を調整し、厚み方向で
炭素元素の濃度を第２図のように増加させるようにして
厚み200Å形成し、その上に潤滑層５として液体潤滑剤
をディッピング法により形成し、磁気記録媒体を作製し
た。
その後、得られた磁気記録媒体のCSS耐久性を測定し
た。この耐久性の測定はCSS測定装置を用いて行ない、
磁気記録媒体上でヘッドをスタート・ストップさせ、、
これを１回とし、所定の回数後の磁気記録媒体上の摩擦
係数を求めることにより行った。その結果を表１に示
す。表１から得られた磁気記録媒体の摩擦係数の増加は
少なく、CSS耐久性に選れていることがわかる。
た。この耐久性の測定はCSS測定装置を用いて行ない、
磁気記録媒体上でヘッドをスタート・ストップさせ、、
これを１回とし、所定の回数後の磁気記録媒体上の摩擦
係数を求めることにより行った。その結果を表１に示
す。表１から得られた磁気記録媒体の摩擦係数の増加は
少なく、CSS耐久性に選れていることがわかる。
実施例２ 保護層４中の炭素元素濃度を第３図に示すように変化
させた以外は実施例１と同様の方法で磁気記録媒体を作
製し、CSS耐久性を測定した。その結果を表１に示す。
させた以外は実施例１と同様の方法で磁気記録媒体を作
製し、CSS耐久性を測定した。その結果を表１に示す。
比較例１ 保護層４を厚み200Åの炭素膜のみで構成した以外は
実施例１と同様の方法で磁気記録媒体を作製し、CSS耐
久性を測定した。その結果を表１に示す。
実施例１と同様の方法で磁気記録媒体を作製し、CSS耐
久性を測定した。その結果を表１に示す。
比較例２ 保護層４を厚み200Åの炭化珪素膜（SiC）のみで構成
した以外は実施例１と同様の方法で磁気記録媒体を作製
し、CSS耐久性を測定した。その結果を表１に示す。
した以外は実施例１と同様の方法で磁気記録媒体を作製
し、CSS耐久性を測定した。その結果を表１に示す。
（発明の効果） 以上述べたとおり、本発明の磁気記録媒体においては
CSS耐久性が著しく向上するので、この磁気記録媒体は
ヘッド・クラッシュが生じる可能性の低い信頼性の高い
ものとなる。更に、本発明の磁気記録媒体は保護層の厚
みを薄くしても十分なCSS耐久性を示すので、高記録密
度を達成し得るものとなる。
CSS耐久性が著しく向上するので、この磁気記録媒体は
ヘッド・クラッシュが生じる可能性の低い信頼性の高い
ものとなる。更に、本発明の磁気記録媒体は保護層の厚
みを薄くしても十分なCSS耐久性を示すので、高記録密
度を達成し得るものとなる。
第１図は本発明の磁気記録媒体の構造の一例を示す断面
図である。 第２図および第３図は本発明の磁気記録媒体の有する保
護層中の厚み方向における炭素元素の濃度変化の例を示
す図である。 １……基板、２……非磁性下地層 ３……磁気記録層、４……保護層 ５……潤滑層
図である。 第２図および第３図は本発明の磁気記録媒体の有する保
護層中の厚み方向における炭素元素の濃度変化の例を示
す図である。 １……基板、２……非磁性下地層 ３……磁気記録層、４……保護層 ５……潤滑層
Claims (1)
- 【請求項１】非磁性下地層を被覆した基板、その上に設
けた磁性金属薄膜からなる磁気記録層及び該磁気記録層
を保護するための保護層を含んでなる磁気記録媒体にお
いて、保護層が珪素元素及び炭素元素を含んでなり、か
つ炭素元素の濃度が保護層の前記磁気記録層側から表面
への厚み方向に向かって増加することを特徴とする磁気
記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14725190A JP2952967B2 (ja) | 1990-06-07 | 1990-06-07 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14725190A JP2952967B2 (ja) | 1990-06-07 | 1990-06-07 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0440626A JPH0440626A (ja) | 1992-02-12 |
| JP2952967B2 true JP2952967B2 (ja) | 1999-09-27 |
Family
ID=15426006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14725190A Expired - Lifetime JP2952967B2 (ja) | 1990-06-07 | 1990-06-07 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2952967B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6805941B1 (en) | 1992-11-19 | 2004-10-19 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
| US5637373A (en) | 1992-11-19 | 1997-06-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
| JP2006161075A (ja) * | 2004-12-03 | 2006-06-22 | Shinko Seiki Co Ltd | 硬質炭素膜およびその形成方法 |
-
1990
- 1990-06-07 JP JP14725190A patent/JP2952967B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0440626A (ja) | 1992-02-12 |
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