JPH04219621A - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はコンピュ−タの外部記憶
装置（磁気ディスク装置）などにおいて、磁気記憶体と
して用いることのできる高密度記録用の磁気記録媒体に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータなどの記憶媒体として磁気
記録媒体が用いられているが、従来この磁気記録媒体と
して磁性粉を塗布したテープなどが広く用いられていた
。しかしながら、この磁気テープは記憶密度が小さく、
アクセス時間が長いなどの欠点があった。

【０００３】そのため、このような磁気テ−プにかわり
ランダムアクセスが可能な円板状の磁気ディスクが開発
されてきており、なかでもアルミニウム合金などの基板
上に厚さ１μｍ程度の磁気記録層を形成して構成された
磁気記録媒体が広く使用されている。この磁気記録媒体
の磁気記録層は、初めは酸化鉄などの磁性粉末をバイン
ダ−と混合し、これをスピンコ−ト法などの手法により
塗布することにより得られていたが、この方法で得られ
た磁気記録層を含む磁気記録媒体に飽和磁化の大きさに
限界があり、高密度記録磁性媒体としてはほぼ限界に達
していた。

【０００４】そこで最近では、より大きい飽和磁化を有
する金属薄膜を磁気記録層として用いた磁気記録媒体が
提案されており、このような磁気記録層はコバルト系合
金からなる金属薄膜を真空蒸着法、スパッタリング法な
どの真空成膜技術により形成したり、無電解メッキ法な
どの湿式法により形成することにより得られている。

【０００５】ところで、以上のような磁気記録媒体では
高記録密度を達成するために、磁気記録媒体と磁気ヘッ
ドとの間のスペ−シングロスを少なくする必要があり、
そのためにヘッドのフライングハイトを低くしなければ
ならない。しかしながら、このフライングハイトを低く
するとヘッドクラッシュを起こしやすくなり、磁気記録
媒体のコンタクトスタ−トストップ耐久性（以下ＣＳＳ
耐久性という）が急激に悪くなるという問題があった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、ＣＳ
Ｓ耐久性の優れた磁気記録媒体を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者らは上記課題を
解決するために鋭意検討を行った結果、磁気記録媒体の
基板表面に傷（以下、適宜テクスチャ−という）を、基
板の同心上に波型に設けることにより、磁気記録媒体の
ＣＳＳ耐久性が飛躍的に向上することを見い出だし本発
明を完成するに至った。すなわち本発明は、基板、この
基板上に設けた磁気記録層及び該磁気記録層を保護する
ための保護層を含んでなる磁気記録媒体において、上記
基板がその表面の同心円上に波型の傷を有し、該傷同士
の交角が０．５〜２０度の範囲にあることを特徴とする
磁気記録媒体である。以下、本発明を詳細に説明する。

【０００８】本発明の磁気記録媒体は、図３に示すよう
に基板１、磁気記録層６及び保護層８を含んでなり、基
板１が図２に示すように、その表面の同心円４上に交角
が０．５〜２０度の範囲にある波型のテクスチャ−３を
有している。本発明の磁気記録媒体は、基板表面にこの
ようなテクスチャ−を有するので、ＣＳＳ耐久性が飛躍
的に向上したものとなる。

【０００９】また、このテクスチャ−は基板の半径方向
の平均表面粗さが３０〜３００オングストロ−ムとなる
ように設けることにより、得られる磁気記録媒体はＣＳ
Ｓ耐久性がより向上し、また磁気特性に優れたものとな
るので好ましい。

【００１０】ところで、本発明の磁気記録媒体における
基板表面のテクスチャ−は、例えば研磨テ−プを用い、
基板と研磨テ−プを相対的に振動させながら研磨テ−プ
を基板に擦りつけることにより設けることができるが、
特に作業の簡便さから、図１に示すように基板１を回転
させ、研磨テ−プ２を振動させながら、上記基板１に研
磨テ−プ２を擦りつける工程によりテクスチャ−を設け
ることが好ましい。

【００１１】このとき、基板１の回転と研磨テ−プ２の
振動が下記条件を満たすことにより基板１表面の同心円
上に交角が０．５〜２０度の範囲にある波型のテクスチ
ャ−を形成することが可能となる。

【００１２】 ０．５≦２×ｔａｎ−１（Ａｎ／ｒＲ）≦２０ただし、
Ａ：研磨テ−プの振幅（ｍｍ）ｎ：研磨テ−プの振動数
（回／分） ｒ：研磨テ−プを擦りつける基板の位置（基板半径、ｍ
ｍ） Ｒ：基板の回転数（ＲＰＭ） を各々示す。

【００１３】また、テクスチャ−を設けた基板の半径方
向の平均表面粗さは、例えば上述した方法において用い
られる研磨テ−プ２の粒度などによって適宜調整するこ
とができる。

【００１４】本発明の磁気記録媒体における基板１の材
料としては、例えばニッケル−リンめっき膜や陽極酸化
アルマイト膜などを被覆したアルミニウム合金、窒化硅
素焼結体，酸化アルミ焼結体などのセラミックス、ステ
ンレス，チタン合金などの金属、ガラスあるいはプラス
チックなどを挙げることができる。また、磁気記録層６
としては厚さ１００〜２０００オングストロ−ム程度の
コバルト含有合金からなる膜などが、保護層５としては
厚さ５０〜４００オングストロ−ム程度の炭素やＡｌ２
Ｏ３、ＺｒＯ２などの無機物質からなる薄膜などが形成
される。

【００１５】更に、本発明の磁気記録媒体には必要に応
じて厚さ５００〜５０００オングストロ−ム程度のクロ
ムなどの非磁性薄膜からなる下地層５、厚さ５０〜２０
０オングストロ−ム程度のクロム、チタン、バナジウム
などの金属薄膜からなる表面層７などを設けてもよい。 また使用にあたっては保護層８上に液体潤滑剤、固体潤
滑剤あるいはこれらの複合潤滑剤をスピンコ−ト法、デ
ィッピング法などにより塗布し、潤滑層９を形成して使
用することができる。なお、下地層５から保護層８まで
の薄膜の形成にあたっては、ＤＣあるいはＲＦスパッタ
リング法または蒸着法などの真空成膜技術を用いること
ができる。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の実施例を述べるが、本発明は
以下の実施例に限定されるものではない。

【００１７】実施例 　　図３に示す部分断面構造を有する磁気記録媒体を製
造した。基板１としてニッケル−リンめっき膜を被覆し
たアルミニウム合金を用い、この基板表面に、基板を回
転させ、研磨テ−プを振動させながら擦りつけることに
よりテクスチャ−を施した。このテクスチャ−を施した
工程の条件は次のとおりとした。

【００１８】 基板回転数　　２００ＲＰＭ　　　　　　　　研磨テ−
プの粒度　　３０００番 研磨テ−プの振動振幅　　　　　　±２．５ｍｍ振動数
　　　　１２０回／分 その結果、基板表面には、基板の同心円上に波型の傷が
設けられ、該傷同士の交角は６〜８度となった。また、
この基板の半径方向に測定した平均表面粗さは１８０オ
ングストロ−ムとなった。

【００１９】次にこの基板１上にＤＣスパッタリング法
により厚さ２０００オングストロ−ムのクロム膜からな
る下地層５を形成し、その上に磁気記録層６としてニッ
ケルを２０原子％含むコバルト−ニッケル合金膜を７０
０オングストロ−ムの厚みとなるようにＤＣスパッタリ
ング法により形成した。

【００２０】更にこの上に、保護層８としてＤＣスパッ
タリング法により厚さ６００オングストロ−ムの炭素膜
を形成し、この保護層８の上に潤滑層９を液体潤滑剤を
ディッピング法により塗布することにより形成し、磁気
記録媒体を製造した。

【００２１】その後、テストヘッドとしてＭｎ−Ｚｎフ
ェライトヘッドを用い、得られた磁気記録媒体のＣＳＳ
試験を行ない、磁気記録媒体の表面とテストヘッドの間
の摩擦係数を測定した。その結果を表１に示す。なお、
ＣＳＳ試験の条件は下記のとおりとした。

【００２２】 　　レ−ル幅　　　　　　　　　　　　２０ミリインチ
　　　　　　ロ−ドフォ−ス　　　　９．５ｇｗ　　フ
ライングハイト　　　　０．２０μｍ　　　　　　　　
テスト半径　　　　　　　　　　２５ｍｍ　　　　ディ
スク回転数　　　　　　３６００ＲＰＭ　　　　　　Ｃ
ＳＳサイクル　　　　１５秒／回　　　　摩擦測定時の
回転数　　　　０．２ＲＰＭ比較例１ 　　実施例と同じ方法で同じ部分断面構造を有する磁気
記録媒体を製造し、ＣＳＳ試験を行なった。ただし本比
較例の場合、磁気記録媒体の製造において、研磨テ−プ
を振動させずに基板表面にテクスチャ−を施し、基板の
同心円上にテクスチャ−を設けた。また、この基板の半
径方向に測定した平均表面粗さは１９０オングストロ−
ムとなった。

【００２３】得られた磁気記録媒体の表面とテストヘッ
ドの間の摩擦係数を測定した結果を表１に示す。

【００２４】比較例２ 　　実施例と同じ方法で同じ部分断面構造を有する磁気
記録媒体を製造し、ＣＳＳ試験を行なった。ただし本比
較例の場合、基板表面にはテクスチャ−を設けず、基板
の半径方向に測定した平均表面粗さを２０オングストロ
−ムとした。

【００２５】得られた磁気記録媒体の表面とテストヘッ
ドの間の摩擦係数を測定した結果を表１に示す。

【００２６】

【表１】 表１から本発明の磁気記録媒体はＣＳＳ試験において、
テストヘッドとの間の摩擦係数は小さく、ＣＳＳ回数が
多くなっても摩擦係数の増加は小さかったことがわかる
。このことから、本発明の磁気記録媒体はＣＳＳ耐久性
に優れていることがわかる。

【００２７】

【発明の効果】以上述べたとおり、本発明の磁気記録媒
体はＣＳＳ耐久性に優れたものとなり、また本発明の方
法によれば上記の磁気記録媒体が簡便に得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気記録媒体の製造方法において、基
板表面上にテクスチャ−を設ける方法の一例を示す図で
ある。

【図２】本発明の磁気記録媒体の基板に設けられるテク
スチャ−の形状の例を示す図である。

【図３】本発明の磁気記録媒体の部分断面の一例を示す
図である。

【符号の説明】

１　　基板　　　　　　２　　研磨テ−プ　　　　３　
　テクスチャ−４　　基板の同心円のひとつ　　　　　
　　　５　　下地層　　　　　　　　６　　磁気記録層 ７　　表面層　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　８　　保護層　　　　　　　　９　　潤滑層

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板、この基板上に設けた磁気記録層及び
   該磁気記録層を保護するための保護層を含んでなる磁気
   記録媒体において、上記基板がその表面の同心円上に波
   型の傷を有し、該傷同士の交角が０．５〜２０度の範囲
   にあることを特徴とする磁気記録媒体。
2. 【請求項２】基板を含む磁気記録媒体の製造方法におい
   て、下記条件に基づき基板を回転させ、研磨テ−プを振
   動させながら、上記基板に研磨テ−プを擦りつける工程
   を含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 ０．５≦２×ｔａｎ−１（Ａｎ／ｒＲ）≦２０ただし、
   Ａ：研磨テ−プの振幅（ｍｍ）ｎ：研磨テ−プの振動数
   （回／分） ｒ：研磨テ−プを擦りつける基板の位置（基板半径、ｍ
   ｍ） Ｒ：基板の回転数（ＲＰＭ）を各々示す。
3. 【請求項３】傷を有する基板の半径方向の平均表面粗さ
   が３０〜３００オングストロ−ムの範囲であることを特
   徴とする請求項第１項に記載の磁気記録媒体。