JP2814630B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JP2814630B2 JP2814630B2 JP32945589A JP32945589A JP2814630B2 JP 2814630 B2 JP2814630 B2 JP 2814630B2 JP 32945589 A JP32945589 A JP 32945589A JP 32945589 A JP32945589 A JP 32945589A JP 2814630 B2 JP2814630 B2 JP 2814630B2
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- Japan
- Prior art keywords
- magnetic recording
- recording medium
- layer
- magnetic
- thickness
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、コンピュータなどの外部記憶装置（磁気デ
ィスク装置）において、磁気記憶体として用いることの
できる磁気記録媒体に関するものである。
ィスク装置）において、磁気記憶体として用いることの
できる磁気記録媒体に関するものである。
（従来の技術） コンピュータなどの記憶媒体には磁気記録媒体が用い
られており、従来磁性粉を塗布したテープなどが広く用
いられていたが、この記憶テープは記憶密度が小さく、
アクセス時間が長いなどの欠点があるため、テープにか
わりランダムアクセスが可能な円板状の磁気ディスクが
用いられてきている。なかでもアルミニウムなどの堅い
基板上に、厚さ１μｍ程度の磁気記録層を形成して構成
された磁気ディスクが磁気記録媒体とした使用され始め
ている。このような磁気ディスクの磁気記録層は、酸化
鉄などの磁性粉末をバインダと混合し、これを基板上に
スピンコートなどの手法で塗布することにより得られて
いたが、この方法により得られた磁気記録層を含む磁気
ディスクには飽和磁化の大きさに限界があった。そこで
最近では、より大きい飽和磁化を有する金属薄膜を磁気
記録層とした用いた磁気記録媒体が提案されており、こ
のような磁気記録層はコバルトあるいはコバルト系合金
からなる薄膜を真空蒸着、スパッタリングなどの真空成
膜技術により形成したり、コバルト−リン、コバルト−
ニッケル−リンなどの合金薄膜を無電解メッキなどの湿
式法により形成することにより得られている。
られており、従来磁性粉を塗布したテープなどが広く用
いられていたが、この記憶テープは記憶密度が小さく、
アクセス時間が長いなどの欠点があるため、テープにか
わりランダムアクセスが可能な円板状の磁気ディスクが
用いられてきている。なかでもアルミニウムなどの堅い
基板上に、厚さ１μｍ程度の磁気記録層を形成して構成
された磁気ディスクが磁気記録媒体とした使用され始め
ている。このような磁気ディスクの磁気記録層は、酸化
鉄などの磁性粉末をバインダと混合し、これを基板上に
スピンコートなどの手法で塗布することにより得られて
いたが、この方法により得られた磁気記録層を含む磁気
ディスクには飽和磁化の大きさに限界があった。そこで
最近では、より大きい飽和磁化を有する金属薄膜を磁気
記録層とした用いた磁気記録媒体が提案されており、こ
のような磁気記録層はコバルトあるいはコバルト系合金
からなる薄膜を真空蒸着、スパッタリングなどの真空成
膜技術により形成したり、コバルト−リン、コバルト−
ニッケル−リンなどの合金薄膜を無電解メッキなどの湿
式法により形成することにより得られている。
ところで、現在使用されている磁気記録媒体のドライ
ブ装置では、コンタクト・スタート・ストップ方式（CS
S）方式が採用されており、この方式によれば磁気記録
媒体のスタートやストップ時に磁気記録媒体とヘッドが
接触しこすれ合うという現象が生ずる。そのため、磁気
記録媒体にはCSSに対する耐久性（CSS耐久性）を確保す
る保護層が設けられている。しかしながら、このような
保護層を厚く設けた場合、磁気記録媒体にはスペーシン
グロスが生じるために高記録密度領域での出力（分解
能）の低下をきたしてしまい、逆にスペーシングロスを
減らすために、保護層を薄くするとCSS耐久性が著しく
低下するという問題点があった。以上の理由から、従来
の磁気記録媒体においてはCSS耐久性は満足できるもの
の、分解能の点で満足できるものは得られていなかっ
た。
ブ装置では、コンタクト・スタート・ストップ方式（CS
S）方式が採用されており、この方式によれば磁気記録
媒体のスタートやストップ時に磁気記録媒体とヘッドが
接触しこすれ合うという現象が生ずる。そのため、磁気
記録媒体にはCSSに対する耐久性（CSS耐久性）を確保す
る保護層が設けられている。しかしながら、このような
保護層を厚く設けた場合、磁気記録媒体にはスペーシン
グロスが生じるために高記録密度領域での出力（分解
能）の低下をきたしてしまい、逆にスペーシングロスを
減らすために、保護層を薄くするとCSS耐久性が著しく
低下するという問題点があった。以上の理由から、従来
の磁気記録媒体においてはCSS耐久性は満足できるもの
の、分解能の点で満足できるものは得られていなかっ
た。
（発明が解決しようとする課題） 本発明の目的は、CSS耐久性に優れ、かつ分解能の点
でも優れた磁気記録媒体を提供することにある。
でも優れた磁気記録媒体を提供することにある。
（課題を解決するための手段） 本発明者らは上記課題を解決するために鋭意検討を行
った結果、CSS耐久性に優れ、かつ分解能の点でも優れ
た磁気記録媒体を見出だし本発明を完成するに至った。
すなわち本発明は、非磁性下地層を被覆した基板上に磁
気記録層を有してなる磁気記録媒体において、磁気記録
層が強磁性体層と酸化クロム（CrO2）層を積層した構造
を有することを特徴とする磁気記録媒体である。
った結果、CSS耐久性に優れ、かつ分解能の点でも優れ
た磁気記録媒体を見出だし本発明を完成するに至った。
すなわち本発明は、非磁性下地層を被覆した基板上に磁
気記録層を有してなる磁気記録媒体において、磁気記録
層が強磁性体層と酸化クロム（CrO2）層を積層した構造
を有することを特徴とする磁気記録媒体である。
本発明の磁気記録媒体の有する磁気記録層に含まれる
強磁性体層としては、例えばコバルト、コバルトニッケ
ル合金からなる磁性金属あるいはこれら磁性金属にプラ
チナ、ロジウム、クロム、サマリウム、タンタル、レニ
ウムおよびタングステンから選ばれる少なくとも一種以
上の金属を添加したものなど強磁性を示す材料を用いる
ことができ、その厚みは200〜1500Åであることが好ま
しい。更に本発明の磁気記録媒体は、強磁性体層と酸化
クロム層を積層した構造を有するが、この酸化クラム層
の厚みは20〜200Åであることが好ましい。
強磁性体層としては、例えばコバルト、コバルトニッケ
ル合金からなる磁性金属あるいはこれら磁性金属にプラ
チナ、ロジウム、クロム、サマリウム、タンタル、レニ
ウムおよびタングステンから選ばれる少なくとも一種以
上の金属を添加したものなど強磁性を示す材料を用いる
ことができ、その厚みは200〜1500Åであることが好ま
しい。更に本発明の磁気記録媒体は、強磁性体層と酸化
クロム層を積層した構造を有するが、この酸化クラム層
の厚みは20〜200Åであることが好ましい。
以下、図面を参照して本発明を詳細に説明する。第１
図は本発明の磁気記録媒体の構造の一例を示す部分断面
図である。本発明の磁気記録媒体は第１図に示すとおり
基板１上に構成される。この基板１としてはニッケル−
リンメッキ膜、陽極酸化アルマイト膜などを被覆したア
ルミナ合金、窒化硅素焼結体、酸化アルミ焼結体などの
セラミックスやステンレス、チタン合金などの金属、ガ
ラスあるいはプラスチックなどが用いられう。基板１上
にはクロムなどの非磁性金属薄膜などからなる非磁性下
地層２が形成され、その厚みは500〜5000Åとすること
が好ましい。また非磁性下地層２の上には強磁性体層
３、酸化クロム層４が形成される。更に酸化クロム層４
上には保護層５として炭素、酸化アルミニウム、ジルコ
ニアなどの無機物質膜を形成してもよい。この保護層５
の厚みは特に限定されないが、スペーシングロスを低減
するために250Å以下とすることが好ましい。また、本
発明の磁気記録媒体の使用にあたっては、必要に応じて
液体潤滑剤、固体潤滑剤あるいはこれらの複合潤滑剤を
塗布し、潤滑層６を形成して使用することができる。
図は本発明の磁気記録媒体の構造の一例を示す部分断面
図である。本発明の磁気記録媒体は第１図に示すとおり
基板１上に構成される。この基板１としてはニッケル−
リンメッキ膜、陽極酸化アルマイト膜などを被覆したア
ルミナ合金、窒化硅素焼結体、酸化アルミ焼結体などの
セラミックスやステンレス、チタン合金などの金属、ガ
ラスあるいはプラスチックなどが用いられう。基板１上
にはクロムなどの非磁性金属薄膜などからなる非磁性下
地層２が形成され、その厚みは500〜5000Åとすること
が好ましい。また非磁性下地層２の上には強磁性体層
３、酸化クロム層４が形成される。更に酸化クロム層４
上には保護層５として炭素、酸化アルミニウム、ジルコ
ニアなどの無機物質膜を形成してもよい。この保護層５
の厚みは特に限定されないが、スペーシングロスを低減
するために250Å以下とすることが好ましい。また、本
発明の磁気記録媒体の使用にあたっては、必要に応じて
液体潤滑剤、固体潤滑剤あるいはこれらの複合潤滑剤を
塗布し、潤滑層６を形成して使用することができる。
以上、非磁性下地層２から保護層５までの金属あるい
は無機物質の薄膜の形成にあたってはDCあるいはRFスパ
ッタリング法あるいは真空蒸着法などの真空成膜技術が
有効に用いられる。なお、酸化クロム層４は例えばクロ
ムをアルゴンガスと酸素ガス雰囲気中での反応性スパッ
タリング法などにより形成することができ、酸化クロム
層４を上記方法により形成する場合に用いられるスパッ
タリング雰囲気に含まれる酸素ガスの割合は１〜50容量
％とすることが好ましい。
は無機物質の薄膜の形成にあたってはDCあるいはRFスパ
ッタリング法あるいは真空蒸着法などの真空成膜技術が
有効に用いられる。なお、酸化クロム層４は例えばクロ
ムをアルゴンガスと酸素ガス雰囲気中での反応性スパッ
タリング法などにより形成することができ、酸化クロム
層４を上記方法により形成する場合に用いられるスパッ
タリング雰囲気に含まれる酸素ガスの割合は１〜50容量
％とすることが好ましい。
（作用） 本発明の磁気記録媒体の有する磁気記録層に含まれる
酸化クロム層はCSS耐久性に優れるため、磁気記録層上
に形成する保護層の厚さを薄くすることが可能となる。
したがって、本発明の磁気記録媒体はスペーシングロス
を低減することができ、高記録密度領域で高出力（高分
解能）が得られるものとなる。
酸化クロム層はCSS耐久性に優れるため、磁気記録層上
に形成する保護層の厚さを薄くすることが可能となる。
したがって、本発明の磁気記録媒体はスペーシングロス
を低減することができ、高記録密度領域で高出力（高分
解能）が得られるものとなる。
（実施例） 以下、本発明の具体的な実施例について説明するが、
本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
実施例１〜４ 本発明の磁気記録媒体として、第１図に示す構造の磁
気ディスクを作製した。基板１として平均粗さ100Åに
研磨したニッケル−リンメッキ膜を被覆した円盤状アル
ミニウム合金を用い、この基板１の上にDCスパッタリン
グ法により厚さ3000Åのクラム膜からなる非磁性下地層
２を形成した。次にこの上に強磁性体層３としてニッケ
ル20原子％、クロム10原子％を含むコバルト合金膜をDC
スパッタリング法により600Åの厚みに形成した。更に
この上に酸素ガスを20％含むアルゴンガス雰囲気中でク
ロムをDCスパッタリング法により反応性スパッタし、酸
化クロム層４を100Åの厚みで形成した。その後、酸化
クロム層４上に保護層５として炭素からなる層をDCスパ
ッタリング法により形成し、磁気記録媒体を作製した。
気ディスクを作製した。基板１として平均粗さ100Åに
研磨したニッケル−リンメッキ膜を被覆した円盤状アル
ミニウム合金を用い、この基板１の上にDCスパッタリン
グ法により厚さ3000Åのクラム膜からなる非磁性下地層
２を形成した。次にこの上に強磁性体層３としてニッケ
ル20原子％、クロム10原子％を含むコバルト合金膜をDC
スパッタリング法により600Åの厚みに形成した。更に
この上に酸素ガスを20％含むアルゴンガス雰囲気中でク
ロムをDCスパッタリング法により反応性スパッタし、酸
化クロム層４を100Åの厚みで形成した。その後、酸化
クロム層４上に保護層５として炭素からなる層をDCスパ
ッタリング法により形成し、磁気記録媒体を作製した。
ここで、保護層５の膜厚を変化させたときのCSS耐久
性及び電磁変換特性を表１に示す条件で測定した。
性及び電磁変換特性を表１に示す条件で測定した。
表１ 測定条件 半 径 35mm 回転数 3600rpm 1F周波数 1.25MHz 2F周波数 5.00MHz トラック幅 20μｍ ギャップ長 0.9μｍ F.H. 0.25μｍ 測定結果を表２及び表３に示す。また、保護層５の厚
みを50Å（実施例１）、100Å（実施例２）としたとき
のCSS耐久性をCSS回数に伴なう摩擦係数の変化により示
した図を第２図に示す。
みを50Å（実施例１）、100Å（実施例２）としたとき
のCSS耐久性をCSS回数に伴なう摩擦係数の変化により示
した図を第２図に示す。
比較例１〜４ 酸化クロム層４のかわりにクロム膜をDCスパッタリン
グ法により厚み100Å形成した以外は実施例１〜４と同
様の方法で、磁気記録媒体を作製し、CSS耐久性及び電
磁変換特性を測定した。その結果を表２及び表３に示
す。また、保護層５の厚みを100Å（比較例２）とした
ときのCSS耐久性をCSS回数に伴なう摩擦係数の変化によ
り示した図を第２図に示す。
グ法により厚み100Å形成した以外は実施例１〜４と同
様の方法で、磁気記録媒体を作製し、CSS耐久性及び電
磁変換特性を測定した。その結果を表２及び表３に示
す。また、保護層５の厚みを100Å（比較例２）とした
ときのCSS耐久性をCSS回数に伴なう摩擦係数の変化によ
り示した図を第２図に示す。
実施例５〜８ 保護層５を形成しなかった以外は実施例１〜４と同様
の方法で磁気記録媒体を作製した。
の方法で磁気記録媒体を作製した。
ここで、酸化クロム層４の膜厚を変化させたときのCS
S耐久性及び電磁変換特性を表１に示す条件で測定し
た。測定結果を表４及び表５に示す。
S耐久性及び電磁変換特性を表１に示す条件で測定し
た。測定結果を表４及び表５に示す。
比較例５〜８ 酸化クロム層４のかわりにクロム膜をDCスパッタリン
グ法により形成した以外は実施例５〜８と同様の方法
で、磁気記録媒体を作製し、CSS耐久性及び電磁変換特
性を測定した。ここで、クロム膜の膜厚を変化させたと
きのCSS耐久性及び電磁変換特性を表１に示す条件で測
定した。その測定結果を表４及び表５に示す。
グ法により形成した以外は実施例５〜８と同様の方法
で、磁気記録媒体を作製し、CSS耐久性及び電磁変換特
性を測定した。ここで、クロム膜の膜厚を変化させたと
きのCSS耐久性及び電磁変換特性を表１に示す条件で測
定した。その測定結果を表４及び表５に示す。
（発明の効果） 表２〜５及び第２図からもわかるように、本発明の磁
気記録媒体においては、CSS耐久性を劣化させることな
く保護層の厚さを薄くすることができる。したがって、
スペーシングロスを低減することができ、高記録密度領
域で高出力（高分解能）の得られる磁気記録媒体とな
る。
気記録媒体においては、CSS耐久性を劣化させることな
く保護層の厚さを薄くすることができる。したがって、
スペーシングロスを低減することができ、高記録密度領
域で高出力（高分解能）の得られる磁気記録媒体とな
る。
第１図は本発明の磁気記録媒体の構造の一例を示す部分
断面図である。 第２図は実施例１、実施例２及び比較例２において得ら
れた磁気記録媒体のCSS耐久性をCSS回転数に伴なう摩擦
係数の変化により示した図である。 図中、 １……基板、２……非磁性下地層、 ３……強磁性体層、４……酸化クロム層 ５……保護層、６……潤滑層 を各々示す。
断面図である。 第２図は実施例１、実施例２及び比較例２において得ら
れた磁気記録媒体のCSS耐久性をCSS回転数に伴なう摩擦
係数の変化により示した図である。 図中、 １……基板、２……非磁性下地層、 ３……強磁性体層、４……酸化クロム層 ５……保護層、６……潤滑層 を各々示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 5/66
Claims (1)
- 【請求項１】非磁性下地層を被覆した基板上に磁気記録
層を有してなる磁気記録媒体において、磁気記録層が強
磁性体層と酸化クロム（CrO2）層を積層した構造を有す
ることを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32945589A JP2814630B2 (ja) | 1989-09-13 | 1989-12-21 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1-235759 | 1989-09-13 | ||
| JP23575989 | 1989-09-13 | ||
| JP32945589A JP2814630B2 (ja) | 1989-09-13 | 1989-12-21 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03173927A JPH03173927A (ja) | 1991-07-29 |
| JP2814630B2 true JP2814630B2 (ja) | 1998-10-27 |
Family
ID=26532313
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32945589A Expired - Lifetime JP2814630B2 (ja) | 1989-09-13 | 1989-12-21 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2814630B2 (ja) |
-
1989
- 1989-12-21 JP JP32945589A patent/JP2814630B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03173927A (ja) | 1991-07-29 |
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