JPS62157323A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ この発明は、磁気ディスク、磁気ドラム等として用いら
れる磁気記録媒体に係り、特に強磁性金属層の磁気特性
を向上させた高密度記録用磁気記録媒体に関する。

［発明の技術的背景］ 電子計算機システムの外部記憶装置として汎用されてい
る磁気記録媒体、とりわけ磁気ディスクは、その製造方
法から塗布型、メッキ型、スパッタ型の３つのタイプに
大別される。

これらの磁気記録媒体は最近高密度記録化の傾向にあり
、このため磁性層の薄膜化が要求されている。上記の３
つのタイプのうちスパッタ型の記録媒体は薄膜化に最も
適しているいるうえに、他の型の媒体に比較して膜の付
着力、耐腐食性のいずれについても優れたものを製造で
きる可能性が大でおり、さらに容易磁化方向の制御も他
の型より容易であるという利点を有している。

ところで現用されているスパッタ型磁気記録媒体には、
通常、非磁性基板の上に非磁性金属あるいは非磁性金属
酸化物よりなる硬化層を形成し、その上に下地層、磁性
層、保護層を順に形成した多層構造が採用されている。

このような多層構造において、硬化層は非磁性基板の表
面を硬質化し、下地層は磁性層の磁化容易方向の制御を
し、保護層は耐腐食性、耐久性向を向上させるために設
けられている。そして磁性層には電磁変換特性向上の見
地から、すなわち適度の再生出力を得、かつ高密度記録
をはかるためにできるだけ薄くしかも適度の残留磁化、
良好な角形比、高い保磁力を有することが望まれている
。

［背景技術の問題点］ ところで磁気記録媒体の磁気特性のうち、最も重要な特
性は、保磁力（Ｈｃ）であるが、スパッタ型の磁気記録
媒体には、上述した大きい利点を有する反面以下のよう
な問題点がめった。

すなわち一般にスパッタ膜においては、磁性層の膜厚を
増すにしたがって残留磁化を増大させることができるが
、その半面磁性層の膜厚が増すにしたがって保磁力は減
少していくのである。したがって、一定出力を得るため
に磁性層の膜厚を厚くすると厚くなるにつれて、厚くな
ったことと保磁力減少の２つの影響で記録密度が低くな
り、逆に記録密度を高くするため磁性層の膜厚を薄くす
ると出力が小さくなりＳ／Ｎが劣下してしまい記録装置
自体に影響を及ぼしてしまうという問題が生じていた。

したがってこのようなスパッタ型の磁気記録媒体には、
残留磁化を損なうことなく保磁力を大きくすることが望
まれていた。

し発明の目的］ 本発明は、このような従来の欠点を解消すべくなされた
もので、残留磁化を損なうことなく、高い保磁力を実現
させた磁気記録媒体を提供することを目的とする。

［発明の概要］ すなわち本発明は、非磁性基板上に直接または他の層を
介して、磁性層を形成してなる磁気記録媒体において、
磁性層内に少なくとも１層の非磁性体からなる中間層を
形成させることにより、残留磁化を損なうことなく高い
保磁力を持たせたものである。

本発明に使用される磁性層には、例えばコバルト、コバ
ルト・ニッケル合金、コバルト・クロム合金、コバルト
・レニウム合金、コバルト・白金合金およびコバルト・
サマリウム合金から選ばれた１種または２種以上の磁性
体が用いられる。

また本発明の磁性体層中の中間層に用いられる非磁性体
としては、クロム、チタン、ゲルマニウムおよび白金の
１種または２種以上のものが用いられる。

これらの磁性層および中間層の厚さは、単一の磁性層の
厚さが１００〜１ｏｏｏ人、中間層の厚さが１０〜５０
０人の範囲が特に有効である。

さらに本発明においては、従来のスパッタ型磁気記録媒
体と同様に、非磁性基板と磁性層間に非磁性金属あるい
は非磁性金属酸化物からなる硬化層と下地層とを順に形
成したり、磁性層上に保護層および潤滑層を順に形成す
ることが望ましい。

非磁性基板上に形成する硬化層としては、ニッケル・リ
ン合金、酸化アルミニウム等かげられるまた下地層とし
ては、クロム、チタン、ゲルマニウムおよびパーマロイ
等の非磁性材料が適している。

さらに保護層としてはクロムが、また潤滑層としてはカ
ーボンを用いることができる。

本発明においては、これらの各層が例えばスパッタ法に
より形成される。

第１表の（ａ）は、中間層および磁性層に種々の材料を
選んで、中間層のない場合（ｂ）と磁気特性の比較を行
った結果を示したものである。これらの結果から、いず
れも中間層を設けた（ａ）欄の試料の方が、中間層のな
い（ｂ）欄の試料より磁気特性が良好であることがわか
る。

なお薄くて保磁力の高い磁性層を複数投形成すれば、磁
性層の合計膜厚あるいは残留磁化を損なうことなく、磁
性層が単層の場合よも高い保磁力を有する磁気記録媒体
を得ることができる。

保護−ａｌｌ！　　４００人 ［発明の実施例］ 以下に発明の実施例について説明する。

実施例１ 無電解メッキにより１０〜１５μｍの厚さでＮｉＰが表
面に形成されかつ最大表面粗さが０，０２μｍの鏡面仕
上げされた３、５インチ直径の円盤状へλ合金基体にＲ
Ｆスパッタにより各層を形成した。

まず下地層としてＣｒを５０００人形成し、その上に順
に磁性層（１）　　ＣｏＮｉ　　４５０人、中間層Ｃｒ
９０人、磁性層（２）　　ＣｏＮｉ　　４５０人、保護
層Ｃｒ　　３００人、潤滑層　カーボン３００人をスパ
ッタリングにより形成した。

このようにして作成した試料をＡＥＳ　（オーシュ電子
分光分析法）により組成分析したところ、中間層のＣｒ
が、ＣｏＮｉの磁性層中にガウス分布状に比較的広く分
布していることが認められた。

比較例１ 本発明の効果を確認するため、同一のスパッタ条件の下
で、中間層を設けない試料を作成した。

その磁気特性を実施例１の試料の磁気特性とともに第２
表に示す。

第２表 またこれらの２種の磁気記録媒体の電磁変換特性第３表
の通りであった。

第３表 以上の結果から、実施例１の磁気特性および電磁変換特
性は中間層のない比較例１のそれよりも浸れていること
がわかる。

実施例２ 表面が陽極酸化法による酸化物で被覆され、かつ最大表
面粗さ０．０３μｍのアルミニウム合金基体に、実施例
１と同一のスパッタ条件で、同一の構成の多層膜を形成
した。また比較例２として、実施例２と同一のアルミニ
ウム合金基体上に、比較例１と同一の構成の膜を形成し
た。これらの磁気特性を第４表に示す。

第４表 また、これらの電磁変換特性は第５表に示す通りであり
、このこの特性についても中間層のない比較例２よりも
実施例の方が優れていることが認められた。

（以下余白） 第５表 以上の実施例からも明らかなように、本発明の磁気記録
媒体は、基板材料、下地層、磁性層、非磁性中間層のい
かんにかかわらず、保磁力、角形比が著しく増大させる
ことができる。特に、中間層の材料として、耐食性にす
ぐれた、例えば、Ｃｒ、ｐｔなどを用いた場合には、中
間層が磁性層中に適度に拡散するので、磁性層自体の耐
食性も向上し、その９保護膜が不要もしくは極薄で済み
、媒体とヘッド間のロスも少なくなって電磁変換特性も
向上する。

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. （１）非磁性基板上に、直接または他の層を介して磁性
   層を形成してなる磁気記録媒体において、前記磁性層内
   に少なくとも１層の非磁性体からなる中間層が形成され
   ていることを特徴とする磁気記録媒体。
2. （２）非磁性基板が、アルミニウム合金、ガラスおよび
   プラスチックからなる群から選ばれた少くとも１種の非
   磁性材料からなる特許請求の範囲第１項記載の磁気記録
   媒体。
3. （３）磁性層が、コバルト、コバルト・ニッケル合金、
   コバルト・クロム合金、コバルト・レニウム合金、コバ
   ルト・白金合金およびコバルト・サマリウム合金からな
   る群から選ばれた少くとも１種の磁性体から成ることを
   特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項記載の磁
   気記録媒体。
4. （４）磁性層の厚さが、１００〜１０００Åである特許
   請求の範囲第１項ないし第３項のいずれか１項記載の磁
   気記録媒体。
5. （５）中間層が、クロム、チタン、ゲルマニウムおよび
   白金からなる群から選ばれた少くとも１種の金属から成
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第３項
   のいずれか１項記載の磁気記録媒体。
6. （６）中間層の厚さが、１０〜５００Åである特許請求
   の範囲第５項記載の磁気記録媒体。
7. （７）非磁性基板と磁性層間に、非磁性金属あるいは非
   磁性金属酸化物からなる硬化層を介して下地層が被覆さ
   れ、磁性層上には保護層および潤滑層が順に被覆されて
   いる特許請求の範囲第１項ないし第６項のいずれか１項
   記載の磁気記録媒体。
8. （８）硬化層が、ニッケル・リン合金である特許請求の
   範囲第７項記載の磁気記録媒体。
9. （９）硬化層が、酸化アルミニウムである特許請求の範
   囲第７項記載の磁気記録媒体。
10. （１０）下地層が、クロム、チタン、ゲルマニウムおよ
    びパーマロイからなる群から選ばれた少くとも１種の非
    磁性材料からなる特許請求の範囲第７項項記載の磁気記
    録媒体。