JP2914937B2 - 微小ワークの保持装置 - Google Patents
微小ワークの保持装置Info
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- JP2914937B2 JP2914937B2 JP9186962A JP18696297A JP2914937B2 JP 2914937 B2 JP2914937 B2 JP 2914937B2 JP 9186962 A JP9186962 A JP 9186962A JP 18696297 A JP18696297 A JP 18696297A JP 2914937 B2 JP2914937 B2 JP 2914937B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は微小ワークの保持
装置に関する。
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】プリント基板上に、例えばＬＤやＰＤ等
のチップからなるワークを載せてボンディング（ハンダ
付け）する場合、ワークを正しい位置に、正しい向き
で、位置決めする必要がある。ワークの位置決めは保持
装置を利用して行われる。
のチップからなるワークを載せてボンディング（ハンダ
付け）する場合、ワークを正しい位置に、正しい向き
で、位置決めする必要がある。ワークの位置決めは保持
装置を利用して行われる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ワーク
のサイズが比較的大きい場合は、それほど高精度な位置
決めは要求されないものの、ワークのサイズが１ｍｍ程
度以下の微小サイズになると、取付位置及び向きの精度
が格段と重要になる。しかも、ワークをボンディング対
象物に載せる際の接触圧も適正に調整しないと、ワーク
を破損させるおそれがある。
のサイズが比較的大きい場合は、それほど高精度な位置
決めは要求されないものの、ワークのサイズが１ｍｍ程
度以下の微小サイズになると、取付位置及び向きの精度
が格段と重要になる。しかも、ワークをボンディング対
象物に載せる際の接触圧も適正に調整しないと、ワーク
を破損させるおそれがある。
【０００４】この発明はこのような従来の技術に着目し
てなされたものであり、微小サイズのワークでも精度良
く位置決めでき且つ接触圧を適正に調整することができ
る微小ワークの保持装置を提供する。
てなされたものであり、微小サイズのワークでも精度良
く位置決めでき且つ接触圧を適正に調整することができ
る微小ワークの保持装置を提供する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
ワークを観察するための対物レンズを内蔵した鏡筒を固
定し、該鏡筒の外側に可動筒を遊挿すると共に、該可動
筒を静圧軸受により上下動・回転自在に支持し、可動筒
の下端部にワークを対物レンズの光軸位置に保持する吸
引ノズルを設け、且つ可動筒の重量をバランス調整する
重量バランス機構を設け、該重量バランス機構が、可動
筒の重量を相殺する重量相殺手段と、重量が相殺された
可動筒を任意の接触圧で下向きに付勢する接触圧調整手
段とから構成されている。
ワークを観察するための対物レンズを内蔵した鏡筒を固
定し、該鏡筒の外側に可動筒を遊挿すると共に、該可動
筒を静圧軸受により上下動・回転自在に支持し、可動筒
の下端部にワークを対物レンズの光軸位置に保持する吸
引ノズルを設け、且つ可動筒の重量をバランス調整する
重量バランス機構を設け、該重量バランス機構が、可動
筒の重量を相殺する重量相殺手段と、重量が相殺された
可動筒を任意の接触圧で下向きに付勢する接触圧調整手
段とから構成されている。
【０００６】請求項１記載の発明によれば、可動筒を静
圧軸受により支持しているため、１軸で上下動と回転の
両方をガタツキ「０」で行うことができる。従って、微
小サイズのワークであっても、ワークをボンディング対
象物の目的部位に精度良く位置決めすることができると
共に、ワークの向きも精度良く設定することができる。
更に、重量バランス機構により、可動筒の重量をバラン
ス調整できるため、ワークのボンディング対象物に対す
る接触圧も適正に調整される。加えて、ワークが対物レ
ンズの光軸位置に保持されているため、可動筒を回転さ
せても、ワークが視野から外れない。
圧軸受により支持しているため、１軸で上下動と回転の
両方をガタツキ「０」で行うことができる。従って、微
小サイズのワークであっても、ワークをボンディング対
象物の目的部位に精度良く位置決めすることができると
共に、ワークの向きも精度良く設定することができる。
更に、重量バランス機構により、可動筒の重量をバラン
ス調整できるため、ワークのボンディング対象物に対す
る接触圧も適正に調整される。加えて、ワークが対物レ
ンズの光軸位置に保持されているため、可動筒を回転さ
せても、ワークが視野から外れない。
【０００７】請求項２記載の発明は、可動筒の下端に金
属リング体が設けられ、その金属リング体の一部に吸引
ノズルが形成されている。
属リング体が設けられ、その金属リング体の一部に吸引
ノズルが形成されている。
【０００８】請求項２記載の発明によれば、可動筒の下
端部に設けた金属リング体の一部に吸引ノズルを形成し
ているため、ワークから吸引ノズルに負荷される熱が金
属リング体全体に伝達する。そして、金属リング体が円
周方向に沿って均等に膨張するため、吸引ノズルの先端
に保持されているワークが、対物レンズの光軸位置から
ずれない。
端部に設けた金属リング体の一部に吸引ノズルを形成し
ているため、ワークから吸引ノズルに負荷される熱が金
属リング体全体に伝達する。そして、金属リング体が円
周方向に沿って均等に膨張するため、吸引ノズルの先端
に保持されているワークが、対物レンズの光軸位置から
ずれない。
【０００９】請求項３記載の発明は、吸引ノズルの吸引
配管が可動筒の内部に形成されている。
配管が可動筒の内部に形成されている。
【００１０】請求項３記載の発明によれば、吸引ノズル
の吸引配管が可動筒の内部に形成されているため、吸引
配管が可動筒の周辺に露出せず、装置の見映えが向上す
ると共に、吸引配管が他の部位に引っ掛かったりするこ
とがない。
の吸引配管が可動筒の内部に形成されているため、吸引
配管が可動筒の周辺に露出せず、装置の見映えが向上す
ると共に、吸引配管が他の部位に引っ掛かったりするこ
とがない。
【００１１】
【発明の実施の形態】この発明の好適な実施形態を図面
に基づいて説明する。対物レンズ１等を内蔵した鏡筒２
は上部架台３に固定されている。この鏡筒２の外側には
所定の間隙を介して、可動筒４が遊挿されている。
に基づいて説明する。対物レンズ１等を内蔵した鏡筒２
は上部架台３に固定されている。この鏡筒２の外側には
所定の間隙を介して、可動筒４が遊挿されている。
【００１２】可動筒４は、下部架台５に固定された静圧
軸受６により、上下動・回転自在に支持されている。す
なわち、静圧軸受６の一部に形成されたエアー導入孔７
から、静圧軸受６と可動筒４の隙間に高圧エアーを供給
し、該高圧エアーの圧力によって可動筒４を支持してい
る。
軸受６により、上下動・回転自在に支持されている。す
なわち、静圧軸受６の一部に形成されたエアー導入孔７
から、静圧軸受６と可動筒４の隙間に高圧エアーを供給
し、該高圧エアーの圧力によって可動筒４を支持してい
る。
【００１３】この可動筒４の上部には、水平リング状の
ギア８が設けられている。このギア８の一端部は直動支
持部９の上に載置されている。直動支持部９は、直動用
モータ１０により回転するネジ棒１１に螺合されてお
り、直動用モータ１０の正逆方向への回転により、可動
筒４と共に上下動するようになっている。
ギア８が設けられている。このギア８の一端部は直動支
持部９の上に載置されている。直動支持部９は、直動用
モータ１０により回転するネジ棒１１に螺合されてお
り、直動用モータ１０の正逆方向への回転により、可動
筒４と共に上下動するようになっている。
【００１４】また、ギア８の他端側には、回転用モータ
１２の駆動ギア１３が噛合されており、可動筒４全体を
鏡筒２内における対物レンズ１の光軸Ｓを中心に、回転
できるようになっている。
１２の駆動ギア１３が噛合されており、可動筒４全体を
鏡筒２内における対物レンズ１の光軸Ｓを中心に、回転
できるようになっている。
【００１５】更に、ギア８の他端部には、重量バランス
機構１４が設けられている。この重量バランス機構１４
は、可動筒４の重量を相殺する重量相殺手段と、重量が
相殺された可動筒４を任意の接触圧で下向きに付勢する
接触圧調整手段とから構成されている。重量相殺手段
は、バランシングアーム１６と、バランスウェイトＷと
から形成されている。すなわち、ギア８の他端部は、支
持片１５の上端に軸支されたバランシングアーム１６の
一端部上にも載置されている。このバランシングアーム
１６の他端部には、バランスウェイトＷが取付けられて
いる。従って、このバランスウェイトＷにより、可動筒
４が前記直動支持部９に支持された状態において、可動
筒４の全体重量をキャンセルすることができる。
機構１４が設けられている。この重量バランス機構１４
は、可動筒４の重量を相殺する重量相殺手段と、重量が
相殺された可動筒４を任意の接触圧で下向きに付勢する
接触圧調整手段とから構成されている。重量相殺手段
は、バランシングアーム１６と、バランスウェイトＷと
から形成されている。すなわち、ギア８の他端部は、支
持片１５の上端に軸支されたバランシングアーム１６の
一端部上にも載置されている。このバランシングアーム
１６の他端部には、バランスウェイトＷが取付けられて
いる。従って、このバランスウェイトＷにより、可動筒
４が前記直動支持部９に支持された状態において、可動
筒４の全体重量をキャンセルすることができる。
【００１６】接触圧調整手段は、スプリング１７と、調
整レバー１８と、調整ツマミ２０とから形成されてい
る。すなわち、バランシングアーム１６の他端部は、ス
プリング１７を介して、Ｌ形の調整レバー１８にも連結
されている。この調整レバー１８は支持台１９に軸支さ
れており、上端部が支持台１９に螺合された調整ツマミ
２０の先端に当接している。従って、調整ツマミ２０を
回すことにより、バランシングアーム１６による可動筒
４の支持圧（後述の接触圧）の調整を数グラムの単位で
行うことができる。
整レバー１８と、調整ツマミ２０とから形成されてい
る。すなわち、バランシングアーム１６の他端部は、ス
プリング１７を介して、Ｌ形の調整レバー１８にも連結
されている。この調整レバー１８は支持台１９に軸支さ
れており、上端部が支持台１９に螺合された調整ツマミ
２０の先端に当接している。従って、調整ツマミ２０を
回すことにより、バランシングアーム１６による可動筒
４の支持圧（後述の接触圧）の調整を数グラムの単位で
行うことができる。
【００１７】このような可動筒４の下端部には金属リン
グ体２１が設けられ、該金属リング体２１の一部に吸引
ノズル２２が設けられている。吸引ノズル２２の先端
は、鏡筒２の光軸Ｓに合致しており、該吸引ノズル２２
の先端に、一辺０．２ｍｍの正方形で、厚さ０．１ｍｍ
の微小なワークＣを吸引保持できるようになっている。
グ体２１が設けられ、該金属リング体２１の一部に吸引
ノズル２２が設けられている。吸引ノズル２２の先端
は、鏡筒２の光軸Ｓに合致しており、該吸引ノズル２２
の先端に、一辺０．２ｍｍの正方形で、厚さ０．１ｍｍ
の微小なワークＣを吸引保持できるようになっている。
【００１８】この吸引ノズル２２の吸引配管２３は可動
筒４の内部に形成されており、図示せぬエアーポンプに
より吸引できるようになっている。
筒４の内部に形成されており、図示せぬエアーポンプに
より吸引できるようになっている。
【００１９】２４はボンディング対象物で、図示せぬＸ
ＹＺステージ上にヒータを介して載置されている。ボン
ディング対象物２４の表面にはハンダが塗布されてお
り、該ボンディング対象物２４を前記吸引ノズル２２に
て保持されたワークＣへ位置決めできるようになってい
る。ワークＣのボンディング対象物２４に対する上下方
向での微調整は直動用モータ１０により行い、回転方向
（θ軸回転方向）での調整は回転用モータ１２により行
う。また、ワークＣのボンディング対象物２４に対する
接触圧は、調整ツマミ２０により行う。
ＹＺステージ上にヒータを介して載置されている。ボン
ディング対象物２４の表面にはハンダが塗布されてお
り、該ボンディング対象物２４を前記吸引ノズル２２に
て保持されたワークＣへ位置決めできるようになってい
る。ワークＣのボンディング対象物２４に対する上下方
向での微調整は直動用モータ１０により行い、回転方向
（θ軸回転方向）での調整は回転用モータ１２により行
う。また、ワークＣのボンディング対象物２４に対する
接触圧は、調整ツマミ２０により行う。
【００２０】次に、この実施形態に係る装置の利点を説
明する。
明する。
【００２１】可動筒４を静圧軸受６により支持している
ため、１軸で上下動と回転の両方をガタツキ「０」で行
うことができる。従って、微小サイズのワークＣであっ
ても、ワークＣを目的する部位に精度良く位置決めする
ことができると共に、ワークＣの向きも精度良く設定す
ることができる。
ため、１軸で上下動と回転の両方をガタツキ「０」で行
うことができる。従って、微小サイズのワークＣであっ
ても、ワークＣを目的する部位に精度良く位置決めする
ことができると共に、ワークＣの向きも精度良く設定す
ることができる。
【００２２】重量バランス機構１４により、可動筒４の
重量をバランス調整できるため、ワークＣのボンディン
グ対象物２４に対する接触圧も数グラム単位で適正に調
整することができる。
重量をバランス調整できるため、ワークＣのボンディン
グ対象物２４に対する接触圧も数グラム単位で適正に調
整することができる。
【００２３】ワークＣが対物レンズ１の光軸Ｓに保持さ
れているため、可動筒４を回転させても、ワークＣが視
野から外れない。
れているため、可動筒４を回転させても、ワークＣが視
野から外れない。
【００２４】ワークＣから吸引ノズル２２に負荷される
熱が金属リング体２１全体に伝達されるため、金属リン
グ体２１が円周方向に沿って均等に膨張し、吸引ノズル
２２の先端に保持されているワークＣが、対物レンズ１
の光軸Ｓ位置からずれない。すなわち、吸引ノズル２２
が金属リング体２１に形成されていないと、吸引ノズル
２２が片寄った状態で熱膨張を起こし、吸引ノズル２２
の先端に保持されているワークＣが、対物レンズ１の光
軸Ｓ位置からずれるおそれがあるが、この実施形態では
そのようなことはない。
熱が金属リング体２１全体に伝達されるため、金属リン
グ体２１が円周方向に沿って均等に膨張し、吸引ノズル
２２の先端に保持されているワークＣが、対物レンズ１
の光軸Ｓ位置からずれない。すなわち、吸引ノズル２２
が金属リング体２１に形成されていないと、吸引ノズル
２２が片寄った状態で熱膨張を起こし、吸引ノズル２２
の先端に保持されているワークＣが、対物レンズ１の光
軸Ｓ位置からずれるおそれがあるが、この実施形態では
そのようなことはない。
【００２５】吸引ノズル２２の吸引配管２３が可動筒４
の内部に形成されているため、吸引配管２３が可動筒４
の周辺に露出せず、装置の見映えが向上すると共に、吸
引配管２３が他の部位に引っ掛かったりすることがな
い。
の内部に形成されているため、吸引配管２３が可動筒４
の周辺に露出せず、装置の見映えが向上すると共に、吸
引配管２３が他の部位に引っ掛かったりすることがな
い。
【００２６】ワークＣに対物レンズ１の焦点を合わせな
がら（オートフォーカス）しながらボンディングする
と、溶着している状況が画像として確認できるため、大
量生産する場合の歩留りを最小に抑えることができる。
がら（オートフォーカス）しながらボンディングする
と、溶着している状況が画像として確認できるため、大
量生産する場合の歩留りを最小に抑えることができる。
【００２７】ワークＣとボンディング対象物２４の両方
を高倍率で拡大して観察できるため、両者に付けたマー
ク同士を１μ程度の高精度で位置決めした後に、ボンデ
ィングすることができる。
を高倍率で拡大して観察できるため、両者に付けたマー
ク同士を１μ程度の高精度で位置決めした後に、ボンデ
ィングすることができる。
【００２８】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、可動筒を
静圧軸受により支持しているため、１軸で上下動と回転
の両方をガタツキ「０」で行うことができる。従って、
微小サイズのワークであっても、ワークをボンディング
対象物の目的部位に精度良く位置決めすることができる
と共に、ワークの向きも精度良く設定することができ
る。更に、重量バランス機構により、可動筒の重量をバ
ランス調整できるため、ワークのボンディング対象物に
対する接触圧も適正に調整される。加えて、ワークが対
物レンズの光軸位置に保持されているため、可動筒を回
転させても、ワークが視野から外れない。
静圧軸受により支持しているため、１軸で上下動と回転
の両方をガタツキ「０」で行うことができる。従って、
微小サイズのワークであっても、ワークをボンディング
対象物の目的部位に精度良く位置決めすることができる
と共に、ワークの向きも精度良く設定することができ
る。更に、重量バランス機構により、可動筒の重量をバ
ランス調整できるため、ワークのボンディング対象物に
対する接触圧も適正に調整される。加えて、ワークが対
物レンズの光軸位置に保持されているため、可動筒を回
転させても、ワークが視野から外れない。
【００２９】請求項２記載の発明によれば、可動筒の下
端部に設けた金属リング体の一部に吸引ノズルを形成し
ているため、ワークから吸引ノズルに負荷される熱が金
属リング体全体に伝達する。そして、金属リング体が円
周方向に沿って均等に膨張するため、吸引ノズルの先端
に保持されているワークが、対物レンズの光軸位置から
ずれない。
端部に設けた金属リング体の一部に吸引ノズルを形成し
ているため、ワークから吸引ノズルに負荷される熱が金
属リング体全体に伝達する。そして、金属リング体が円
周方向に沿って均等に膨張するため、吸引ノズルの先端
に保持されているワークが、対物レンズの光軸位置から
ずれない。
【００３０】請求項３記載の発明によれば、吸引ノズル
の吸引配管が可動筒の内部に形成されているため、吸引
配管が可動筒の周辺に露出せず、装置の見映えが向上す
ると共に、吸引配管が他の部位に引っ掛かったりするこ
とがない。
の吸引配管が可動筒の内部に形成されているため、吸引
配管が可動筒の周辺に露出せず、装置の見映えが向上す
ると共に、吸引配管が他の部位に引っ掛かったりするこ
とがない。
【図１】この発明の実施形態に係る微小ワークの保持装
置を示す図。
置を示す図。
１ 対物レンズ ２ 鏡筒 ４ 可動筒 ６ 静圧軸受 １４ 重量バランス機構 ２１ 金属リング体 ２２ 吸引ノズル ２３ 吸引配管 Ｓ 光軸 Ｃ ワーク
Claims (3)
- 【請求項１】 ワークを観察するための対物レンズを内
蔵した鏡筒を固定し、該鏡筒の外側に可動筒を遊挿する
と共に、該可動筒を静圧軸受により上下動・回転自在に
支持し、可動筒の下端部にワークを対物レンズの光軸位
置に保持する吸引ノズルを設け、且つ可動筒の重量をバ
ランス調整する重量バランス機構を設け、該重量バラン
ス機構が、可動筒の重量を相殺する重量相殺手段と、重
量が相殺された可動筒を任意の接触圧で下向きに付勢す
る接触圧調整手段とから構成されていることを特徴とす
る微小ワークの保持装置。 - 【請求項２】 可動筒の下端に金属リング体が設けら
れ、その金属リング体の一部に吸引ノズルが形成されて
いる請求項１記載の微小ワークの保持装置。 - 【請求項３】 吸引ノズルの吸引配管が可動筒の内部に
形成されている請求項１又は請求項２記載の微小ワーク
の保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9186962A JP2914937B2 (ja) | 1997-07-11 | 1997-07-11 | 微小ワークの保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9186962A JP2914937B2 (ja) | 1997-07-11 | 1997-07-11 | 微小ワークの保持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1131898A JPH1131898A (ja) | 1999-02-02 |
| JP2914937B2 true JP2914937B2 (ja) | 1999-07-05 |
Family
ID=16197779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9186962A Expired - Fee Related JP2914937B2 (ja) | 1997-07-11 | 1997-07-11 | 微小ワークの保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2914937B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6122280B2 (ja) * | 2012-11-12 | 2017-04-26 | アルファーデザイン株式会社 | 部品実装装置、部品実装装置による部品の実装方法及びプログラム |
-
1997
- 1997-07-11 JP JP9186962A patent/JP2914937B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1131898A (ja) | 1999-02-02 |
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